JP5014967B2 - 発光素子及び発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 46, No. 9, 2007, pp. L187-L189
最初に、ウルツ鉱型の結晶構造について、GaNを例に挙げるとともに図1を用いて説明する。図1は、GaNの結晶構造を示した模式図である。図1においては、Ga原子を黒丸、N原子を白丸で示している。
本発明の実施形態における窒化物半導体の発光素子としてレーザ素子を例に挙げ、その構成と作製方法の一例について以下に説明する。まず、図2を用いて本実施形態におけるレーザチップの構成について説明する。図2は、本実施形態におけるレーザチップの模式的な斜視図である。なお、以下の説明において、基板2の主面であり種々の層が上部に積層される面を成長面とし、成長面に垂直な方向であり種々の層が積層されていく方向を上方向とする。また、基板2の成長面をa面またはm面と略平行な面として、c面と略垂直となる面が選択されることとする。
次に、上述のレーザチップの製造方法の一例について図2を用いて説明する。本例では、上述したような積層構造を複数形成したウエハを分割することによって複数のレーザチップ1を得る。そのため、最初にウエハの作製を行う。また、GaN基板2を用いることとして成長面をa面またはm面とする。
次に、図4を用いて本実施形態における発光素子に形成される保護膜について説明する。図4は、本実施形態におけるレーザチップの模式的な斜視図である。また、図4ではリッジストライプ10の長手方向がc軸方向に略平行である場合について示している。また、−c面であり光を出射する側の端面を第1共振器端面A、+c面であり光を反射する側の端面を第2共振器端面Bとする。なお、本図はリッジストライプの端面に保護膜14〜16が形成されていない図を示しているが、この部分に保護膜14〜16が形成されても構わない。
2 基板
3 n型バッファ層
4 n型クラッド層
5 n型ガイド層
6 活性層
7 p型電流ブロック層
8 p型クラッド層
9 p型コンタクト層
10 リッジストライプ
11 絶縁層
12 p電極
13 n電極
14 端面保護膜
15 出射側保護膜
16 反射側保護膜
A 第1共振器端面
B 第2共振器端面
Claims (10)
- 基板上に、六方晶の窒化物半導体から成る積層構造を備える発光素子において、
前記積層構造が、前記窒化物半導体がc軸と略垂直な方向に積層されて成り、
前記積層構造を形成する前記窒化物半導体のN極性の面が表出する第1端面に、第1保護膜が設けられるとともに、
前記第1端面と反対側の第2端面に、前記第1保護膜よりも反射率の高い第2保護膜が設けられ、
前記第1保護膜が、窒化物材料を含み、
前記窒化物材料が、単結晶または多結晶であることを特徴とする発光素子。 - 前記窒化物材料が、前記第1端面に接することを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1保護膜が、前記窒化物材料から成る端面保護膜と、酸化物材料から成る出射側保護膜と、を備えることを特徴とする請求項2に記載の発光素子。
- 前記酸化物材料が、アルミニウム、シリコン、チタン、タンタル、ニオブ、ハフニウム及びイットリウムのそれぞれの酸化物の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項3に記載の発光素子。
- 前記窒化物材料が、所定の方向に配向した結晶であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の発光素子。
- 前記窒化物材料が、アルミニウム、ガリウム及びシリコンのそれぞれの窒化物の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の発光素子。
- 前記積層構造が、a軸またはm軸方向に積層されたものであることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の発光素子。
- 六方晶の窒化物半導体をc軸と略垂直な方向に積層させることによって、基板上に前記窒化物半導体から成る積層構造を作製する第1工程と、
当該第1工程の後に、前記積層構造のN極性の面が表出する第1端面と、当該第1端面と反対側の端面である第2端面と、を形成する第2工程と、
当該第2工程の後に、前記第1端面に単結晶または多結晶である窒化物材料を含む第1保護膜を形成するとともに、前記第2端面に第1保護膜よりも反射率の高い第2保護膜を形成する第3工程と、
を備えることを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記第3工程において、前記第1保護膜の少なくとも一部をECRスパッタ法またはMBE法によって形成することを特徴とする請求項8に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第2工程を、劈開またはドライエッチングによって行うことを特徴とする請求項8または請求項9に記載の発光素子の製造方法。
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