JPS63281103A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法Info
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- JPS63281103A JPS63281103A JP62117772A JP11777287A JPS63281103A JP S63281103 A JPS63281103 A JP S63281103A JP 62117772 A JP62117772 A JP 62117772A JP 11777287 A JP11777287 A JP 11777287A JP S63281103 A JPS63281103 A JP S63281103A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
解像度が高く、分離効果の大きな固体撮像素子の製造す
ることが可能な、樹脂系レジストに色素を溶解した感光
材を用いて色素層を形成する工程と、この色素層の表面
に中間層を形成する工程とを三度繰り返して三層の色素
層と中間層を積層して形成した後、これらの中間層のこ
の三層の色素層を覆っていない部分を染色して乱反射防
止部を形成する工程と、この中間層の表面に保護膜を形
成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。
ることが可能な、樹脂系レジストに色素を溶解した感光
材を用いて色素層を形成する工程と、この色素層の表面
に中間層を形成する工程とを三度繰り返して三層の色素
層と中間層を積層して形成した後、これらの中間層のこ
の三層の色素層を覆っていない部分を染色して乱反射防
止部を形成する工程と、この中間層の表面に保護膜を形
成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。
本発明は、固体撮像素子に係り、特に色素層の製造方法
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
カラー用の固体撮像素子においては、入射光を色素層で
透過し、三原色に分解して撮像を行っているが、この色
素層による分解に際して色素層による光の分散のために
光歪みが生じて色にじみとなり、固体撮像素子の性能を
劣化させている。
透過し、三原色に分解して撮像を行っているが、この色
素層による分解に際して色素層による光の分散のために
光歪みが生じて色にじみとなり、固体撮像素子の性能を
劣化させている。
以上のような状況から固体撮像素子の色にじみの防止が
可能な固体撮像素子の製造方法が特に要望されている。
可能な固体撮像素子の製造方法が特に要望されている。
従来の固体撮像素子は第３図に示すような三層構造のカ
ラーフィルタを備えている。
ラーフィルタを備えている。
固体撮像素子のフォトセンサ部１とアルミニウム配線２
の表面はＰＳＧＳ２Ｏ２われており、ＰＳＧＳ２Ｏ２ぐ
上にはＲゼラチン層１５ａ、その上に中間Ｎ１６、Ｇゼ
ラチン層１５ｂ１中間層１６、ＢゼラチンＪ！１１５ｃ
、保護膜１７が積層して形成されている。
の表面はＰＳＧＳ２Ｏ２われており、ＰＳＧＳ２Ｏ２ぐ
上にはＲゼラチン層１５ａ、その上に中間Ｎ１６、Ｇゼ
ラチン層１５ｂ１中間層１６、ＢゼラチンＪ！１１５ｃ
、保護膜１７が積層して形成されている。
図の上方よりの入射光の内の赤色光はＲゼラチン層１５
ａの下のフォトセンサ部１で、緑色光はＧゼラチン層１
５ｂの下のフォトセンサ部１で、青色光はＢゼラチン１
１５ｃの下のフォトセンサ部１でそれぞれ感知されるよ
うになっている。
ａの下のフォトセンサ部１で、緑色光はＧゼラチン層１
５ｂの下のフォトセンサ部１で、青色光はＢゼラチン１
１５ｃの下のフォトセンサ部１でそれぞれ感知されるよ
うになっている。
従来の重クロム酸ゼラチンの感光材を用いる固体撮像素
子の製造方法を第４図により工程順に説明する。
子の製造方法を第４図により工程順に説明する。
先ず第４図（ａｌに示すようにＰＳＧＳ２Ｏ２面に重ク
ロム酸カリウムとゼラチンを混合した重クロム酸ゼラチ
ンよりなる感光材１４を塗布する。
ロム酸カリウムとゼラチンを混合した重クロム酸ゼラチ
ンよりなる感光材１４を塗布する。
次に、例えば赤色のゼラチン層を形成する場合には、第
４図（ｂ）に示すように赤色光に対するフォトセンサ部
１にのみマスクを用いて露光をし、現像を行う。
４図（ｂ）に示すように赤色光に対するフォトセンサ部
１にのみマスクを用いて露光をし、現像を行う。
その後第４図（Ｃ）に示すように赤色の染料に浸積して
感光材１４を染色し、Ｒゼラチン層１５ａを形成する。
感光材１４を染色し、Ｒゼラチン層１５ａを形成する。
次いで次工程のＧゼラチン層１５ｂと分離するために第
４図（ｄ）に示すようにＰＧＭＡ系の中間ＪＷ１６を塗
布し、赤色ゼラチン層の製造を完了する。
４図（ｄ）に示すようにＰＧＭＡ系の中間ＪＷ１６を塗
布し、赤色ゼラチン層の製造を完了する。
この中間層１６の表面に上記の工程を繰り返して行い、
緑色及び青色のゼラチン層を積層し、第４図（ｅ）に示
すように最上面に保護膜１７を形成する。
緑色及び青色のゼラチン層を積層し、第４図（ｅ）に示
すように最上面に保護膜１７を形成する。
パッド部１８には各工程でＰＧＭＡ系の中間Ｊ’ｉ１６
が順次積層されているので、各色の色素層を形成し終わ
った後に、第４図（ｅ）に示すようにパッド部１８に窓
開きしたフォトレジスト膜をマスクとして、ＰＧＭＡ系
の感光材よりなる中間層１６を電子ビーム或いは遠紫外
線用の感光材のための特殊な装置を用いて除去し、第３
図に示すようなカラーフィルタ１５の製造を完了する。
が順次積層されているので、各色の色素層を形成し終わ
った後に、第４図（ｅ）に示すようにパッド部１８に窓
開きしたフォトレジスト膜をマスクとして、ＰＧＭＡ系
の感光材よりなる中間層１６を電子ビーム或いは遠紫外
線用の感光材のための特殊な装置を用いて除去し、第３
図に示すようなカラーフィルタ１５の製造を完了する。
〔発明が解決しようとする問題点３
以上説明の従来の固体撮像素子で問題となるのは、色素
層の形成を重クロム酸ゼラチンの感光材を用いて染色法
により行っていることである。
層の形成を重クロム酸ゼラチンの感光材を用いて染色法
により行っていることである。
即ち、色素層の形成を重クロム酸カリウムとゼラチンを
混合した重クロム酸ゼラチンの感光材を塗布して染色法
により行うので、ゼラチン自体の解像度に限界がある上
に、ゼラチンが染色時に膨潤するために変形して色歪が
発生することと、パッド部の窓開けに際しては中間層を
形成するＰＧＭＡ系の感光材が電子ビーム或いは遠紫外
線用の感光材のために特殊な装置が必要なことである。
混合した重クロム酸ゼラチンの感光材を塗布して染色法
により行うので、ゼラチン自体の解像度に限界がある上
に、ゼラチンが染色時に膨潤するために変形して色歪が
発生することと、パッド部の窓開けに際しては中間層を
形成するＰＧＭＡ系の感光材が電子ビーム或いは遠紫外
線用の感光材のために特殊な装置が必要なことである。
本発明は以上のような状況から従来とは異なる材料より
なる色素層を備えた固体撮像素子の製造方法の提供を目
的としたものである。
なる色素層を備えた固体撮像素子の製造方法の提供を目
的としたものである。
上記問題点は、樹脂系レジストに色素を溶解した感光材
を用いて色素層を形成する工程と、ゼラチンをこの色素
層の表面に塗布して中間層を形成する工程とを三度繰り
返して三層の色素層と中間層を積層して形成した後、こ
れらの中間層のこの三層の色素層を覆っていない部分を
染色して乱反射防止部を形成する工程と、中間層の表面
に保護膜を形成する工程とを含む本発明の固体撮像素子
の製造方法によって解決される。
を用いて色素層を形成する工程と、ゼラチンをこの色素
層の表面に塗布して中間層を形成する工程とを三度繰り
返して三層の色素層と中間層を積層して形成した後、こ
れらの中間層のこの三層の色素層を覆っていない部分を
染色して乱反射防止部を形成する工程と、中間層の表面
に保護膜を形成する工程とを含む本発明の固体撮像素子
の製造方法によって解決される。
即ち本発明においては、樹脂系レジストに色素を溶解し
た感光材を用いて色素層を形成するから色素層の形状が
正確に形成されて変形等の障害が発生せず、解像度が高
く耐久性があり、色歪が発生することがない。
た感光材を用いて色素層を形成するから色素層の形状が
正確に形成されて変形等の障害が発生せず、解像度が高
く耐久性があり、色歪が発生することがない。
更に、中間層に乱反射防止部を設けるので、光の乱反射
防止が可能となる。
防止が可能となる。
なお、パッド部の窓開きに際しては中間層がゼラチンな
ので、電子ビーム或いは遠紫外線用の感光材には必要な
特殊な装置が不要となる。
ので、電子ビーム或いは遠紫外線用の感光材には必要な
特殊な装置が不要となる。
〔実施例〕
以下第１図〜第２図について本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第１図に本発明による一実施例の側断面図を示す。
図示のようにフォトセンサ部１とアルミニウム配ｖＡ２
の表面はＰＳＧＳａＯ２われ、ＰＳＧＳａＯ２には各色
光のフォトセンサ部１に対応して色素層５が形成されて
いる。
の表面はＰＳＧＳａＯ２われ、ＰＳＧＳａＯ２には各色
光のフォトセンサ部１に対応して色素層５が形成されて
いる。
各色素層５ａ、５ｂ、５ｃの間には黒或いは赤に染色さ
れたゼラチンからなる乱反射防止部６ａが設けられてい
るので、光の乱反射防止の効果がある。
れたゼラチンからなる乱反射防止部６ａが設けられてい
るので、光の乱反射防止の効果がある。
本発明による固体撮像素子の製造方法の一実施例を第２
図により工程順に説明する。
図により工程順に説明する。
先ず第２図（ａ）に示すようにＰＳＧＳａＯ２面に樹脂
系レジストに赤の色素を溶解した感光材４ａを塗布する
。
系レジストに赤の色素を溶解した感光材４ａを塗布する
。
次いで第２図（ｂ）に示すようにフォトプロセスにより
前記感光材４ａの表面にフォトレジスト膜のマスクを形
成し、酸素プラズマにより感光材４ａをアッシングして
Ｒ色素Ｎ５ａを形成する。その後不要となったフォトレ
ジスト膜を剥離して除去する。
前記感光材４ａの表面にフォトレジスト膜のマスクを形
成し、酸素プラズマにより感光材４ａをアッシングして
Ｒ色素Ｎ５ａを形成する。その後不要となったフォトレ
ジスト膜を剥離して除去する。
次に第２図（Ｃ）に示すように重クロム酸カリウムとゼ
ラチンを混合した重クロム酸ゼラチンよりなる感光材を
前記Ｒ色素層５ａの表面に塗布して中間層６を形成する
。
ラチンを混合した重クロム酸ゼラチンよりなる感光材を
前記Ｒ色素層５ａの表面に塗布して中間層６を形成する
。
パッド部８を除く全面を露光・現像し、パッド部８の窓
を開ける。
を開ける。
Ｇ色素層５ｂを形成する場合には、Ｒ色素層５ａの場合
と同様に、樹脂系レジストに緑の色素を溶解した感光材
を中間層６の上に塗布し、その後Ｒ色素層５ａの場合と
同様にフォトプロセスにより前記感光材の表面にフォト
レジストのマスクを形成し酸素プラズマにより感光材を
アッシングしてＧ色素層５ｂを形成する。その後不要と
なったフォトレジストを剥離して除去する。
と同様に、樹脂系レジストに緑の色素を溶解した感光材
を中間層６の上に塗布し、その後Ｒ色素層５ａの場合と
同様にフォトプロセスにより前記感光材の表面にフォト
レジストのマスクを形成し酸素プラズマにより感光材を
アッシングしてＧ色素層５ｂを形成する。その後不要と
なったフォトレジストを剥離して除去する。
次に重クロム酸ゼラチンよりなる感光材を前記Ｇ色素層
５ｂの表面に塗布して中間層６を形成する。
５ｂの表面に塗布して中間層６を形成する。
パッド部８を除く全面を露光・現像し、パッド部８の窓
を開ける。
を開ける。
Ｂ色素Ｎ５ｃの形成もＧ色素層５ｂの場合と全く同様に
行いＢ色素層５Ｃを形成する。
行いＢ色素層５Ｃを形成する。
次に重クロム酸ゼラチンよりなる感光材を前記Ｂ色素Ｊ
ｉｉ５ｃの表面に塗布して中間層６を形成する。
ｉｉ５ｃの表面に塗布して中間層６を形成する。
パッド部８を除く全面を露光・現像し、パッド部８の窓
を開ける。
を開ける。
更に、第２図（ｄ）に示すようにＲ色素層５ａ、 Ｇ色
素層５ｂ、 Ｂ染色層５ｃを設けた領域以外の重クロム
酸ゼラチンよりなる感光材により形成した前記中間Ｎ６
の部分を黒或いは赤に染色して乱反射防止部６ａを形成
する。
素層５ｂ、 Ｂ染色層５ｃを設けた領域以外の重クロム
酸ゼラチンよりなる感光材により形成した前記中間Ｎ６
の部分を黒或いは赤に染色して乱反射防止部６ａを形成
する。
次に第２図（ｅ）に示すように中間層６の表面に無色透
明の樹脂系レジストを塗布して保護膜７を形成する。
明の樹脂系レジストを塗布して保護膜７を形成する。
パッド部８には前の工程で無色透明の樹脂系レジストが
塗布されているので、保護膜７を形成し終わった後に、
第２図（ｆ）に示すようにパッド部８に窓開きしたフォ
トレジスト膜をマスクとして、この無色透明の樹脂系レ
ジストを除去する。
塗布されているので、保護膜７を形成し終わった後に、
第２図（ｆ）に示すようにパッド部８に窓開きしたフォ
トレジスト膜をマスクとして、この無色透明の樹脂系レ
ジストを除去する。
このようにして各色の色素層をＰＳＧＳａＯ２面から順
次積層して形成し、各色素層の間に黒或いは赤に染色し
た乱反射防止部６ａを設けるので各色の色素層を透過し
た単色光がそれぞれ互いに干渉することな（、直接フォ
トセンサ部１に入射するので、分散して光歪みを生じる
ことがなく色にじみも発生しない。
次積層して形成し、各色素層の間に黒或いは赤に染色し
た乱反射防止部６ａを設けるので各色の色素層を透過し
た単色光がそれぞれ互いに干渉することな（、直接フォ
トセンサ部１に入射するので、分散して光歪みを生じる
ことがなく色にじみも発生しない。
以上の説明はＲＧＢ色素層の場合について行ったが、Ｃ
ＭＹ色素層を形成する場合にも樹脂系レジストに溶解す
る色素をシアン、マゼンタ、黄色にすれば同様に色素層
を形成することが可能である。
ＭＹ色素層を形成する場合にも樹脂系レジストに溶解す
る色素をシアン、マゼンタ、黄色にすれば同様に色素層
を形成することが可能である。
尚、この製造方法は液晶ディスプレイやカラーブラウン
管のシャドウマスクにも適用が可能である。
管のシャドウマスクにも適用が可能である。
以上説明したように本発明によれば各色素層を透過した
色光の間に光の干渉が起こらず、光歪が生じない、色に
じみの無い色素層を備えた固体撮像素子の製造が可能で
あり、高性能の固体撮像素子の使用が可能となる等の利
点があり、著しい経済的及び品質向上の効果が期待でき
工業的には極めて有用なものである。
色光の間に光の干渉が起こらず、光歪が生じない、色に
じみの無い色素層を備えた固体撮像素子の製造が可能で
あり、高性能の固体撮像素子の使用が可能となる等の利
点があり、著しい経済的及び品質向上の効果が期待でき
工業的には極めて有用なものである。
第１図は本発明による一実施例を示す側断面図、第２図
は本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断
面図、 第３図は従来の固体撮像素子の色素層を示す側断面図、 第４図は従来の固体撮像素子の製造方法を工程順に示す
側断面図、 である。 図において、 ｌはフォトセンサ部、 ２はアルミニウム配線、 ３はＰＳＧ膜、 ４ａは感光材、 ５は色素層、 ５ａはＲ色素層、 ５ｂはＧ色素層、 ５ｃはＢ色素層、 ６は中間層、 ６ａは乱反射防止部、 ７は保護膜、 ８はパッド部、 を示す。 本発明による一実施例を示す側断面図 第１図 本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す倒断面
図第２図 中間層の形成 （Ｃ１ 乱反射防止部の形成 ＋ｄ＋ 本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断面
図第２図 従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側断面図第
３図 重クロム酸ゼラチン感光材の塗布 ａｔ 重クロム酸ゼラチン感光材の露光、ＩＪ像（ｂｌ ゼラチン層の染色 （Ｃ１ 中間層の塗布 ［ｄ）
は本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断
面図、 第３図は従来の固体撮像素子の色素層を示す側断面図、 第４図は従来の固体撮像素子の製造方法を工程順に示す
側断面図、 である。 図において、 ｌはフォトセンサ部、 ２はアルミニウム配線、 ３はＰＳＧ膜、 ４ａは感光材、 ５は色素層、 ５ａはＲ色素層、 ５ｂはＧ色素層、 ５ｃはＢ色素層、 ６は中間層、 ６ａは乱反射防止部、 ７は保護膜、 ８はパッド部、 を示す。 本発明による一実施例を示す側断面図 第１図 本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す倒断面
図第２図 中間層の形成 （Ｃ１ 乱反射防止部の形成 ＋ｄ＋ 本発明による一実施例の製造工程を工程順に示す側断面
図第２図 従来の固体撮像素子のカラーフィルタを示す側断面図第
３図 重クロム酸ゼラチン感光材の塗布 ａｔ 重クロム酸ゼラチン感光材の露光、ＩＪ像（ｂｌ ゼラチン層の染色 （Ｃ１ 中間層の塗布 ［ｄ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 樹脂系レジストに色素を溶解した感光材を用いて色素
層を形成する工程と、 ゼラチンを前記色素層の表面に塗布して中間層を形成す
る工程と、 を三度繰り返して三層の色素層と中間層を積層して形成
した後、前記中間層の前記三層の色素層を覆っていない
部分を染色して乱反射防止部を形成する工程と、 前記中間層の表面に保護膜を形成する工程と、を含むこ
とを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117772A JPS63281103A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117772A JPS63281103A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63281103A true JPS63281103A (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=14719944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62117772A Pending JPS63281103A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63281103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02250006A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Fujitsu Ltd | レジストの剥離方法 |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP62117772A patent/JPS63281103A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02250006A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Fujitsu Ltd | レジストの剥離方法 |
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