JPS63195601A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法Info
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- JPS63195601A JPS63195601A JP62028432A JP2843287A JPS63195601A JP S63195601 A JPS63195601 A JP S63195601A JP 62028432 A JP62028432 A JP 62028432A JP 2843287 A JP2843287 A JP 2843287A JP S63195601 A JPS63195601 A JP S63195601A
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Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光硬化型或いは熱硬化型の樹脂と染料とにより形成され
た個々のフィルタにより構成されたカラーフィルタを備
え、光の分散による色にじみの防止を可能にした固体撮
像素子の製造方法。
た個々のフィルタにより構成されたカラーフィルタを備
え、光の分散による色にじみの防止を可能にした固体撮
像素子の製造方法。
本発明は、固体撮像素子に係り、特にカラーフィルタの
製造方法の、改良に関するものである。
製造方法の、改良に関するものである。
カラー用の固体撮像素子においては、入射光をカラーフ
ィルタで透過し、三原色に分解して撮像を行っているが
、このフィルタによる分解に際してフィルタによる光の
分散のために光歪みが生じて色にじみとなり、固体撮像
素子の性能を劣化させている。
ィルタで透過し、三原色に分解して撮像を行っているが
、このフィルタによる分解に際してフィルタによる光の
分散のために光歪みが生じて色にじみとなり、固体撮像
素子の性能を劣化させている。
以上のような状況から固体撮像素子の色にじみの防止が
特に要望されている。
特に要望されている。
従来の固体撮像素子は第３図に示すような三層構造のカ
ラーフィルタを備えている。
ラーフィルタを備えている。
固体撮像素子のフォトセンサ部１とアルミニウム配線２
０表面はＰＳＧｆｐ１３で覆われており、ＰＳＧＳ２Ｏ
２ぐ上にはＲゼラチン層１６ａ、その上に中間層１７、
ＧゼラチンＮ１６ｂ、中間層１７、Ｂゼラチン層１６ｃ
、中間層１７が積層して形成されている。
０表面はＰＳＧｆｐ１３で覆われており、ＰＳＧＳ２Ｏ
２ぐ上にはＲゼラチン層１６ａ、その上に中間層１７、
ＧゼラチンＮ１６ｂ、中間層１７、Ｂゼラチン層１６ｃ
、中間層１７が積層して形成されている。
図の上方よりの入射光の内の赤色光はＲゼラチン層１６
ａの下のフォトセンサ部１で、緑色光はＧゼラチン層１
６ｂの下のフォトセンサ部１で、青色光はＢゼラチン層
１６Ｃの下のフォトセンサ部１でそれぞれ、感知される
ようになっている。
ａの下のフォトセンサ部１で、緑色光はＧゼラチン層１
６ｂの下のフォトセンサ部１で、青色光はＢゼラチン層
１６Ｃの下のフォトセンサ部１でそれぞれ、感知される
ようになっている。
従来のＰＧＭＡ系の感光材を用いる固体撮像素子の製造
方法を第４図により工程順に説明する。
方法を第４図により工程順に説明する。
先ず第４図（ａ）に示すようにＰＳＧＳａＯ２面に重ク
ロム酸カリウムとゼラチンを混合したネガタイプの重ク
ロム酸ゼラチンよりなるＰＧＭＡ系の感光材１４を塗布
する。
ロム酸カリウムとゼラチンを混合したネガタイプの重ク
ロム酸ゼラチンよりなるＰＧＭＡ系の感光材１４を塗布
する。
次に、例えば赤色のゼラチン層を形成する場合には、赤
色光に対するフォトセンサ部ｌにのみマスクを用いて露
光をし、現像を行う。
色光に対するフォトセンサ部ｌにのみマスクを用いて露
光をし、現像を行う。
その後赤色の染料に浸積して染色し、Ｒゼラチン層１６
ａを形成する。
ａを形成する。
次いで次工程のＧゼラチン層１６ｂと分離するためにＰ
ＧＭＧ系の中間層１７を塗布し、赤色ゼラチン層の製造
を完了する。
ＧＭＧ系の中間層１７を塗布し、赤色ゼラチン層の製造
を完了する。
この中間層１７の表面に上記の工程を繰り返して行い、
緑色及び青色のゼラチン層を積層した、第３図に示すよ
うなカラーフィルタ１６を形成する。
緑色及び青色のゼラチン層を積層した、第３図に示すよ
うなカラーフィルタ１６を形成する。
以上説明の従来の固体撮像素子で問題となるのは、入射
光のカラーフィルタによる色にじみに起因する固体撮像
素子の性能の劣化が生じることである。
光のカラーフィルタによる色にじみに起因する固体撮像
素子の性能の劣化が生じることである。
即ち、従来の固体撮像素子のカラーフィルタはその製造
方法より明らかなように、カラーフィルタの平坦化が困
難で、多層の厚膜構造となっているため、下層色光と上
層色光との光の分散のために光歪みが生じて色にじみと
なり、固体撮像素子の性能劣化の原因となっているので
ある。
方法より明らかなように、カラーフィルタの平坦化が困
難で、多層の厚膜構造となっているため、下層色光と上
層色光との光の分散のために光歪みが生じて色にじみと
なり、固体撮像素子の性能劣化の原因となっているので
ある。
本発明は以上のような状況からその製造方法の異なるカ
ラーフィルタを備えた固体撮像素子の製１遣方法の提供
を目的としたものである。
ラーフィルタを備えた固体撮像素子の製１遣方法の提供
を目的としたものである。
上記問題点は、光硬化型或いは熱硬化型の樹脂を塗布し
、その表面に染料を塗布する工程と、この樹脂を露光・
現像するか或いは熱硬化してこの染料を固定する工程と
、露光・現像或いは熱硬化していない樹脂とその上の染
料とを除去する工程とを含む本発明の固体撮像素子の製
造方法によって解決される。
、その表面に染料を塗布する工程と、この樹脂を露光・
現像するか或いは熱硬化してこの染料を固定する工程と
、露光・現像或いは熱硬化していない樹脂とその上の染
料とを除去する工程とを含む本発明の固体撮像素子の製
造方法によって解決される。
即ち本発明においては、カラーフィルタを単層構造に形
成することができるので、隣接する色光の間に光の分散
が起こり難く、従って光歪が生じないので、色にじみが
なくなって固体撮像素子の性能の向上が可能となる。
成することができるので、隣接する色光の間に光の分散
が起こり難く、従って光歪が生じないので、色にじみが
なくなって固体撮像素子の性能の向上が可能となる。
以下第１図〜第２図について本発明の一実施例を説明す
る。 ゛ 第１図に本実施例によるカラーフィルタの側断面図を示
す。
る。 ゛ 第１図に本実施例によるカラーフィルタの側断面図を示
す。
図示のようにフォトセンサ部１とアルミニウム配線２の
表面はＰＳＧＳａＯ２われ、ＰＳＧＳａＯ２には各色光
のフォトセンサ部１に対応してフィルタが単層に形成さ
れている。このため入射光の内の赤色光はＲフィルタ６
ａの下のフォトセンサ部１に、緑色光はＧフィルタ６ｂ
の下のフォトセンサ部１に、青色光はＢフィルタ６Ｃの
下のフォトセンサ部１に感知されるので、隣接するフィ
ルタを透過した光の分散がなく、光歪が生じないので色
にじみが発生しない。
表面はＰＳＧＳａＯ２われ、ＰＳＧＳａＯ２には各色光
のフォトセンサ部１に対応してフィルタが単層に形成さ
れている。このため入射光の内の赤色光はＲフィルタ６
ａの下のフォトセンサ部１に、緑色光はＧフィルタ６ｂ
の下のフォトセンサ部１に、青色光はＢフィルタ６Ｃの
下のフォトセンサ部１に感知されるので、隣接するフィ
ルタを透過した光の分散がなく、光歪が生じないので色
にじみが発生しない。
本発明による固体撮像素子の製造方法の一実施例をエポ
キシ系の光硬化型樹脂を使用した場合について説明する
。
キシ系の光硬化型樹脂を使用した場合について説明する
。
先ず第２図（ａ）に示すようにＰＳＧＳａＯ２面にエポ
キシ系の光硬化型の樹脂４を塗布し、次いで第２図中）
に示すように樹脂４の表面に染料５を全面に塗布する。
キシ系の光硬化型の樹脂４を塗布し、次いで第２図中）
に示すように樹脂４の表面に染料５を全面に塗布する。
次に、第２図（Ｃ）に示すように赤色のゼラチン層゛を
形成する場合は、赤色光に対するフォトセンサ部ｌにの
みマスクを用いて露光をし、現像を行う。
形成する場合は、赤色光に対するフォトセンサ部ｌにの
みマスクを用いて露光をし、現像を行う。
その後未感光の樹脂４を有機溶剤により除去し、第２図
ｆｄ）に示すようにＲフィルタ６ａの形成を完了する。
ｆｄ）に示すようにＲフィルタ６ａの形成を完了する。
Ｇフィルタ６ｂを形成する場合には、再びＰＳＧ膜３の
表面に樹脂４を塗布し、緑色の染料５、例えば日本化薬
社製のＫＡＹＡＳＥＴ ＧＲＥＥＮ ＡＢを全面に塗布
する。
表面に樹脂４を塗布し、緑色の染料５、例えば日本化薬
社製のＫＡＹＡＳＥＴ ＧＲＥＥＮ ＡＢを全面に塗布
する。
この場合には先に形成したＲフィルタ６ａの周囲には樹
脂４が塗られており、Ｇフィルタ６ｂを形成するように
、緑色光に対するフォトセンサ部１にのみマスクを用い
て露光をし、現像を行う。
脂４が塗られており、Ｇフィルタ６ｂを形成するように
、緑色光に対するフォトセンサ部１にのみマスクを用い
て露光をし、現像を行う。
その後Ｒフィルタ６ａの場合と同様に未感光の樹脂４を
有機溶剤により除去し、Ｇフィルタ６ｂの形成を完了す
る。
有機溶剤により除去し、Ｇフィルタ６ｂの形成を完了す
る。
Ｂフィルタ６ｃの形成もＧフィルタ６ｂの場合と全く同
様に行いＢフィルタ６ｃを形成する。
様に行いＢフィルタ６ｃを形成する。
このようにして各色のフィルタをＰＳＧ膜３の表面に単
層に形成することができるから、各色のフィルタを透過
した単色光が直接フォトセンサ部１に入射するので、分
散して光歪みを生じることがなく色にじみも発生しない
。
層に形成することができるから、各色のフィルタを透過
した単色光が直接フォトセンサ部１に入射するので、分
散して光歪みを生じることがなく色にじみも発生しない
。
熱硬化型樹脂を用いる他の実施例では、先ずエポキシ系
の熱硬化型の樹脂を塗布した上に染料を樹脂の表面に塗
布し、レーザによってその染料に相当するフォトセンサ
部の上の樹脂を加熱して熱硬化を起こさせフィルタを形
成する。
の熱硬化型の樹脂を塗布した上に染料を樹脂の表面に塗
布し、レーザによってその染料に相当するフォトセンサ
部の上の樹脂を加熱して熱硬化を起こさせフィルタを形
成する。
その後、熱硬化を起こしていない熱硬化型の樹脂を有機
溶剤により除去し、次に光硬化型樹脂の場合と同様に再
び熱硬化型の樹脂を全面に塗布し、次にフィルタを形成
しようとする色の染料を全面に塗布する。そしてその色
のフォトセンサ部の上の熱硬化型樹脂を加熱して熱硬化
を起こさせてフィルタを形成する。
溶剤により除去し、次に光硬化型樹脂の場合と同様に再
び熱硬化型の樹脂を全面に塗布し、次にフィルタを形成
しようとする色の染料を全面に塗布する。そしてその色
のフォトセンサ部の上の熱硬化型樹脂を加熱して熱硬化
を起こさせてフィルタを形成する。
このようにして、熱硬化型樹脂と染料により、単層構造
のＲＧＢフィルタを形成することが可能となる。
のＲＧＢフィルタを形成することが可能となる。
以上の説明はＲＧＢフィルタの場合について行ったが、
ＣＭＹフィルターを形成する場合にも染料５をシアン、
マゼンタ、黄色にすれば同様にカラーフィルタを形成す
ることが可能である。
ＣＭＹフィルターを形成する場合にも染料５をシアン、
マゼンタ、黄色にすれば同様にカラーフィルタを形成す
ることが可能である。
尚、この製造方法は液晶ディスプレイやカラーブラウン
管のシャドウマスクにも適用が可能である。
管のシャドウマスクにも適用が可能である。
以上説明したように本発明によれば単層で色光の間に光
の分散が起こらず、光歪が生じない、色にじみの無いカ
ラーフィルタを備えた固体撮像素子の製造が可能であり
、高性能の固体撮像素子の使用が可能となる等の利点が
あり、著しい品質向上の効果が期待でき工業的には極め
て有用なものである。
の分散が起こらず、光歪が生じない、色にじみの無いカ
ラーフィルタを備えた固体撮像素子の製造が可能であり
、高性能の固体撮像素子の使用が可能となる等の利点が
あり、著しい品質向上の効果が期待でき工業的には極め
て有用なものである。
第１図は本発明による一実施例を示す側断面図、第２図
は本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断
面図、 第３図は従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側
断面図、 第４図は従来の固体撮像素子のカラーフィルタの製造工
程を工程順に示す側断面図、 である。 図において、 ｌはフォトセンサ部、 ２はアルミニウム配線、 ３はＰＳＧ膜、 ４は樹脂、 ５は染料、 ６はカラーフィルタ、 ６ａはＲフィルタ、 ６ｂはＧフィルタ、 ６ｃはＢフィルタ、 本発明による一実施例を示す側断面７ 第１図 樹脂の塗布 ４Ｍｎの露光及び現像 本発明による一実施例の製造工程を工程頃に示す便所面
図従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側断面図
第３図
は本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断
面図、 第３図は従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側
断面図、 第４図は従来の固体撮像素子のカラーフィルタの製造工
程を工程順に示す側断面図、 である。 図において、 ｌはフォトセンサ部、 ２はアルミニウム配線、 ３はＰＳＧ膜、 ４は樹脂、 ５は染料、 ６はカラーフィルタ、 ６ａはＲフィルタ、 ６ｂはＧフィルタ、 ６ｃはＢフィルタ、 本発明による一実施例を示す側断面７ 第１図 樹脂の塗布 ４Ｍｎの露光及び現像 本発明による一実施例の製造工程を工程頃に示す便所面
図従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側断面図
第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光硬化型或いは熱硬化型の樹脂（４）を塗布し、その表
面に染料（５）を塗布する工程と、 前記樹脂（４）を露光・現像するか或いは熱硬化して前
記染料（５）を固定する工程と、露光・現像或いは熱硬
化していない前記樹脂（４）とその上の前記染料（５）
とを除去する工程と、を含むことを特徴とする固体撮像
素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62028432A JPS63195601A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62028432A JPS63195601A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195601A true JPS63195601A (ja) | 1988-08-12 |
Family
ID=12248501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62028432A Pending JPS63195601A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250478A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Kyushu Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| EP1855320A1 (en) * | 2005-02-10 | 2007-11-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Solid-state imaging device and method for manufacturing same |
-
1987
- 1987-02-09 JP JP62028432A patent/JPS63195601A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250478A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Kyushu Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| EP1855320A1 (en) * | 2005-02-10 | 2007-11-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Solid-state imaging device and method for manufacturing same |
| EP1855320A4 (en) * | 2005-02-10 | 2012-03-21 | Toppan Printing Co Ltd | TUBE-FREE IMAGE ASSEMBLY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
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