JP5039857B2 - 記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
[記憶装置の構成]
図1は、実施の形態1に係る記憶装置の概略図であり、図1(a)は、記憶装置100の構成を示す概略断面図、図1(b)は図1(a)のA−A’線の断面を矢印方向に見た概略断面図、図1(c)は同図(a)を表面から見た概略平面図である。なお、図1(c)においては、表面には見えない記憶装置の幾つかの構成要素を点線で表示し、符号を付している。
次に、本実施の形態に係る記憶装置100の製造方法について、図2および図3を用いて順にプロセスフローを説明する。図2は、実施の形態1に係る記憶装置を製造する方法の一例を示す工程図であり、(a)は第1絶縁層上に下部電極の材料、抵抗変化層、上部電極の材料を積層する工程を示す図、(b)は第1絶縁層上に抵抗変化素子を形成する工程を示す図、(c)は抵抗変化素子を被覆する層間絶縁層を形成する工程を示す図である。図3は、実施の形態1に係る記憶装置を製造する方法の一例を示す工程図であり、(a)は層間絶縁層の表面を平坦化する工程を示す図、(b)は抵抗変化素子の上部電極を露出する工程を示す図、(c)は抵抗変化素子の上部電極に直接接する引き出し配線を形成する工程を示す図、(d)は導電性ビアに接続する金属配線を形成する工程を示す図である。
図4は、本実施の形態に係る不揮発性記憶装置500の構成を示すブロック図である。
(1)ビット線が抵抗変化素子10の高濃度酸化物層側に接続され、ソース線がトランジスタ6に接続されていて、ソース線がビット線に平行に配置
(2)ビット線が抵抗変化素子10の高濃度酸化物層側に接続され、ソース線がトランジスタ6に接続されていて、ソース線がワード線に平行に配置
(3)ソース線が抵抗変化素子10の高濃度酸化物層側に接続され、ビット線がトランジスタ6に接続されていて、ソース線がビット線に平行に配置
(4)ソース線が抵抗変化素子10の高濃度酸化物層側に接続され、ビット線がトランジスタ6に接続されていて、ソース線がワード線に平行に配置
[記憶装置の構成]
実施の形態2に係る記憶装置200は、引き出し配線12を形成する際に、上部電極9以外に接続される金属配線17を、引き出し配線12の形成と同時に形成する点が実施の形態1に係る記憶装置100と異なる。その他の構成については実施の形態1に係る記憶装置100と同様であるので説明を省略する。
次に、本実施の形態に係る記憶装置200の製造方法について、図7を用いて順にプロセスフローを説明する。図7は、実施の形態2に係る記憶装置を製造する方法の一例を示す工程図であり、(a)は層間絶縁層の表面を平坦化する工程を示す図、(b)は金属配線に接続する導電性ビアを形成する工程を示す図、(c)は抵抗変化素子の上部電極を露出する工程を示す図、(d)は上部電極に直接接する上記電極配線と導電性ビアに接続する金属配線を同時に形成する工程を示す図である。なお、本実施の形態では、抵抗変化素子10を被覆する層間絶縁層15の表面の平坦化(図3(a)に相当)までは、基本的に実施の形態1と同じプロセスフローとなるため、同様のプロセスフローについては説明を省略し、それ以降のプロセスフローについてのみ説明する。
[記憶装置の構成]
実施の形態3に係る記憶装置300は、引き出し配線12が抵抗変化素子10の上部電極9に加えて抵抗変化層8にも接している点が実施の形態1に係る記憶装置100と異なっており、その他の構成については実施の形態1に係る記憶装置100と同様であるので説明を省略する。
本実施の形態3に係る記憶装置300の製造方法が、実施の形態1に係る記憶装置100の製造方法と異なる部分は、いわゆるエッチバック法により、層間絶縁層15を表面から順次エッチングしていき、抵抗変化素子10の上部電極9および抵抗変化層8の少なくとも一部が露出した時点でエッチバック処理を停止する工程を有することである。
上記の各実施の形態においては、抵抗変化層を構成する遷移金属酸化物層はタンタル酸化物の積層構造で構成されていたが、本発明の上述した作用効果は、タンタル酸化物の場合に限って発現されるものではなく、本発明はこれに限定されない。例えば、ハフニウム(Hf)酸化物の積層構造やジルコニウム(Zr)酸化物の積層構造などであってもよい。以下、抵抗変化層としてハフニウム酸化物およびジルコニウム酸化物を用いた例について説明する。
2 ソース領域
3 ドレイン領域
4 ゲート酸化膜
5 ゲート電極
6 選択トランジスタ(トランジスタ)
7 下部電極
8 抵抗変化層
9 上部電極
10 抵抗変化素子
12 引き出し配線
13,17 金属配線
14 第1絶縁層
15 層間絶縁層
16 第2絶縁層
18 拡散層
50a,50b,50c 導電性ビア
100,200,300 記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリセルアレイ
203 列選択回路
204 センスアンプ
205 データ入出力回路
206 書き込み回路
207 行ドライバ
208 行選択回路
209 アドレス入力回路
210 制御回路
211 書き込み用電源
212 LR化用電源
213 HR化用電源
500 不揮発性記憶装置
BL0,BL1,BL2 ビット線
N11,N12,N13,N14,N21,N22,N23,N24,N31,N32,N33,N34 トランジスタ
M11,M12,M13,M14,M21,M22,M23,M24,M31,M32,M33,M34 メモリセル
SL0,SL2 ソース線
R11,R12,R13,R14,R21,R22,R23,R24,R31,R32,R33,R34 抵抗変化素子
WL0,WL1,WL2,WL3 ワード線
Claims (9)
- 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルに共通して設けられた引き出し配線とを備え、
前記複数のメモリセルのそれぞれは、
基板上に形成された複数のトランジスタと、
下部電極と、貴金属を含む上部電極と、前記下部電極と前記上部電極との間に挟持された抵抗変化層と、を有する複数の抵抗変化素子とを備え、
前記抵抗変化層の抵抗値は、前記トランジスタを介して前記下部電極と前記上部電極との間に印加される電気パルスにより可逆的に変化し、
前記引き出し配線は、前記複数のメモリセルの前記上部電極に直接接し、前記引き出し配線の底面のうち最下面は、前記上部電極の上面よりも下で、かつ前記下部電極の上面よりも上になるように構成され、
前記上部電極は、前記引き出し配線により完全に覆われている
記憶装置。 - 前記抵抗変化層は、MOx(但し、Mは遷移金属、Oは酸素)で表される組成を有する酸素不足型の第1の遷移金属酸化物を含む第1層と、前記第1層の上に形成されMOy(但し、x<y)で表される組成を有する第2の遷移金属酸化物を含む第2層とを含み、
前記第2層は、前記上部電極と接している
請求項1に記載の記憶装置。 - 前記抵抗変化層の側壁の少なくとも一部は、絶縁層で被覆されている
請求項1または2に記載の記憶装置。 - 前記抵抗変化層はタンタル、ハフニウム、ジルコニウムのいずれかより選択される遷移金属の酸化物で構成されている
請求項1〜3のいずれかに記載の記憶装置。 - 前記引き出し配線は、導電性を有する材料の積層構造物により構成され、かつ、前記上部電極に直接接する部分がクロム、モリブデン、ニオブ、タンタル、タングステン、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ハフニウム、シリコン、窒素、炭素、硼素のうち、少なくとも1つを含む導電性材料で構成されている
請求項1〜4のいずれかに記載の記憶装置。 - トランジスタと抵抗変化素子とを備えたメモリセルを複数備えた記憶装置の製造方法であって、
基板上にトランジスタを形成する工程と、
前記トランジスタに対応して、前記抵抗変化素子の下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に抵抗変化層を形成する工程と、
前記抵抗変化層上に、貴金属を含む上部電極を形成する工程と、
前記抵抗変化素子を覆うように層間絶縁層を形成する工程と、
前記上部電極の上面の少なくとも一部を露出させる工程と、
前記複数のメモリセルに共通して設けられる引き出し配線を、前記上部電極に直接接し、前記引き出し配線の底面のうち最下面が、前記上部電極の上面よりも下で、かつ前記下部電極の上面よりも上になるように形成する工程とを含み、
前記引き出し配線を形成する工程において、前記上部電極が前記引き出し配線により完全に覆われるように、前記引き出し配線を形成する
記憶装置の製造方法。 - 前記抵抗変化層は、MOx(但し、Mは遷移金属、Oは酸素)で表される組成を有する酸素不足型の第1の遷移金属酸化物を含む第1層を形成する工程と、
前記第1層の上に、MOy(但し、x<y)で表される組成を有する第2の遷移金属酸化物を含む第2層を形成する工程を含む
請求項6に記載の記憶装置の製造方法。 - 前記上部電極の少なくとも一部を露出させる工程は、
前記層間絶縁層を平坦化する工程を含み、
前記層間絶縁層を平坦化した後、前記上部電極の少なくとも一部を前記層間絶縁層の表面に露出させる
請求項6または7に記載の記憶装置の製造方法。 - 前記引き出し配線を形成する工程において、前記引き出し配線と他の配線とを同時に形成する
請求項6〜8のいずれかに記載の記憶装置の製造方法。
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