JPH02244101A - カラー固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
カラー固体撮像装置の製造方法Info
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- JPH02244101A JPH02244101A JP1063839A JP6383989A JPH02244101A JP H02244101 A JPH02244101 A JP H02244101A JP 1063839 A JP1063839 A JP 1063839A JP 6383989 A JP6383989 A JP 6383989A JP H02244101 A JPH02244101 A JP H02244101A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920002454 poly(glycidyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 abstract 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229920002189 poly(glycerol 1-O-monomethacrylate) polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 3
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 3
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 3
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- -1 gris Polymers 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、固体撮像素子の形成されたウェハー上に、直
接色分解用のモザイク状カラーフィルタの形成、特番こ
カラーフィルタの耐熱性向上を図った、カラー固体撮像
装置の製造方法に関する。
接色分解用のモザイク状カラーフィルタの形成、特番こ
カラーフィルタの耐熱性向上を図った、カラー固体撮像
装置の製造方法に関する。
(従来の技術)
従来、固体撮像装置上にカラーフィルタを直接形成する
方法としては、まず、素子表面の平坦化のために透明高
分子樹脂を塗布し、続いてカラーフィルタ層として、感
光性を持たせかつ粘度調整された。ゼラチン、カゼイン
、グリユー、PVA(ポリビニールアルコール)等の材
料を塗布し、露光・現像により所望のパターンを形成す
る。さらに、所望の分光透過率特性を得るために適切な
染料により染色する。さらに1次工程の染色工程での混
色を防止する目的から、平坦化に使用しているものと同
じ透明高分子樹脂を中間層として塗布する。カラー化方
式の違いにより、イエロー・シアン・マゼツン・グリー
ン、イエロー・シアン・グリーン・ホワイトあるいはレ
ッド、グリーン・ブルー等の色群よりなるカラーフィル
タを、前記プロセスを繰り返すことにより実現している
。
方法としては、まず、素子表面の平坦化のために透明高
分子樹脂を塗布し、続いてカラーフィルタ層として、感
光性を持たせかつ粘度調整された。ゼラチン、カゼイン
、グリユー、PVA(ポリビニールアルコール)等の材
料を塗布し、露光・現像により所望のパターンを形成す
る。さらに、所望の分光透過率特性を得るために適切な
染料により染色する。さらに1次工程の染色工程での混
色を防止する目的から、平坦化に使用しているものと同
じ透明高分子樹脂を中間層として塗布する。カラー化方
式の違いにより、イエロー・シアン・マゼツン・グリー
ン、イエロー・シアン・グリーン・ホワイトあるいはレ
ッド、グリーン・ブルー等の色群よりなるカラーフィル
タを、前記プロセスを繰り返すことにより実現している
。
この中で、平坦化層、中間層、トップコート層として用
いる透明高分子樹脂として、紫外線硬化型樹脂、熱硬化
型樹脂、ポリグリシジルメタクリレート(以下、PGM
Aと記す)、ポリメチルメタクリレート(以下、PMM
Aと記す)等の電子線レジストなどが主に使用されてい
る。紫外線硬化型樹脂を使用する場合、ポンディングパ
ッド部、スクライブライン部上の透明高分子樹脂は、各
透明樹脂形成工程中に除去していかねばならないため、
平坦化層、中間層、トップコート層の各層でホトエッチ
工程があり、工数が大でコストアップの要因が多い、ま
た、各層でホトエッチすることによりポンディングパッ
ド部、スクライブライン部での段差が工程を経る度に大
、きくなり、染色ベース(ゼラチン、カゼイン、グリユ
ー、PVA等)を塗布する際に、その段差部より塗布ム
ラが発生しカラー固体撮像素子の画質劣化の原因となる
。さらに、カラーフィルタを形成しているイメージエリ
ア部は透明樹脂の露光時に複数回紫外線が照射されるこ
とになり、カラーフィルタの分光透過率特性の耐光性劣
化を促進させていることになる。
いる透明高分子樹脂として、紫外線硬化型樹脂、熱硬化
型樹脂、ポリグリシジルメタクリレート(以下、PGM
Aと記す)、ポリメチルメタクリレート(以下、PMM
Aと記す)等の電子線レジストなどが主に使用されてい
る。紫外線硬化型樹脂を使用する場合、ポンディングパ
ッド部、スクライブライン部上の透明高分子樹脂は、各
透明樹脂形成工程中に除去していかねばならないため、
平坦化層、中間層、トップコート層の各層でホトエッチ
工程があり、工数が大でコストアップの要因が多い、ま
た、各層でホトエッチすることによりポンディングパッ
ド部、スクライブライン部での段差が工程を経る度に大
、きくなり、染色ベース(ゼラチン、カゼイン、グリユ
ー、PVA等)を塗布する際に、その段差部より塗布ム
ラが発生しカラー固体撮像素子の画質劣化の原因となる
。さらに、カラーフィルタを形成しているイメージエリ
ア部は透明樹脂の露光時に複数回紫外線が照射されるこ
とになり、カラーフィルタの分光透過率特性の耐光性劣
化を促進させていることになる。
一方、熱硬化型樹脂の場合、上記の問題は全て解決され
、かつ耐熱性、耐薬品性が良好であるという長所を持つ
、しかしながら、ポンディングパッド部、スクライブラ
イン部上の透明樹脂を除去する際、ドライエツチング工
程が必要となり、固体撮像素子に対しダメージを与え画
質を著しく劣化させる恐れがある。
、かつ耐熱性、耐薬品性が良好であるという長所を持つ
、しかしながら、ポンディングパッド部、スクライブラ
イン部上の透明樹脂を除去する際、ドライエツチング工
程が必要となり、固体撮像素子に対しダメージを与え画
質を著しく劣化させる恐れがある。
電子線レジストとして知られているPGMA。
PMMA等を平坦化層、中間層、トップコート層に用い
た場合、ポンディングパッド部、スクライブライン部の
透明樹脂は最終工程で一括ウエツト除去できるため、前
記熱硬化型樹脂のもつ問題点はなく、前記原因で発生す
る塗布ムラに対しても有利である。さらにこれらの材料
は衆知の如く遠紫外線を照射することによって、遠紫外
線のエネルギにより主鎖切断による低分子量化がおこり
、溶剤に可溶となるポジ型として働くため、イメージエ
リア部のカラーフィルタに照射されず、分光特性の変化
をおこさないというメリットを持つ。
た場合、ポンディングパッド部、スクライブライン部の
透明樹脂は最終工程で一括ウエツト除去できるため、前
記熱硬化型樹脂のもつ問題点はなく、前記原因で発生す
る塗布ムラに対しても有利である。さらにこれらの材料
は衆知の如く遠紫外線を照射することによって、遠紫外
線のエネルギにより主鎖切断による低分子量化がおこり
、溶剤に可溶となるポジ型として働くため、イメージエ
リア部のカラーフィルタに照射されず、分光特性の変化
をおこさないというメリットを持つ。
反面、熱可塑性を持つという耐熱性に不利な面があるが
、工数、ダメージ、*布ムラの問題を考慮すると最も適
切な材料とえる。
、工数、ダメージ、*布ムラの問題を考慮すると最も適
切な材料とえる。
一方、カラーフィルタのモザイクパターンについては、
例えば第4図に示す、イエロー・シアン・マゼンタ・グ
リーンよりなるカラーフィルタを作成する場合、イエロ
ー・シアン・マゼンタの3層のマスクを用いるが、各色
版のパターンとしては従来第5図に示すものを使用して
いる。モザイクパターンを形成する領域についても、従
来は第6図に示すようにイメージエリアにのみ形成して
いた。第6図において、1はボンディングバット、2は
イメージエリア、3はフィルタ形成領域である。
例えば第4図に示す、イエロー・シアン・マゼンタ・グ
リーンよりなるカラーフィルタを作成する場合、イエロ
ー・シアン・マゼンタの3層のマスクを用いるが、各色
版のパターンとしては従来第5図に示すものを使用して
いる。モザイクパターンを形成する領域についても、従
来は第6図に示すようにイメージエリアにのみ形成して
いた。第6図において、1はボンディングバット、2は
イメージエリア、3はフィルタ形成領域である。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、透明樹脂として熱可塑性のあるPGMA
、PMMA等を用いた場合、熱をかけたときイメージエ
リア周辺部のカラーフィルタが収縮・移動し、固体撮像
素子のフォトダイオードとずれてくるという問題があっ
た。
、PMMA等を用いた場合、熱をかけたときイメージエ
リア周辺部のカラーフィルタが収縮・移動し、固体撮像
素子のフォトダイオードとずれてくるという問題があっ
た。
本発明は上記従来のP G M A 、 P M M
A等の電子線レジストを用いた場合の問題点を解決する
ものであり、カラー固体撮像素子の耐熱性を向上させる
ことを目的とするものである。
A等の電子線レジストを用いた場合の問題点を解決する
ものであり、カラー固体撮像素子の耐熱性を向上させる
ことを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明は上記目的を達成するために、平坦化層。
中間層、トップコート層にPGMAとPMMAの共重合
体を用いるとともに、カラーフィルタのモザイクパター
ンを各画素単位を分離し、かつイメージエリア以外の周
辺部にダミーモザイクパターンを、15〜50ビット設
けるようにしたものである。
体を用いるとともに、カラーフィルタのモザイクパター
ンを各画素単位を分離し、かつイメージエリア以外の周
辺部にダミーモザイクパターンを、15〜50ビット設
けるようにしたものである。
(実施例)
第1図は本発明の一実施例におけるモザイクパターンの
形状を示している。第1図(a)はイエローパターン、
第1図(b)はシアンパターン、第1図(C)マゼンタ
パターンである。
形状を示している。第1図(a)はイエローパターン、
第1図(b)はシアンパターン、第1図(C)マゼンタ
パターンである。
次に本実施例の特徴について説明する。
(1)各モザイクパターンの隣接したパターンどうし接
触しないように、モザイクパターンのコーナ一部の面を
とっである。
触しないように、モザイクパターンのコーナ一部の面を
とっである。
(2)色の配列は第4図の色の配列と同一とした。
第5図に示す従来のモザイクパターンの形状では。
イエロー、シアンのパターンの場合、隣接したパターン
がコーナ一部でつながってしまい、熱が加わった場合、
透明樹脂との応力差により結果的に周辺のモザイクパタ
ーンが中央方向に引っばられパターンの移動が発生し、
初期に固体撮像素子の一画素を形成するフォトダイオー
ドとカラーフィルタの1画素と精度良く合致させておい
てもずれてしまい正常なカラー画像を実現できない、し
かし、本実施例では第1図に示す如く各モザイクパター
ンが分離しているため、透明樹脂との応力差が発生しに
くく、パターンの移動が軽減される。
がコーナ一部でつながってしまい、熱が加わった場合、
透明樹脂との応力差により結果的に周辺のモザイクパタ
ーンが中央方向に引っばられパターンの移動が発生し、
初期に固体撮像素子の一画素を形成するフォトダイオー
ドとカラーフィルタの1画素と精度良く合致させておい
てもずれてしまい正常なカラー画像を実現できない、し
かし、本実施例では第1図に示す如く各モザイクパター
ンが分離しているため、透明樹脂との応力差が発生しに
くく、パターンの移動が軽減される。
第2図は本発明の他の実施例におけるモザイクパターン
の形状を示すものである。第2図において、4はフォト
ダイオードである。
の形状を示すものである。第2図において、4はフォト
ダイオードである。
第3図は本発明の一実施例のモザイクパターンの配置を
示したものである。第3図において2はイメージエリア
、3はフィルタ形成領域であるイメージエリア2の周辺
にカラーフィルタ15〜50ビット拡張することにより
、収縮の影響を有効イメージエリアに及ぼさないように
する効果がある。
示したものである。第3図において2はイメージエリア
、3はフィルタ形成領域であるイメージエリア2の周辺
にカラーフィルタ15〜50ビット拡張することにより
、収縮の影響を有効イメージエリアに及ぼさないように
する効果がある。
これも4辺とも均等に拡張する必要のないことは勿論で
ある。
ある。
PGMA、PMMAの共重合体の軟化温度の改善効果を
PGMAと比較すると表1が得られ、表1から明らかな
ように約35℃の軟化温度が上昇し、耐熱性の向上が図
られる。
PGMAと比較すると表1が得られ、表1から明らかな
ように約35℃の軟化温度が上昇し、耐熱性の向上が図
られる。
表1
(発明の効果)
本発明は上記実施例から明らかなように、固体撮像素子
のカラー化を目的とした色分解用カラーフィルタの直接
形成の製造方法を用いることにより、従来のプロセスを
変えることなく、耐熱性を向上させることができる効果
を有する。
のカラー化を目的とした色分解用カラーフィルタの直接
形成の製造方法を用いることにより、従来のプロセスを
変えることなく、耐熱性を向上させることができる効果
を有する。
第1図は本発明の一実施例のモザイクパターン形状図、
第2図は本発明の他の実施例のモザイクパターン形状図
、第3図は本発明の一実施例のモザイクパターン形成領
域を示す図、第4図はカラーモザイクパターンの例を示
す図、第5図は第4図のカラーフィルタを実現する従来
のゼラチンパターンを示す図、第6図は従来のモザイク
パターン形成領域を示す図である。 1・・・ポンディングパッド、 2・・・イメージエリ
ア、 3 ・・・ フィルタ形成領域、4 ・・・ フ
ォトダイオード。 第 図 410−2vターン (b) シアンパターン (C) マぜンタノVターン 第2図 特許出願人 松下電子工業株式会社 747ォトグイ才−ド 第 図 第 図 イエローパターン シアンパターン マロ”ンタパダン 第 図
第2図は本発明の他の実施例のモザイクパターン形状図
、第3図は本発明の一実施例のモザイクパターン形成領
域を示す図、第4図はカラーモザイクパターンの例を示
す図、第5図は第4図のカラーフィルタを実現する従来
のゼラチンパターンを示す図、第6図は従来のモザイク
パターン形成領域を示す図である。 1・・・ポンディングパッド、 2・・・イメージエリ
ア、 3 ・・・ フィルタ形成領域、4 ・・・ フ
ォトダイオード。 第 図 410−2vターン (b) シアンパターン (C) マぜンタノVターン 第2図 特許出願人 松下電子工業株式会社 747ォトグイ才−ド 第 図 第 図 イエローパターン シアンパターン マロ”ンタパダン 第 図
Claims (1)
- 基板上に、所望の形状・分光特性を有する有機カラーフ
ィルタを形成する製造方法において、前記有機カラーフ
ィルタの耐熱性向上のために、下地層・防染用中間層・
トップコート層として用いる有機高分子透明材料を、ポ
リグリシジルメタクリレート(PGMA)とポリメチル
メタクリレート(PMMA)の共重合体とし、遠紫外線
感光ポジ型でウェット現像する工程と、前記有機カラー
フィルタのモザイク状パターンを1画素ずつ分離させ、
かつカラーフィルタの使用有効領域の周囲に、15〜5
0ビットのダミーモザイクパターンを設けることを特徴
とするカラー固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1063839A JPH02244101A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1063839A JPH02244101A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02244101A true JPH02244101A (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=13240915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1063839A Pending JPH02244101A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02244101A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0593197A1 (en) * | 1992-10-06 | 1994-04-20 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state colour imaging device and method of manufacturing the same |
EP1414076A3 (en) * | 2002-10-25 | 2007-09-26 | OmniVision International Holding Ltd | Method of forming planar color filters in an image sensor |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60216307A (ja) * | 1985-03-27 | 1985-10-29 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | カラーフイルターの製法 |
JPS62210425A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
JPS62257104A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Sharp Corp | カラ−フイルタ |
-
1989
- 1989-03-17 JP JP1063839A patent/JPH02244101A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60216307A (ja) * | 1985-03-27 | 1985-10-29 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | カラーフイルターの製法 |
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US5404005A (en) * | 1992-10-06 | 1995-04-04 | Matsushita Electronic Corporation | Solid state imaging device and method of manufacturing same |
EP1414076A3 (en) * | 2002-10-25 | 2007-09-26 | OmniVision International Holding Ltd | Method of forming planar color filters in an image sensor |
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