JPH03181168A - カラー固体撮像素子 - Google Patents
カラー固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH03181168A JPH03181168A JP1319963A JP31996389A JPH03181168A JP H03181168 A JPH03181168 A JP H03181168A JP 1319963 A JP1319963 A JP 1319963A JP 31996389 A JP31996389 A JP 31996389A JP H03181168 A JPH03181168 A JP H03181168A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- chromosome
- light
- image sensor
- shielding film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000002759 chromosomal effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 210000000349 chromosome Anatomy 0.000 abstract description 21
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 abstract description 4
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 abstract 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
！産業上の利用分野コ
本発明は、カラー固体撮像素子に関し、特に、千・Ｉプ
上に直接カラーフィルタが形成されているカラー固体撮
像素子に関する。
上に直接カラーフィルタが形成されているカラー固体撮
像素子に関する。
［従来の技術］
この種カラー固体撮像素子においては、各受光素子上に
所望の波長の光を透過させるカラーフィルタ層を設け、
入射した光を色分離して各受光素子からカラー電気信号
を得ている。
所望の波長の光を透過させるカラーフィルタ層を設け、
入射した光を色分離して各受光素子からカラー電気信号
を得ている。
第２図（ａ）は、従来の固体撮像素子の断面図である。
同図において、１はｎ型半導体基板、２はｐウェル層、
３は光電変換領域、４は光電変換領域内で発生した信号
電荷の転送を受けこれのチャネルとなる電荷転送領域、
５は光電変換領域間および光電変換領域３−電荷転送領
域４間を分離するチャネルストップ領域、６はゲート酸
化膜、７は読み出し電極を兼ねる転送電極、８は眉間絶
縁膜、９はアルミニウムからなる遮光膜、１１はＰＧＭ
Ａ、ＰＭＭ、Ａ等の透明高分子樹脂からなる平坦化膜、
１２．１３は平坦化膜１１と同様の材料により形成され
た第１、第２の防染膜、１４〜１６はカゼイン、ゼラチ
ン等を被染色母材とし、これを特定の染料により染色し
た第１乃至第３の染色体膜、１７は保護膜である９ 上記のオンウェハカラーフィルタは次のように形成され
る。第２図（ｂ）に示すように、遮光膜９まで形威され
た固体撮像素子上に平坦化膜１１を設け、その上に例え
ばカゼインを１μｒｎの厚さに塗布して被染色母材Ｈ１
４ａを形成する。続馨で、フォトマスク１８を用いて露
光して特定の画素（図の例では画素Ａ）上に第１の染色
体膜１４を形成し、これをシアン等の染料を用いて染色
づる。同様の工程を繰り返すことにより多層のカラーフ
ィルタ層を形成する。
３は光電変換領域、４は光電変換領域内で発生した信号
電荷の転送を受けこれのチャネルとなる電荷転送領域、
５は光電変換領域間および光電変換領域３−電荷転送領
域４間を分離するチャネルストップ領域、６はゲート酸
化膜、７は読み出し電極を兼ねる転送電極、８は眉間絶
縁膜、９はアルミニウムからなる遮光膜、１１はＰＧＭ
Ａ、ＰＭＭ、Ａ等の透明高分子樹脂からなる平坦化膜、
１２．１３は平坦化膜１１と同様の材料により形成され
た第１、第２の防染膜、１４〜１６はカゼイン、ゼラチ
ン等を被染色母材とし、これを特定の染料により染色し
た第１乃至第３の染色体膜、１７は保護膜である９ 上記のオンウェハカラーフィルタは次のように形成され
る。第２図（ｂ）に示すように、遮光膜９まで形威され
た固体撮像素子上に平坦化膜１１を設け、その上に例え
ばカゼインを１μｒｎの厚さに塗布して被染色母材Ｈ１
４ａを形成する。続馨で、フォトマスク１８を用いて露
光して特定の画素（図の例では画素Ａ）上に第１の染色
体膜１４を形成し、これをシアン等の染料を用いて染色
づる。同様の工程を繰り返すことにより多層のカラーフ
ィルタ層を形成する。
「発明が解決しようとする課題］
上述の従来技術により製造されたカラー固体撮像素子は
以下の欠点を有する。即ち、第２図（ｂ）に示すように
、平坦化膜１１の下にはアルミニウムからなる遮光１１
１９が形成されているので、フォトマスク１８を透過し
た露光光線１９の一部は遮光膜９の表面で反射して隣の
画素Ｂ上に到達する。その結果、画素Ｂ上にも線状の染
色体膜が影威される。いま、例えば第１の染色体膜をマ
ゼンタに、第２の染色体膜をシアンに染色して素子を形
成する場合、前述した通り画素Ｂ上には線状のマゼンタ
色に染色されたパターンが形成され、その上に本来のシ
アン色に染色された第２の染色体膜が形成される。その
ため、画素Ｂ部分のみは他のシアン画素とは分光特性が
異なって形威され、この画素を有する素子は色むらの不
良となる。
以下の欠点を有する。即ち、第２図（ｂ）に示すように
、平坦化膜１１の下にはアルミニウムからなる遮光１１
１９が形成されているので、フォトマスク１８を透過し
た露光光線１９の一部は遮光膜９の表面で反射して隣の
画素Ｂ上に到達する。その結果、画素Ｂ上にも線状の染
色体膜が影威される。いま、例えば第１の染色体膜をマ
ゼンタに、第２の染色体膜をシアンに染色して素子を形
成する場合、前述した通り画素Ｂ上には線状のマゼンタ
色に染色されたパターンが形成され、その上に本来のシ
アン色に染色された第２の染色体膜が形成される。その
ため、画素Ｂ部分のみは他のシアン画素とは分光特性が
異なって形威され、この画素を有する素子は色むらの不
良となる。
上記問題に対し、遮光膜からの光の反射を防止するため
に、最下層の染色体膜を形成する前の工程において、基
板表面に露光光源の波長の光を吸収する有機化合物膜を
形成する方法が考えられたが、この方法では、受光部も
この有機化合物膜で覆われるため、受光素子の分光特性
が変化するという問題が生じる。
に、最下層の染色体膜を形成する前の工程において、基
板表面に露光光源の波長の光を吸収する有機化合物膜を
形成する方法が考えられたが、この方法では、受光部も
この有機化合物膜で覆われるため、受光素子の分光特性
が変化するという問題が生じる。
［課題を解決するための手段］
本発明の固体撮像素子は、半導体基板の表面領域内に複
数の光電変換領域が設けられ、半導体基板上には絶縁膜
を介して光電変換領域上に開口を有する金属遮光膜が、
さらにその上には透明防染膜と染色体層とが積層された
ものであって、前記金属遮光膜の表面および側面には染
色体層をパターニングする際の露光光線の波長の光を吸
収する電磁波吸収膜が設けられたものである。
数の光電変換領域が設けられ、半導体基板上には絶縁膜
を介して光電変換領域上に開口を有する金属遮光膜が、
さらにその上には透明防染膜と染色体層とが積層された
ものであって、前記金属遮光膜の表面および側面には染
色体層をパターニングする際の露光光線の波長の光を吸
収する電磁波吸収膜が設けられたものである。
［実施例コ
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図＜ａ＞は、本発明の一実施例の製造途中段階にお
ける断面図である。同図において、第２図の従来例と共
通する部分には同一の参照番号が付されているので重複
した説明は省略する。
ける断面図である。同図において、第２図の従来例と共
通する部分には同一の参照番号が付されているので重複
した説明は省略する。
本実施例では、遮光膜９を形成したのち、遮光膜９の表
面および側面にｔＭ法により光吸収膜１０を形成する。
面および側面にｔＭ法により光吸収膜１０を形成する。
この膜は、後の染色体層のパターニングに用いられるｇ
線（波長４３６ｎｍ）を吸収できるようにこの波長の光
を吸収する染料または顔料とともに電着された高分子樹
脂膜である。
線（波長４３６ｎｍ）を吸収できるようにこの波長の光
を吸収する染料または顔料とともに電着された高分子樹
脂膜である。
これ以降は、常法により、平坦化膜１１、第１の染色体
膜１４、第１の防染膜１２、第２の染色体膜】５、第２
の防染Ｉｌ！１３、第３の染色体膜ｌ示す固体撮像素子
を完成させる。
膜１４、第１の防染膜１２、第２の染色体膜】５、第２
の防染Ｉｌ！１３、第３の染色体膜ｌ示す固体撮像素子
を完成させる。
このようにして形成された固体撮像素子においては、染
色体層のパターニングに際して露光光線が反射されて不
所望の部分を露光することがないので、フォトマスクの
パターン通りのカラーフィルタを形成することができ、
色むらの発生が防止される。また、光吸収膜１０は、電
着法を用いて形成されているので、この膜は、遮光膜９
に対して自己整合されて正確なパターンに形成されてお
り、そして薄くかつ均一な欠陥のない膜に形成されてい
る。
色体層のパターニングに際して露光光線が反射されて不
所望の部分を露光することがないので、フォトマスクの
パターン通りのカラーフィルタを形成することができ、
色むらの発生が防止される。また、光吸収膜１０は、電
着法を用いて形成されているので、この膜は、遮光膜９
に対して自己整合されて正確なパターンに形成されてお
り、そして薄くかつ均一な欠陥のない膜に形成されてい
る。
なお、光吸収膜１０には、染色体層のパターニング時の
露光光に対して十分な光吸収特性を有するものを用いる
必要がある。また、この膜は、被染色体層を電着法によ
り形威し、然る後これを所望の光吸収特性を有する染料
によって染色して形成することもできる。
露光光に対して十分な光吸収特性を有するものを用いる
必要がある。また、この膜は、被染色体層を電着法によ
り形威し、然る後これを所望の光吸収特性を有する染料
によって染色して形成することもできる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は、遮光膜の表面で、本発
明によれば、染色体膜のパターニングに際して遮光膜表
面まで達した露光光線をこの膜で吸収することができる
。したがって、本発明によれば、遮光膜表面で反射した
光が隣の画素まで入り込み不所望のパターンを形成する
ことがなくなり、色むら不良の発生を防止することがで
きる。
明によれば、染色体膜のパターニングに際して遮光膜表
面まで達した露光光線をこの膜で吸収することができる
。したがって、本発明によれば、遮光膜表面で反射した
光が隣の画素まで入り込み不所望のパターンを形成する
ことがなくなり、色むら不良の発生を防止することがで
きる。
さらに、本発明は、受光素子上にまで紫外線吸収膜を設
けるものではないので、受光素子の分光特性を変化させ
ることもない。
けるものではないので、受光素子の分光特性を変化させ
ることもない。
第１図（ｂ）は、本発明の一実施例を示す断面図、第１
図（ａ）は、その製造途中段階における断面図、第２図
（ａ＞は、従来例の断面図、第２［Ａ（ｂ）は、従来例
の製造工程を説明するための断面図である。 １・・・ｎ型半導体基板、 ２・・・ｐウェル層、 ３
・・・光電変換領域、 ４・・・電荷転送領域、 ５・
・・チャネルストップ領域、 ６・・・ゲート酸化膜、
７・・・転送電極、 ８・・・層間絶縁膜、 ９・
・・遮光膜、１０・・・光吸収膜、 １１・・・平坦
化膜、 １２・・・第１の防染膜、 １３・・・第２
の防染膜、 １４〜１６・・・第１〜第３の染色体膜、
１７・・・保護膜。
図（ａ）は、その製造途中段階における断面図、第２図
（ａ＞は、従来例の断面図、第２［Ａ（ｂ）は、従来例
の製造工程を説明するための断面図である。 １・・・ｎ型半導体基板、 ２・・・ｐウェル層、 ３
・・・光電変換領域、 ４・・・電荷転送領域、 ５・
・・チャネルストップ領域、 ６・・・ゲート酸化膜、
７・・・転送電極、 ８・・・層間絶縁膜、 ９・
・・遮光膜、１０・・・光吸収膜、 １１・・・平坦
化膜、 １２・・・第１の防染膜、 １３・・・第２
の防染膜、 １４〜１６・・・第１〜第３の染色体膜、
１７・・・保護膜。
Claims (1)
- 表面領域内に複数の光電変換領域が形成されている半導
体基板と、該半導体基板上に絶縁膜を介して形成された
前記複数の光電変換領域上に開口を有する金属遮光膜と
、該金属遮光膜の表面および側面を被覆する紫外線また
はそれ以下の波長の電磁波を吸収する電磁波吸収膜と、
該電磁波吸収膜を有する金属遮光膜上に設けられた、複
数層の透明防染膜および複数層の染色体膜により構成さ
れたカラーフィルタとを具備する固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319963A JPH03181168A (ja) | 1989-12-09 | 1989-12-09 | カラー固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319963A JPH03181168A (ja) | 1989-12-09 | 1989-12-09 | カラー固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181168A true JPH03181168A (ja) | 1991-08-07 |
Family
ID=18116206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1319963A Pending JPH03181168A (ja) | 1989-12-09 | 1989-12-09 | カラー固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03181168A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007027667A (ja) * | 2005-06-17 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 撮像素子 |
| JP2007049224A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Toppan Printing Co Ltd | 撮像素子 |
| JP2010183001A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Sony Corp | 固体撮像装置、カメラ、および、その製造方法 |
| US8395699B2 (en) | 2009-02-09 | 2013-03-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, camera, electronic apparatus, and method for manufacturing solid-state imaging device |
-
1989
- 1989-12-09 JP JP1319963A patent/JPH03181168A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007027667A (ja) * | 2005-06-17 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 撮像素子 |
| JP2007049224A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Toppan Printing Co Ltd | 撮像素子 |
| JP2010183001A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Sony Corp | 固体撮像装置、カメラ、および、その製造方法 |
| JP4743290B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2011-08-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、カメラ、および、その製造方法 |
| US8395699B2 (en) | 2009-02-09 | 2013-03-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, camera, electronic apparatus, and method for manufacturing solid-state imaging device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4721999A (en) | Color imaging device having white, cyan and yellow convex lens filter portions | |
| CA1162297A (en) | Solid-state color imager and method of manufacturing the same | |
| US5321249A (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same | |
| US6630722B1 (en) | Solid state image sensing device having high image quality and fabricating method thereof | |
| CN100459139C (zh) | 固体摄像装置和其制造方法 | |
| JP3130601B2 (ja) | 固体撮像素子用光学カラーフィルター及びその製造方法並びに固体撮像素子 | |
| JP2866355B2 (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| US5258608A (en) | Solid-state imaging device with anti-reflective layers of amorphous silicon and insulating silicon | |
| JPH03181168A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| JPH0235282B2 (ja) | ||
| US20200075651A1 (en) | Double-layer color filter and method for forming the same | |
| US6429038B2 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same | |
| JPH05226624A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
| JP2951942B1 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS61203663A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH03190168A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH0139272B2 (ja) | ||
| JPS6041872B2 (ja) | カラ−固体撮像素子板 | |
| US5230972A (en) | Method of manufacturing a color filter | |
| KR940004300B1 (ko) | 칼라필터 및 그의 제조방법 | |
| JPH0493902A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| KR930003614B1 (ko) | 칼라필터의 제조방법 | |
| KR930000151B1 (ko) | 칼라필터의 제조방법 | |
| KR920008072B1 (ko) | 칼라필터의 제조방법 | |
| JPH04234707A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 |