JPS58153903A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はカラーフィルターの作成に間予るもので、特に
各種カラー撮像素子およびカラーディスプレー用の微細
色分解フィルターの製造方法に関するものである＠ カラーフィルターの一般的な製造方法は、基板上に着色
層を形成し、その上にレジストを用いてレジストマスク
を形成してから、レジストマスクで被覆されて−なりｈ
ＩＩＩ分の着色層を１択的にエツチング除去する方法で
ある。

またこのとき、着色層が溶出されに〈−色素からなる場
合中、エツチング液によって、基板が損傷するような場
合にはドライエツチング法が用いられている。

これは、着色層上にレジストでパターンを形成した後、
これを、レジストマスクとして、レジストマスクで被覆
されていない部分の着色層をイオンないし、プラズマ雰
囲気中で蒸発させて除去してしまう方法である。

しかしながらこの方法におｉても着色層上にレジストマ
スクを形成する場合、レジストの塗布、現儂の際、その
溶剤によ）着色層の色材を溶解してしまったり溶解Ｋｔ
では至らなくても分光特性を損なうことが多ｉものであ
つ九。

又、ドライエツチングに対する耐エツチング性の良いレ
ジストの選択が容易ではなく、シ九がって、レジストマ
スクは着色層と同時にエツチングされる丸め、かな）厚
くする必要がＴｏ）、しかも、レジストマスクは残存す
るために形成されるカラーフィルターの構成が複雑とな
るという欠点も６つえ◎ 而して本発明は、ドライエツチングによる欠点、即ち、
レジストマスクを厚くしなければならなｉこと、形成さ
れるカラーフィルターにレジストマスクが残存して色分
解能を低下させること、さらには、レジストマスクの形
成時における着色層の損傷などの欠点を解消するカラー
フィルターの製造方法を提供することを主える目的とす
る。

本発明によるカラー・フィルターの製造方法は、基板上
に着色層を形成する工１、着色層上に無機材料からなる
パターンマスクな形成する工程、および、該パターンマ
スクで被覆されてい１ｋｖｈ部分の着色層をドライエツ
チングによ）選択的に除去する工程を有することを特徴
とするものである。

即ち、本発明は、着色層を選択的に除去して色要素を形
成してカラーフ４ぶターとする際、無機材料からなるパ
ターンマスクなもって、除去されてはならなＶ％薄部分
着色層を完壁に保饅できるし、又レジストを用いて無機
材料からなるパターンマスクを作る場合でも１着色は無
機材料の層によって、レジスト用溶剤やレジスト０３Ｊ
倫用溶剤から完全に保−されるものである。

まえ、無機材料からなるパターンマスクによって、同一
面上に各色要素が配列された理想的な構成のカラーフィ
ルターの製造もできるものである。

次に本発明の代表的な態様について図面により説明する
。

まず、第１ＩＩＫ示されるように、基板ｌ上に着色層２
を形成する。着色層は種々の方法によって形成されるが
、特に色材の蒸着くよって形成するのが有利である。蒸
着の場合には、色材のみで１着色層が形成でき、染色法
における謀染層が不用なので、きわめて薄膜化され、か
つ、非水工程によって着７島層が形成できる◎ついで、
第２図に示されるように着色層上に８１（）ｌ　＠　５
ｂＮ４　ｓ　Ｔｉ（）＊　Ｉ　Ｃａ（）ｍ　ｐ　Ｚ”Ｓ
　ｇ　１ｌｉｌｉｒＦ＊　ｔ　１１ｇ０　ｔＡＪ＊Ｏａ
　、　８１１０１．　Ｔｌｌｌ０Ｉ　、　ＰｂＦｍ　、
　８１　、　Ｔｉ　、　Ｍｏ　、　Ｗ。

Ｃｒ　、　Ｃｒａｂｓ　＃　ＧａＡｓｅ’ムＬ、などの
無機材料を加熱蒸着、スパッタ蒸着、電子ビーム蒸着も
しく紘ＣＶＤ（ゲ電カル・ペイパー・ディポジション）
法などの方法を用−無機層３を形成する。

以上の成膜は同一装置内で引き続ｉて行なっても良ｉし
、又、装置を変えて行なっても良い。

つめで無機層３の上にレジストをスピンナー等の塗布装
置を用−１塗布す為＠ 乾燥後、適尚な温度条件下□でプリベークする。

ついで、紫外光、遠紫外光、Ｘ線ある鱒は電子線で所定
のパターン形状に露光し現侭する。

必要に応じてａｍ前にレジスト膜のひずみを緩和する目
的での前躯理や現像後の膜の膨潤をおさえるためのリン
ス処理を行なう。

以上Ｏ工程によって第３図に示されるレジストマスク４
が形成される。

つめで、基板をドライエツチング装置内に設置し、ＣＦ
ａ　ａ　ＣＨｒｓ　ｐ　Ｃ３１ｍ　ｅ　ＣａＦｓ　ｅ　
ＣＣ１ａ　、　ＣＣｔＦｓ＊ＣＢｒＦａ　＃などのハロ
ゲン化炭素ガス又は、ハロゲン化炭化水素ガスある偽は
、ＢＣ４ｅ　ＳＦ・などの多ハｐゲン化物のガスを主体
とするガスを用い、エツチングを行なう０このハロゲン
含有ガスに対して、無機層３は容易にエツチングされる
が、レジストマスク４紘比較的エツチングされにくい。

その結果、無機層のみエツチングされ、第４図のように
、レジストマスク４と同形の無機材料からなるパターン
マスク５が着色層上に形成される。

う。酸素に対して、色材およびレジストはエツチングさ
れやすく反対に無機材料は比較的エツチングされにくい
。その結果、着色層２とレジストマスク４のみがエツチ
ングされ、＃ｌＩｓ図に示されるような色要素６が形成
される。この場の 合、着色層２およびレジストマスク４Ａ膜厚やエツチン
グレートが異なシ、どちらかが、より早く消失した場合
でも基板及びパターンマスクへがエツチングされに〈−
ため、最終的に第５図の形状となる。

さらに、２色目の色要素を形成する場合は、同じ工程を
所望の色材につｉて、嬉６図から第９図のように行なえ
ばｊＬい。

即ち、縞６図に示されるように基［１上に色要素６が形
成されて−る表面に他の色材の着色層７を形成する・次
に、第７図に示されるように、その上に無一層８を形成
し、さらに、第３図の場合と同１１Ｋｔて、レジストを
用−てレジストマスク９を形成する〇 次に、ハ關ゲン系ガス雰趙気中でドライエツチングを行
いレジストマスク９で砿榎されて偽なｉ無機層８を除去
して第８図に示されるようにパターンマスクｌＯを形成
する０次に酸累雰囲気でドライエツチングを行うことに
よって、レジストマスク９およびパターンマスク１０で
被覆されて鱒ない着色層７を選択的に除去して第９図に
示されるような色素１１が形成される。

さらに、赤（２）、實（６）および黄ｃｆ）″の色要素
を配列してなる最も一般的なカラーフィルターを製造す
る場合には、もう一度第６図〜ｌ！９図ｃ、′・１理工
程を繰返して、第１０図に示されるような第三の色要素
１３を形成することによって、同一平面上に三つの色要
素６．１１および１３を備えたカラーフィルターを得る
ことができる。

をお、パターンマスク１２は色要素１３を形成するため
に利用した無機材料からなる層である◇本発明によるカ
ラーフィルター紘各色要素ごとに無機材料からなるパタ
ーンマスク膜が形成されているのでそのパターンマスク
が５ｉＯｓＪｙｂｆ’＊−ＭｇＯ＊の透明膜（カラーフ
ィルターの光透過領域について）であれば第１０図の状
紐でカラーフィルターとして使用してもよいし、さらに
、Ｍ１１図のように全体に透明膜１ｄｌｌ１４を被覆し
て使用してもよい。

しかし、パターンマスクがＳｔ　、　Ａｔ、Ｃｒ　ｅの
不透明なものであればハロゲン含有ガスによるドライエ
ツチングによ？てパターンマスクを、除去し、第１２１
１ｇ１□状態で、作成終了とするか、もしくは、第１３
図のように全体に透明保賎膜１４を被覆しておくＧ にでｉ、う透１ｇＡ保Ｉｉ！膜としては８１偽、禽０２
ＰｂＦ茸ａ　ＭｇＦｍａ　Ａ４０ｓｅ　８ｎＯｓ等を真
空蒸着法もしくｔｊ５ｃＶＤ法により成膜するか、ポリ
ウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコン樹脂。

ガラスレジン、ポリバラキシノン樹脂１等をスピンナー
塗布法によプ成艇する０ 本発明で用いる色材Ｆｉ種々のものが適宜選択されて用
Ｖ為られる。

例えに。

（１）　　アゾ系着色剤 （ａ）　　アセトアセチックアニリド系イルガライト、
イエローＧＴＮ　　　　　　　　　　　（Ｃ，Ｉ４１１
６８０）ノコ。−１エローＤ１２５Ｇ　　　　　　　　
　　　　　　（＃　　　　）ハンプ、イｊ−ローＧＲ（
Ｃ−Ｉ４１１７３Ｇ）シコ・イ！　ｔ２−Ｌ　１９　Ｓ
　Ｏ（Ｃ，ＩＡ　１１７１Ｇ）イルガライト・イエロー
１０Ｇ　　　　　　　　　　（ｉ　　　）イルガライト
、イエローＳＱＬ　　　　　　　　　　（Ｃ，Ｉ４１１
６６５）リノソ−ル、　７７−Ｘ　）　−４工０−Ｙ　
　　　　　　（Ｃ−ＩＪｉ　１１６６Ｇ）ダイニチ・フ
ァースト、イエロー３Ｇ　　　　　　　（Ｃ，１４１１
６７Ｇ）イルガライト・イエ０−ＢＧＣ（Ｃ，Ｉ４２１
０９０）パーマネント、イエローＧＲ（Ｃ−１１２１１
００）パーマネント、イエローＱ　　　　　　　　　　
　　（Ｃ，１，−区２五０９５）ベンジジン、イエロー
１０　Ｇ　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＡ　２１２２
０）ハンザ、イエローＲ（Ｃ，ＩＪＫ　１２７１０）（
ｅ）　　す７トール類のモノアゾ系 モノライト、ファースト、レッドＢ　　　　　　　　　
（Ｃ，１，ｉ　１２０７０）シコ・ファースト、レッド
Ｄ　３７５２　　　　　　　（Ｃ，１，％１２３１０）
ノコ。レッドＬ　３７５０　　　　　　　　　　　　　
　　（Ｃ，Ｉ４１２１２０）ノコ。レッドＬ　３２５０
　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ８１，１１ｉ　１
２０８５）オリエンタル、レッドＦＢ１４館　　　　　
　　　　　（Ｃ，Ｉ４１２４９０）モノライト、ｖｙド
ＰＧ　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，Ｋ　Ｉ２
０９Ｇ）ロツソ、ゼクナール、ルースＦ　４　ＲＨ（Ｃ
−ＩＪ　１２４２Ｇ）ノコ。レッドＤ　４２５０　　　
　　　　　　　　　　　　（Ｃ，１，１１１２３３５）
ロッゾ・セグナール、ルースＦ　２　Ｌ　　　　　　　
　（Ｃ，Ｉ４１２４６０）ロツノ、セグナール、ルース
ＦＲＬ　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　１２４４Ｇ）イル
ガライト。ボルドーＦ　Ｂ　Ｓ　　　　　　　　　　（
Ｃ，ＩＪ　１２４３０）シブ。ボルドーＬ　４６５１　
　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＷｔ＆１２３ｆ３５
）パーマネント・ボルドーＦＯＲ（Ｃ−１４１２３８０
）−７ｉ　ユ５−　、７７−Ｘ　）　−ｗｋ−ン４０　
＊　２　　　　（ｃ、ＩＪＥ　１扇）ダイニチ・ファー
スト・ポピー、レッドＧ　　　　　（Ｃ，ＩＡ　１２３
９０）モノライト・ルビーンＭ（Ｃ０ＩＪ＆１２３５０
）アリライド、マルーｙ、ダーク　　　　　　　　　（
Ｃ，ＩＪｉ　１２４００）サン：ｉ−，７アースト、レ
ッドＣＲ（Ｃ，ＩＪｌ　１２３００）ダイニチ、ファー
スト、スη−レットＧ　　　　　　（Ｃ，Ｉ４１２３１
５）ファースト、レッドＡ６ニユー　　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＡ　１２３５５）ポリモ、レッドＲ（Ｃ，Ｉ４
１２３３０）ポリモ、　ａ　セＦ　Ｂ　Ｉ、　　　　　
　　　　　　　　　（Ｃ−ＬＡ　１鴎６０）ポリ％、Ｖ
ツドＦ　Ｒ（Ｃ，ＩＪ　１２３２０）ダイニチーｆ７チ
：）ばン、ボルドー５　Ｂ　　　　　　（Ｃ，１４１２
１７０）シコ・ファースト・レッドＬ　３８５５　　　
　　　　（Ｃ，ＩＡ　１２３７０）シネエラー・ファー
ストカーノンＢ８　　　　　鵠Ｉ４１２３５１）バーー
ｒａン）、カー−ｆ／ＦＲＢ　　　　　　　　　　（Ｃ
，ＩＪＥ１２４１１５）パーマネント、ピンクｌｉ’　
３　Ｂ　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＡ　１２４
３３）ｐｖ−カーノンＨＲ（Ｃ−Ａ４１２２９０）シコ
・ファースト・スカーレットＬ　４２５２：　　　　（
Ｃ，ＩＪ　１２４７５）パーマネント・マルーンＨＦＭ
　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＡ　１２５１２）パーマ
ネｙト、ｖｙドＨＩＮＴ　　　　　　　　　　　（Ｃ−
１４１２５１３）ｐｖ−カーノンＨＦ３Ｃ（Ｃ，ｌＡ１
２５１５）パーマネント、力−ンン　ＨＦ４Ｃ’　　　
　　　（Ｃ，ＩＪ１２５１Ｇ）ＰＶ−Ｖツ）”ＨＦ２Ｂ
　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ｌＡ１２５１４
）モノライト、グリーン、　Ｙ　　　　　　　　　　　
　（Ｃ，ＩＡ　１２７７５）（２）アンスツキノン系着
色剤 へりオ、ファーストマルーンＥ３Ｒ ナン目−、カーノンＬ２Ｂ　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＪ閏α℃）モノライト・レッドＹ　　　　　　
　　　　　　　　　（Ｃ，Ａ４５９３００）りｐモノタ
ール、ムＧＲ パリオゲン、レッドＬ　３５２　Ｇ　　　　　　　　　
　（Ｃ，ＩＡ　５９７１０）パーマネｙト、ｖｙドＴＧ
　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　７１１００）バ
リオダン。レッドＬ　３８７　ＧＨＤ　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＪ　７１１４５）バリオゲン、　ｖルーｙＬ　
３８２０　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　７１１３０）
パリオゲン・レッドＬ　３８８０　ＨＤ　　　　　　　
　（Ｃ，ＩＪ　７１１５５）カヤセット、スカーレツ）
　Ｋ　−２１（Ｃ，ＩＪ　７１１４Ｇ）　　　　　　　
・ヘリオ・ファースト、ネイビーＲＬＷ （３）インジゴイド系′着色剤 りａモｙタル１１ボルドーＲ（Ｃ，ＩＪ　７３３１２）
マ リオノゲ／　、　＊４１７ｆｉ　Ｂ　　　　　　　　　
　　　　　（Ｃ，ＩＡ　７３９１５）４８１６Ｖツ）’
Ｒ（Ｃ，ＩＡ７濁５）オツリス・ブリリアント・ピンク
Ｒ（Ｃ，ＩＪ　１３３８０）（４）　　キナクリドン系
着色剤 ９１／ゲｙ　、　マセｙｆｉ　Ｒ（Ｃ−ＩＪ　７３９１
Ｂ）ホスタパーム、レッド’ｌｉ：Ｇ　　　　　　　　
　　　　（Ｃ−１４７Ｍ０８）リオノゲン、レッド２Ｂ
　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＪａ）シンカシ
ア、マゼンタＢＴ−２４８−Ｄシンカシア・レッド、ブ
ルーＲＴ−７９０−Ｄ（５）　イノインドリノン系着色
剤 リオノゲン、イエロー３Ｇ！ リオノゲン・イエローＲＸ ％）９４ト、ネ（ヒ−ＢＹ　　　　　　　　　　　　　
　（Ｃ−ｌＡ７３Ｑ０ｓ）（６）　　インダスーｙ系着
色剤 ファーストダン。スーパー、ブルー６０１１ムＭム（Ｃ
，ＩＪＨＭｌ＠００）ポ９モ、、＄（ビーブルーＰ’Ｂ
　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＡ　ｌ９８３５）リソ
ゾール、ブルーＧＬ　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
，Ｉ４６Ｎ１０）（７）　　ジオキナジン系着色剤 クロモフタル、バイオレットＢ ７７−ｘトｙン、ｘ−バー、パイｔし／）ＢＢＬ　　（
Ｃ，Ｉ４１Ｓ１３１９）（８）　　インダスレン系着色
剤 ｉケスｖｙ、４ｘＱ−ＧＣＭ　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＪ６７３ＧＧ）ｉ　ヶ、ｘ、Ｖン、　（！０−
　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＪ　６８４２０
）擢ケｘｖｙ、＊ｖｙジＲ（Ｃ，ＩＪ　７３３３５）電
ケスレン、スカーレットＧ 叱ケスレン、ブリリアント、ピンクＲ（Ｃ，ＬＡ　７３
３６Ｇ）電ケスレン・ブリリアント・バイオレットＲＲ
（Ｃ，ＩＪＥ６００１０）ンケスレン、ブルー３０　　
　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＡ　６９８４０）（
９）　トリフェニル・メタン系着色剤フチナル。ブルー
Ｄ　６３４　Ｇ　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　４２
５９５：２）ダイ＝チ　７７−ス）　−ブルーＢＯＸ　
　　　　　（Ｃ，ｌＡ４４Ｑ４ｓ：２）イルガライト、
プに−Ｔ　ＣＲ（Ｃ，Ａ４４１１４０：１）ファナトン
、ブルー６Ｇ　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ｌＡ４２
０２６：１）ハＨポン、ブＡ−ＲＮＮ　　　　　　　　
　　　　（Ｃ−１４４２６００：１）Ｖ７Ｖ９りＸ　、
　’ｆｋ−Ｇ　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪｌ　
４２７００：１）アルカリ、ブルー、トナー　　　　　
　　　　　（Ｃ，ＩＪ４２７ｓＯ：１）ブルー、レイク
、　２４５７２　Ａ　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　４
２０９０：１）し７レツクｘ、ブルーＧＧ　　　　　　
　　　　　　（ｃ−ＩＪ　４２８００）レフレツクｘ、
ブＡ−ＲＢ　　　　　　　　　　　　（Ｃ，Ｉ　Ａ　４
２７Ｇりファナル、ブルーＤ６３１１０ イルガライト、グリーン、　ＢＮ　　　　　　　　　（
Ｃ，ＩＪ　４２０４０：１）１４　＝ｆ　−７７＝ス）
　／　９−ンＢ　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ　４２００
０：２）（Ｏニトロソ系着色剤 モノライト、グリ−”　　　　　　　　　　　　（Ｃ，
Ｉ４１０００６）モノゾール・グリーンＢ　　　　　　
　　　　　（Ｃ，Ｉ４１００２０：１）（Ｕ）　　フタ
四シアニン系頗科 銅’：＃ｖｓＶ１＝７＜　１１１１１）　　　　　　　
　　　　　　（Ｃ，Ｌ４７４１６０）（／ＩＩ） 無金属７　ｆｉ　ａ　−／７＝ｙ　　　　　　　　　　
　　　　（Ｃ−ＩＪ　７４１００）クロｈ化７り”　”
二’　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＪＫ　７４２
６０）’　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
−ＩＪＫ　７４２５５）鉛フタロシアニン 亜鉛フタロシアニン 鉄フタロシアニン 金７タロシアニン クロムフタロシアエン （躊　分散性染料 チパセット、レッドＫＧ　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ−１４１１２１０）ルラフイツクｘ　、　ｖｙ　）
”ｌ　Ｆ　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＪｉ　＠０７
６６）セリトン、バイオレツ）Ｂ　　　　　　　　　　
　　　（Ｃ−１４＠２Ｘ−ηセリトン、イｘｖａ−６Ｒ
（Ｃ−ＩＪｉ　２６０９０）チラシｗ、イｘ　ａ　−２
ＧＷ　　　　　　　　　　　　　（Ｃ−１４４７０２０
）建ケト２．７７−Ｘト、プ”−（Ｃ，ＩＪ　６４５０
０）チパセット、プ？Ｆ　３　Ｒ（Ｃ，Ｉ４６１５０５
）シラフィックス。ブルーＦＰＲ（Ｃ，Ｉ４６２８３５
）ｆ９シール、プ”−２Ｒ（Ｃ，ＩｊＫ６１１１０）カ
ヤセット、ブルー３１８ カヤセット、ターキノイス。ブルー７７６（聯　塩基性
染料 一一ダミン６　Ｇ　ＣＰ　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＡ　４５１６０）ローダミンＦ３”　　　　　
　　　　　　　　　　　（Ｃ−ＩＪ　４５１７４）アス
トツ・フロキンＧ　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ
，Ｉ４ｍ７０）マキ窒ン・イエロー５ＧＬ　　　　　　
　　　　　　（Ｃ，ＩＡａ５５）クリスタル、バイオレ
ット　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪｌ　４２５５５
）ローダオンＢ　　　　　　　　　　　　　　　　　（
Ｃ，Ｉ４４５１７０）ビクトリア、ブ？ＦＢ　　　　　
　　　　　　　　　　（Ｃ，Ｌ＆４４０４５）マ９カイ
ト、グリーン（Ｃ，ＩＪ　４２００Ｇ）エチルバイオレ
ツ）　　　　　　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪ４２
６００）ナイル、ブルー’　　　　　　　　　　　（ｅ
−ＩＪ　５１１８０）す７ラエン’ｌ’　　　　　　　
　　　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＪｉ　５０２４Ｇ）（
−油溶性染料 カヤセットレッドＢ カヤセットプルーム２Ｒ １イーＬＣＩ−Ｇ　　　　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ，ＩＪ　１１８５５）ｌ　　ブルーＰＲ Ｉ　　イエローＡＧ Ｉ　　イエａ−９６３ ピラニン　　　　　　　　（Ｃ，１４５９０４０）ダイ
ヤレジン・レッドＨ グイヤレジン、ブラウンム ダイヤレジン、ブルーＮ スｌｙフルー　　　　　　　　　　　　　　　　　　（
Ｃ−Ｌ４６１５２５）キニザリン Ｉ　　プＡ’−（Ｃ，ＩＪＫ　ｔｍ７２５）Ｉ　　グリ
ーン（Ｃ，ＩＡ　６１５６５）（均　酸性染料 ソラー、ピュア、イエ四−ｓｃ　　　　　　　　　　　
（ＣＪ４Ｓ６繁巧）ｌ　　　　ブＡ−Ａ　ＦＸ　　　　
　　　　　　（Ｃ，Ｉ、ａ　４２０８０）７にオＶセイ
ン（Ｃ，Ｉ４４８３５Ｇ）　　　Ｎａ ローズベンガル（Ｃ，Ｉ４４６４４０）７９ｆｌＪｙ、
シアーｙグ９−）／Ｆ　　　　　　　　　（Ｃ，Ｉ４６
１５７０）＜５ａｓｌＩ！染料 ４ｙジ：／　　　　　　　　　（Ｃ，ＩＡ　７３００Ｇ
）チパ、ブルー（Ｃ，１４７３０６５） インジゴゾール（Ｃ−ＩＪ　７３００２）スレシストは
市販されている各種のレジストが適宜用−られて−る０
その代表的ｔｋ４の（商品本）を挙げると、 フォト・レジスジとしては、 ’０ＦＰＲｙ９−ズ（１７？、７８．８００　）”　’
ＯＭＲｐり一、（（８１，８Ｂ、８５．８７）”ＴＰＲ
”８ＶＲ”ＯＨＲ”ＴＰ８＠以上東京応化１にＫＭＰＲ
−８０９”ＫＭＲ−７４７°”ＫＭＲ−７ＳＦ’ＫＴＰ
Ｒ”’ＫＰＲ＠”ＫＰＲ−３”ＫＰＲ−４Ｂ以上コダッ
クＩｌ’Ｊ８Ｒ−ＣＢＲ”　’　Ｊ８Ｒ−ＣＢＩＩ−９
０１’“ＪＡＲ−ＣＩＲ−７０１”以上日本合成ゴム＠
　”　Ｗａ７ｅｅａｔ　−Ｌ　８　Ｉ　Ｒ＠ｓ１ｍｔ’
″′″ＨＰＲＰｏｓ口量ｗｅ　Ｐｒ＠５ｉａｔ　（１０
４、１０６）　”　’ｖｈｙｃｏａｔ（ＨＮＲ、ＨＮＲ
−９９９Ｎ＠ｇ・Ｉ１マ・ｎＲ，Ｉｃ５Ｔｙｐ・３ＩＣ
。

ｓｃ）＠以上ハント劃 遠紫外用レジスＦとして紘、 ’０ＤＵＲシ９−ズ（１０００，１＠＠１，１１０１＠
、ＩＱＬ４，１１０ＷＲ。

１２０）”東京応化ＩＩ　’　ＡＸ　！４００（）ＵＶ
　”　シブｖ４製、’ＨＰＲ（２０４、２０６）０ハン
ト製。

電子ビーム用レジストとして社、 ’０ＥＢＲ（１０００，１０１０，１０３０，１００）
”東京応化製。

“Ｓ　Ｅ　Ｌ　（Ｎ、　Ｔｙｐｅム、　ＴｙＰ６Ｆ　）
　”ソマール製。

“ＦＭＲ（ＥＩＯＩ　、　１１Ｇり”富士薬品製。

’ＥＢＲ（１，９）”東し展。

＠ＦＢＭ−１１０．ＦＰＭ−２１０１ダイキン顧。

限定社されｌｋ　ｎ　。

例えば、具体的に以下のものが使用できる０ガラス板、
光学用樹脂板、Ｊｔラチン、ポリビニルアルコール、ヒ
トＥ１今ジエチルーｋｋＷ−ス。

メチルメタクリレート、ポリエステル、ブチラール、ボ
リア擢ドなどの樹脂フィルム、カラーフィルターを適用
される物と一体に形成する仁と４１”ｆ能でＴｏゐ。そ
の場合の基板の一例としては、ＣＣＤ（チャージ、カッ
プルド。

デバイス）、ＢＢＤ（パケット・プリゲート。

−バイス）、ＣＩＤ（チャージ、インジエクシ曹ン、デ
バイス）等ｏＨ体撮僚素子、ブラウン管表示面、撮像管
の受光面、ｉｌ晶ディスプレー面、カラー電子写真用感
光体等があげられる。

次に実施例を挙げて、具体的に本発明について説明する
。

実施例１゜ ガラス板を真空容器内に設置し、真空度１６！−１０−
＠？＊ｒｒＫお−て、ローダｌ　ン６ＧＣＰ（Ｃ，ＩＪ
　４５１６０）を抵抗加熱法によ）　ＳＯＯ〜４００像
加熱し、蒸着を行ない４０００＾厚の着色層とし九〇つ
−で、８１Ｑ＋を電子ビーム蒸着法によ）無機層とし丸
。膜厚社１００Ｇ犬とした。

つ匹で、ポジ臘レジスト（商品４　、：　ＡＺ１３５０
Ｊジ−プレー製）をスピンナー−布装置を用−塗布し九
〇膜厚ａ１．５１ｓ１１とし九〇 乾燥後、ｓｏｃｗｈｏプリベータを行なつ九〇□ とのガラス板に、モザイク散状の露光マスクを密着させ
、紫外光でマスク露光後、専用現像液で現像し、レジス
トマスクを形成した。

この工機中、着色層は無機層で保護されている丸め、溶
解などの影響は生じなかつ丸。

つｉで、プラズマエツチング装置内にてＣＦ４、を用Ｖ
％九プラズマエツチングを行な−、無機層をレジストパ
ターン形状（モザイタ形状）に成形しパターンマスタと
し九〇エツチング時間紘２分で６つ九〇 ついで、エツチングガスを゛酸素に切〕換えて、着色層
およびレジストマスクをプラズマエツチングした。エツ
チング時間は５分であったＯその結果、パターンマスク
で保護され九マゼン声色の色要素が形成され九〇 引き続−て、２色目Ｏ色材として、フルオレセイン（ｃ
、ｍ　４６３５０）を用−て、同様の方法により、フル
オレセインの蒸着膜からなるイエロー色の色要素が形成
され九〇さらに同様Ｏ方法により、銅フタロシアニン（
Ｃ，ＩＪ　７４１齢）の蒸着膜からなゐシアン色６色ｌ
Ｉ！素を加え、イエ四−色、マゼンタ色、シアン色の３
色からなるカラーフィルターを形成し九〇 この場合、保護膜として透明膜である／くターンマスク
（Ｓｌｏｔ）を用ｉたので、シアン色Ｏ色要素が形成さ
れた段階で第１０図のような形状でシストを用いて着色
層上に直接、レジストノ（ターンを形成しようとし九所
、レジスト塗布段階でローダミｙ６ＧＣＰおよび、フル
オレセイン膜に溶解が生じ、フィルター形成社困難であ
った。

実施例２゜ 固体撮像素子の１０個形成されたウエノ１−上に実施例
１．と同様の方法で、カラーフィルターの形成を行なっ
た。色材として、イルガジン・レッドＢＰＴ（赤色）、
スダンブルー（青色、（Ｃ，ＩｊＫ　６１５２５）χ鉛
７ｊａシフ＝ン（１Ｉ色）ｔ”、レジストとして商品名
：　０Ｉ）ＵＲ１０１４（東京応化製）を用−九〇又、
この工程中、力２−フィルターの無機保護膜として８１
ｓＪ’ｒａ膜を用いたｏｌ［の形成は８１Ｌと歯の混合
ガλを用−九プラズマＣＶＤ法により行なう九〇 ３色のカラーフィルター形成後、（第１０図の状態）％
　８１ｓＬ膜は透明性に劣るのでＣＩ’ａを用ｖｈ九プ
ラズマエツチングによ〕除去し、第１２図の形状とした
。つ―でｓ　ＭｇＦ−を抵抗加熱法によシ蒸着し、（膜
厚は１ｏｏｏＡとし九）第１３図の形状とし、カッ−フ
ィルターの作成を終了した。

実施例１．２．で得られたカラーフィルターは、構成が
色材からなる色要素と透明保護膜のみのため、簡単でし
かも平面性が爽く、よって、分光特性のむもが少なく、
光透過率の高−優れたものであつ九。

【図面の簡単な説明】

第１図から第５図社本発明によるカラーフィルターの製
造工稠図でｈ〕、第１１１Ｉは、着色層形成工程、第２
図線無機層形成（１騙、第３図はレジストマスク形虞工
１、第４図状パターンマスク形成工種および、第５図は
第１０色要素形成工程をそれぞれ示す。 レジストマスク形成工１、第８図はパターンマスク形成
工程、訃よび嬉９図はＭＺＯ色要素形成工程をそれぞれ
示す。 第１Ｏ図、第１１図、ｊ１１２図およびｌｌＮ１３図は
、本発明によって製造されるカラーフィルターのそれぞ
れ１態様の構成図である０１・・・・・・基板　　　　
２・・・・・・着色層３・・・・・・　無機層　　　　
４・・・・・・　レジスト、マスク５・・・・・・パタ
ーンマスク　６・・・・−ａ要素７・・・・・・着色層
　　　８・・・・・・無機層９・・・・・・　レジスト
、マスク−０・・・・・・パターンマスク１１・・・・
・・　２色目の色要素　１２・・・・・・　パターンマ
スク１３・・・・・・　３色目０色要素 ：：、１・。 出願人、、′　　キャノン株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板上に着色層を形成する工程、着色層上に無機材
   料からなるパターンマスクを形成する工程、および、咳
   パタ１−ンマスクで被覆されていない部分の着色層をド
   ライエツチングにより選択的に除去する工程を有するこ
   とを特徴とするカラーフィルターの製造方法。