JPH05164914A - カラー固体撮像装置 - Google Patents
カラー固体撮像装置Info
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- JPH05164914A JPH05164914A JP33654291A JP33654291A JPH05164914A JP H05164914 A JPH05164914 A JP H05164914A JP 33654291 A JP33654291 A JP 33654291A JP 33654291 A JP33654291 A JP 33654291A JP H05164914 A JPH05164914 A JP H05164914A
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Landscapes
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 顕微分光測定器を用いた反射測光によりカラ
ーフィルタのみの分光特性を簡易的に評価可能とする。 【構成】 カラー固体撮像装置１１の有効画素領域１３
の外にも同時にカラーフィルタを形成し、カラーフィル
タのみの分光特性を測定できる分光モニター部１２を少
なくとも一箇所以上備え、分光モニター部１２がアルミ
ニウム表面またはアルミニウム段差表面上に形成された
構成で、さらに、分光モニター部１２が画素部と同じ配
列の構成で少なくとも一箇所以上備えることにより、カ
ラー固体撮像装置のカラーフィルタの分光特性を定量的
に評価でき品質管理や工程管理が簡単になるだけでな
く、固体撮像装置が高画素化しても影響を受けずに評価
できる。
ーフィルタのみの分光特性を簡易的に評価可能とする。 【構成】 カラー固体撮像装置１１の有効画素領域１３
の外にも同時にカラーフィルタを形成し、カラーフィル
タのみの分光特性を測定できる分光モニター部１２を少
なくとも一箇所以上備え、分光モニター部１２がアルミ
ニウム表面またはアルミニウム段差表面上に形成された
構成で、さらに、分光モニター部１２が画素部と同じ配
列の構成で少なくとも一箇所以上備えることにより、カ
ラー固体撮像装置のカラーフィルタの分光特性を定量的
に評価でき品質管理や工程管理が簡単になるだけでな
く、固体撮像装置が高画素化しても影響を受けずに評価
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像装置の画素部以
外に色分光を測定できるモニター部分を備えたカラー固
体撮像装置に関するものである。
外に色分光を測定できるモニター部分を備えたカラー固
体撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置をカラー化する方法とし
て、カラーフィルタを単独に作り固体撮像装置の受光面
上に貼り合わせる方法と、固体撮像装置の受光面上に直
接カラーフィルタを形成する一体化する方式があるが、
近年、固体撮像装置をカラー化する方法として、固体撮
像装置上に、直接カラーフィルタを形成する方法が主流
となってきている。
て、カラーフィルタを単独に作り固体撮像装置の受光面
上に貼り合わせる方法と、固体撮像装置の受光面上に直
接カラーフィルタを形成する一体化する方式があるが、
近年、固体撮像装置をカラー化する方法として、固体撮
像装置上に、直接カラーフィルタを形成する方法が主流
となってきている。
【０００３】以下、従来のカラー固体撮像装置の製造方
法について説明する。図５は、従来の固体撮像装置の平
面図と断面図である。まず、固体撮像装置１の受光部２
の上に透明レジストで平坦膜３を形成する。続いてマゼ
ンタ用フィルタを形成するための感光性を持たし、かつ
粘度調整されたゼラチン、カゼイン、グリュー、ＰＶＡ
等のカラーフィルタ材料を塗布し、露光・現像により所
望のパターン７（Ｍ）を形成する。更に適切な染料で染
色することにより、所望の分光特性を得る。続いて、次
工程の染色工程での混色を防止する目的から、平坦化に
使用しているものと同様な透明レジスト第一中間膜６
（ａ）を塗布する。引き続き第２層目および第３層目の
イエローおよびシアン用フィルタを形成するために、以
上の工程を繰り返すことにより所望のカラーフィルタを
実現している。
法について説明する。図５は、従来の固体撮像装置の平
面図と断面図である。まず、固体撮像装置１の受光部２
の上に透明レジストで平坦膜３を形成する。続いてマゼ
ンタ用フィルタを形成するための感光性を持たし、かつ
粘度調整されたゼラチン、カゼイン、グリュー、ＰＶＡ
等のカラーフィルタ材料を塗布し、露光・現像により所
望のパターン７（Ｍ）を形成する。更に適切な染料で染
色することにより、所望の分光特性を得る。続いて、次
工程の染色工程での混色を防止する目的から、平坦化に
使用しているものと同様な透明レジスト第一中間膜６
（ａ）を塗布する。引き続き第２層目および第３層目の
イエローおよびシアン用フィルタを形成するために、以
上の工程を繰り返すことにより所望のカラーフィルタを
実現している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、別々に
カラーフィルタを作る場合には、受光面上に貼り合わせ
る以前にカラーフィルタ単独でその分光特性を評価でき
るのだが、上記従来の構造では、所望の分光特性を測定
するためのモニター部を構成されていなかったため、実
セットカメラでしか評価できず、カラーフィルタの分光
特性の評価が困難であるという問題があった。
カラーフィルタを作る場合には、受光面上に貼り合わせ
る以前にカラーフィルタ単独でその分光特性を評価でき
るのだが、上記従来の構造では、所望の分光特性を測定
するためのモニター部を構成されていなかったため、実
セットカメラでしか評価できず、カラーフィルタの分光
特性の評価が困難であるという問題があった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するもので、従来
と比較して有効画素領域の外に分光モニター部を設ける
ことにより分光特性およびチップ内の色ムラを簡易的に
評価することを目的とする。
と比較して有効画素領域の外に分光モニター部を設ける
ことにより分光特性およびチップ内の色ムラを簡易的に
評価することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のカラー固体撮像装置は、有効画素領域の外に
も同時にカラーフィルタを設け顕微分光測定器を用いた
反射測光により、カラーフィルタのみの分光を測定でき
る分光モニター部を少なくとも一箇所以上備えた構成で
ある。
に本発明のカラー固体撮像装置は、有効画素領域の外に
も同時にカラーフィルタを設け顕微分光測定器を用いた
反射測光により、カラーフィルタのみの分光を測定でき
る分光モニター部を少なくとも一箇所以上備えた構成で
ある。
【０００７】また、分光モニター部がアルミニウム表面
または、アルミニウム段差表面上に形成された構成で、
さらに、分光モニター部が画素部と同じ配列の構成を
し、また、分光モニター部が画素部のパターン形状と同
じカラーフィルタの構成である。
または、アルミニウム段差表面上に形成された構成で、
さらに、分光モニター部が画素部と同じ配列の構成を
し、また、分光モニター部が画素部のパターン形状と同
じカラーフィルタの構成である。
【０００８】
【作用】上記構成において、顕微分光測定器を用いた反
射測光により所望の分光を定量的に測定できる。そのた
め、カラーフィルタの分光特性の品質管理を簡易的にお
こなえる。また、ウエハー面内および画素部内の色ムラ
を評価することも可能となり染色工程の管理や、色シェ
ーディングの対策が簡単にできるものである。
射測光により所望の分光を定量的に測定できる。そのた
め、カラーフィルタの分光特性の品質管理を簡易的にお
こなえる。また、ウエハー面内および画素部内の色ムラ
を評価することも可能となり染色工程の管理や、色シェ
ーディングの対策が簡単にできるものである。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１０】図１および図２は、本発明の一実施例にお
ける固体撮像装置の平面図と断面図である。１１は固体
撮像装置、１２は分光測定用領域、１３は有効画素領
域、１４は酸化膜シリコン、１５はアルミニウム膜、１
６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）はアクリル系透明膜
からなる中間膜、１７（Ｍ），１７（Ｙ），１７（Ｃ）
はネガ型ゼラチン系レジストからなり所望の色（マゼン
タ、イエロー、シアン）に染色されたカラーフィルタ層
である。また、図１の分光測定用領域１２と有効画素領
域１３および図２のカラーフィルタ層１７の構成は従来
の固体撮像装置と同じ構成である。
ける固体撮像装置の平面図と断面図である。１１は固体
撮像装置、１２は分光測定用領域、１３は有効画素領
域、１４は酸化膜シリコン、１５はアルミニウム膜、１
６（ａ），１６（ｂ），１６（ｃ）はアクリル系透明膜
からなる中間膜、１７（Ｍ），１７（Ｙ），１７（Ｃ）
はネガ型ゼラチン系レジストからなり所望の色（マゼン
タ、イエロー、シアン）に染色されたカラーフィルタ層
である。また、図１の分光測定用領域１２と有効画素領
域１３および図２のカラーフィルタ層１７の構成は従来
の固体撮像装置と同じ構成である。
【００１１】本来、透明ガラス上にカラーフィルタを形
成する張り合わせ方式では，透過測定方法をもちいて評
価することができていた。しかし、一体化方式では反射
光を用いねば評価できず、従来の構造では所望の分光特
性を測定するための分光モニター部も構成されていなか
ったし、また、測定方法も見つかってなかったため実セ
ットカメラとしてしか評価できず、時間も特性上のフィ
ードバックも遅くなっていた。しかし、固体撮像装置状
態でカラーフィルタ層１７のみの分光特性を簡単に評価
できるように、固体撮像装置１１の有効画素領域１３の
外にも同時にカラーフィルタ層１７を形成した分光測定
用領域１２を設けたカラー固体撮像装置１１を構成して
おり、顕微分光測定器を用いた反射測光測定法により定
量的に所望のカラーフィルタ層１７を測定することが可
能となった。そのため、カラーフィルタの分光特性度の
品質管理を簡易的におこなえ、また、固体撮像装置１１
の画素数に関係なく染色工程の管理も簡単にできる。
成する張り合わせ方式では，透過測定方法をもちいて評
価することができていた。しかし、一体化方式では反射
光を用いねば評価できず、従来の構造では所望の分光特
性を測定するための分光モニター部も構成されていなか
ったし、また、測定方法も見つかってなかったため実セ
ットカメラとしてしか評価できず、時間も特性上のフィ
ードバックも遅くなっていた。しかし、固体撮像装置状
態でカラーフィルタ層１７のみの分光特性を簡単に評価
できるように、固体撮像装置１１の有効画素領域１３の
外にも同時にカラーフィルタ層１７を形成した分光測定
用領域１２を設けたカラー固体撮像装置１１を構成して
おり、顕微分光測定器を用いた反射測光測定法により定
量的に所望のカラーフィルタ層１７を測定することが可
能となった。そのため、カラーフィルタの分光特性度の
品質管理を簡易的におこなえ、また、固体撮像装置１１
の画素数に関係なく染色工程の管理も簡単にできる。
【００１２】また、有効画素領域１３のフィルタ形状と
分光測定用領域１２の形状が異なった場合、フィルタ形
状の大小によって染色性に差が発生し色分光を簡易的に
評価することが難しくなった。そのため、分光測定用領
域１２が画素部と同じ配列の構造でパターン形状も同じ
カラーフィルタにすることにより解決できた。
分光測定用領域１２の形状が異なった場合、フィルタ形
状の大小によって染色性に差が発生し色分光を簡易的に
評価することが難しくなった。そのため、分光測定用領
域１２が画素部と同じ配列の構造でパターン形状も同じ
カラーフィルタにすることにより解決できた。
【００１３】本発明の応用例を図３と図４に示す。図３
は分光測定用領域１２を４箇所設け、また、配置として
有効画素領域１３すべてを正確に評価できるように四面
角のかどに構成することにより可能となる。
は分光測定用領域１２を４箇所設け、また、配置として
有効画素領域１３すべてを正確に評価できるように四面
角のかどに構成することにより可能となる。
【００１４】図４はパターン形状の違う分光測定用領域
１２（ａ）および１２（ｂ）を数箇所構成することによ
り仮に分光測定用領域１２（ａ）を画素部のパターン形
状に関係なく一定のものに統一し分光測定用領域１２
（ｂ）を画素部のパターン形状と同じカラーフィルタの
構成にすることにより、分光測定用領域１２（ａ）の分
光特性を測定することにより、画素サイズやロット間に
関係なく染色工程の品質管理ができる。また、分光測定
用領域１２（ｂ）の分光特性を測定することにより、有
効画素領域１３の色ムラ状態も簡易的に判断できるため
色シェーディングの原因と考えられるチップ内分光特性
のバラツキ評価も早くおこなえるため対策時間も短くで
き歩留りに大きく貢献できる特徴を兼ね備えたものであ
る。
１２（ａ）および１２（ｂ）を数箇所構成することによ
り仮に分光測定用領域１２（ａ）を画素部のパターン形
状に関係なく一定のものに統一し分光測定用領域１２
（ｂ）を画素部のパターン形状と同じカラーフィルタの
構成にすることにより、分光測定用領域１２（ａ）の分
光特性を測定することにより、画素サイズやロット間に
関係なく染色工程の品質管理ができる。また、分光測定
用領域１２（ｂ）の分光特性を測定することにより、有
効画素領域１３の色ムラ状態も簡易的に判断できるため
色シェーディングの原因と考えられるチップ内分光特性
のバラツキ評価も早くおこなえるため対策時間も短くで
き歩留りに大きく貢献できる特徴を兼ね備えたものであ
る。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明の固体撮像装置の構
成は、カラー固体撮像装置の有効画素領域の外にも同時
にカラーフィルタを設け顕微分光測定器を用いた反射測
光により、カラーフィルタのみの分光特性を評価できる
分光測定用領域を少なくとも一箇所以上設けることによ
り、カラー固体撮像装置の分光特性を定量的に管理でき
品質の安定化がはかれる。
成は、カラー固体撮像装置の有効画素領域の外にも同時
にカラーフィルタを設け顕微分光測定器を用いた反射測
光により、カラーフィルタのみの分光特性を評価できる
分光測定用領域を少なくとも一箇所以上設けることによ
り、カラー固体撮像装置の分光特性を定量的に管理でき
品質の安定化がはかれる。
【００１６】ウエハー面内の分光特性の評価も可能とな
りスライス間およびロット間の分光管理や染色工程の管
理が簡単におこなえる。また、有効画素部内の色ムラ状
態も簡易的に評価できるため色シェーディングの対策も
簡単におこなえ歩留り向上に優れた固体撮像装置を実現
できるものである。
りスライス間およびロット間の分光管理や染色工程の管
理が簡単におこなえる。また、有効画素部内の色ムラ状
態も簡易的に評価できるため色シェーディングの対策も
簡単におこなえ歩留り向上に優れた固体撮像装置を実現
できるものである。
【図１】本発明の一実施例における固体撮像装置の平面
図
図
【図２】本発明の一実施例における固体撮像装置の断面
図
図
【図３】本発明の一実施例における固体撮像装置の平面
図
図
【図４】本発明の一実施例における固体撮像装置の平面
図
図
【図５】従来の有効画素領域の断面図
１１ 固体撮像装置 １２ 分光測定用領域 １３ 有効画素領域
フロントページの続き (72)発明者 西 嘉昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 木寺 昭人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 青木 正 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】固体撮像装置の表面に塗布されたレジスト
を露光および現像によりパターニングし、カラー固体撮
像装置の有効画素領域外に同時に１つ以上のカラーフィ
ルタを設けたカラー固体撮像装置。 - 【請求項２】前記有効画素領域外に形成されたカラーフ
ィルタが反射光による分光測定できることを特徴とする
請求項１記載のカラー固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33654291A JPH05164914A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | カラー固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33654291A JPH05164914A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | カラー固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164914A true JPH05164914A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18300213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33654291A Pending JPH05164914A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | カラー固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05164914A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231647A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-14 | STMicroelectronics Limited | Reference data coding in solid state image sensors |
| KR20110088880A (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 삼성전자주식회사 | 디지털 촬영장치, 및 그 제어 방법 |
| JP2021086980A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | キヤノン株式会社 | 半導体装置、表示装置、表示撮像装置、及び光電変換装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114664A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー撮像素子の製造方法 |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP33654291A patent/JPH05164914A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114664A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー撮像素子の製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231647A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-14 | STMicroelectronics Limited | Reference data coding in solid state image sensors |
| US6812058B2 (en) | 2001-02-08 | 2004-11-02 | Stmicroelectronics Ltd. | Reference data coding in solid state image sensors |
| KR20110088880A (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 삼성전자주식회사 | 디지털 촬영장치, 및 그 제어 방법 |
| JP2021086980A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | キヤノン株式会社 | 半導体装置、表示装置、表示撮像装置、及び光電変換装置 |
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