KR900001796Y1 - 고체 촬상소자 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

고체 촬상소자

제1도는 종래의 고체 촬상소자 웨이퍼 확대 평면도.

제2도는 제1도의 개략 측면도.

제3도는 본 고안의 실시예를 도시하는 확대 평면도로서,

제3a도는 코너를 모타 기형으로 한 경우의 평면도.

제3b도는 코너를 라운딩형으로 한 경우의 평면도.

제4도는 본 고안 고체 촬상소자의 측단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 칩 3 : 계단상단차

5 : 염색분리막 6 : 제2색필터

9 : 최종보호막 7 : 제4색필터

본 고안은 고체 촬상소자에 관한 것이다.

고체 촬상소자는 영상신호를 전기적신호를 변환시켜 주는 소자로서, 그 제조방법은 다음과 같이 행해지고 있다.

Si-웨이퍼상에 8-13종류의 패턴마스크를 이용하여 일련의 사진식각공정을 통해 흑백 고체 촬상소자를 만든 후, 이를 기판으로 하여 5-7 종류의 패턴 마스크를 사용해서, 기판상에 색필터를 적층시켜 웨이퍼를 완성한다.

여기서 웨이퍼의 상면에는 1회에 다수의 고체 촬상소자용 칩이 형성되는 바, 제1도의 도시와 같이 각각의 칩(1)는 절단선(2)에 의해 구획되도록 성형한다.

또한, 절단선(2)는 제2도의 도시와 같이 함몰된 형태로 생기는, 패턴 마스크가 놓여진 흔적으로 남는 것이며, 물리적인 외력에 의해 형성되는 것은 아니다.

종래의 상기한 바와 같은 공정을 통해 멀어지는 고체 촬상소자는 필터적층 작업에 있어서, 모재로 쓰이는 감광액을 회전도포할 때, 제1도의 실선 화살표로 도시한 바와 같이, 칩(1)의 코너부근에서 도포막 분할현상을 일으켜서, 막두께의 분균일을 초래하였고, 이로인하여 색필터의 분광특성이 손상되어 제품의 질이 좋질 못하게 된다. 즉, 감광액이 회전도로서, 막의 분산은 도면의 점선방향으로 퍼져나가는 것이 가장 이상적으로 되는 것이나, 제2도에 나타낸 바와 같이, 사진식각을 거듭할수록 칩(1)의 높이가 높아지고, 이에 따라 칩(1)의 코너측 막분할 현상도 커져서 칩(1)의 모서리 부근의 막두께는 중앙측에 비하여 심한 불균형을 이루게 된다.

그결과, 색필터의 불균일에 의해 칩(1)상에 펼쳐진 상, 하, 좌, 우측의 화소마다 분광특성에 차이가 생기게 되어 양질의 색재현성을 얻을 수 없게 되는 것이다.

본 고안의 목적은 상술한 제반문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 칩상에 균일한 막두께를 갖는 고체 촬상소자를 제공함에 있다.

상기한 목적에 따라, 본 고안은 칩의 코너를 모따기형 또는 라운드형으로 함과 동시에, 순차적층되는 색필터 막을 측면에서 보아 계단산을 이루도록 하여, 감광액도포시의 막분할 현상을 구조적으로 개선함에 그 특징이 있다.

이하 본 고안은 첨부도면 제3도 및 제4도를 참조하여 상세히 설명한다.

제3a도는 칩(1)의 코너부근을 모따기 형으로 한 본 고안의 고체 촬상소자를, 그리고 제3b도는 칩(1)의 코너부근을 라운딩형으로 한 본 고안의 고체 촬상소자를 예시한다.

절단선(2)를 경계로 하여 색필터층을 적층함에 있어서 패턴 마스크는 사방모서리가 모따기형을 이루거나, 또는 라운딩형으로 한 것을 사용하여 통상적인 사진식각방식을 통해 색필터를 순차 적층형성한다. 적층에 있어서, 최하단의 색필터층을 그 상측의 것보다 다소 면적을 넓게하여 전체로서 제4도의 도시와 같이 사방측변에 계단상 단차(3)이 형성되도록 함이 중요하다.

이렇게, 위로 적층될수록 면적이 좁아지게 적층되는 계단상 단차는 기존의 패턴 마스크에서 개구면적에 차이를 줌으로써, 용이하게 얻어낼 수 있다.

칩(1)의 두께가 두꺼울 경우, 계단상단차(3)는 감광액의 도포시에 생기는 막분할 현상을 보다 효과적으로 방지하여 주게 된다.

그 이유는 절단선(2) 부근에서 원심력을 받아 퍼져나가는 감광액은 계단상단차(3)에 의해 형성되는 경사면을 타고 올라서 비교적 신속하게 칩(1)의 상면으로 퍼져 나가기 때문이다.

한편, 칩(1)의 두께가 비교적 얇은 0.1㎛ 이하의 경우에는 계단상 단차(3)를 생략하여도 무방하며, 0.5㎛ 이상의 경우에 특히 효과적이다.

이와 같이 구성되는 고체 촬상소자는 다음과 같이 이점을 갖는다.

첫째, 색필터 적층시 감광액의 도포가 균일하게 되어 양호한 분광특성을 얻을 수 있다.

둘째, 소자표면의 평탄화 효과를 얻을 수 있다.

셋재, 분광특성이 양호하므로 화질을 얻을 수 있다.

다음에 본 고안의 실시예를 제4도로서 설명한다.

[실시예]

화소를 유기 고분자물질로 피복하고, 패턴 마스크를 통해 노광을 행하여 소정의 분광특성을 갖는 염료로 염색한 모자익 패턴을 얻는다.

패턴 마스크는 5-10㎛ 정도로 소자의 외곽부를 축소 형성할 수 있고, 코너를 모따기형 또는 라운딩하여 된 것을 사용한다.

13종류의 패턴 마스크를 사용한 경우, 절단선에서 최상측패턴까지는 65-130㎛의 단차를 이루었다.

이렇게 단자를 이루는 웨이퍼 표면을 평탄화 작업한다.

이경우 투명자외선 감광수지를 사용하는 것이 좋다.

투명자외선 감광수지를 도포한 다음, 불필요부분에는 자외선 노광을 행하여 제거한다.

이러한 평탄화 작업을 거치면, 계단상단차(3)에 까지도 투명자외선 감광수지가 도포되어 완만한 경사면을 이루게되므로, 이후의 감광액도포에 한층 유리하게 된다.

이어서, 제1색필터(4)의 재료인 젤라틴 감광제를 회전 도포하고, 노광, 현상하는 사진식각공정을 반복해서 필터패턴을 형성한다.

그리고 소정의 분광특성을 갖는 염료로 염색하여 필터를 완성한다.

염료는 제라틴에 대해 염색성이 좋은 삼성염료가 사용되며, 구체적으로는 카야놀밀링터키즈, 블루 30 등이 있다.

다음으로 염색분리막(5)를 평탄막과 동일한 방법으로 형성한다.

그리고, 제2색필터(6)의 재료로 되는 제라틴 감광제를 회전도포하고, 패턴노광, 현상하여 소정의 분광특성을 갖는 염료로 염색하여 제2색필터(6)을 완성한다.

염료는 카야놀옐로유 NSG, 카야놀예로우 NBR 등이 있다.

제3색필터인 녹색필터는 황색과 청색필터 패턴을 중첩하여 형성시키므로서 별도의 패턴을 형성함이 없이 제작할 수 있다.

또, 제2색필터(6)과 제4색필터(7) 사이에 염색분리막(8)을 제1색과 제2색 사이에 형성한 염색분리막(5)와 동일한 방법으로 형성한다.

그리고, 제4색필터(7)의 재료인 젤라틴 감광제를 회전도포한 후 필터패턴을 형성하여 소정의 분광특성을 갖는 염료, 예컨데 마젠타 2P 등의 염료로 염색함으로서 색필터를 완성한다.

이어서, 최종적으로 색필터를 보호하기 위한 최종보호막(9)를 도포하여 색필터를 도포하므로써 칼러 고체 촬상소자가 완성된다.

이와 같이 제작된 고체 촬상소자는 종래의 방법으로 제작한 것에 비해 필터 제작시 균일한 막두께를 얻을 수 있기 때문에 이상적인 색재현성을 얻을 수가 있다.

Claims (1)

1. 웨이퍼상에 사진식각 방법으로 형성하여 다수의 칩상으로 제조되는 고체 촬상소자에 있어서, 칩(1)의 사방코너부분은 모따기형 또는 라운딩형으로 함과 아울러, 다수의 색필터 적층시 상층부의 면적을 점차로 축소시켜 칩(1)의 주변에 계단상 단차(3)이 형성되어 이루어짐을 특징으로 하는 고체 촬상소자.