JP4924185B2 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
窒化物半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4924185B2 JP4924185B2 JP2007119253A JP2007119253A JP4924185B2 JP 4924185 B2 JP4924185 B2 JP 4924185B2 JP 2007119253 A JP2007119253 A JP 2007119253A JP 2007119253 A JP2007119253 A JP 2007119253A JP 4924185 B2 JP4924185 B2 JP 4924185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- algan
- gan
- emitting device
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 157
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims description 69
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 146
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 35
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 30
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 16
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 77
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 18
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42 (2003) pp. L 1318-L 1320 Part 2, No. 11A, 1 November 2003
図1は、本実施の形態に係る窒化物半導体発光素子を概略的に示す図面である。窒化物半導体発光素子11aとしては、例えば面発光半導体素子であり、具体例としては発光ダイオード(LED)等がある。窒化物半導体発光素子11aは、GaN半導体からなる支持体13と、第1導電型AlGaN領域15と、第2導電型GaN系半導体層17と、活性層19とを備える。支持体13は、主面13a、裏面13b、および複数の側面13c、13d、13e、13fとを有する。側面13cは側面13dの反対側にあり、側面13eは側面13fの反対側にある。支持体13のGaN半導体のc軸は、側面13dから側面13cへの方向に伸びている。第1導電型AlGaN領域15および第2導電型GaN系半導体層17は、支持体13の主面13a上に設けられている。AlGaN領域15のアルミニウム組成は0.05以上であり、またAlGaN領域15の厚さD1は500nm以上である。活性層19は、第1導電型AlGaN領域15と第2導電型GaN系半導体層17との間に設けられている。活性層19はGaN系半導体から成る。
図2を参照しながら、本実施の形態における実施例を説明する。m面、a面主面を有するGaN基板上にLED構造を作製した。工程S101において、c面、m面、a面主面を有する3種類のGaN基板を準備した。これらのGaN基板を有機金属気相成長炉に配置した。工程S103において、これらのGaN基板の前処理を行った。この前処理として、アンモニア及び水素(NH3+H2)中で、摂氏1050度および10分間のサーマルクリーニングを行った。前処理の後に、工程S105において、摂氏1150度で、2μmのn型GaN膜(シリコン(Si)添加)を成長した。工程S107において、摂氏1150度で、500nmのn型Al0.18Ga0.82N膜(Si)添加)を成長する。工程S109において、活性層を成長した。活性層は、3nmのAl0.05Ga0.95N井戸層および15nmのAl0.18Ga0.82N障壁層を含み、これらが交互に5周期分積層されて成る多重量子井戸構造を有する。井戸層および障壁層はアンドープであることが好ましい。工程S111において、摂氏1100度に温度を下げた後に、20nmのp型Al0.27Ga0.73N膜(マグネシウム(Mg)添加)を成長した。工程S113において、150nmのp型Al0.18Ga0.82N膜(Mg)添加)を成長した。これらの工程によりAlGaNエピタキシャル積層が形成された。m面主面およびa面主面上に形成されたAlGaNエピタキシャル積層のAlGaN結晶のc面は、基板主面と大きな角度で交差する平面に沿って延びている。工程S115において、基板の裏面にTi/Alからなるn電極を形成し、p型Al0.18Ga0.82Nコンタクト層上に、Ni/Auからなるp電極を形成した。これらに工程により、c面、m面、a面主面を有するGaN基板をそれぞれ用いたLED構造LEDC、LEDM、LEDAが得られた。これらのLED構造LEDC、LEDM、LEDAに電圧を加えた。LED構造LEDC、LEDM、LEDAの発光波長は、いずれも350nm付近であった。LED構造LEDCは、クラックのため全面で発光しなかった。一方、LED構造LEDM、LEDAでは、全面で均一な発光が得られた。
図3は、本実施の形態に係る窒化物半導体発光素子を概略的に示す図面である。窒化物半導体発光素子11bとしては、例えば端面発光半導体素子であり、具体例としては半導体レーザ(LD)等がある。窒化物半導体発光素子11bは、GaN半導体からなる支持体13と、第1導電型AlGaN領域15と、第2導電型GaN系半導体領域17と、活性層19とを備える。支持体13のGaN半導体のc軸は、側面13cから側面13dに伸びている。第1導電型AlGaN領域15および第2導電型GaN系半導体層17は、支持体13の主面13a上に設けられている。AlGaN領域13のアルミニウム組成は0.05以上であり、またAlGaN領域15の厚さD1は500nm以上である。
図4を参照しながら、本実施の形態における実施例を説明する。m面、a面主面を有するGaN基板上にLD構造を作製した。工程S201において、c面、m面、a面主面を有する3種類のGaN基板を準備した。これらのGaN基板を有機金属気相成長炉に配置した。工程S203において、これらのGaN基板の前処理を行った。この前処理として、アンモニア及び水素(NH3+H2)中で、摂氏1050度および10分間のサーマルクリーニングを行った。前処理の後に、工程S205において、摂氏1150度で、2μmのn型Al0.20Ga0.80Nクラッド膜(Si添加)を成長した。次いで、工程S207において、摂氏1150度で、300nmのn型Al0.24Ga0.76Nクラッド膜(Si添加)を成長した。工程S209において、摂氏1150度で、100nmのn型Al0.20Ga0.80N光ガイド膜(Si添加)を成長した。工程S211において、活性層を成長した。活性層は、3nmのAl0.05Ga0.95N井戸層および15nmのAl0.18Ga0.82N障壁層を含み、これらが交互に3周期分積層されて成る多重量子井戸構造を有する。井戸層および障壁層はアンドープであることが好ましい。工程S213において、摂氏1100度に温度を下げた後に、100nmのp型Al0.20Ga0.80N光ガイド膜(Mg添加)を成長した。工程S215において、摂氏1100度で、20nmのp型Al0.27Ga0.73N電子ブロック膜(Mg添加)を成長した。工程S217において、摂氏1100度で、300nmのp型Al0.24Ga0.76Nクラッド膜(Mg添加)を成長した。これらの工程によりAlGaNエピタキシャル積層が形成され、AlGaNエピタキシャル積層のAlGaN結晶のc面は、基板主面と大きな角度で交差する平面に沿って延びている。工程S219において、50nmのp型GaN膜(Mg添加)を成長した。これらに工程により、c面、m面、a面主面を有するGaN基板を用いたLD構造が得られた。工程S221において、シリコン酸化膜といった絶縁膜を形成した後に、ストライプ状の開口(窓)をエッチングにより形成する。基板の裏面にTi/Alからなるn電極を形成すると共に、p型GaNコンタクト層上に、Ni/Auからなるp電極を形成し、Ti/Auからなるパッド電極を蒸着した。工程S223において、c面基板ではm面でへき開を行うと共に、m面基板およびa面基板の場合はc面でへき開を行うことによって共振器ミラーをそれぞれ形成して、ゲインガイド型半導体レーザLDC、LDM、LDAを作製した。半導体レーザLDC、LDM、LDAの発振波長は、いずれも350nm付近であった。
Claims (9)
- 主面と複数の側面とを有しておりGaN半導体からなる支持体と、
前記支持体の前記主面上に設けられた第1導電型AlGaN領域と、
前記支持体の前記主面上に設けられた第2導電型GaN系半導体領域と、
360nm以下のピーク発光波長の光を発生するように前記第1導電型AlGaN領域と前記第2導電型GaN系半導体領域との間に設けられGaN系半導体から成る活性層と
を備え、
前記第1導電型AlGaN領域は前記支持体と前記活性層との間に設けられ、
前記支持体のGaN半導体のc軸は、前記支持体の前記複数の側面のうちの第1の側面から第2の側面に伸びており、
前記第1の側面は前記第2の側面に対向しており、
前記第1導電型AlGaN領域のアルミニウム組成は0.05以上であり、
前記第1導電型AlGaN領域の厚さは500nm以上であり、
前記第1導電型AlGaN領域はすべり面で緩和しており、
前記活性層は、井戸層および障壁層を含む量子井戸構造を有しており、
前記障壁層はAl Y Ga 1−Y N(0<Y<1)からなり、
前記井戸層はAl Z Ga 1−Z N(0<Z<Y<1)からなる、ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記第1導電型AlGaN領域は、第1導電型AlXGa1−XN(0.1<X<1)層を含み、
前記第1導電型AlXGa1−XN層のAl組成は0.1以上0.6以下であり、
前記第1導電型AlXGa1−XN層の厚さは2μm以上である、ことを特徴とする請求項1に記載された窒化物半導体発光素子。 - 前記第1導電型AlXGa1−XN層のAl組成は0.18以上である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された窒化物半導体発光素子。
- 前記第1導電型AlGaN領域は、第1のAlGaNクラッド層及び第2のAlGaNクラッド層を含み、
前記第1のAlGaNクラッド層の厚さは500nm以上2.5μm以下であると共に、前記第1のAlGaNクラッド層のAl組成は0.1以上0.3以下であり、
前記第2のAlGaNクラッド層の厚さは300nm以上800nm以下であると共に、前記第2のAlGaNクラッド層のAl組成は0.15以上0.6以下であり、
前記第1のAlGaNクラッド層の前記Al組成は前記第2のAlGaNクラッド層の前記Al組成より小さく、
前記第1のAlGaNクラッド層の前記厚さは前記第2のAlGaNクラッド層の前記厚さより大きい、
前記第2のAlGaNクラッド層は前記第1のAlGaNクラッド層と前記活性層との間に設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載された窒化物半導体発光素子。 - 前記活性層と前記第1導電型AlGaN領域との間および前記活性層と前記第2導電型GaN系半導体領域との間の少なくともいずれか一方に設けられたAlWGa1−WN(0<W<1)光ガイド層を更に備える、ことを特徴とする請求項1に記載された窒化物半導体発光素子。
- 前記第2導電型GaN系半導体領域はAlUGa1−UN(0<U<1)からなる、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された窒化物半導体発光素子。
- 前記第2導電型GaN系半導体領域上に設けられたAlVGa1−VN(0<V<U<1)層と、
前記AlVGa1−VN層に接合する第1の電極と
を更に備える、ことを特徴とする請求項6に記載された窒化物半導体発光素子。 - 前記支持体の前記主面と前記GaN半導体のm面との成す角度は−5度以上であり、
前記支持体の前記主面と前記GaN半導体のm面との成す角度は+5度以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載された窒化物半導体発光素子。 - 前記支持体の前記主面と前記GaN半導体のa面との成す角度は−5度以上であり、
前記支持体の前記主面と前記GaN半導体のa面との成す角度は+5度以下である、ことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載された窒化物半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007119253A JP4924185B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 窒化物半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007119253A JP4924185B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 窒化物半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008277539A JP2008277539A (ja) | 2008-11-13 |
JP4924185B2 true JP4924185B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=40055152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007119253A Expired - Fee Related JP4924185B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 窒化物半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4924185B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110156048A1 (en) | 2008-11-06 | 2011-06-30 | Toshiya Yokogawa | Nitride-based semiconductor device and method for fabricating the same |
JP5077213B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2012-11-21 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物レーザダイオードを作製する方法 |
JP5004989B2 (ja) | 2009-03-27 | 2012-08-22 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法、並びに、半導体光学装置 |
JP5326787B2 (ja) | 2009-05-11 | 2013-10-30 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体レーザダイオード、及びiii族窒化物半導体レーザダイオードを作製する方法 |
JP5316210B2 (ja) | 2009-05-11 | 2013-10-16 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
JP4927121B2 (ja) | 2009-05-29 | 2012-05-09 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体ウェハ、窒化物半導体素子および窒化物半導体素子の製造方法 |
US20110001126A1 (en) * | 2009-07-02 | 2011-01-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Nitride semiconductor chip, method of fabrication thereof, and semiconductor device |
JP5193966B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2013-05-08 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体素子及びその製造方法、並びに、半導体装置 |
JP5319431B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2013-10-16 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体素子及びその製造方法、並びに、半導体装置 |
JP2011018784A (ja) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Sony Corp | 半導体レーザ素子及びその駆動方法、並びに、半導体レーザ装置 |
JP5198390B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2013-05-15 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体素子及びその製造方法、並びに、半導体装置 |
JP5310382B2 (ja) * | 2009-08-24 | 2013-10-09 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体光素子、及びiii族窒化物半導体光素子を作製する方法 |
WO2011077704A1 (ja) | 2009-12-25 | 2011-06-30 | パナソニック株式会社 | 窒化物系半導体素子およびその製造方法 |
JP5540834B2 (ja) | 2010-03-30 | 2014-07-02 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体発光素子 |
EP2541624A4 (en) | 2010-04-01 | 2013-05-15 | Panasonic Corp | SEMICONDUCTOR NITRIDE ELEMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
CN102754226B (zh) | 2010-04-28 | 2015-07-15 | 松下电器产业株式会社 | 氮化物系半导体元件及其制造方法 |
US8189639B2 (en) * | 2010-05-28 | 2012-05-29 | Corning Incorporated | GaN-based laser diodes with misfit dislocations displaced from the active region |
JP5319628B2 (ja) * | 2010-08-26 | 2013-10-16 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体素子および半導体光学装置 |
KR101781436B1 (ko) | 2011-07-22 | 2017-09-25 | 삼성전자주식회사 | 질화물계 반도체 발광소자 |
KR102301513B1 (ko) * | 2015-02-16 | 2021-09-15 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 발광소자, 이를 포함하는 발광소자 패키지, 및 이를 포함하는 조명시스템 |
JP2017126637A (ja) | 2016-01-13 | 2017-07-20 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体素子およびそれを用いた量子カスケードレーザ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3470074B2 (ja) * | 1999-02-05 | 2003-11-25 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体装置 |
JP2004335559A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Nichia Chem Ind Ltd | Iii族窒化物基板を用いる半導体素子 |
KR100718188B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2007-05-15 | 삼성코닝 주식회사 | 비극성 a면 질화물 반도체 단결정 기판 및 이의 제조방법 |
JP4917319B2 (ja) * | 2005-02-07 | 2012-04-18 | パナソニック株式会社 | トランジスタ |
JP4915128B2 (ja) * | 2005-04-11 | 2012-04-11 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体ウエハ及びその製造方法 |
JP5180430B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2013-04-10 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 発光素子 |
-
2007
- 2007-04-27 JP JP2007119253A patent/JP4924185B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008277539A (ja) | 2008-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4924185B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP5113330B2 (ja) | 窒化ガリウム半導体発光素子 | |
JP5118392B2 (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5003527B2 (ja) | Iii族窒化物発光素子、及びiii族窒化物系半導体発光素子を作製する方法 | |
JP5014967B2 (ja) | 発光素子及び発光素子の製造方法 | |
JP2008109066A (ja) | 発光素子 | |
JP2010177651A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2011054982A (ja) | GaN系III−V族化合物半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2008311640A (ja) | 半導体レーザダイオード | |
US8513684B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device | |
US8803274B2 (en) | Nitride-based semiconductor light-emitting element | |
JP2009081374A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2010114418A (ja) | 窒化ガリウム系半導体発光素子、窒化ガリウム系半導体発光素子を作製する方法、窒化ガリウム系発光ダイオード、エピタキシャルウエハ、及び窒化ガリウム系発光ダイオードを作製する方法 | |
JP2008198952A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
US8748868B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and epitaxial substrate | |
JP4450112B2 (ja) | 窒化物系半導体光素子 | |
JP2008187044A (ja) | 半導体レーザ | |
JP4665394B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2011044669A (ja) | Iii族窒化物半導体光素子、及びiii族窒化物半導体光素子を作製する方法 | |
WO2013065381A1 (ja) | 窒化物半導体発光素子、及び、窒化物半導体発光素子の作製方法 | |
JP4877294B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2008226865A (ja) | 半導体レーザダイオード | |
JP2011119374A (ja) | 窒化物半導体素子及びその製造方法、並びに、半導体装置 | |
JP5332959B2 (ja) | 窒化物系半導体光素子 | |
JP2009239084A (ja) | 半導体レーザ素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110328 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111101 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20111107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120123 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4924185 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |