JP2003075625A - カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
カラーフィルタおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】固体撮像素子や液晶表示装置等に用いられるカ
ラーフィルタであって、微細化および薄膜化されたカラ
ーフィルタおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】光透過性の基材１上に、色素、樹脂、感光
剤および溶剤を含む感光性樹脂組成物を塗布し、塗布膜
を形成する工程と、塗布膜にマスクを介して露光を行う
工程と、塗布膜に現像を行い、塗布膜の露光部または未
露光部を除去する工程と、塗布膜の溶融および前記色素
の変質が起きない所定の温度範囲内（好適にはほぼ１０
０〜１８０℃）で加熱し、溶剤および水分を蒸発させ
て、一部の波長領域を除き可視光を透過させるフィルタ
４を形成する工程と、フィルタ４上に気相からの蒸着に
より無機質保護膜５を形成する工程とを有するカラーフ
ィルタの製造方法、およびそれにより形成されるカラー
フィルタ。
ラーフィルタであって、微細化および薄膜化されたカラ
ーフィルタおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】光透過性の基材１上に、色素、樹脂、感光
剤および溶剤を含む感光性樹脂組成物を塗布し、塗布膜
を形成する工程と、塗布膜にマスクを介して露光を行う
工程と、塗布膜に現像を行い、塗布膜の露光部または未
露光部を除去する工程と、塗布膜の溶融および前記色素
の変質が起きない所定の温度範囲内（好適にはほぼ１０
０〜１８０℃）で加熱し、溶剤および水分を蒸発させ
て、一部の波長領域を除き可視光を透過させるフィルタ
４を形成する工程と、フィルタ４上に気相からの蒸着に
より無機質保護膜５を形成する工程とを有するカラーフ
ィルタの製造方法、およびそれにより形成されるカラー
フィルタ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子や液
晶表示素子等に用いられるカラーフィルタおよびその製
造方法に関し、特に、カラーフィルタの薄膜化および微
細化が可能であるカラーフィルタの製造方法に関する。
晶表示素子等に用いられるカラーフィルタおよびその製
造方法に関し、特に、カラーフィルタの薄膜化および微
細化が可能であるカラーフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子や液晶表示素子をカラー化
するために素子上に形成されるカラーフィルタアレイと
して、基体上の同一平面に隣接して形成されたシアンフ
ィルタ層（ＣＹ）、マゼンタフィルタ層（ＭＧ）および
イエローフィルタ層（ＹＥ）からなるカラーフィルタア
レイが知られている。このようなカラーフィルタアレイ
において、それぞれのフィルタ層（ＣＹ、ＭＧ、ＹＥ）
は帯状のパターンや格子状またはモザイク状のパターン
で配置される。
するために素子上に形成されるカラーフィルタアレイと
して、基体上の同一平面に隣接して形成されたシアンフ
ィルタ層（ＣＹ）、マゼンタフィルタ層（ＭＧ）および
イエローフィルタ層（ＹＥ）からなるカラーフィルタア
レイが知られている。このようなカラーフィルタアレイ
において、それぞれのフィルタ層（ＣＹ、ＭＧ、ＹＥ）
は帯状のパターンや格子状またはモザイク状のパターン
で配置される。
【０００３】カラーフィルタアレイの製造方法として
は、種々の方法が提案されているが、特に、カラーレジ
スト法は広く実用化されている。図５および図６を参照
して、カラーレジスト法の概略を説明する。まず、図５
（ａ）に示すように、色素を含有する感光性樹脂組成物
を、光透過性の基材１上に塗布し、塗布膜２を形成す
る。次に、図５（ｂ）に示すように、塗布膜２に、所望
のカラーフィルタ層のパターンが形成されたマスク３を
介して露光を行う。
は、種々の方法が提案されているが、特に、カラーレジ
スト法は広く実用化されている。図５および図６を参照
して、カラーレジスト法の概略を説明する。まず、図５
（ａ）に示すように、色素を含有する感光性樹脂組成物
を、光透過性の基材１上に塗布し、塗布膜２を形成す
る。次に、図５（ｂ）に示すように、塗布膜２に、所望
のカラーフィルタ層のパターンが形成されたマスク３を
介して露光を行う。
【０００４】次に、図６（ｃ）に示すように、塗布膜２
を現像して、カラーフィルタ層４のパターンに加工す
る。その後、図６（ｄ）に示すように、紫外線を照射し
て、不要となった感光剤等を光分解させる（ブリーチン
グ）。さらに、例えば１８０℃程度で数１０秒〜数分程
度の加熱を行う。これにより、感光性樹脂が熱硬化す
る。
を現像して、カラーフィルタ層４のパターンに加工す
る。その後、図６（ｄ）に示すように、紫外線を照射し
て、不要となった感光剤等を光分解させる（ブリーチン
グ）。さらに、例えば１８０℃程度で数１０秒〜数分程
度の加熱を行う。これにより、感光性樹脂が熱硬化す
る。
【０００５】カラーレジスト法によれば、上記のような
感光性樹脂組成物の塗布と、露光および現像の一連の工
程を、各色のフィルタ層を形成する毎に繰り返す。最終
的には、例えば帯状や格子状等のパターンで各色のフィ
ルタ層が配置されるが、少なくとも１色のフィルタ層を
形成した後、別のフィルタ層を形成する過程で、フィル
タ層上を含む全面に感光性樹脂組成物が塗布される。し
たがって、フィルタ層には、感光性樹脂組成物に含まれ
る溶剤に対する耐溶剤性が要求される。上記の従来の製
造方法によれば、樹脂を加熱硬化させることにより、カ
ラーフィルタに耐溶剤性を付与している。
感光性樹脂組成物の塗布と、露光および現像の一連の工
程を、各色のフィルタ層を形成する毎に繰り返す。最終
的には、例えば帯状や格子状等のパターンで各色のフィ
ルタ層が配置されるが、少なくとも１色のフィルタ層を
形成した後、別のフィルタ層を形成する過程で、フィル
タ層上を含む全面に感光性樹脂組成物が塗布される。し
たがって、フィルタ層には、感光性樹脂組成物に含まれ
る溶剤に対する耐溶剤性が要求される。上記の従来の製
造方法によれば、樹脂を加熱硬化させることにより、カ
ラーフィルタに耐溶剤性を付与している。
【０００６】カラーレジスト法には、色素として顔料を
含む感光性樹脂組成物が広く用いられている。ここで、
顔料は無機顔料と有機顔料の両方を含み、感光性樹脂組
成物に不溶であって、粒状で分散する色素をさす。顔料
は、現像液に溶解しないために、現像残渣が生じるとい
う問題がある。したがって、顔料を含む感光性樹脂組成
物は、微細なパターンの形成には不向きであった。
含む感光性樹脂組成物が広く用いられている。ここで、
顔料は無機顔料と有機顔料の両方を含み、感光性樹脂組
成物に不溶であって、粒状で分散する色素をさす。顔料
は、現像液に溶解しないために、現像残渣が生じるとい
う問題がある。したがって、顔料を含む感光性樹脂組成
物は、微細なパターンの形成には不向きであった。
【０００７】微細なパターンのカラーフィルタアレイを
形成できる感光性樹脂組成物として、染料を含む感光性
樹脂組成物も知られている。ここで、染料は感光性樹脂
組成物に可溶な有機色素をさす。例えば、特開平６−７
５３７５号公報には、染料を含有するネガ型感光性樹脂
組成物が記載されている。また、特公平７−１１１４８
５号公報には、染料を乾燥時の重量比（溶剤を除いた重
量比）で組成物の１０〜５０％含有するポジ型感光性樹
脂組成物が記載されている。
形成できる感光性樹脂組成物として、染料を含む感光性
樹脂組成物も知られている。ここで、染料は感光性樹脂
組成物に可溶な有機色素をさす。例えば、特開平６−７
５３７５号公報には、染料を含有するネガ型感光性樹脂
組成物が記載されている。また、特公平７−１１１４８
５号公報には、染料を乾燥時の重量比（溶剤を除いた重
量比）で組成物の１０〜５０％含有するポジ型感光性樹
脂組成物が記載されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】近年、固体撮像素子の
画素数の増加に伴い、画素サイズが縮小されており、カ
ラーフィルタアレイの微細化技術が必須となっている。
また、画素サイズの縮小に対応したカラーフィルタの薄
膜化も、固体撮像素子の集光性を向上させるために必須
である。
画素数の増加に伴い、画素サイズが縮小されており、カ
ラーフィルタアレイの微細化技術が必須となっている。
また、画素サイズの縮小に対応したカラーフィルタの薄
膜化も、固体撮像素子の集光性を向上させるために必須
である。
【０００９】カラーレジスト法においてカラーフィルタ
を薄膜化するためには、樹脂組成物に対する色素の含有
比を可能な限り高くすることが効果的である。前述した
特公平７−１１１４８５号公報の実施例には、最大染料
含有比２５．９％のポジ型感光性樹脂組成物が示されて
いる。
を薄膜化するためには、樹脂組成物に対する色素の含有
比を可能な限り高くすることが効果的である。前述した
特公平７−１１１４８５号公報の実施例には、最大染料
含有比２５．９％のポジ型感光性樹脂組成物が示されて
いる。
【００１０】しかしながら、染料の含有比を５０％近く
にすると、露光および現像により所望のパターン形状を
得ることはできるが、樹脂組成物を熱硬化させるのが困
難となる。したがって、カラーフィルタ層の耐溶剤性が
悪くなり、次の工程で別の色のカラーフィルタ層を形成
するための染料含有感光性樹脂組成物を塗布できなくな
る。また、十分な耐溶剤性をもたせるために、より高温
（例えば２００℃以上）で熱硬化させると、カラーフィ
ルタがリフローしたり、熱により染料が化学的に変化し
て、本来の分光特性を示さなくなったりする。
にすると、露光および現像により所望のパターン形状を
得ることはできるが、樹脂組成物を熱硬化させるのが困
難となる。したがって、カラーフィルタ層の耐溶剤性が
悪くなり、次の工程で別の色のカラーフィルタ層を形成
するための染料含有感光性樹脂組成物を塗布できなくな
る。また、十分な耐溶剤性をもたせるために、より高温
（例えば２００℃以上）で熱硬化させると、カラーフィ
ルタがリフローしたり、熱により染料が化学的に変化し
て、本来の分光特性を示さなくなったりする。
【００１１】熱硬化を容易にするための方法として、特
開平７−７２３２３号公報には、例えばメラミン化合物
等の熱硬化剤を染料含有感光性樹脂に添加することが記
載されている。しかしながら、この方法によっても染料
含有比が５０％以上となると、十分な耐溶剤性を有する
カラーフィルタを形成することは困難である。また、熱
硬化剤を固形分中に１０〜２０％程度含有するため、染
料含有量を増やすのが難しく、カラーフィルタの薄膜化
に適さない。
開平７−７２３２３号公報には、例えばメラミン化合物
等の熱硬化剤を染料含有感光性樹脂に添加することが記
載されている。しかしながら、この方法によっても染料
含有比が５０％以上となると、十分な耐溶剤性を有する
カラーフィルタを形成することは困難である。また、熱
硬化剤を固形分中に１０〜２０％程度含有するため、染
料含有量を増やすのが難しく、カラーフィルタの薄膜化
に適さない。
【００１２】カラーフィルタの薄膜化に最も適した方法
として、色素を蒸着法等により成膜し、その後、リフト
オフ法等でパターン形成する方法が知られている。この
方法によれば、膜厚５００ｎｍ以下のカラーフィルタが
得られる。しかしながら、パターン形成のためのプロセ
スが複雑であり、カラーフィルタの微細化に適さない。
として、色素を蒸着法等により成膜し、その後、リフト
オフ法等でパターン形成する方法が知られている。この
方法によれば、膜厚５００ｎｍ以下のカラーフィルタが
得られる。しかしながら、パターン形成のためのプロセ
スが複雑であり、カラーフィルタの微細化に適さない。
【００１３】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
のであり、したがって本発明は、カラーフィルタの微細
化および薄膜化が可能であるカラーフィルタおよびその
製造方法を提供することを目的とする。
のであり、したがって本発明は、カラーフィルタの微細
化および薄膜化が可能であるカラーフィルタおよびその
製造方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のカラーフィルタは、光透過性の基材と、前
記基材上に、色素を含む感光性樹脂組成物を塗付して形
成されたフィルタであって、一部の波長領域を除き可視
光を透過させる前記フィルタと、前記フィルタ上に形成
された保護膜とを有することを特徴とする。好適には、
前記保護膜は気相からの蒸着により形成された無機質保
護膜を含む。さらに好適には、前記保護膜はシリコン酸
化膜を含む。好適には、前記色素は、前記感光性樹脂組
成物に可溶な有機化合物からなる染料を含む。
め、本発明のカラーフィルタは、光透過性の基材と、前
記基材上に、色素を含む感光性樹脂組成物を塗付して形
成されたフィルタであって、一部の波長領域を除き可視
光を透過させる前記フィルタと、前記フィルタ上に形成
された保護膜とを有することを特徴とする。好適には、
前記保護膜は気相からの蒸着により形成された無機質保
護膜を含む。さらに好適には、前記保護膜はシリコン酸
化膜を含む。好適には、前記色素は、前記感光性樹脂組
成物に可溶な有機化合物からなる染料を含む。
【００１５】本発明のカラーフィルタは、好適には、前
記基材上に、他の一部の波長領域を除き可視光を透過さ
せる他のフィルタをさらに有する。好適には、前記基材
は固体撮像素子のオン・チップ・レンズを含む。あるい
は、好適には、前記基材は液晶表示装置の電極を含む。
記基材上に、他の一部の波長領域を除き可視光を透過さ
せる他のフィルタをさらに有する。好適には、前記基材
は固体撮像素子のオン・チップ・レンズを含む。あるい
は、好適には、前記基材は液晶表示装置の電極を含む。
【００１６】これにより、高温の熱処理により感光性樹
脂組成物の塗布膜を熱硬化させなくても、フィルタの耐
溶剤性を高くすることができる。本発明のカラーフィル
タは、高温の熱処理を行わずに形成されるため、フィル
タ中の色素（染料）含有比を高くでき、フィルタを薄膜
化できる。
脂組成物の塗布膜を熱硬化させなくても、フィルタの耐
溶剤性を高くすることができる。本発明のカラーフィル
タは、高温の熱処理を行わずに形成されるため、フィル
タ中の色素（染料）含有比を高くでき、フィルタを薄膜
化できる。
【００１７】さらに、上記の目的を達成するため、本発
明のカラーフィルタの製造方法は、光透過性の基材上
に、色素、樹脂、感光剤および溶剤を含む第１の感光性
樹脂組成物を塗布し、第１の塗布膜を形成する工程と、
前記第１の塗布膜に、所定のパターンが形成されたマス
クを介して露光を行う工程と、前記第１の塗布膜に現像
を行い、前記第１の塗布膜の露光部または未露光部を除
去する工程と、前記第１の塗布膜の溶融および前記色素
の変質が起きない所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤
を蒸発させて、一部の波長領域を除き可視光を透過させ
る第１のフィルタを形成する工程と、前記第１のフィル
タ上に、気相からの蒸着により第１の無機質保護膜を形
成する工程とを有することを特徴とする。
明のカラーフィルタの製造方法は、光透過性の基材上
に、色素、樹脂、感光剤および溶剤を含む第１の感光性
樹脂組成物を塗布し、第１の塗布膜を形成する工程と、
前記第１の塗布膜に、所定のパターンが形成されたマス
クを介して露光を行う工程と、前記第１の塗布膜に現像
を行い、前記第１の塗布膜の露光部または未露光部を除
去する工程と、前記第１の塗布膜の溶融および前記色素
の変質が起きない所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤
を蒸発させて、一部の波長領域を除き可視光を透過させ
る第１のフィルタを形成する工程と、前記第１のフィル
タ上に、気相からの蒸着により第１の無機質保護膜を形
成する工程とを有することを特徴とする。
【００１８】好適には、前記所定の温度範囲はほぼ１０
０〜１８０℃である。好適には、前記無機質保護膜を形
成する工程は、化学気相成長（ＣＶＤ）を含む。あるい
は、好適には、前記無機質保護膜を形成する工程は、物
理的蒸着（ＰＶＤ）を含む。さらに好適には、前記無機
質保護膜を形成する工程は、スパッタリングを含む。
０〜１８０℃である。好適には、前記無機質保護膜を形
成する工程は、化学気相成長（ＣＶＤ）を含む。あるい
は、好適には、前記無機質保護膜を形成する工程は、物
理的蒸着（ＰＶＤ）を含む。さらに好適には、前記無機
質保護膜を形成する工程は、スパッタリングを含む。
【００１９】本発明のカラーフィルタの製造方法は、好
適には、前記第１の無機質保護膜を形成後、前記基材上
に前記第１のフィルタおよび前記第１の無機質保護膜を
介して、他の色素を含む第２の感光性樹脂組成物を塗布
し、第２の塗布膜を形成する工程と、前記第２の塗布膜
に、所定のパターンが形成されたマスクを介して露光を
行う工程と、前記第２の塗布膜に現像を行い、前記第２
の塗布膜の露光部または未露光部を除去する工程と、前
記第２の塗布膜の溶融および前記他の色素の変質が起き
ない所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤を蒸発させ
て、前記第１のフィルタと異なる一部の波長領域を除き
可視光を透過させる第２のフィルタを形成する工程と、
前記第２のフィルタ上に、気相からの蒸着により第２の
無機質保護膜を形成する工程とをさらに有する。
適には、前記第１の無機質保護膜を形成後、前記基材上
に前記第１のフィルタおよび前記第１の無機質保護膜を
介して、他の色素を含む第２の感光性樹脂組成物を塗布
し、第２の塗布膜を形成する工程と、前記第２の塗布膜
に、所定のパターンが形成されたマスクを介して露光を
行う工程と、前記第２の塗布膜に現像を行い、前記第２
の塗布膜の露光部または未露光部を除去する工程と、前
記第２の塗布膜の溶融および前記他の色素の変質が起き
ない所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤を蒸発させ
て、前記第１のフィルタと異なる一部の波長領域を除き
可視光を透過させる第２のフィルタを形成する工程と、
前記第２のフィルタ上に、気相からの蒸着により第２の
無機質保護膜を形成する工程とをさらに有する。
【００２０】これにより、第１のフィルタを高温で熱硬
化させなくても、第１のフィルタに耐溶剤性が付与され
る。したがって、第１のフィルタ上に第２のフィルタを
形成する際、感光性樹脂組成物あるいは現像液によっ
て、下地の第１のフィルタが損傷を受けるのを防止でき
る。また、本発明のフィルタの製造方法によれば、感光
性樹脂組成物の塗布膜を高温で熱硬化させる必要がなく
なり、フィルタ中の色素含有比を高くできる。したがっ
て、従来より薄膜化されたカラーフィルタを形成するこ
とが可能となる。
化させなくても、第１のフィルタに耐溶剤性が付与され
る。したがって、第１のフィルタ上に第２のフィルタを
形成する際、感光性樹脂組成物あるいは現像液によっ
て、下地の第１のフィルタが損傷を受けるのを防止でき
る。また、本発明のフィルタの製造方法によれば、感光
性樹脂組成物の塗布膜を高温で熱硬化させる必要がなく
なり、フィルタ中の色素含有比を高くできる。したがっ
て、従来より薄膜化されたカラーフィルタを形成するこ
とが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下に、本発明のカラーフィルタ
の製造方法の実施の形態について、図面を参照して説明
する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーレ
ジスト法によりカラーフィルタを製造する方法であっ
て、感光性樹脂組成物として色素、感光剤およびアルカ
リ可溶性樹脂を含み、熱硬化剤を含まない組成物を用い
る。
の製造方法の実施の形態について、図面を参照して説明
する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーレ
ジスト法によりカラーフィルタを製造する方法であっ
て、感光性樹脂組成物として色素、感光剤およびアルカ
リ可溶性樹脂を含み、熱硬化剤を含まない組成物を用い
る。
【００２２】色素としては、感光性樹脂組成物に可溶な
色素を用い、特に、有機化合物からなる染料が好適であ
る。また、本発明のカラーフィルタの製造方法によれ
ば、熱硬化剤を含まない感光性樹脂組成物を用いるた
め、染料含有比を高くすることが可能である。これによ
り、カラーフィルタを薄膜化できる。
色素を用い、特に、有機化合物からなる染料が好適であ
る。また、本発明のカラーフィルタの製造方法によれ
ば、熱硬化剤を含まない感光性樹脂組成物を用いるた
め、染料含有比を高くすることが可能である。これによ
り、カラーフィルタを薄膜化できる。
【００２３】アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ性の現像
液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物に
用いられるものと同様のアルカリ可溶性樹脂を用いるこ
とができる。具体的には、例えば、ｐ−クレゾールのノ
ボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ−クレゾールとのノ
ボラック樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニ
ルフェノールとの共重合体等が挙げられる。アルカリ可
溶性樹脂としては、ノボラック樹脂が特に好適に用いら
れる。
液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物に
用いられるものと同様のアルカリ可溶性樹脂を用いるこ
とができる。具体的には、例えば、ｐ−クレゾールのノ
ボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ−クレゾールとのノ
ボラック樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニ
ルフェノールとの共重合体等が挙げられる。アルカリ可
溶性樹脂としては、ノボラック樹脂が特に好適に用いら
れる。
【００２４】感光剤としては、通常の感光性樹脂組成物
に用いられるものと同様の感光剤を用いることができ、
例えばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物とのエステル等を用いることができる。
ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としてはｏ
−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフト
キノンジアジド−４−スルホン酸等が挙げられる。
に用いられるものと同様の感光剤を用いることができ、
例えばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物とのエステル等を用いることができる。
ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としてはｏ
−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフト
キノンジアジド−４−スルホン酸等が挙げられる。
【００２５】感光性樹脂組成物は、通常、溶剤によって
希釈されて用いられる。溶剤は、用いられる色素、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂の溶解度に応じて適宜選択す
る。溶剤としては、例えば、メチルセロソルブ、エチル
セロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロ
ソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエー
テル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ−メチル
ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸プロピレングリ
コールモノエチルエーテル、ピルビン酸エチル、乳酸エ
チル等を用いることができる。これらの溶剤はそれぞれ
単独または２種以上を混合して用いられる。溶剤の使用
量は色素、感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１
００重量部に対して、通常、１８０〜４００重量部程度
である。
希釈されて用いられる。溶剤は、用いられる色素、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂の溶解度に応じて適宜選択す
る。溶剤としては、例えば、メチルセロソルブ、エチル
セロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロ
ソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエー
テル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ−メチル
ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸プロピレングリ
コールモノエチルエーテル、ピルビン酸エチル、乳酸エ
チル等を用いることができる。これらの溶剤はそれぞれ
単独または２種以上を混合して用いられる。溶剤の使用
量は色素、感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１
００重量部に対して、通常、１８０〜４００重量部程度
である。
【００２６】（実施例１〜３）固形分中の色素含有比を
増やしたとき、形成されるカラーフィルタの形状および
耐溶剤性がどのように変化するか調べるため、下記の表
１のＡ〜Ｃに示す組成を有する感光性樹脂組成物を調整
した。実施例１ではＡの組成物を用い、実施例２ではＢ
の組成物を用い、実施例３ではＣの組成物を用いた。樹
脂としてはノボラック樹脂を用いた。感光剤としてはキ
ノンアジド化合物を用いた。色素としては銅フタロシア
ニン誘導体を用いた。溶剤としては乳酸エチル：Ｎ，
Ｎ’−ジメチルホルムアミド＝７：３の混合溶剤を用い
た。それぞれ所定の膜厚で基材上に塗布した後、フォト
リソグラフィー法によりパターン形成した。塗布膜厚
は、分光特性が等しくなるようにそれぞれ調整した。
増やしたとき、形成されるカラーフィルタの形状および
耐溶剤性がどのように変化するか調べるため、下記の表
１のＡ〜Ｃに示す組成を有する感光性樹脂組成物を調整
した。実施例１ではＡの組成物を用い、実施例２ではＢ
の組成物を用い、実施例３ではＣの組成物を用いた。樹
脂としてはノボラック樹脂を用いた。感光剤としてはキ
ノンアジド化合物を用いた。色素としては銅フタロシア
ニン誘導体を用いた。溶剤としては乳酸エチル：Ｎ，
Ｎ’−ジメチルホルムアミド＝７：３の混合溶剤を用い
た。それぞれ所定の膜厚で基材上に塗布した後、フォト
リソグラフィー法によりパターン形成した。塗布膜厚
は、分光特性が等しくなるようにそれぞれ調整した。
【００２７】
【表１】
【００２８】以下、本実施形態のカラーフィルタの製造
方法を説明する。まず、図１（ａ）に示すように、基材
１上に実施例１〜３の組成物をスピンコートにより塗布
し、塗布膜２を形成した。その後、１００℃、６０秒の
熱処理を行い、溶剤をある程度、蒸発させた。
方法を説明する。まず、図１（ａ）に示すように、基材
１上に実施例１〜３の組成物をスピンコートにより塗布
し、塗布膜２を形成した。その後、１００℃、６０秒の
熱処理を行い、溶剤をある程度、蒸発させた。
【００２９】次に、図１（ｂ）に示すように、ｉ線露光
機において１μｍ幅のライン・アンド・スペースのマス
クパターン３を介して露光を行った。その後、アルカリ
現像液を用いて現像し、水洗を行ってから、乾燥させ
た。これにより、図１（ｃ）に示すように、カラーフィ
ルタ層４のパターンが形成された。
機において１μｍ幅のライン・アンド・スペースのマス
クパターン３を介して露光を行った。その後、アルカリ
現像液を用いて現像し、水洗を行ってから、乾燥させ
た。これにより、図１（ｃ）に示すように、カラーフィ
ルタ層４のパターンが形成された。
【００３０】次に、図２（ｄ）に示すように、紫外線を
照射して、カラーフィルタ層４中に残存する感光剤を分
解した。次に、１５０℃、１２０秒の熱処理を行い、カ
ラーフィルタ層４に含まれる溶剤や水分を蒸発させた。
従来のカラーフィルタの製造方法によれば、紫外線照射
後、樹脂を熱硬化させる目的で１８０℃以上、例えば２
００℃の加熱が行われていた。それに対し、本実施形態
のカラーフィルタの製造方法によれば、紫外線照射後の
加熱を、溶剤が蒸発する範囲で極力低温で行うことが望
ましい。
照射して、カラーフィルタ層４中に残存する感光剤を分
解した。次に、１５０℃、１２０秒の熱処理を行い、カ
ラーフィルタ層４に含まれる溶剤や水分を蒸発させた。
従来のカラーフィルタの製造方法によれば、紫外線照射
後、樹脂を熱硬化させる目的で１８０℃以上、例えば２
００℃の加熱が行われていた。それに対し、本実施形態
のカラーフィルタの製造方法によれば、紫外線照射後の
加熱を、溶剤が蒸発する範囲で極力低温で行うことが望
ましい。
【００３１】実施例１〜３においては、続く工程で低温
プラズマＣＶＤを行う際に、基材１が１５０℃程度に加
熱されるため、それを超えない温度で溶剤や水分を蒸発
させた。その後、図２（ｅ）に示すように、低温プラズ
マＣＶＤにより、カラーフィルタ層４上に保護膜５とし
て膜厚５０ｎｍのＳｉＯ2 層を形成した。
プラズマＣＶＤを行う際に、基材１が１５０℃程度に加
熱されるため、それを超えない温度で溶剤や水分を蒸発
させた。その後、図２（ｅ）に示すように、低温プラズ
マＣＶＤにより、カラーフィルタ層４上に保護膜５とし
て膜厚５０ｎｍのＳｉＯ2 層を形成した。
【００３２】なお、保護膜５はＳｉＯ2 層に限定され
ず、可視光を透過する材料であれば、ＳｉＯ2 以外の材
料からなる層を用いることができる。但し、例えばＳｉ
Ｎ等、短波長側に吸収を有する材料の場合、保護膜５を
厚くすると、吸収の影響が大きくなる。このような吸収
の問題を回避できることと成膜の容易さから、保護膜５
としてはＳｉＯ2 が特に好適に用いられる。
ず、可視光を透過する材料であれば、ＳｉＯ2 以外の材
料からなる層を用いることができる。但し、例えばＳｉ
Ｎ等、短波長側に吸収を有する材料の場合、保護膜５を
厚くすると、吸収の影響が大きくなる。このような吸収
の問題を回避できることと成膜の容易さから、保護膜５
としてはＳｉＯ2 が特に好適に用いられる。
【００３３】上記のような方法で形成されたカラーフィ
ルタの耐溶剤性試験を行った。耐溶剤性試験において
は、まず、カラーフィルタ層４および保護膜５が形成さ
れた基材１（図２（ｅ）参照）を、有機溶剤中に１分間
浸漬した。次に、１００℃、６０秒の熱処理を行ってカ
ラーフィルタ層４を乾燥させた。有機溶剤に浸漬する前
の全厚（カラーフィルタ層４と保護膜５の合計の膜厚）
と、有機溶剤に浸漬し、乾燥させた後の全厚をそれぞれ
測定し、残膜率を算出した。
ルタの耐溶剤性試験を行った。耐溶剤性試験において
は、まず、カラーフィルタ層４および保護膜５が形成さ
れた基材１（図２（ｅ）参照）を、有機溶剤中に１分間
浸漬した。次に、１００℃、６０秒の熱処理を行ってカ
ラーフィルタ層４を乾燥させた。有機溶剤に浸漬する前
の全厚（カラーフィルタ層４と保護膜５の合計の膜厚）
と、有機溶剤に浸漬し、乾燥させた後の全厚をそれぞれ
測定し、残膜率を算出した。
【００３４】実施例１〜３のカラーフィルタによれば、
耐溶剤性試験において、カラーフィルタの膜厚は減少せ
ず、パターン形状も維持された。また、加熱による色素
の変質が防止されたため、カラーフィルタの所望の分光
特性が得られた。
耐溶剤性試験において、カラーフィルタの膜厚は減少せ
ず、パターン形状も維持された。また、加熱による色素
の変質が防止されたため、カラーフィルタの所望の分光
特性が得られた。
【００３５】（比較例１〜３）上記の実施例１〜３と同
様に、表１のＡ〜Ｃの組成を有する感光性樹脂組成物を
用いて、従来の製造方法によりカラーフィルタを形成し
た。比較例１ではＡの組成物を用い、比較例２ではＢの
組成物を用い、比較例３ではＣの組成物を用いた。
様に、表１のＡ〜Ｃの組成を有する感光性樹脂組成物を
用いて、従来の製造方法によりカラーフィルタを形成し
た。比較例１ではＡの組成物を用い、比較例２ではＢの
組成物を用い、比較例３ではＣの組成物を用いた。
【００３６】実施例１〜３と同様に、基材上に組成物を
塗布し（図５（ａ）参照）、露光（図５（ｂ）参照）お
よび現像（図６（ｃ）参照）を行った後、紫外線を照射
して感光剤を分解させた（図６（ｄ）参照）。次に、実
施例１〜３よりも高温で熱処理を行い、樹脂を熱硬化さ
せた。熱処理の条件は１８０℃、１２０秒とした。その
後、実施例１〜３で形成されるような保護膜（図１
（ｅ）参照）は形成しなかった。
塗布し（図５（ａ）参照）、露光（図５（ｂ）参照）お
よび現像（図６（ｃ）参照）を行った後、紫外線を照射
して感光剤を分解させた（図６（ｄ）参照）。次に、実
施例１〜３よりも高温で熱処理を行い、樹脂を熱硬化さ
せた。熱処理の条件は１８０℃、１２０秒とした。その
後、実施例１〜３で形成されるような保護膜（図１
（ｅ）参照）は形成しなかった。
【００３７】比較例１〜３のカラーフィルタについて、
実施例１〜３と同様に耐溶剤性試験を行った。比較例１
〜３では保護膜を形成しなかったため、カラーフィルタ
層４の膜厚を全厚として、残膜率を算出した。その結
果、残膜率は比較例１が９９％、比較例２が９５％、比
較例３が７０％となった。
実施例１〜３と同様に耐溶剤性試験を行った。比較例１
〜３では保護膜を形成しなかったため、カラーフィルタ
層４の膜厚を全厚として、残膜率を算出した。その結
果、残膜率は比較例１が９９％、比較例２が９５％、比
較例３が７０％となった。
【００３８】耐溶剤性試験の結果から、熱硬化を例えば
１８０℃以上の高温で行い、保護膜を形成しなかった場
合（比較例１〜３）には、色素含有比を高くするほど耐
溶剤性が悪化することが明らかとなった。また、残膜率
が低下するほど、カラーフィルタの分光特性の変化は大
きくなった。比較例１および比較例２のカラーフィルタ
の分光特性は、実用できる許容範囲内となったが、比較
例３のカラーフィルタにおいては、所望の分光特性が得
られなかった。
１８０℃以上の高温で行い、保護膜を形成しなかった場
合（比較例１〜３）には、色素含有比を高くするほど耐
溶剤性が悪化することが明らかとなった。また、残膜率
が低下するほど、カラーフィルタの分光特性の変化は大
きくなった。比較例１および比較例２のカラーフィルタ
の分光特性は、実用できる許容範囲内となったが、比較
例３のカラーフィルタにおいては、所望の分光特性が得
られなかった。
【００３９】上記の比較例１〜３において、熱硬化をよ
り十分に行い、耐溶剤性を上げる目的で、紫外線照射後
の熱処理をさらに高温で行った。具体的には１８０℃、
２０秒の熱処理を２００℃または２２０℃に変更し、そ
れぞれ１２０秒の熱処理を行った。
り十分に行い、耐溶剤性を上げる目的で、紫外線照射後
の熱処理をさらに高温で行った。具体的には１８０℃、
２０秒の熱処理を２００℃または２２０℃に変更し、そ
れぞれ１２０秒の熱処理を行った。
【００４０】この場合のカラーフィルタの耐溶剤性を上
記と同様の方法で試験したが、耐溶剤性は改善されなか
った。また、加熱温度を高くしたことにより、カラーフ
ィルタ層４がリフローして形状が悪化した。さらに、高
温での加熱により色素が化学的に変化して、比較例１〜
３のすべてで所望の分光特性が得られなかった。
記と同様の方法で試験したが、耐溶剤性は改善されなか
った。また、加熱温度を高くしたことにより、カラーフ
ィルタ層４がリフローして形状が悪化した。さらに、高
温での加熱により色素が化学的に変化して、比較例１〜
３のすべてで所望の分光特性が得られなかった。
【００４１】従来のカラーフィルタの製造方法によれ
ば、カラーフィルタ層４を高温で熱硬化させ、カラーフ
ィルタに耐溶剤性を付与していた。しかしながら、比較
例１〜３に示すように、カラーフィルタ層４を高温で熱
硬化させた場合、色素含有比が高いほど、実用上の問題
が大きくなる。
ば、カラーフィルタ層４を高温で熱硬化させ、カラーフ
ィルタに耐溶剤性を付与していた。しかしながら、比較
例１〜３に示すように、カラーフィルタ層４を高温で熱
硬化させた場合、色素含有比が高いほど、実用上の問題
が大きくなる。
【００４２】加熱温度を１８０℃としたとき、比較例１
および比較例２で実用可能な分光特性が得られたことか
ら、比較例での色素含有比の上限は乾燥重量比で３５％
（組成物Ｂを用いた比較例２に相当）とみなせる。この
とき、カラーフィルタ層４の膜厚は１．５μｍであっ
た。
および比較例２で実用可能な分光特性が得られたことか
ら、比較例での色素含有比の上限は乾燥重量比で３５％
（組成物Ｂを用いた比較例２に相当）とみなせる。この
とき、カラーフィルタ層４の膜厚は１．５μｍであっ
た。
【００４３】それに対し、本発明の実施形態に対応する
実施例１〜３によれば、色素含有比を乾燥重量比で５０
％程度まで高くした場合（組成物Ｃを用いた実施例３に
相当）にも、実用上問題ないカラーフィルタが形成され
た。このとき、カラーフィルタ層４の膜厚は１．０μｍ
であり、カラーフィルタ層４と保護膜５の膜厚を合わせ
ても１．０５μｍである。したがって、従来のカラーフ
ィルタの製造方法に比較して、カラーフィルタを著しく
薄膜化できる。なお、実施例１〜３においては、従来の
カラーフィルタの製造方法（比較例１〜３）と同等の精
度で、線幅１．０μｍのパターンを形成することができ
た。
実施例１〜３によれば、色素含有比を乾燥重量比で５０
％程度まで高くした場合（組成物Ｃを用いた実施例３に
相当）にも、実用上問題ないカラーフィルタが形成され
た。このとき、カラーフィルタ層４の膜厚は１．０μｍ
であり、カラーフィルタ層４と保護膜５の膜厚を合わせ
ても１．０５μｍである。したがって、従来のカラーフ
ィルタの製造方法に比較して、カラーフィルタを著しく
薄膜化できる。なお、実施例１〜３においては、従来の
カラーフィルタの製造方法（比較例１〜３）と同等の精
度で、線幅１．０μｍのパターンを形成することができ
た。
【００４４】（実施例４）実施例４においては、実施例
１〜３で形成されたカラーフィルタ上に、異なる色素を
含有する他の感光性樹脂組成物を塗布し、同一の基材１
上に別の色のカラーフィルタをさらに形成した。
１〜３で形成されたカラーフィルタ上に、異なる色素を
含有する他の感光性樹脂組成物を塗布し、同一の基材１
上に別の色のカラーフィルタをさらに形成した。
【００４５】まず、実施例１〜３に示すように、シアン
フィルタ層（ＣＹ）を所定のパターンで形成した。図３
（ａ）に示すように、基材１上の一部にシアンフィルタ
層４ＣＹが形成され、基材１およびシアンフィルタ層４
ＣＹを被覆するように、保護膜５ａとしてＳｉＯ2 層が
形成された。
フィルタ層（ＣＹ）を所定のパターンで形成した。図３
（ａ）に示すように、基材１上の一部にシアンフィルタ
層４ＣＹが形成され、基材１およびシアンフィルタ層４
ＣＹを被覆するように、保護膜５ａとしてＳｉＯ2 層が
形成された。
【００４６】次に、図３（ｂ）に示すように、全面にマ
ゼンタフィルタ層（ＭＧ）用の染料を含有する感光性樹
脂組成物を塗布し、塗布膜２ＭＧを形成した。この塗布
は、実施例１〜３と同様に、例えばスピンコートにより
行うことができる。その後、１００℃、６０秒の熱処理
を行い、塗布膜２ＭＧ中の溶剤をある程度、蒸発させ
た。
ゼンタフィルタ層（ＭＧ）用の染料を含有する感光性樹
脂組成物を塗布し、塗布膜２ＭＧを形成した。この塗布
は、実施例１〜３と同様に、例えばスピンコートにより
行うことができる。その後、１００℃、６０秒の熱処理
を行い、塗布膜２ＭＧ中の溶剤をある程度、蒸発させ
た。
【００４７】次に、図３（ｃ）に示すように、マゼンタ
フィルタ層（ＭＧ）用のマスクパターン３ＭＧを介し
て、塗布膜２ＭＧに露光を行った。続いて、図４（ｄ）
に示すように、アルカリ現像液を用いて現像し、塗布膜
２ＭＧのうち、露光部を除去した。その後、水洗を行
い、乾燥させることにより、マゼンタフィルタ層４ＭＧ
が形成された。
フィルタ層（ＭＧ）用のマスクパターン３ＭＧを介し
て、塗布膜２ＭＧに露光を行った。続いて、図４（ｄ）
に示すように、アルカリ現像液を用いて現像し、塗布膜
２ＭＧのうち、露光部を除去した。その後、水洗を行
い、乾燥させることにより、マゼンタフィルタ層４ＭＧ
が形成された。
【００４８】次に、図４（ｅ）に示すように、低温プラ
ズマＣＶＤにより、カラーフィルタ層４ＭＧ上を含む全
面に、保護膜５ｂとしてＳｉＯ2 層を形成した。以上の
ように、１色目のシアンフィルタ層４ＣＹを形成した
後、２色目のマゼンタフィルタ層４ＭＧが形成された。
１色目のシアンフィルタ層４ＣＹ上に保護膜５ａが形成
されていることにより、シアンフィルタ層４ＣＹの耐溶
剤性が高められる。
ズマＣＶＤにより、カラーフィルタ層４ＭＧ上を含む全
面に、保護膜５ｂとしてＳｉＯ2 層を形成した。以上の
ように、１色目のシアンフィルタ層４ＣＹを形成した
後、２色目のマゼンタフィルタ層４ＭＧが形成された。
１色目のシアンフィルタ層４ＣＹ上に保護膜５ａが形成
されていることにより、シアンフィルタ層４ＣＹの耐溶
剤性が高められる。
【００４９】したがって、２色目の感光性樹脂組成物を
塗布しても、組成物中の有機溶剤で１色目のシアンフィ
ルタ層４ＣＹの損傷は防止された。また、２色目のマゼ
ンタフィルタ層４ＭＧの現像工程においても、アルカリ
現像液による下地のシアンフィルタ層４ＣＹの損傷が防
止された。
塗布しても、組成物中の有機溶剤で１色目のシアンフィ
ルタ層４ＣＹの損傷は防止された。また、２色目のマゼ
ンタフィルタ層４ＭＧの現像工程においても、アルカリ
現像液による下地のシアンフィルタ層４ＣＹの損傷が防
止された。
【００５０】図示しないが、同様の工程を繰り返すこと
により、シアンフィルタ層４ＣＹとマゼンタフィルタ層
４ＭＧ以外の領域に、３色目のカラーフィルタ層として
イエローフィルタ層（ＹＥ）を形成することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、各色のカ
ラーフィルタ層の薄膜化が可能なため、実施例４のよう
に多色のカラーフィルタ層を形成する場合、カラーフィ
ルタの全厚が著しく薄膜化される。
により、シアンフィルタ層４ＣＹとマゼンタフィルタ層
４ＭＧ以外の領域に、３色目のカラーフィルタ層として
イエローフィルタ層（ＹＥ）を形成することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、各色のカ
ラーフィルタ層の薄膜化が可能なため、実施例４のよう
に多色のカラーフィルタ層を形成する場合、カラーフィ
ルタの全厚が著しく薄膜化される。
【００５１】上記の本発明の実施形態のカラーフィルタ
およびその製造方法によれば、無機質保護膜を形成する
ことにより、耐溶剤性が得られるため、フィルタの樹脂
を高温で熱硬化させる必要がなくなる。これにより、染
料含有比を乾燥重量比で例えば５０％程度まで上げるこ
とが可能となり、カラーフィルタを薄膜化できる。
およびその製造方法によれば、無機質保護膜を形成する
ことにより、耐溶剤性が得られるため、フィルタの樹脂
を高温で熱硬化させる必要がなくなる。これにより、染
料含有比を乾燥重量比で例えば５０％程度まで上げるこ
とが可能となり、カラーフィルタを薄膜化できる。
【００５２】また、上記の実施形態のカラーフィルタの
製造方法によれば、感光性樹脂組成物に色素を高濃度で
添加しても、色素の凝集による現像残渣が生じず、リソ
グラフィによるパターン形成が可能である。したがっ
て、カラーフィルタを微細化できる。
製造方法によれば、感光性樹脂組成物に色素を高濃度で
添加しても、色素の凝集による現像残渣が生じず、リソ
グラフィによるパターン形成が可能である。したがっ
て、カラーフィルタを微細化できる。
【００５３】本発明のカラーフィルタおよびその製造方
法の実施形態は、上記の説明に限定されない。例えば、
上記の実施形態においては、感光性樹脂組成物にポジ型
感光性樹脂を用いる例を示したが、ネガ型感光性樹脂を
用いてカラーフィルタを形成することも可能である。ま
た、実施例４で各色のフィルタ層を形成する順は、任意
に入れ替えることができる。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
法の実施形態は、上記の説明に限定されない。例えば、
上記の実施形態においては、感光性樹脂組成物にポジ型
感光性樹脂を用いる例を示したが、ネガ型感光性樹脂を
用いてカラーフィルタを形成することも可能である。ま
た、実施例４で各色のフィルタ層を形成する順は、任意
に入れ替えることができる。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【００５４】
【発明の効果】本発明のカラーフィルタによれば、カラ
ーフィルタの微細化および薄膜化が可能となる。本発明
のカラーフィルタの製造方法によれば、カラーフィルタ
の耐溶剤性を高め、カラーフィルタの色素含有比を高く
することができるため、より微細化および薄膜化された
カラーフィルタを形成することが可能となる。
ーフィルタの微細化および薄膜化が可能となる。本発明
のカラーフィルタの製造方法によれば、カラーフィルタ
の耐溶剤性を高め、カラーフィルタの色素含有比を高く
することができるため、より微細化および薄膜化された
カラーフィルタを形成することが可能となる。
【図１】図１（ａ）〜（ｃ）は本発明のカラーフィルタ
の製造方法の製造工程を示す断面図である。
の製造方法の製造工程を示す断面図である。
【図２】図２（ｄ）および（ｅ）は本発明のカラーフィ
ルタの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図１
（ｃ）に続く工程を示す。
ルタの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図１
（ｃ）に続く工程を示す。
【図３】図３（ａ）〜（ｃ）は本発明のカラーフィルタ
の製造方法の製造工程を示す断面図である。
の製造方法の製造工程を示す断面図である。
【図４】図４（ｄ）および（ｅ）は本発明のカラーフィ
ルタの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図３
（ｃ）に続く工程を示す。
ルタの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図３
（ｃ）に続く工程を示す。
【図５】図５（ａ）および（ｂ）は従来のカラーフィル
タの製造方法の製造工程を示す断面図である。
タの製造方法の製造工程を示す断面図である。
【図６】図６（ｃ）および（ｄ）は従来のカラーフィル
タの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図５
（ｂ）に続く工程を示す。
タの製造方法の製造工程を示す断面図であり、図５
（ｂ）に続く工程を示す。
１…基材、２…塗布膜、３、３ＭＧ…マスクパターン、
４、４ＣＹ、４ＭＧ…カラーフィルタ層、５…保護膜。
４、４ＣＹ、４ＭＧ…カラーフィルタ層、５…保護膜。
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB37
BB42 BB46
2H090 HA07 HB03X HC03 LA15
2H091 FA02Y FB04 FB12 FC01
FC02 FC10 GA16 LA11
4M118 AA08 AA10 AB01 CA32 EA01
GC17
Claims (12)
- 【請求項１】光透過性の基材と、 前記基材上に、色素を含む感光性樹脂組成物を塗付して
形成されたフィルタであって、一部の波長領域を除き可
視光を透過させる前記フィルタと、 前記フィルタ上に形成された保護膜とを有するカラーフ
ィルタ。 - 【請求項２】前記保護膜は気相からの蒸着により形成さ
れた無機質保護膜を含む請求項１記載のカラーフィル
タ。 - 【請求項３】前記保護膜はシリコン酸化膜を含む請求項
２記載のカラーフィルタ。 - 【請求項４】前記色素は、前記感光性樹脂組成物に可溶
な有機化合物からなる染料を含む請求項１記載のカラー
フィルタ。 - 【請求項５】前記基材上に、他の一部の波長領域を除き
可視光を透過させる他のフィルタをさらに有する請求項
１記載のカラーフィルタ。 - 【請求項６】前記基材は液晶表示装置の電極を含む請求
項１記載のカラーフィルタ。 - 【請求項７】光透過性の基材上に、色素、樹脂、感光剤
および溶剤を含む第１の感光性樹脂組成物を塗布し、第
１の塗布膜を形成する工程と、 前記第１の塗布膜に、所定のパターンが形成されたマス
クを介して露光を行う工程と、 前記第１の塗布膜に現像を行い、前記第１の塗布膜の露
光部または未露光部を除去する工程と、 前記第１の塗布膜の溶融および前記色素の変質が起きな
い所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤および水分を蒸
発させて、一部の波長領域を除き可視光を透過させる第
１のフィルタを形成する工程と、 前記第１のフィルタ上に、気相からの蒸着により第１の
無機質保護膜を形成する工程とを有するカラーフィルタ
の製造方法。 - 【請求項８】前記所定の温度範囲はほぼ１００〜１８０
℃である請求項７記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項９】前記無機質保護膜を形成する工程は、化学
気相成長（ＣＶＤ；chemical vapordeposition)を含む
請求項７記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項１０】前記無機質保護膜を形成する工程は、物
理的蒸着（ＰＶＤ；physical vapor deposition)を含む
請求項７記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項１１】前記無機質保護膜を形成する工程は、ス
パッタリングを含む請求項７記載のカラーフィルタの製
造方法。 - 【請求項１２】前記第１の無機質保護膜を形成後、前記
基材上に前記第１のフィルタおよび前記第１の無機質保
護膜を介して、他の色素を含む第２の感光性樹脂組成物
を塗布し、第２の塗布膜を形成する工程と、 前記第２の塗布膜に、所定のパターンが形成されたマス
クを介して露光を行う工程と、 前記第２の塗布膜に現像を行い、前記第２の塗布膜の露
光部または未露光部を除去する工程と、 前記第２の塗布膜の溶融および前記他の色素の変質が起
きない所定の温度範囲内で加熱し、前記溶剤および水分
を蒸発させて、前記第１のフィルタと異なる一部の波長
領域を除き可視光を透過させる第２のフィルタを形成す
る工程と、 前記第２のフィルタ上に、気相からの蒸着により第２の
無機質保護膜を形成する工程とをさらに有する請求項７
記載のカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
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