JPS59146005A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・、発明はカラ・−フィルターの作成法に門するもの
で、を侍に各１：ｌｉ、カラー撮（象素子およびプＪラ
ープイスル−用のｕ：’Ｖｌ□Ｉ！４１１色分１’＋７
　フィルターの製造方θ、にｌ！４＋　’するものであ
る。

カラーフィルターの一般的な？、“４造方法は、基板−
［に２１′［色層を７１’成し、そ−の上にレジストを
用い−Ｕ　Ｌ−シストマスクをＪ構成りでから、ｌ／シ
ストマスクで破４２％されていない部分の着色１〜を選
択て゛ 的に二■−ツブング除去〜する方法がある。

またこのとき、Ａ色層がｌ’＋呈出されにくい色素から
なる填）合・や、エツチング１１因によって、ノ１′−
板が損傷するような場合にはドライエツチング法が用い
られている。

これは、系１色層上にレジストでパターンを形成した後
、これを、レジストマスクとじ−で１、し・シストマス
クで被情されていない部分の着色層をイオンないし、ブ
ラスマ俣囲気中で蒸発さ１↓て除去し、てしまう方法で
ある。、 １ツかしながらこの方法においｔも着色１外上にレジス
トマスクを形成する坑）台、レジストの塗布、現像の際
、その溶剤に」、り着色層の色層を沼填してし甘ったり
浴勉に１では至らなくても分光特性を損なうことが多い
ものであった。

又、ドライエツチングに対する削エツチング性の良いレ
ジストの選択が容易ではなく、しだがって、レジストマ
スクは着色層と同時にエツチングされるため、かなり！
？、＜−Ｊる必要があり、しかも、ｌ・シストマスクｄ
、残【Ｊするために形成されるカラーフィルター・の構
成が複押となるという欠点もあった。

寸だ、カラー撮像素子と組合４ｊ、−てカラ・−フィル
ターを用いる場合従来のレジストを用いて、エツチング
又（よドライエツチングする方法でｄ［カラーフィルタ
ーの分ｊ９Ｆｉｌ能がａミクロンの牙−ダーに市まり、
従つでカラー撮像素−子の分解能が、向」−シた場合に
は、カラー撮像素イ全体としての色分解能を向上させる
ことが出来なくなる欠点を有している。、 面して本発明は、トライエツチンクによる欠点、即ち、
レジストマスク全厚くしな←１れはならないことで色分
解能を低−［させるとと、さらにｔ」１、ｌ／シストマ
スクの形成時における１１色層の損傷などの欠点を解消
するカラーノイノｌり・−の′製造方法を提供すること
を主たる目的とする。

また、本発明は高い分解能を有するカラーフィルターの
製造方法を提供することを［」的とする。

本発明によるカラー　フィルターの製造方法は、基板上
に着色層を形成する工程、別色層上にカルコゲンカラス
からなるパターンマスクを形成する工程、お」二び、該
パターンマスクでネ皮覆されていない部分のｉｔ色層を
ｌ−シイエツチングにより選択的に除去する一１Ｆ−、
’、　＋ｔｉｉをイｊうることをりテ徴とするものであ
る。

即ち、本発明は、刃・１色層を選択的に除去して色波素
を形成し、てカラーフイノしターとする際、カルコゲン
カラスからなるパターンマスクをもって、除去されては
ならない部分の着色層を完全に保饅−ｃきる１〜、１１
色層はカルコゲンガラス層によって、エツチング処理剤
から完全に保℃されるものである。

−１，７’＋ルコケンカラスからなるパターンマスクに
よって、同一面」二に各色安素が配列された胛想的な構
成のカラーフィルターの埠ソ造もできるものである。

更にまた、パターンマスクをレジストを用いて作る場合
にはレジスト用溶剤とかレジスト現像用溶剤が用いられ
、該溶剤が、着色層をレジ浸 スト層からの侵透により、破壊し、必ずしも、レジスト
自体が、エツチング液に対し７て完全な防止手段となら
ない欠点もあり、高カニｒ像能が得られない原因となっ
ていた。本発明によるカルコゲンカラスの場合には、前
記１ノジスト用にス剤とか現像剤を用いることなく、カ
ルコゲンガラスの面１塾品性が高＜、’Ｉ’ｌに有機溶
媒に作用せず従って着色層を直接侵し７よくする可能性
は全く無い長所がある。力／Ｌコゲンカラスは、１／シ
ストより高分解能をイｊする、すなわちレジストが杓％
　１５００本／朋、に対シ１．力Ａ・コゲンカラスは２
００（１〜：う０００木／ｍｍである１１、本発明に用
いられる方力・コゲンガラスは、カルコゲン４１ｉ層で
用いられる他、金属層と積層（７て用いることも出来る
。

次に本発明の代表的な態様について図面により説明する
。

１ず、第１図に示されるように、基板１土、に第１色）
＠２を形成する。着色層は椋々の方法によって形成され
るが、特に色相の蒸着によって形成するのが有利である
。蒸着の場合には、色相のみで、着色層が形成でき、染
色法にｊ３・ける媒染層が不用なので、きわめて乃膜化
さね、かつ、非水工程によって１１色層が形成できる。

ついで、第２図に示されるように着色層上にカルコゲン
ガラス層３を形成する。

本発明に云うカルコゲンガラスとはカル二Ｊゲン元素、
即ち硫黄（Ｓ）、セレン（Ｓｅ）　＋テルル（Ｔｅ）の
少なくとも一つを主成分とする′ｊｊラス状物質の事で
ある。本発明にお・いて治効な代表例は、Ｓ、Ｓｅ、な
どの単体、Ａｓ−８系、　Ａｓ、　−Ｓｅ系、　Ａ、５
−Ｔｅ系、５−８ｅ系）　５ｂ−８ｅ系、　５ｂ−Ｔｅ
系。

Ｂ１−８糸、Ｂ１−８ｅ系、Ｂ１−Ｔｅ系、などの二元
カルコゲンガラス層たはＡｓ−８−Ｔｅ系＋　Ａｓ　５
ｅ−Ｔｅ糸などの三元カルコゲンガラスである３、カル
コゲンガラス層を形成する場合、必要に応じて、ノ・ロ
ゲン、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔ／などの元素を活性剤として少量
（１モルチ以−ト）加えることもまた有効である。呼た
、添加剤として、少量の金属を添加することは光感１−
３（−の点で有効である。。

添加する金属と１７では、代表的なものはＡｇ　ｒＣｕ
、　Ｚｎ、　Ｃｄ、　Ｍｎ、　Ｇａ、　Ｉｎ、　Ｂｉ、
　Ｓｂ、まだはこれらの合金が誉げられ、喝にＡｇ及び
Ｃｕが好適である。

金属の添加量はカルコゲンカラスを構成する原子数１０
０に対し、１〜（１，０００１原子数、特に０．５〜０
．００５が好適である。

カルコゲンカラス層の厚さは用途に応じて適宜設定され
るが、高解像性パターンを得るだめには通常、カルコゲ
ンカラス層は弱く設定され約５　ｔｔ〜１０ｍμである
。特に解像力について１μ以上をイ（するためには約５
００ｍμ〜５０ｍｔｔに設定される。層厚ψ包囲の下限
は均一層を形成するための製造上の限界によって規定さ
れる。

カルコケンカラス層単層では−なく金属層との積層で用
いられるＳ合、金属層は光照射によってカルコゲンツノ
ラス層中拡散しも着る全域を与える層として却、定され
る。拡散する金属は金Ｆう全般に及び、特に実用性の点
から代表的な金属を挙ければＬｉ、　Ｎａ＋　Ｊ（、Ｒ
ｂ及びＣｓ、などのアルカリ金ｋｒ４　Ｂｅ、　Ｍｇ、
　Ｃａｔ　Ｓｒ、及びＢａ、などのアルカリ土類金属、
Ａｇ、　Ｚｎ、　Ｃｄ、　Ｍｎ、　Ｃｙａ、　Ｎｉ　、
　Ｃｒ　。

Ｃｕ、　Ｉｎ、　Ｓｎ及び′ｒｐなどの金属及びこれら
金属或いは金属イオンをチ）〒離発生せしめる各化合物
である。これらの化合物として、好適なものは、金属の
硫化物、セレン化物、テルル化物、酸化物及びハロゲン
化物などである。？ｃ１１らの具体例として、特に好ま
しい化合物はＣｕ、ＳＩ　ＡｇｔＳ＋Ａｇ、Ｓｅ、　Ａ
ｇ！Ｔｅ、　Ｚｎｏ、　ＳｒＦ、　、　ＣａＦ、　、　
Ｋｃｊ２．　ＬｉＢｒ。

ＬｉＣｅ、　ＩＪｉＦ、　ＬｉＩ、　Ｎａ（Ｊ’、　Ａ
ｇＩ　、　ＡｇＢｒ、　ＡｇＮｏ、　　。

Ｐｂ１１　＋　ＫＡｇ４Ｉ＠　＋　ＲｂＡｇ４Ｉ５　＋
　Ｎｆ（４Ａｇ４Ｉｓ　ｒ　Ｃｄ８．　ＺｎＳ。

Ｚｎ５ｅ　、などである。

金属層としては、Ａｇ又はＣｕ、ＡｇとＣ１１又はＡｇ
および／まだはＣｕを含む合金が’ｌ＋に有効な結果を
力える。合金としては次のような例が挙ｒＪもれる。

Ｃ１ｌ＜ｏＡｇｓｏ　　ｒ　　　ＣｕｌｌｌＡｇ９Ｇ　
　ｒ　　　ＣｕｙｏＡｇｓｏ　　ｒ　　　Ｃｕ４０Ａｇ
ｙｏ　　ｔＣｌｌｓｏＡｇｌＩｏ　　＋　　Ｃｕｅｆｌ
Ａｇ４０　　＋　　Ｃ＋ｌｔｏＡｇ３ｏ　　＋　　Ｃ１
ｌ＊ｏＡｇＦｏ　　＋　　ＣｕｏｏＡｇ＋ｏ　　＋Ａｇ
５ｔＧａｅｓ　＋　ＡｇｓＨｇｖｖ　ｔ　Ａｇ５ｏ１１
１ｙｏ　ｔ　Ａｇｏ＋Ｌｉ＊　＋　ＡｇｔＰｂｕ　＋Ａ
ｇｚ４．４１Ｊｙｉ、ｌｌ＋　Ａｇｔ、ｓＴ／？ｏｓ、
ｓ　ｔ　Ｃｕ、Ｇａ、１．Ｉ　ＣｕｔＩ’ｇｌｌ　ｒＣ
ｕ、　Ｉ　ｎｏｗ　ＨＣｕｙ　Ｓ′ｈ＠ＨＨＣｕ１６１
’ｅＨＨＧｅ５ＳｎＨＨＭｇｚ、ｙＰｂＨ，＠などであ
る。

金属層は照射光強度との関係で好ｉ１＞、なＪ５゛さに
選ばれる必要があるが、−殻に極めて薄いｒｊｌｒ要が
あり、５００ｍμ以」二の厚さの場合には完全に相互拡
散させて、層全体を拡散効果により消失せしめること、
即ち異神物質に変化せしめるη〜は、Ｊ９ｉ力な光を長
時間照射するという実用的でない手段を心安とする。、
又１０ｍμ以下のように極端ｉｄ：あらゆる点に関して
好適であり、まプこ、拡散性金属層を完全に消失させる
ことを」１１（侍しない場合、即ち、その後相対的に９
３　：）’ｆｉ都の拡散性金属層のみを除去する場合に
は、拡散性金す層は５００　ｍｔｉ以上であってもよい
０、露光は、紫外光ｎＪ祝）１′、、赤外光等の強い輻
射線をもってイＪわれる。本発明ではこの上うな各棹輻
射線を光と総称する。紫外線吸収層ｔよ、紫外線を吸収
する層で七）す、什２ｆ＼の厚さに設定されてよい。普
通には、１μ〜１００１１．、特には１〜２０μ程度が
効果的である。紫外線吸収層ケよ、紫外線吸収剤を主体
として形成され、心太に応じて結着剤が用いられる。本
発明に用いられる紫外線吸収剤の代表的なものは次に挙
げられる。

サリチル酸メチル、サリチル酸ベンジル、サリチル酸ク
レジル、ザリチル酸Ｐ−オキシビフェニル、等のサリチ
ル酸エステル類、■）＝オギシ安息香酸フェニルエステ
ル　ｌ）−オギシ安息香酸オキシベンゼンエステル、等
の安息香酸エステル類、没食子酸エステル、等のオギシ
置換安息香酸エステル、２．４−ジヒドロキシベイソフ
エノン、２．２’−ジヒドロキシ−４−メトギシベ／ソ
フェノン、５−クロロ−２−ヒドロキシベンゾフェノン
等のベンゾフェノン類、２−７エニルベンゾイミダゾー
ル、　２　（２′−ヒドロキシ−３’−ｔ−）ｆルー５
′−メチルフェニル）ベンツ゛トリアゾール、等のアソ
゛−ル類、５−ベン・ザル−３−エチルローダニン、５
−ベンザル−３−メチル−２，４−チアゾリジン、等の
チアゾリドン類、２−（フェニルアゾ）−Ｐ−クレゾ・
−ルと金属（Ｃｕ、　Ｎｆ　）との２：１錯塩、１−　
クエニルアシー２−ナフトールと金属（Ｃｕ、　Ｎｆ　
）との２：１錯塩等の金紡キ）／−ト力゛ｉ笠であるが
、その外、紫外線を吸収遮断する性質を有し２、かつ加
熱により揮発さぜることがｉｉｌ能なオキザゾール、イ
ミダゾール、ケアゾール、オキザジアゾール、チアジア
ゾール、トリアゾールで代表されるアゾール系化合物を
感熱物Ｔ１としで含む無色透明なシートであってもよい
。

これら紫外線吸収剤は、カルコゲンガラスの使用目的或
いは紫外線カツト波長域の些求とによって適宜選択され
るが、通常は、適当なフィルム中に添加、染色、又ｔよ
、染料化しで、パターン形成部＋４又はパターン部材に
塗イ［１等の方法で形成される。カルコゲンガラス層は
スパッタ蒸着＋　ｆ（＋、子ビーｊ・蒸着もしくはＣＶ
　Ｉ）　（ケミカル・ベイパー・ディポジション）法な
どの方法を用いて形成することもできる。

以」二の成ＩＩ４％は同−装（道内で引きＦ・Ｌいてイ
′ゴなっても良い（〜、又、装置を変えて行なっても良
い。

ついで、紫外光、遠紫外光、Ｘａあるいは電子線で所定
のパターン形状に経光−する。

カルコゲンカラス層Ｑ′よ、パターンｐ゛、（光により
、非晶η、ネットワーク構造を破壊し、結晶化するため
、露光部は、未露光部と比較して着色層側から剥離し易
くなっている。

従って、水洗又は、弱アルカリ溶液によって露光部カル
コゲンガラス層を除去することが出来る。壕だ用いられ
るカルコゲンカラスによっては、圧縮空気の吹き伺けだ
りて露光部カルコゲンカラスを除去することが出来る。

或いは差た、基板をドライエツチング装置内に設置し、
ＣＦ４　、　ＣＨＦ５　、　（４Ｆ６　、Ｃ４Ｆ３　＋
　ＣＣｅ４　。

ＣＣ／！Ｆ、　、　ＣＢｒＦ３　、などのハロゲン化炭
素ガス又は、ハロゲン化炭化水素ガスあるいしｔ、　Ｂ
Ｃｅｆｉ、　ＳＦ。

などの多ハロゲン化物のカスを主体とするガスを用い、
エツチングを行なう。このハロゲン含有ガスに勾して、
露光部のカルコゲンカラス層は容易にエツチングされる
。

以上の工程によって第３図に示されるパターンマスク４
が形成される。

ついＣ１同じくドライエッチ：／グ装買内にて（・１夕
素を主体とするガスを用い、エツチングを行なう。酸素
に対し−Ｃ１着色７Ｍはエツチングされやすく、ノに対
にカルコゲンガラスｔ、ｊ、比較的エツチングされにく
い１、その結果、パターンマスクＣ被↑）゛）され−℃
いない着色層２のみがエツチングされ、２１４４図に示
されるような色要素６が形成される６、この場合、イ寺
色層２およびパターンマスク４の１１’ｙリテや光色に
よって、着色層２のみの１−ヘ相とう【なる色となる場
合がある。そこで、カルコゲンカラスとしては、無色透
明のものが選択されれＶｉよいが、Ｇｅ　Ｓ系又は５ｎ
−８系等余り、多くはなく、一般的には、パターンマス
ク４を前記の除去又はエツチング方法によって除去し、
最終的には第５図の形状とするのが好適である。

さらに、２色目の色要素全形成する場合は、同じ工程を
ｆ９ｒ望の色材について、第６図から第８図のように行
なえは良い。

Ｉｄｌｌ　ｊｙ、４６図に示されるように第４図で形成
されている色−９ｐ：素６およびパターンマスク４の上
に２色目の着色層８を形成する。次にその上にパターン
マスク４を形成したのと同（１（にして第７図に示され
るようにパターンマスク９を形成する。次に色要素６を
形成１−またのと同様な方法で着色層８を選択的にエツ
チングして２色目の色要素１０を形成できるものである
。３色目、４色目についても同様プロセスを繰返し用い
ることによってカラーフィルタ一層を形成することが出
来る。

従って、赤（ＲＩ　Ｊ宵（１３）および黄ｔＹｌの色要
素を配列する一般的カラーフィルターを製造することが
出来る。

本発明によるカラーフィルターで、各色要素を形成した
表面に透明カルコゲンカラス層を被着させた場合には、
カルコゲンカフス層の表面強度が強いことを利用（７て
製迄されたカラーフィルターの表面強度が４きめでへい
ものとすることが出来、史にカルコゲンカラスが疎水性
を有していることから空気中の水分を吸着しで色要素を
劣化させることもなく、寸だ直接、有機溶媒等に色夾素
が接触し２ないので、カラーフィルターの耐久性を著ｊ
−＜向上させることが出来る。

一方、各色苅素を基板上に配列し、だ場合でもｆ１↓後
にカッしコゲンヵラスの透明層を抜角することによって
同一・目的を達Ｊ戊することが出来る。

本発明で用いる色４Ａはｆ１ｆｊ々のものが適宜選択さ
れて用いられる。

例えば、 （１）　　アゾ未着色剤 ＋ｎ）　　アセトアセチックアニリド糸イルカライト・
イｘｏ　　Ｇ　１）Ｎ　　　　　　　　　　（Ｃ−１，
Ａ　１１６８０）シコ・イエローＩ）１２５０　　　　
　　　　　　　　　（’　　　　）ハンザ’　イＸ−Ｏ
Ｇ　Ｒ（Ｃ−１−Ａｈ、　１１７３０）シコ、　イエｏ
　−１，、１９５０（Ｃ，１，Ａ　１１７１０）イルカ
シイト・イエロー１０Ｇ　　　　　　　　　　（Ｗ　　
　　）９ｚｌｊ５イト−’ＶＪ−ｎ−５ＧＴ、、ｒ　　
　　　　　　　　（Ｃ，Ｉ。Ａ　１１６６５）＋）　／
　ソール−７７−、ス）　−−１工ｎ　−Ｙ　　　　　
　　（Ｃ，１，Ａ　１１６６０）り゛イニチ・ファース
ト・イエｒｆｆ　−３Ｇ　　　　　　　（Ｃ，、Ｔ、Ａ
　１１６７０）イルカライト・イエローＢＧｃ（ｃ、■
、Ａ２１ｏ９０）パーマネント・イエローＧ　Ｒ（Ｃ，
，１，泥２１１（Ｘ））パーマネント・イエローＧ　　
　　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　２．ＬＯ９５）ヘ
ンシシン・イ、：ｒ−ｏ−１００（Ｃ−’Ｌ−１６２１
２２０）イルカライト・イエロー２０Ｐ（ｃ、■、Ａ２
１１ｏ５）ｔｂｌ　　ピラゾリンアゾ系 ハンザ・イエローＲ（Ｃ，１，Ａ　Ｉ２７１０）ｆＣｌ
　　す７トール類のモノアゾ系 モノライト・ファースト・レッドＢ　　　　　　　　（
Ｃ−１，Ａ　１２０７０）シコ−７７−、ｘ、　ト・レ
ッｈ’Ｉ）　３７５２　　　　　　　（Ｃ−１，Ａ　１
２３１０）シコ−ｖッ）”Ｌ　３７５０　　　　　　　
　　　　　　　（Ｃ−１，Ａ１２１２０）シ：７１１　
レッドＬ　３２５０　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
１Ｉ−Ａ　１．２０８５）オリエンタル・レッドＦ　Ｂ
　Ｎｅｗ　　　　　　　　　　（Ｃ−ＬＡ１２４９０）
モノライト・レッドＰ　Ｇ　　　　　　　　　　　　　
　（Ｃ，１，Ａ　１２０９０）で ロツソーｖグナール・ルーズＦ　４　ＲＩ−（（Ｃ，１
，Ａ　Ｉ２４２０）シコ・レッドＤ　４２５０　　　　
　　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　１２．’３３５）
ロッソ・セグナール・ルースト２　Ｌ　　　　　　　（
Ｃ０１，Ａ　１Ｍ（イ））ｏ　ツソ−セフ＋−ルー　ル
ーズＦＲＬ　　　　　　　　（Ｃ，Ｌｌ６１２４４０）
イにカフイト”　ホルトＦ　ＢＳ　　　　　　　　　　
（Ｃ−Ｉ−Ａ１２４３０）シコ・ボルドーＬ　４６５１
　　　　　　　　　　　　　（Ｃ０ＬＡ　１２３８５）
パーマネント・ボ叫−ＦＧＲ（Ｃ０Ｉ−、ｔｌＦｈ　１
２３８０）シミュラーｅニア−７−ス）＊マルーｙ４（
１９２（Ｃ８Ｉ、４１２４６５）ダイニヂ・ファースト
・ポピー・レッドＧ　　　　　（Ｃ０Ｉ−１６１２３９
０）モノライト−）Ｌ−ビー”Ｍ　　　　　　　　　　
　　　（Ｃ−１，Ａ　１２３５０）アリライド・マルー
ン・ダーク　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　１２４０
０）サンヨー−７−Ｊ’−、ｚ、　）　・Ｉ／ツトＣＲ
（ＣＪ−Ａ１２３００）クイー＝テ・７７−−ｘ、　ト
・、ｒｄｙ−ｖッ）　Ｇ　　　　　　（Ｃ０Ｉ−Ａ　１
２３１５）ファースト・１７ツドＡ６”：’−（Ｃ：、
Ｉ−Ｊｆｆｘ　１２３５５）ボリモ・１ノツトＲ（Ｃ，
１，＆　１２．３３０）ポリモーｏゼドＢ　Ｌ　　　　
　　　　　　　　　（Ｃ，１，４１２３６０）ボリモ・
レッドＦ　Ｒ（Ｃ，１，Ａ　１２３２０）ダイニチ・ナ
フヂラミン・ボルドー５　Ｂ　　　　　　（Ｃ１Ｉ−７
６１２１７０）シｊ　・７フースト・ｌ／ツトＬ３８５
５　　　　　　　（Ｃ−Ｉ−Ａ１２３７０）シミュラ−
−７７−スト・カーケンＢ　Ｓ　　　　　　（Ｃ−Ｉ−
Ａ　１２３５１）バー　４７　ト・カー　ミニｙＦ　Ｂ
　Ｂ　　　　　　　　　　（Ｃ０１，Ａ６１２４８５）
パ・−マネント・ピンクＦ　３　Ｂ　　　　　　　　　
　　（Ｃ−１，Ａ　１２４３３）ｐｖ−一カーミンＨＲ
（Ｃ−ＬＩＦｔ　１２２９０）　　　ｌシコ−７７”−
スト・スカーレソ）Ｉ４２５２　　　　（Ｃ，１，Ａ１
．２４７５）バーマネン）　・−＝ｒルーンｌｌＦ　Ｍ
　　　　　　　　　　（Ｃ１ＬＪ１６．１２５１．２）
パーマネント・レッドＨＦ　Ｔ　　　　　　　　　　　
（Ｃ−１，Ａ　１２５１３）ＰＶ　　Ｊｙ　　５ンｉ−
１，Ｆ’３Ｃ（Ｃ０１，Ａ１２５１５）パーマネント・
カーケン１ｉＦ４　Ｃ（Ｃ−Ｉ−４１２５１６）Ｐ　Ｖ
　−レッ）”Ｉｔ　Ｆ　２　Ｂ　　　　　　　　　　　
　　　　（Ｃ−１，−１ｂ　１２５１４）モノライト・
グリ−７・Ｙ　　　　　　　　　　　　（Ｃ−Ｌｌ（ｈ
　１２７７５）（２）　　アンスラギノン糸オｆ色剤 ヘリオ・ファーストマルーント）３Ｒ サンヨー・カーケンＬ　２　Ｂ　　　　　　　　　　　
　（Ｃ−、Ｉ−Ａ　５８０００）モノライト・レッドＹ
　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−１−ＩＧ　５９
３００）クロモノタール・ＡＧＪ、（、 バ’）Ａケン・レットＩ、３５２０　　　　　　　　　
　（Ｃ１１，４５９７１０）パーマネント・レッドＴＧ
　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，應７↓１００）
ハ’）ｔ’ｙ’ン・レットＬ３８７０ＩＨ）　　　　　
　　（Ｃ−Ｉ−Ａ７１１４５）バリオケン−マルーンＬ
　３８２０　　　　　　　　　（Ｃ−Ｌｌ６７１１３０
）ハ！Ｊ＝ｔ　’ｒ’ン・レッＭＬ３８８０ＨＤ　　　
　　　　　　（Ｃ４−）に７１１５５）カヤセラ）　−
スカーレットＥ　−２Ｒ（Ｃ８１，，４ａ　７１１４０
）へリオ・ファースト・ネイビー　ＲＬＶＩＩ：３］　
　インジゴイド系χ１色剤 クロモフタル・ボルドーＲ（Ｃ＝　Ｉ−Ａ　７：１３１
２）リオノゲン・マゼンタＲ（Ｃ１Ｉ−１５７３９１５
）Ａ　６１６　Ｖッ）’Ｒ（Ｃ５Ｉ−Ａ　７３３９５）
オラリス・ブリリアント・ピンク■え　　　　　　　（
Ｃ−Ｉ−Ａ　７３３６０）（４）　　キナクリドン系着
色剤 リメノゲン・マゼンタ■ζ　　　　　　　　　　　　（
Ｃ０Ｉ−１（ａ　７３９］、５）ボスタパーム・レッド
Ｅ　Ｇ　　　　　　　　　　　　（Ｃ−１０，／ＩＦＬ
７３９０５）リオノゲン・レッド２　Ｂ　　　　　　　
　　　　　　　（Ｃ−１−Ａｈ、　４６５００）シンカ
シア・マゼンタＲＴ　−２４３−Ｉ）シンカシア・レッ
ド・ブルーＲＴ−７９０−Ｄ（１１）　　イソインドリ
ノン系着色剤リオノゲン・イエロー３ＧＸ リオノゲン・イエローＲＸ モノライト・ネイビーＢ　Ｖ　　　　　　　　　　　　
（Ｃ１１，Ａ　７３０００）（６）　インタスレン系別
色剤 ファーストゲン・スーパー・ブルー６０１１ＡＭＡ　（
Ｃ０１，Ａ６９８００）ポリモ・ネイビーブルーＦ　Ｒ
（Ｃ，１，Ａ６９８３５）リソゾール・ブルーＧＬ（Ｃ
−１，Ａ　６９８１０）（７）　　ジオギサジン系着色
剤 クロモフタル・バイオレット■３ ファーストゲン・スーパー・バイオレットＢＢＬ　　（
Ｃ，１，点５１３］、９）（８）　　インタスレン系別
色剤 ミケスレン・イエローＧ　ＣＭ　　　　　　　　　　　
（Ｃ０Ｉ−Ａ　６７３００）ミケスレン・イエロー　　
　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，應６８４２０）ミケ
スレン・オレンジＲ（Ｃ０Ｘ−１ｆａ　７３３３５）ミ
ケスレンースカーレットＧ ミケスレン・ブリリアント・ピンクＲ（Ｃ１１，Ａ　７
３３６０）ミケスレン・ブリリアント・バイオレット１
１　Ｒ（Ｃ０Ｉ−Ａ　６００１０）ミケスレン・ブルー
３　Ｇ　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，屋６９
８４０）（９）トリフェニル・メタン系ｍ色剤 シアナル・ブルーＤ６３４０　　　　　　　　　　（Ｃ
，１，）ｌｆａ　４２５９５：２）ダイニチ・ファース
ト・ブルーＢＯＸ　　　　　　（Ｃ，１，Ａ４４０４５
：２）イルガライト・ブルーＴ　ＣＲ（Ｃ１Ｉ−Ａ　４
２１４０：１）ファナトン・ブルー６　Ｇ　　　　　　
　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　４２Ｑ２５：　１）ハロボ
ン・ブルーＲＮＮ　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，
墓４２６００：１）レフレックス・グルーＧ　　　　　
　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　４２７００：１）アルカ
リ・ブルー今トナー　　　　　　　　　　　（Ｃ−１，
Ａ　４２７５０：１）ブルー・レイク豐２４５７２　Ａ
　　　　　　　　（Ｃ−１，Ａ　４２０９０：ｌ）レフ
レックス・ブルーＧＧ　　　　　　　　　　　　（Ｃ，
１，應４２８００）レフレックス・ブルーＲＢ　　　　
　　　　　　　　（Ｃ−Ｌｌｉｘ　４２７９５）７アナ
ル・ブルーＤ６３８０ イルカライト−クリーン・ＢＮ　　　　　　　　　（Ｃ
８１，Ａ４２０４０：１）ダイニチ・ファーストグリー
ンＢ　　　　　　　　（Ｃ０■−Ａ　４２０００：２）
（１〔ニトロソ系着色剤 モノライト・クリーンＢ　　　　　　　　　　　　　（
Ｃ，１，黒１０００６）モノゾール・グリーンＢ　　　
　　　　　　　　　（Ｃ−１，Ａ１００２０８１）θ０
　フタロシアニン系顔料 外ｊフタロシアニン（α型）　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，Ｉ。黒７４１．６０）（β型） 無金属フタロシア、：＝−ン（Ｃ３１，Ａ　７４１００
）りｏ層化７タ０’／７ニン（Ｃ０Ｉ−Ａ７４２６０）
（Ｃ，１，應７４２５５） 鉛フタロシアニン 亜鉛フタロシアニン 鉄フタロシアニン 金フタロシアニン クロム７タロシアニン Ｏｚ　　分散性染料 チバセット・レッド２　Ｇ　　　　　　　　　　　　　
　（Ｃ０１，Ａ　１１２１０）ガラフィックス・レッド
Ｂ　Ｆ　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　６０７５
６）セリトン・バイオレットＢ　　　　　　　　　　　
　　（Ｃ−Ｉ−Ａ　６２０３０）セリドア　・（ｘ　ｏ
　−５Ｒ（Ｃ−Ｉ、Ａ　２６０９０）７７　シル・イエ
ロ２　ＧＷ　　　　　　　　　　　（Ｃ，Ｌｍ　４７０
２０）ミケトン・ツアースト・ブルー　　　　　　　　
　（Ｃ，１，爲６４５００）チバセット・ブルーＦ３Ｉ
も　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，、、伍６１５０５
）ガラフィックス・ブルーＦＦＲ（Ｃ０１，Ａ　６２０
３５）テラシール・ブルニ２　Ｒ（Ｃ−１−Ａ６１１１
０）カヤセット・ブルー３１８ カヤセット・ターキノイズ・ブルー７７６θ階　塩基性
染料 ローダミン６　Ｇ　ＣＰ　　　　　　　　　　　　　　
　　（Ｃ−Ｉ−Ａ　４５１６０）ローダミンＦ　３　Ｂ
　　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ１Ｉ−Ａ４５
１７４）アストラー７ｏキンＧ　　　　　　　　　　　
　　（Ｃ９１，Ａ　４８０７０）マキロン・イエロー５
　Ｇ　Ｌ　　　　　　　　　　　　（Ｃ８Ｉ−Ａ　４８
０５５）クリスタル・バイオレット　　　　　　　　　
　（Ｃ−１−Ａ４２５５５）Ｏｆ　ミンＢ　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−Ｉ−Ａ　４５１７
０）ビクトリア・ブルーＦ　Ｂ　　　　　　　　　　　
　　　（Ｃ０Ｌｌ（ｚ　４４０４５）マラカイト・グリ
ーン（Ｃ０１，Ａ　４２０００）エチルバイオレット　
　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ａ　４２６００
）ナイル・ブルー　　　　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，Ｉ−Ａ　５１１８０）ＩＪフラニンＴ　　　　　
　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，煮５０２４０）
α々　油溶性染料 カヤセットレッドＢ カヤセットブルーＡ２Ｉ克 〃　　　イエローＧ　　　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，１，煮１１８５５）〃　　ブルーＦＲ 〃　　　イエローＡＧ Ｉ　　　イエロー９６３ ビ　　ラ　ニ　　ン　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　（Ｃ，Ｉηに５９０４０）ダイヤレジ
ン・レツドエ１ タイヤレジン・ブラウンＡ ダイヤレジン・ブルーＮ スダンブルー　　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
−Ｉ−Ａ　６１５２５）ギニザリン Ｉ　　ブルー　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ１Ｉ
−Ａ　６０７２５）！　　グリーン　　　　　　　　　
　　　　（Ｃ，１，屋６１５６５）（１，ｓ　　酸性染
料 ンラー・ピュア・イエロー８　Ｇ　　　　　　　　　　
（Ｃ，１，黒５６２０５）ブルーＡ　Ｆ　Ｘ　　　　　
　　　　　（Ｃ−１，Ａ　４２０８０）フルオレセイン
　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−Ｉ−Ａ　４５
３５０）＃Ｎａ ローズベンガル　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
−１，Ａ　４５４４０）アリザリン・シアニングリーン
Ｆ’　　　　　　　　　（Ｃ，１，）７ｉ　６１５７０
）傾　建染染料 インジゴ　　　　　　　（Ｃ−１−４７３０００）テバ
・ブルー　　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ１１
，Ａ　７３０６５）インジゴゾール（Ｃ０Ｉ−ｉｆｆ；
、　７３００２）本発明で用いられる基板は［１的は保
々で特に限定はされない。

例えは、具体的に以下のものが使用できる。

カラス板、光学用（ａス脂板、ゼラチン、ポリビニルア
ルコール メチルメタクリレート、ポリエステル、ブチシール、ポ
リアミドなどのｉｆｊ１１Ｉ￥フィルト、カラーフィル
ターを適用される物と一体に形成することも可能である
。・その場合の基板の一例としては、ＣＣＵ（チャージ
・カップルド・デバイス）、ＢＢＤ（バクット・ブ．リ
グート・デバイス）、ＣＩＤ（チャ・−ジ・インジェク
ション・デバイス）＠の固体撮像素子，クラウン管表示
曲，撮像管の受光ｎｉ１，液晶ブ液晶ブイスプレー面一
カラー電子写真用感光体げられる。

次に実施例を挙けて、具体的に本発明につぃてｊｆｔｌ
’．明する。

実施Ｉ′；す１。

ガラス板を真空容器内に設置し、１′入空度１０ー６〜
１０　’１．’ｏｒｒにおいて、ローダミン６　ＧＣＰ
　（Ｃ．　１．Ａ　４５１　６０）を抵抗加熱法により
３００〜４００°Ｃに加熱し２、蒸着をイｊない４００
０人厚の着色層としブζ。ついで、ＧｃＳｚを蒸着法に
より蒸着しカルコゲンガラス層を形成した。膜厚ｅよ、
２０００人とした。

ついで、モザイク形状の露光マスクを密着させー、紫外
光でマスク露光を１分行っ／ねｆ＆、プラズマエツチン
グ装置内でｅＦ，　、を用いたプラズマエツチングを行
い、カルコケンガラス層のモ“リイク形状をＪト成した
。エツチング［１．１間は２分であった。引き続き、エ
ツチングガスを酸素に切り換えて、着色層をプラズマエ
ツチングした。

エソヂング時間は５分であった。その結果、カルコゲン
パターンマスクで保睦されたマゼンタ色の色要素が形成
された。

引きｋＡ．いて、２色目の色層として、ノルオレー秋イ
ン（Ｃ．１．煮４５３５０）を用いて、同様の方法によ
り、７　ル第１７ーｔ＝インの１”Ｓ’ｌＪ膜からなる
イエロー色の色要素が形成された。さらに回（・１ｚの
方法により、銅フタロシアニン（Ｃ．１．Ａ　７４１６
０）の蒸着ル＊からなるシアン色の色要素を加メ−、イ
エロー色，マゼンタ色，シアン色の３色からなるカラー
フィルターを形成した。

この場合、保護層として透明膜であるパターンマスク（
ＧｅＳ，）を用いたので、シアン色の色９素が形成され
た段階で、表面強度が犬で、有機溶媒，湿度等から十分
保謂された帽久件の良いカラーフィルターの製造を終了
した。

実施例２。

固体撮像素子の１０個形成されたウェハー上に実施例１
．と同様の方法で、カラーフィルターの形成を行なった
。色材とし７て、イルカジン・レッドＢＰＴ（赤色）、
スダンブルー（宵色、（Ｃ．１．屋６１５２５）　）　
、鉛フタロシアニン（緑色）を、用いた。又、この工程
中、カラーフィルターの無機保詐膜としてＡガ８３膜を
用いた。膜の形成はスパッター法により行った。

３色のカラーフ・ｒルター形成後、Ａｓ２Ｓ３膜は、透
明性に劣る（淡黄緑色）のでＣＦ、を用いたプラズマエ
ツチングにより除去し、第５図に示すけ溶融する可能性
もあり膜の耐久性を著しく損なうだめ、ＭｇＦ、を抵抗
加熱法により蒸着しく膜厚は１０００人とした）。保ｄ
へ膜を形成（７カラーフイルターの作成を完了した。

実施例１．２で得られたカラーフィルターは、構成が色
材からなる色要素と透明保設膜のみの／ζめ、簡単でし
かも平面性が良く、よって、勺光特性のむらが少なく、
光透過率の高い優れたものであった。

実７Ａｉ例３ 固体撮像素子が形成きれているウェハー上に実施例１と
同様の方法で、カラーフィルターの形成を行った。

色利とし７て、ローダミ７Ｂ（赤色、Ｃ，Ｉ。Ａ４５１
７０）。

（同フタロシアニン（￥ｆ色、　Ｃ１１，Ａ　７４１６
０　）　、　鉛７タロシアニン（緑色、）を用いた。又
、この工程中、通常の１／シストに代るレジスト（」料
とし７てＡｓ、。５３５Ｓｅ４゜’ｌ’ｅ５膜（１５０
０人）に対して′、Ａｇ　　を５００人蒸着口７た積層
部利を用いた。

その結果、高圧水銀灯に、しる紫外九露尤により１０秒
間露光を１７え、カルコゲンノブラス中へのＡｇの拡散
を行った。その結果として、拡散部分は、エツチング処
■１１！に対（〜て作用１７なくなり、モザイクパター
ン露光部分にはＡｇを拡散したカルコゲンガラスからな
るモ男イクパクーどを形成しまた〇 未露光部に残イＪするＡｇは、？ＩＮ酸第２鉄の０．５
規定溶液で１０数秒間で溶８’Ｆ除去され、次いで、用
件ソーダ０．２規定水溶液を用いて５秒で赤褐色をした
モザイクパターンの未結光部除去を終了することが出来
た。本例ｊ」１１土イイで着色層に変質を与える有機溶
媒を使うことなくｒ皮、アルカリに浸漬する時間も極く
短かいため、細管着色層を変質させることに［なかった
。

ついで、実施例２に示したように酸素カス中でプラズマ
エツチングをｆｊつた。エツチング時間は６分であった
。子の結果、Ａｇ拡ｊ１（シたカルコゲンガラスを被栓
した、各色安素が形成されだＯ 次いで、実施例２に示すＣＦ４を用いたプラズマエツチ
ングによりＡｇ拡拡散ダグコゲンカラス層の除去を行っ
た。その後、実Ｍ１ｊ例２と同様Ｍｇ、Ｆ’。

に上る保乃膜層を積層してカラーフづ〕（・ターの作成
を終了した。

実施例３では、いわゆるメタルカルコゲンを用いている
がこれは、ノノルコゲンガラスｊｐ層より高感度部月で
あること及び、カルコゲンの表面強度を史に大にする点
で特に有効である。

【図面の簡単な説明】

ｐ５Ｈ１図は色素層の形成工程図である。 第２図はカルコゲンカラス層の形成上程図である。 第３図はパターンマスクの形成工程図である。−１第４
図は色要ネ形成１．程図である。 ８１〜５図はパターンマスクの除去一工程図である。 第６図は２色目の色素）へ形成工程図である。）ＷＪ７
図はパターンマスクＪｉ＞成土稈図でろか、第８図は２
色目の色要素形成上Ｎ′ｚ図である。。 １・基根、２　色素層、：３・カノト二１ゲンガラス層
、４　パターン１スク。 出射１人　　キャッジ株式会ネ（ ヒ−１・ら出

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （＋）　　基板ヒに’ＩＮ色層を形成するＴイｆ−１）
   ｔ１゛色層トにカルコゲンカラスからなるパターンマス
   ク全形成する工程および該パターンマスクで被ヤ゛Ｑさ
   れていない部分のＡ色層にドライエツチングにより選択
   的に除去するＪ’、　ｅ！を櫓することをノー！［徴と
   するカラーフィルターの製造方１ｔ２５ｃ、