JPH03264904A - 固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法 - Google Patents
固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法Info
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- JPH03264904A JPH03264904A JP2062723A JP6272390A JPH03264904A JP H03264904 A JPH03264904 A JP H03264904A JP 2062723 A JP2062723 A JP 2062723A JP 6272390 A JP6272390 A JP 6272390A JP H03264904 A JPH03264904 A JP H03264904A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 38
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 230000004224 protection Effects 0.000 description 6
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 235000018102 proteins Nutrition 0.000 description 3
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 3
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 2
- OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N Ipazine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(Cl)=NC(NC(C)C)=N1 OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 2
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 2
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 2
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 2
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- -1 protein Chemical compound 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 2
- XRASPMIURGNCCH-UHFFFAOYSA-N zoledronic acid Chemical compound OP(=O)(O)C(P(O)(O)=O)(O)CN1C=CN=C1 XRASPMIURGNCCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000003711 photoprotective effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000001052 yellow pigment Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（概要〕
固体撮像素子の高画素化に対応するカラーフィルタ及び
その製造方法の改良に関し、 高い寸法精度をもって形成され、固体撮像素子の高画素
化の要求に十分対応しうる固体撮像素子用フィルタまた
はそのフィルタの形成された固体撮像素子及びその製造
方法を提供することを目的とし、 一部領域は顔料と樹脂との＆Ｉ威物よりなる色材膜と第
１の透光性保護膜と第２の透光性保護膜との積層体より
なり、他の領域は第２の透光性保護膜よりなる板状体の
少なくとも１層が、固体撮像素子、または、透光性板状
体上に形成されるように構成される。
その製造方法の改良に関し、 高い寸法精度をもって形成され、固体撮像素子の高画素
化の要求に十分対応しうる固体撮像素子用フィルタまた
はそのフィルタの形成された固体撮像素子及びその製造
方法を提供することを目的とし、 一部領域は顔料と樹脂との＆Ｉ威物よりなる色材膜と第
１の透光性保護膜と第２の透光性保護膜との積層体より
なり、他の領域は第２の透光性保護膜よりなる板状体の
少なくとも１層が、固体撮像素子、または、透光性板状
体上に形成されるように構成される。
ご産業上の利用分野］
本発明は、高画素の固体撮像素子、固体撮像素子の高画
素化に対応するカラーフィルタ、及び、その製造方法の
改良に関する。
素化に対応するカラーフィルタ、及び、その製造方法の
改良に関する。
従来のカラーフィルタの製造方法は、先づ、第７図に示
すように、固体撮像素子ｌまたはガラス等の透光性板状
体１１上に下引層２を形成し、下弓層２の上にゼラチン
、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋白質に重クロ
ム酸塩を溶解させたネガ型感光材の膜１７を形成する。
すように、固体撮像素子ｌまたはガラス等の透光性板状
体１１上に下引層２を形成し、下弓層２の上にゼラチン
、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋白質に重クロ
ム酸塩を溶解させたネガ型感光材の膜１７を形成する。
次に、フォトマスクを使用してネガ型感光材の１１１１
７を露光・現像して、第８図に示すように、一部領域に
ネガ型感光材の１！１１７を残留した後染色浴に浸漬し
て、ゼラチン、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋
白質よりなる前記のネガ型感光材の膜１７を例えば青色
に染色する０次いで、全面にアクリル樹脂等の分離層１
８を形成して青色フィルタ層７を形成する。
７を露光・現像して、第８図に示すように、一部領域に
ネガ型感光材の１！１１７を残留した後染色浴に浸漬し
て、ゼラチン、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋
白質よりなる前記のネガ型感光材の膜１７を例えば青色
に染色する０次いで、全面にアクリル樹脂等の分離層１
８を形成して青色フィルタ層７を形成する。
次に、第９図に示すように、前記の青色フィルタ層７の
形成と同一の方法を使用して、前記の青色に染色された
ネガ型感光材の膜エフが形成されている領域上を除く一
部領域にネガ型感光材の膜１９を形成し、これを緑色に
染色した後、全面に分離層２０を形成して緑色フィルタ
層１２を形成する。
形成と同一の方法を使用して、前記の青色に染色された
ネガ型感光材の膜エフが形成されている領域上を除く一
部領域にネガ型感光材の膜１９を形成し、これを緑色に
染色した後、全面に分離層２０を形成して緑色フィルタ
層１２を形成する。
次に、′Ｗ４１Ｏ図に示すように、前記の青色フィルタ
層７または緑色フィルタ層１２の形成と同一の方法を使
用して、前記の青色に染色されたネガ型感光材の１１１
７と前記の緑色に染色されたネガ型感光材の１１１９と
が形成されている領域上を除く領域にネガ型感光材の膜
２１を形成し、これを赤色に染色した後、全面に保護層
２２を形成して赤色フィルタ層１６を形成する。上記の
青色フィルタ層７と緑色フィルタ層１２と赤色フィルタ
層１６との積層体をもって、青、緑、赤の３原色カラー
フィルタが形成される。なお、これら３原色の染色順序
は自由であり、上記の単色系に加えて、補色系の物もあ
〔発明が解決しようとするｉｓ： ところで、ゼラチン、カゼイン等の水溶性高分子化合物
特に蛋白質に重クロム酸塩を溶解させたネガ型感光材は
、露光・現像時の解像度が低いため、ネガ型感光材の膜
をパターニングする時の寸法精度が悪い。また、染色の
工程が複雑であるため歩留りが低く、固体撮像素子の高
画素化の要求に対応することが困難である。
層７または緑色フィルタ層１２の形成と同一の方法を使
用して、前記の青色に染色されたネガ型感光材の１１１
７と前記の緑色に染色されたネガ型感光材の１１１９と
が形成されている領域上を除く領域にネガ型感光材の膜
２１を形成し、これを赤色に染色した後、全面に保護層
２２を形成して赤色フィルタ層１６を形成する。上記の
青色フィルタ層７と緑色フィルタ層１２と赤色フィルタ
層１６との積層体をもって、青、緑、赤の３原色カラー
フィルタが形成される。なお、これら３原色の染色順序
は自由であり、上記の単色系に加えて、補色系の物もあ
〔発明が解決しようとするｉｓ： ところで、ゼラチン、カゼイン等の水溶性高分子化合物
特に蛋白質に重クロム酸塩を溶解させたネガ型感光材は
、露光・現像時の解像度が低いため、ネガ型感光材の膜
をパターニングする時の寸法精度が悪い。また、染色の
工程が複雑であるため歩留りが低く、固体撮像素子の高
画素化の要求に対応することが困難である。
本発明の目的は、これらの欠点を解消することにあり、
二つの独立した目的を有する。第１の目的は、高い寸法
精度をもって形成され、固体撮像素子の高画素化の要求
に十分対応しうる固体撮像素子用フィルタまたはそのフ
ィルタの形成された固体撮像素子を提供することにある
。！２の目的は、高画素化の要求に対応して、固体撮像
素子用フィルタまたはそのフィルタの形成された固体撮
像素子を、簡略化された工程をもって歩留り良く、かつ
、高い寸法精度をもって製造しうる方法を提供すること
にある。
二つの独立した目的を有する。第１の目的は、高い寸法
精度をもって形成され、固体撮像素子の高画素化の要求
に十分対応しうる固体撮像素子用フィルタまたはそのフ
ィルタの形成された固体撮像素子を提供することにある
。！２の目的は、高画素化の要求に対応して、固体撮像
素子用フィルタまたはそのフィルタの形成された固体撮
像素子を、簡略化された工程をもって歩留り良く、かつ
、高い寸法精度をもって製造しうる方法を提供すること
にある。
〔課題を解決するための手段］
上記二つの目的のうち、第１の目的は、一部領域は顔料
と樹脂との岨Ｆｆｉ、１１Ｆｌよりなる色材膜（３）と
第１の透光性保護膜（４）と第２の透光性保護１１！（
６）との積層体よりなり、他の領域は第２の透光性保護
膜（６）よりなる板状体（７）の少なくとも１層が、固
体撮像素子（１）上、または、透光性板状体（１１）上
に形成されている固体撮像素子、または、固体撮像素子
用フィルタによって達成される。
と樹脂との岨Ｆｆｉ、１１Ｆｌよりなる色材膜（３）と
第１の透光性保護膜（４）と第２の透光性保護１１！（
６）との積層体よりなり、他の領域は第２の透光性保護
膜（６）よりなる板状体（７）の少なくとも１層が、固
体撮像素子（１）上、または、透光性板状体（１１）上
に形成されている固体撮像素子、または、固体撮像素子
用フィルタによって達成される。
上記二つの目的のうち、第２の目的は、固体撮像素子（
１）上、または、透光性板状体（１１）上に、顔料と樹
脂との組成物の溶液を塗布して、前記の顔料と樹脂との
＆ｌＩ或物よりなる色材膜（３）を形成し、この色材膜
（３）上に酸化シリコン系溶液を塗布して第１の透光性
保護膜（４）を形成して、前記の色材１ｌＩＩ（３）と
前記の第１の透光性保護膜（４）との積層体（３１）を
形成し、フォトＪソゲラフイー法を使用して前記の積層
体（３１）をパターニングして一部領域シこ残留し、酸
化シリコン系溶液を全面に塗布して前記の固体撮像素子
（１）と前記の積層体（３１）との上に第２の透光性保
護膜（６）を形成する工程を少なくとも１固有する固体
撮像素子、または、固体撮像素子用フィルタの製造方法
によって達成される。
１）上、または、透光性板状体（１１）上に、顔料と樹
脂との組成物の溶液を塗布して、前記の顔料と樹脂との
＆ｌＩ或物よりなる色材膜（３）を形成し、この色材膜
（３）上に酸化シリコン系溶液を塗布して第１の透光性
保護膜（４）を形成して、前記の色材１ｌＩＩ（３）と
前記の第１の透光性保護膜（４）との積層体（３１）を
形成し、フォトＪソゲラフイー法を使用して前記の積層
体（３１）をパターニングして一部領域シこ残留し、酸
化シリコン系溶液を全面に塗布して前記の固体撮像素子
（１）と前記の積層体（３１）との上に第２の透光性保
護膜（６）を形成する工程を少なくとも１固有する固体
撮像素子、または、固体撮像素子用フィルタの製造方法
によって達成される。
（作用３
本発明に係る固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、
及び、その製造方法においては、固体撮像素子ｌまたは
透光性板状体ｌｌ上に顔料と樹脂との組成物よりなる色
材ｌｌｌ３と第１の透光性保護Ｗ４４との積層体３１を
形成し、積層体３１の上に、従来使用されているゼラチ
ン、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋白質よりな
るネガ型感光材よりも高い解倣度を有するフォトレジス
ト層５を形成し、このフォトレジスト層５をフォトリソ
グラフィー法を使用してパターニングし、このパターニ
ングされた寸法精度の高いフォトレジスト層５をマスク
として前記の積層体３１をパターニングしてフィルタを
形成するので、寸法精度の高いフィルタが形成される。
及び、その製造方法においては、固体撮像素子ｌまたは
透光性板状体ｌｌ上に顔料と樹脂との組成物よりなる色
材ｌｌｌ３と第１の透光性保護Ｗ４４との積層体３１を
形成し、積層体３１の上に、従来使用されているゼラチ
ン、カゼイン等の水溶性高分子化合物特に蛋白質よりな
るネガ型感光材よりも高い解倣度を有するフォトレジス
ト層５を形成し、このフォトレジスト層５をフォトリソ
グラフィー法を使用してパターニングし、このパターニ
ングされた寸法精度の高いフォトレジスト層５をマスク
として前記の積層体３１をパターニングしてフィルタを
形成するので、寸法精度の高いフィルタが形成される。
また、複雑な染色工程が不用になるので、製造工程が簡
略化され、製造歩留りが向上する。
略化され、製造歩留りが向上する。
以下、図面を参照しつ＼、本発明の一実施例に係る固体
撮像素子または固体撮像素子用フィルタの製造方法につ
いて説明する。
撮像素子または固体撮像素子用フィルタの製造方法につ
いて説明する。
第２図参照
固体撮像素子ｌまたはガラス等の透光性板状体ｌｌ上に
シリコンオングラス（ＳＯＣ，）を１．０００人〜１０
，０００人厚に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５
〜１２０分間加熱して硬化させ、下引層２を形成する０
次に、例えばチバガイギー製オラゾールブルーＧＮの青
色顔料をアクリル系、ポリイミド系等の樹脂溶液中に分
散させた溶液を下引層２上に５，０００人厚程度に塗布
した後、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２０分間加
熱して硬化させ、青色の色ｕＷｊ！３を形成する０次い
で、シリコンオングラス（ＳＯＣ）を１．０００人厚程
度に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２０分
間加熱して硬化させて第１の透光性保護１１４を形成し
、色材膜３と第１の透光性保護膜４との積層体３１を形
成する。第１の透光性保護［４は次工程において形成さ
れるフォトレジスト層と色材膜３との混ざり合いを防止
するために形成されるものである０次に、通常使用され
ているノボラック系ポジ型フォトレジスト層５を形成し
、ブリヘークする。
シリコンオングラス（ＳＯＣ，）を１．０００人〜１０
，０００人厚に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５
〜１２０分間加熱して硬化させ、下引層２を形成する０
次に、例えばチバガイギー製オラゾールブルーＧＮの青
色顔料をアクリル系、ポリイミド系等の樹脂溶液中に分
散させた溶液を下引層２上に５，０００人厚程度に塗布
した後、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２０分間加
熱して硬化させ、青色の色ｕＷｊ！３を形成する０次い
で、シリコンオングラス（ＳＯＣ）を１．０００人厚程
度に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２０分
間加熱して硬化させて第１の透光性保護１１４を形成し
、色材膜３と第１の透光性保護膜４との積層体３１を形
成する。第１の透光性保護［４は次工程において形成さ
れるフォトレジスト層と色材膜３との混ざり合いを防止
するために形成されるものである０次に、通常使用され
ているノボラック系ポジ型フォトレジスト層５を形成し
、ブリヘークする。
第３図参照
所望のパターンの形成されたレチクルまたはマスクを使
用してポジ型フォトレジスト層５を露光した後、アルカ
リ性現像液を使用して現像し、露光された領域のフォト
レジスト層５と第１の透光性保護膜４とを順次除去する
。
用してポジ型フォトレジスト層５を露光した後、アルカ
リ性現像液を使用して現像し、露光された領域のフォト
レジスト層５と第１の透光性保護膜４とを順次除去する
。
′ｌＡ４図参照
酸素プラズマエツチングをなし、フォトレジスト層５に
覆われていない領域の青色の色材膜３を除去して、一部
領域に青色の色材ｌ！ｌＩ３と第１の透光性保護膜４と
の積、１体３１を残留する。
覆われていない領域の青色の色材膜３を除去して、一部
領域に青色の色材ｌ！ｌＩ３と第１の透光性保護膜４と
の積、１体３１を残留する。
第５図参照
酢酸ブチル剥Ｎ液を使用してフォトレジスト層５を除去
する。なお、シリコンオングラス（Ｓ。
する。なお、シリコンオングラス（Ｓ。
Ｇ）よりなる第１の透光性保護膜４は、酢酸ブチル剥離
液と反応しないのでそのま覧残留する。次いで、シリコ
ンオングラス（ＳＯＧ） を１，０００大〜１０，００
０人厚に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２
０分間加熱して硬化させて第２の透光性保護膜６を形成
し、積層体３１と第２の透光性保１１１６とよりなる青
色フィルタ層７を形成する。
液と反応しないのでそのま覧残留する。次いで、シリコ
ンオングラス（ＳＯＧ） を１，０００大〜１０，００
０人厚に塗布し、１００〜２５０°Ｃの温度に５〜１２
０分間加熱して硬化させて第２の透光性保護膜６を形成
し、積層体３１と第２の透光性保１１１６とよりなる青
色フィルタ層７を形成する。
第６図参照
次いで、例えばオラゾールブルーＧＮ（青色顔料とエロ
ー２０ＬＮ （黄色顔料）との混合物よりなる緑色顔料
を樹脂溶液中に分散させた溶液を使用し、前記と同一の
方法を使用して、前記の青色の色材！Ｉ３の形成されて
いる領域上を除く一部領域に緑色の色材膜８とシリコン
オングラス（ＳＯＣ）よりなる第１の透光性保護膜９と
の墳層体を形成した後、全面に第２の透光性保、１１Ｍ
ｌ０を形成して緑色フィルタ層１２を形成する。
ー２０ＬＮ （黄色顔料）との混合物よりなる緑色顔料
を樹脂溶液中に分散させた溶液を使用し、前記と同一の
方法を使用して、前記の青色の色材！Ｉ３の形成されて
いる領域上を除く一部領域に緑色の色材膜８とシリコン
オングラス（ＳＯＣ）よりなる第１の透光性保護膜９と
の墳層体を形成した後、全面に第２の透光性保、１１Ｍ
ｌ０を形成して緑色フィルタ層１２を形成する。
第１園参照
次いで、例えばチバガイギー製オラヅールレノドＧの赤
色顔料を樹脂溶液中に分散させた溶液を使用し、前記と
同一の方法を使用して、前記の青色の色材膜３と前記の
緑色の色材膜８とが形成されている領域上を除く領域に
赤色の色材膜１３とシリコンオングラス（ＳＯＣ，）よ
りなる第１の透光性保護膜１４との積層体を形成した後
、全面に第２の透光性保１１１Ｉ１１５を形成して赤色
フィルタ層１６を形成する。
色顔料を樹脂溶液中に分散させた溶液を使用し、前記と
同一の方法を使用して、前記の青色の色材膜３と前記の
緑色の色材膜８とが形成されている領域上を除く領域に
赤色の色材膜１３とシリコンオングラス（ＳＯＣ，）よ
りなる第１の透光性保護膜１４との積層体を形成した後
、全面に第２の透光性保１１１Ｉ１１５を形成して赤色
フィルタ層１６を形成する。
上記の青色フィルタ層７と緑色フィルタ層１２と赤色フ
ィルタ層１６との積層体をもって青（Ｂ）、緑（Ｇ）、
赤（Ｒ）の三原色のカラーフィルタが構成される。なお
、この単色系の他に、シアン（Ｃ）、マジェンタ（Ｍｇ
）、黄色（Ｙ）、緑色（Ｇ）の補色系の物も製造可能で
あることは云うまでもない。
ィルタ層１６との積層体をもって青（Ｂ）、緑（Ｇ）、
赤（Ｒ）の三原色のカラーフィルタが構成される。なお
、この単色系の他に、シアン（Ｃ）、マジェンタ（Ｍｇ
）、黄色（Ｙ）、緑色（Ｇ）の補色系の物も製造可能で
あることは云うまでもない。
以上説明せるとおり、本発明に係る固体撮像素子、固体
撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法においては、
固体撮像素子上または透光性板状体上に顔料と樹脂との
組成物よりなる色材膜と第１の透光性保護膜との積層体
を形成し、この積層体の上にフォトレジスト層を形成し
、このフォトレジスト層をフォトリソグラフィー法を使
用して高い解像度をもってバターニングしてレジストパ
ターンを形成し、この精度の高いレジストパターンをマ
スクとして前記の積層体をパターニングしてフィルタを
形成するので、極めて寸法精度の高いフィルタが形成さ
れ、固体撮像素子の高画素化に十分対応することが可能
になった。また、複雑な染色工程が不用になるので、品
質が均一化され、製造工程が簡略化されて製造歩留りが
向上した。
撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法においては、
固体撮像素子上または透光性板状体上に顔料と樹脂との
組成物よりなる色材膜と第１の透光性保護膜との積層体
を形成し、この積層体の上にフォトレジスト層を形成し
、このフォトレジスト層をフォトリソグラフィー法を使
用して高い解像度をもってバターニングしてレジストパ
ターンを形成し、この精度の高いレジストパターンをマ
スクとして前記の積層体をパターニングしてフィルタを
形成するので、極めて寸法精度の高いフィルタが形成さ
れ、固体撮像素子の高画素化に十分対応することが可能
になった。また、複雑な染色工程が不用になるので、品
質が均一化され、製造工程が簡略化されて製造歩留りが
向上した。
第１図は、本発明の一実施例に係る製造方法を使用して
製造された固体撮像素子用フィルタまたはフィルタの形
成された固体撮像素子の構成を示す断面図である。 第２図〜第６図は、本発明の一実施例に係る固体撮像素
子用フィルタまたはフィルタの形成された固体撮像素子
の製造工程図である。 第７図〜第１０図は、従来技術に係る固体撮像素子用フ
ィルタまたはフィルタの形成された固体撮像素子の製造
工程図である。 １・・・固体撮像素子、 ２・・・下引層、 ３・・・色材膜（青）、 ４．９．１４・・・第１の透光性保護膜、５・・・フォ
トレジスト、 ６．１０．１５・・・第２の透光性保護膜、７・・・青
色フィルタ層、 ８・・・色材ＩＩ（緑）、 １１・・・透光性板状体、 １２・・・緑色フィルタ層、 １３・・・色材膜（赤）、 １６・・・赤色フィルタ層、 ｌ７． １９、 Ｉ ・ネガ型感光材、 １８． ２０・ ・分離層、 ２２・ 保護層。
製造された固体撮像素子用フィルタまたはフィルタの形
成された固体撮像素子の構成を示す断面図である。 第２図〜第６図は、本発明の一実施例に係る固体撮像素
子用フィルタまたはフィルタの形成された固体撮像素子
の製造工程図である。 第７図〜第１０図は、従来技術に係る固体撮像素子用フ
ィルタまたはフィルタの形成された固体撮像素子の製造
工程図である。 １・・・固体撮像素子、 ２・・・下引層、 ３・・・色材膜（青）、 ４．９．１４・・・第１の透光性保護膜、５・・・フォ
トレジスト、 ６．１０．１５・・・第２の透光性保護膜、７・・・青
色フィルタ層、 ８・・・色材ＩＩ（緑）、 １１・・・透光性板状体、 １２・・・緑色フィルタ層、 １３・・・色材膜（赤）、 １６・・・赤色フィルタ層、 ｌ７． １９、 Ｉ ・ネガ型感光材、 １８． ２０・ ・分離層、 ２２・ 保護層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］一部領域は顔料と樹脂との組成物よりなる色材膜
（３）と第１の透光性保護膜（４）と第２の透光性保護
膜（６）との積層体よりなり、他の領域は第２の透光性
保護膜（６）よりなる板状体（７）の少なくとも１層が
、 固体撮像素子（１）上に形成されてなる ことを特徴とする固体撮像素子。 ［２］一部領域は顔料と樹脂との組成物よりなる色材膜
（３）と第１の透光性保護膜（４）と第２の透光性保護
膜（６）との積層体よりなり、他の領域は第２の透光性
保護膜（６）よりなる板状体（７）の少なくとも１層が
、 透光性板状体（１１）上に形成されてなる ことを特徴とする固体撮像素子用フィルタ。 ［３］固体撮像素子（１）上に、顔料と樹脂との組成物
の溶液を塗布して、前記顔料と樹脂との組成物よりなる
色材膜（３）を形成し、 該色材膜（３）上に酸化シリコン系溶液を塗布して第１
の透光性保護膜（４）を形成して、前記色材膜（３）と
前記第１の透光性保護膜（４）との積層体（３１）を形
成し、 フォトリソグラフィー法を使用して前記積層体（３１）
をパターニングして一部領域に残留し、酸化シリコン系
溶液を全面に塗布して前記固体撮像素子（１）と前記積
層体（３１）との上に第２の透光性保護膜（６）を形成
する 工程を少なくとも１回有することを特徴とする固体撮像
素子の製造方法。 ［４］透光性板状体（１１）上に、顔料と樹脂との組成
物の溶液を塗布して、前記顔料と樹脂との組成物よりな
る色材膜（３）を形成し、 該色材膜（３）上に酸化シリコン系溶液を塗布して第１
の透光性保護膜（４）を形成して、前記色材膜（３）と
前記第１の透光性保護膜（４）との積層体（３１）を形
成し、 フォトリソグラフィー法を使用して前記積層体（３１）
をパターニングして一部領域に残留し、酸化シリコン系
溶液を全面に塗布して前記透光性板状体（１１）と前記
積層体（３１）との上に第２の透光性保護膜（６）を形
成する 工程を少なくとも１回有することを特徴とする固体撮像
素子用フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062723A JPH03264904A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062723A JPH03264904A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03264904A true JPH03264904A (ja) | 1991-11-26 |
Family
ID=13208567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062723A Pending JPH03264904A (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 固体撮像素子、固体撮像素子用フィルタ、及び、その製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03264904A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58153903A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Canon Inc | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS59171909A (ja) * | 1983-03-19 | 1984-09-28 | Canon Inc | 微細色フイルタ−の製造方法 |
| JPS62242918A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタ |
| JPS63213802A (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-06 | Fujitsu Ltd | 色フイルタ |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP2062723A patent/JPH03264904A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58153903A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Canon Inc | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS59171909A (ja) * | 1983-03-19 | 1984-09-28 | Canon Inc | 微細色フイルタ−の製造方法 |
| JPS62242918A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタ |
| JPS63213802A (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-06 | Fujitsu Ltd | 色フイルタ |
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