JPH03104165A - カラー固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
カラー固体撮像装置の製造方法Info
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- JPH03104165A JPH03104165A JP1241292A JP24129289A JPH03104165A JP H03104165 A JPH03104165 A JP H03104165A JP 1241292 A JP1241292 A JP 1241292A JP 24129289 A JP24129289 A JP 24129289A JP H03104165 A JPH03104165 A JP H03104165A
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、固体撮像素子の形成されたウエノ１一上に、
色分解用のカラーフィルタを直接形成するカラー固体撮
像装置の製造方法に関するものである。
色分解用のカラーフィルタを直接形成するカラー固体撮
像装置の製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、固体撮像素子をカラー化する方策として、固体撮
像素子上に、直接カラーフィルタを形成する方式が主流
となってきている。この、ウエハー上での直接形成の方
法として、従来は、第４図の断面図に示されるように、
まず素子１の受光部２を含む全表面の平坦化のために、
透明高分子樹脂による平坦化層３を塗布し、続いてカラ
ーフィルタ層として、感光性を持たせかつ粘度調整され
たゼラチン，カゼイン，グリュー，ＰＶＡ等の材料を塗
布し、露光，現像により所望のパターンを形威し、さら
に、適切な染料により染色することにより、所望の分光
特性の染色層４ａを得る。続いて、次工程の染色工程で
の混色を防止する目的から、平坦化に使用しているもの
と同様な透明高分子樹脂を中間層５として塗布する。以
上の工程を繰り返すことにより、イエロー・シアン・マ
ゼンタ・グリーン，イエロー・シアン・グリーン・ホワ
イト，あるいはレッド・グリーン・ブルー等の色群（染
色層４ ａ ，４ ｂ ＋ ４ ｃ ）よりなるカラー
フィルタを実現している。そして、最表面には表面保護
層６を設けている。
像素子上に、直接カラーフィルタを形成する方式が主流
となってきている。この、ウエハー上での直接形成の方
法として、従来は、第４図の断面図に示されるように、
まず素子１の受光部２を含む全表面の平坦化のために、
透明高分子樹脂による平坦化層３を塗布し、続いてカラ
ーフィルタ層として、感光性を持たせかつ粘度調整され
たゼラチン，カゼイン，グリュー，ＰＶＡ等の材料を塗
布し、露光，現像により所望のパターンを形威し、さら
に、適切な染料により染色することにより、所望の分光
特性の染色層４ａを得る。続いて、次工程の染色工程で
の混色を防止する目的から、平坦化に使用しているもの
と同様な透明高分子樹脂を中間層５として塗布する。以
上の工程を繰り返すことにより、イエロー・シアン・マ
ゼンタ・グリーン，イエロー・シアン・グリーン・ホワ
イト，あるいはレッド・グリーン・ブルー等の色群（染
色層４ ａ ，４ ｂ ＋ ４ ｃ ）よりなるカラー
フィルタを実現している。そして、最表面には表面保護
層６を設けている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の方法では、例えば、イエロー
・シアン・マゼンタ・グリーンのフィル夕を形成する場
合、通常イエロー・シアン・マゼンタの３層の染色ベー
ス膜の形戒が必要となり、それに応じて２層の中間層が
必要である。この構成では、フィルタのトータル厚みが
大となるだけでなく、各色の染色ベース膜が高さ方向で
段違い構造となるため、パターンのサイズ、中間層の厚
みいかんによっては、光が漏れる場合があり、フノッカ
ー等画質に悪影響を及ぼす。フィルターのトータル厚み
が厚くなると、固体撮像素子の受光部（画素部〉から、
それに対応するフィルタまでの距離が離れることになり
、フィルタを通過した光が、隣接した画素にまで漏れる
という問題がある。
・シアン・マゼンタ・グリーンのフィル夕を形成する場
合、通常イエロー・シアン・マゼンタの３層の染色ベー
ス膜の形戒が必要となり、それに応じて２層の中間層が
必要である。この構成では、フィルタのトータル厚みが
大となるだけでなく、各色の染色ベース膜が高さ方向で
段違い構造となるため、パターンのサイズ、中間層の厚
みいかんによっては、光が漏れる場合があり、フノッカ
ー等画質に悪影響を及ぼす。フィルターのトータル厚み
が厚くなると、固体撮像素子の受光部（画素部〉から、
それに対応するフィルタまでの距離が離れることになり
、フィルタを通過した光が、隣接した画素にまで漏れる
という問題がある。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、従来に比
較し、薄膜でかつ隣接画素間で光の混入のないカラーフ
ィルタを具備したカラー固体撮像装置の製造方法を提供
することを目的とする。
較し、薄膜でかつ隣接画素間で光の混入のないカラーフ
ィルタを具備したカラー固体撮像装置の製造方法を提供
することを目的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達戒するために本発明のカラー固体撮像装置
の製造方法は、固体撮像素子の形成されたウエハー上に
、染色ベース層を形成する工程と、レジストマスクを用
いて、前記染色ベース層を選択的に染色する工程を備え
ている。
の製造方法は、固体撮像素子の形成されたウエハー上に
、染色ベース層を形成する工程と、レジストマスクを用
いて、前記染色ベース層を選択的に染色する工程を備え
ている。
作用
この構成により、カラーフィルタ層を固体撮像素子の感
光部の上の直近に形成できるため、隣接画素への光漏れ
を防止し、画質の向上を図ることができる。
光部の上の直近に形成できるため、隣接画素への光漏れ
を防止し、画質の向上を図ることができる。
実施例
以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。
する。
第■図は本発明の第１の実施例である。第４図には従来
の構造を示しており、各染色ベース層の間から光が漏れ
る。フィルタのトータル厚みが厚いため、最も固体撮像
素子表面から距離の遠いフィルタ層を通過した光が、隣
接した画素の感光部に漏れる。本発明の場合、透明高分
子樹脂層で平坦化した後、フイ゜ルタ領域全面に、染色
ベース層を形威した後、レジスト塗布，パターン形成を
行なことにより、染色すべき部分に窓をあける。その状
態で染色した後、レジストを除去する。以上の工程を繰
り返すことにより、所望の部分に所望の分光特性を持つ
染色層４ ａ ＋ ４ ｂ ，４ ｃ ＋ ４ ｄでな
るカラーフィルタを形成することができる。
の構造を示しており、各染色ベース層の間から光が漏れ
る。フィルタのトータル厚みが厚いため、最も固体撮像
素子表面から距離の遠いフィルタ層を通過した光が、隣
接した画素の感光部に漏れる。本発明の場合、透明高分
子樹脂層で平坦化した後、フイ゜ルタ領域全面に、染色
ベース層を形威した後、レジスト塗布，パターン形成を
行なことにより、染色すべき部分に窓をあける。その状
態で染色した後、レジストを除去する。以上の工程を繰
り返すことにより、所望の部分に所望の分光特性を持つ
染色層４ ａ ＋ ４ ｂ ，４ ｃ ＋ ４ ｄでな
るカラーフィルタを形成することができる。
この構造により、固体撮像素子表面の受光部の上の直近
に、各色とも同一距離の位置にフィルタを形戒すること
が可能となり、従来例で問題となった光の漏れ込みを防
止することができる。さらに、レジストパターンで、フ
ィルタ画素が決定されるため、解像度の比較的悪い、染
色ベース材料を使用しても、解像度の秀れたカラーフィ
ルタ群の形戒が可能となり、将来的に、画素寸法の小型
化にも対応可能となる。第２，３図は本発明の、他の実
施例であるが、染色ベース材料として、不純物の少ない
ものを用いれば、このように平坦化層を省略してもよく
、また、他の染色ベース層４を併用し、複数の染色ベー
ス構造をとってもよい。
に、各色とも同一距離の位置にフィルタを形戒すること
が可能となり、従来例で問題となった光の漏れ込みを防
止することができる。さらに、レジストパターンで、フ
ィルタ画素が決定されるため、解像度の比較的悪い、染
色ベース材料を使用しても、解像度の秀れたカラーフィ
ルタ群の形戒が可能となり、将来的に、画素寸法の小型
化にも対応可能となる。第２，３図は本発明の、他の実
施例であるが、染色ベース材料として、不純物の少ない
ものを用いれば、このように平坦化層を省略してもよく
、また、他の染色ベース層４を併用し、複数の染色ベー
ス構造をとってもよい。
発明の効果
以上のように、本発明の固体撮像素子の色分解用カラー
フィルタ直接形成技術を用いることにより、染色ベース
層１層に複数の分光特性を持つカラーフィルタを形成す
ることが可能となり、固体撮像素子表面から等距離の位
置に各色のフィルタが形成でき、かつ、カラーフィルタ
のトータル厚みを薄膜化できることにより、色分離の秀
れたカラーフィルタを実現できる。
フィルタ直接形成技術を用いることにより、染色ベース
層１層に複数の分光特性を持つカラーフィルタを形成す
ることが可能となり、固体撮像素子表面から等距離の位
置に各色のフィルタが形成でき、かつ、カラーフィルタ
のトータル厚みを薄膜化できることにより、色分離の秀
れたカラーフィルタを実現できる。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図，第３
図は本発明の他の実施例の断面図、第４図は従来の固体
撮像素子上への直接形或カラーフィルタの受光部の断面
図／５ｍＪである。 １・・・・・・固体撮像素子、２・・・・・・受光部、
３・・・・・・平坦化層、４・・・・・・染色ベース膜
、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ・・・・・・染色層、５・・
・・・・中間層、６・・・・・・表面保護層。
図は本発明の他の実施例の断面図、第４図は従来の固体
撮像素子上への直接形或カラーフィルタの受光部の断面
図／５ｍＪである。 １・・・・・・固体撮像素子、２・・・・・・受光部、
３・・・・・・平坦化層、４・・・・・・染色ベース膜
、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ・・・・・・染色層、５・・
・・・・中間層、６・・・・・・表面保護層。
Claims (1)
- 基板上に、複数の色群よりなるフィルタを形成する製造
方法において、前記フィルタを構成する単層の染色ベー
ス膜の中の複数箇所に、複数の分光特性をもたせた部分
を有する構造をもつことを特徴とするカラー固体撮像装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241292A JPH03104165A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1241292A JPH03104165A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104165A true JPH03104165A (ja) | 1991-05-01 |
Family
ID=17072101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1241292A Pending JPH03104165A (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03104165A (ja) |
-
1989
- 1989-09-18 JP JP1241292A patent/JPH03104165A/ja active Pending
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