JP4990619B2 - ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 - Google Patents
ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4990619B2 JP4990619B2 JP2006516457A JP2006516457A JP4990619B2 JP 4990619 B2 JP4990619 B2 JP 4990619B2 JP 2006516457 A JP2006516457 A JP 2006516457A JP 2006516457 A JP2006516457 A JP 2006516457A JP 4990619 B2 JP4990619 B2 JP 4990619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- image
- deposit
- determined
- screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 184
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 50
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 156
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 84
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 59
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/0008—Industrial image inspection checking presence/absence
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0269—Marks, test patterns or identification means for visual or optical inspection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
Claims (45)
- 印刷スクリーンを通してワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システムであって、このシステムは、カメラユニットと、制御ユニットとを備え、
カメラユニットは、印刷スクリーン及びワークピースに対して移動可能であり、印刷スクリーンは、複数の開口を有した本体を備え、ワークピースは、印刷スクリーンの開口を通してその上に堆積物が印刷されるものであり、
制御ユニットは、印刷スクリーンの下面及びワークピースの上面の少なくとも一対の対応する領域の画像を捕獲するようにカメラユニットを制御すると共に、画像を処理して、印刷スクリーンの本体と共に印刷スクリーン内の開口をも備えた印刷スクリーンの画像を規定する複数の点の各々について、順にその点が開口のものであるか否かを決定し、そしてその点が開口のものであると決定された場合のみ、印刷スクリーンの画像を規定する複数の点に対応する複数の点によって規定されたワークピースの対応する画像の対応する点が、堆積物のものであるか否かを決定し、これによりワークピースに印刷された堆積物の印刷特性の決定を、堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係から可能とするものであることを特徴とする検査システム。 - カメラユニットは、同時に印刷スクリーン及びワークピースの画像を捕獲するように動作可能である請求項1に記載のシステム。
- カメラユニットは、印刷スクリーン及びワークピースの全面積画像を捕獲する請求項1又は2に記載のシステム。
- カメラユニットは、印刷スクリーン及びワークピースのライン走査画像を捕獲するためのライン走査カメラユニットである請求項1又は2に記載のシステム。
- 制御ユニットは、カメラユニットによる画像捕獲中に、同時に印刷スクリーン及びワークピースの画像を処理するように構成されている請求項1〜4のいずれかに記載のシステム。
- 制御ユニットは、捕獲された画像を処理するように構成されている請求項1〜4のいずれかに記載のシステム。
- 印刷スクリーン及びワークピースの画像は、それぞれ画像特徴に依存した強度を持つスクリーン信号及びワークピース信号のそれぞれによって規定され、画像の各々を規定する点は、それぞれのスクリーン信号及びワークピース信号のタイムスライスである請求項1〜6のいずれかに記載のシステム。
- 堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係は、スクリーン信号が開口のものであると決定された期間に対するワークピース信号が堆積物のものであると決定された期間から決定される請求項7に記載のシステム。
- 印刷スクリーン及びワークピースの画像は、ピクセル化された画像であり、画像の各々を規定する点は、ピクセル化された画像のピクセルである請求項1〜6のいずれかに記載のシステム。
- 堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係は、開口のものであると決定されたピクセルの数に対する堆積物のものであると決定されたピクセルの数から決定される請求項9に記載のシステム。
- 制御ユニットは、印刷スクリーン及びワークピースの複数の対の対応する画像を、使用時に画像が収集される複数の検査部位を規定する検査計画に従って、収集するように構成されている請求項9又は10に記載のシステム。
- 検査計画の検査部位は、セットアップルーチンで決定されている請求項11に記載のシステム。
- カメラユニットによって収集された各検査部位における印刷スクリーン及びワークピースの対応する対の画像におけるオフセットは予め決定されていて、印刷スクリーンの対応する画像中のピクセルに対応するワークピースの画像中のピクセルが、そのオフセットに従って決定される請求項12に記載のシステム。
- 印刷特性は、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項1〜13のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、全ての堆積物に対する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項1〜13のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、最悪ケースの堆積物の、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項1〜13のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位に対する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える、請求項11〜13のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位における最悪ケースの、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項11〜13のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位における堆積物の少なくともいくつかの堆積物、又はいくつかの堆積物のグループに対応する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項11〜13のいずれかに記載のシステム。
- 堆積物のものであると決定された点は、画像強度の参照閾値を参照することによって決定されたものである請求項1〜19のいずれかに記載のシステム。
- 開口の少なくとも1つについて、堆積物のものであると決定された点は、画像強度の参照閾値より大きいか小さい画像強度を有するものと決定されたものである請求項20に記載のシステム。
- 開口の少なくとも1つについて、堆積物のものであると決定された点は、画像強度の参照閾値の上下限界範囲内の画像強度を有するものと決定されたものである請求項20又は21に記載のシステム。
- 請求項1〜22のいずれかに記載の検査システムを組み入れたことを特徴とするスクリーン印刷機。
- 印刷スクリーンを通してワークピース上に印刷された堆積物を検査する方法であって、この方法は、
印刷スクリーンの下面及びワークピースの上面の少なくとも一対の対応する領域の画像を捕獲する工程と、
画像を処理する工程とを備え、
画像を捕獲する工程において、印刷スクリーンは、複数の開口を有した本体を備え、ワークピースは、印刷スクリーンの開口を通してその上に堆積物が印刷されるものであり、
画像を処理する工程では、印刷スクリーンの本体と共に印刷スクリーン内の開口をも備えた印刷スクリーンの画像を規定する複数の点の各々について、順にその点が開口のものであるか否かを決定し、そしてその点が開口のものであると決定された場合のみ、印刷スクリーンの画像を規定する複数の点に対応する複数の点によって規定されたワークピースの対応する画像の対応する点が、堆積物のものであるか否かを決定し、これによりワークピースに印刷された堆積物の印刷特性の決定を、堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係から可能とすることを特徴とする方法。 - 印刷スクリーン及びワークピースの画像は、同時に捕獲される請求項24に記載の方法。
- 印刷スクリーン及びワークピースの全面積画像が捕獲される請求項24又は25に記載の方法。
- 印刷スクリーン及びワークピースのライン走査画像が捕獲される請求項24又は25に記載の方法。
- 画像捕獲工程及び処理工程は、同時に行われる請求項24〜27のいずれかに記載の方法。
- 処理工程は、画像捕獲工程に後続して行われる請求項24〜27のいずれかに記載の方法。
- 印刷スクリーン及びワークピースの画像は、それぞれ画像特徴に依存した強度を持つスクリーン信号及びワークピース信号のそれぞれによって規定され、画像の各々を規定する点は、それぞれのスクリーン信号及びワークピース信号のタイムスライスである請求項24〜29のいずれかに記載の方法。
- 堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係は、スクリーン信号が開口のものであると決定された期間に対するワークピース信号が堆積物のものであると決定された期間から決定される請求項30に記載の方法。
- 印刷スクリーン及びワークピースの画像は、ピクセル化された画像であり、画像の各々を規定する点は、ピクセル化された画像のピクセルである請求項24〜29のいずれかに記載の方法。
- 堆積物のものであると決定された点と開口のものであると決定された点との関係は、開口のものであると決定されたピクセルの数に対する堆積物のものであると決定されたピクセルの数から決定される請求項32に記載の方法。
- 画像捕獲工程において、印刷スクリーン及びワークピースの複数の対の対応する画像は、複数の検査部位において検査計画に従って収集される請求項32又は33に記載の方法。
- 画像が収集される複数の検査部位を規定する検査計画を決定するためのセットアップルーチンを行う工程を更に備える請求項34に記載の方法。
- セットアップルーチンにおいて、各検査部位における印刷スクリーン及びワークピースの対応する対の画像におけるオフセットが決定され、そして、印刷スクリーンの対応する画像中のピクセルに対応するワークピースの画像中のピクセルを決定する場合、印刷スクリーンの対応する画像中のピクセルに対応するワークピースの画像中のピクセルは、そのオフセットに従って決定される請求項35に記載の方法。
- 印刷特性は、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項24〜36のいずれかに記載の方法。
- 印刷特性は、全ての堆積物に対する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項24〜36のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、最悪ケースの堆積物の、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項24〜36のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位に対する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える、請求項34〜36のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位における最悪ケースの、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項34〜36のいずれかに記載のシステム。
- 印刷特性は、それぞれの各検査部位における堆積物の少なくともいくつかの堆積物、又はいくつかの堆積物のグループに対応する、期待堆積物範囲と比べたときの決定堆積物範囲のパーセントの表現を備える請求項34〜36のいずれかに記載のシステム。
- ワークピースの対応する画像の各対応する点は、画像強度の参照閾値を参照することによって、堆積物のものであると決定される請求項24〜42のいずれかに記載の方法。
- 開口の少なくとも1つについて、ワークピースの対応する画像の各対応する点は、画像強度の参照閾値より大きいか小さい画像強度を有する場合に、堆積物のものであると決定される請求項43に記載の方法。
- 開口の少なくとも1つについて、ワークピースの対応する画像の各対応する点は、画像強度の参照閾値の上下限界範囲内の画像強度を有する場合に、堆積物のものであると決定される請求項43又は44に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0314233A GB2403003B (en) | 2003-06-19 | 2003-06-19 | Inspection system for and method of inspecting deposits printed on workpieces |
GB0314233.8 | 2003-06-19 | ||
PCT/GB2004/002649 WO2004114217A2 (en) | 2003-06-19 | 2004-06-18 | Inspection system for and method of inspecting deposits printed on workpieces |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010258383A Division JP2011081006A (ja) | 2003-06-19 | 2010-11-18 | ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007527506A JP2007527506A (ja) | 2007-09-27 |
JP2007527506A5 JP2007527506A5 (ja) | 2011-09-29 |
JP4990619B2 true JP4990619B2 (ja) | 2012-08-01 |
Family
ID=27636866
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006516457A Active JP4990619B2 (ja) | 2003-06-19 | 2004-06-18 | ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 |
JP2010258383A Pending JP2011081006A (ja) | 2003-06-19 | 2010-11-18 | ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010258383A Pending JP2011081006A (ja) | 2003-06-19 | 2010-11-18 | ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9791383B2 (ja) |
EP (1) | EP1639545A2 (ja) |
JP (2) | JP4990619B2 (ja) |
CN (1) | CN1836257B (ja) |
GB (1) | GB2403003B (ja) |
WO (1) | WO2004114217A2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005043833A1 (de) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Ersa Gmbh | Vorrichtung zur Ermittlung der Relativposition zwischen zwei im Wesentlichen flächigen Elementen |
JP4919378B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2012-04-18 | 富士フイルム株式会社 | 描画点データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 |
US20070102478A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Speedline Technologies, Inc. | Optimal imaging system and method for a stencil printer |
US20070102477A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Speedline Technologies, Inc. | Imaging system and method for a stencil printer |
US7458318B2 (en) | 2006-02-01 | 2008-12-02 | Speedline Technologies, Inc. | Off-axis illumination assembly and method |
US7549371B2 (en) | 2006-07-10 | 2009-06-23 | Speedline Technologies, Inc. | Method and apparatus for clamping a substrate |
US7710611B2 (en) | 2007-02-16 | 2010-05-04 | Illinois Tool Works, Inc. | Single and multi-spectral illumination system and method |
US7861650B2 (en) | 2007-04-13 | 2011-01-04 | Illinois Tool Works, Inc. | Method and apparatus for adjusting a substrate support |
CA2712141A1 (en) * | 2008-01-15 | 2009-07-23 | Targacept, Inc. | Preparation and enantiomeric separation of 7-(3-pyridinyl)-1,7-diazaspiro[4.4] nonane and novel salt forms of the racemate and enantiomers |
US8215473B2 (en) * | 2008-05-21 | 2012-07-10 | Applied Materials, Inc. | Next generation screen printing system |
US8733244B2 (en) * | 2010-12-08 | 2014-05-27 | Illinois Tool Works, Inc. | Methods for depositing viscous material on a substrate with a combination stencil printer and dispenser |
WO2015125173A1 (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-27 | ヤマハ発動機株式会社 | スクリーン印刷用検査データの作成ユニット、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用検査データの作成方法 |
WO2018006180A1 (en) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | Ats Automation Tooling Systems Inc. | System and method for combined automatic and manual inspection |
DE102018201794B3 (de) * | 2018-02-06 | 2019-04-11 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Adaptive Bildglättung |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4578810A (en) * | 1983-08-08 | 1986-03-25 | Itek Corporation | System for printed circuit board defect detection |
JPH0740526A (ja) | 1993-07-27 | 1995-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田印刷装置 |
JP2982617B2 (ja) | 1994-06-27 | 1999-11-29 | 松下電器産業株式会社 | クリーム半田の印刷量検査方法 |
US6317513B2 (en) * | 1996-12-19 | 2001-11-13 | Cognex Corporation | Method and apparatus for inspecting solder paste using geometric constraints |
US5982927A (en) * | 1996-12-19 | 1999-11-09 | Cognex Corporation | Methods and apparatuses for in-line solder paste inspection |
GB2323664A (en) * | 1997-03-25 | 1998-09-30 | Dek Printing Machines Ltd | Viewing and imaging systems |
JPH10337843A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スクリーン印刷方法及びその装置 |
DE19728144C2 (de) * | 1997-07-02 | 2001-02-01 | Ekra Eduard Kraft Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Testmustern |
JP3832062B2 (ja) | 1997-12-22 | 2006-10-11 | 松下電器産業株式会社 | クリーム半田の外観検査方法 |
JPH11344449A (ja) | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Shimu:Kk | 外観検査方法 |
US6574358B1 (en) * | 1998-11-13 | 2003-06-03 | Cognex Technology And Investment Corporation | Automatic training of inspection sites for paste inspection |
US6687402B1 (en) * | 1998-12-18 | 2004-02-03 | Cognex Corporation | Machine vision methods and systems for boundary feature comparison of patterns and images |
US6606402B2 (en) * | 1998-12-18 | 2003-08-12 | Cognex Corporation | System and method for in-line inspection of stencil aperture blockage |
JP4187332B2 (ja) | 1998-12-24 | 2008-11-26 | 松下電器産業株式会社 | スクリーン印刷検査方法およびスクリーン印刷装置 |
JP2000238233A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-05 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | スクリーン検査方法,装置およびスクリーン印刷機 |
JP3252826B2 (ja) * | 1999-03-23 | 2002-02-04 | 株式会社日立製作所 | 回路パターン欠陥検査方法及びその装置 |
US6738505B1 (en) * | 1999-05-04 | 2004-05-18 | Speedline Technologies, Inc. | Method and apparatus for detecting solder paste deposits on substrates |
US6522776B1 (en) * | 1999-08-17 | 2003-02-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for automated determination of reticle tilt in a lithographic system |
JP3758463B2 (ja) * | 2000-05-09 | 2006-03-22 | 松下電器産業株式会社 | スクリーン印刷の検査方法 |
-
2003
- 2003-06-19 GB GB0314233A patent/GB2403003B/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-18 US US10/561,495 patent/US9791383B2/en active Active
- 2004-06-18 CN CN2004800233650A patent/CN1836257B/zh active Active
- 2004-06-18 JP JP2006516457A patent/JP4990619B2/ja active Active
- 2004-06-18 WO PCT/GB2004/002649 patent/WO2004114217A2/en active Application Filing
- 2004-06-18 EP EP04743002A patent/EP1639545A2/en not_active Ceased
-
2010
- 2010-11-18 JP JP2010258383A patent/JP2011081006A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2403003B (en) | 2006-06-07 |
JP2007527506A (ja) | 2007-09-27 |
EP1639545A2 (en) | 2006-03-29 |
JP2011081006A (ja) | 2011-04-21 |
US20060222234A1 (en) | 2006-10-05 |
US9791383B2 (en) | 2017-10-17 |
CN1836257B (zh) | 2011-10-26 |
WO2004114217A2 (en) | 2004-12-29 |
WO2004114217A3 (en) | 2005-09-15 |
GB0314233D0 (en) | 2003-07-23 |
CN1836257A (zh) | 2006-09-20 |
GB2403003A (en) | 2004-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011081006A (ja) | ワークピース上に印刷された堆積物を検査する検査システム及び方法 | |
US5862973A (en) | Method for inspecting solder paste in printed circuit board manufacture | |
US7114249B2 (en) | Substrate inspecting method and substrate inspecting apparatus using the method | |
JP2001168160A (ja) | 半導体ウェハの検査システム | |
KR20060114614A (ko) | 인쇄 납땜 페이스트의 결함 감지 시스템 및 방법 | |
US7355692B2 (en) | System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent imagery | |
US7664311B2 (en) | Component mounting board inspecting apparatus | |
JP2009168582A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2002014057A (ja) | 欠陥検査装置 | |
CN109827970B (zh) | 半导体芯片测试系统和方法 | |
JP2007327757A (ja) | 目視検査装置 | |
JPH0231144A (ja) | プリント基板検査装置 | |
JP3741287B1 (ja) | 実装基板の検査方法及び検査装置 | |
CN115165920B (zh) | 一种三维缺陷检测方法及检测设备 | |
JP4506395B2 (ja) | 基板検査装置並びにそのパラメータ設定方法およびパラメータ設定装置 | |
JP2004213562A (ja) | 部品認識データ作成方法及び作成装置、並びに部品認識データ作成プログラム | |
JPH0658731A (ja) | パターン検査装置 | |
JP4828741B2 (ja) | プローブ痕測定方法およびプローブ痕測定装置 | |
JP2536127B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP4419778B2 (ja) | 基板検査装置並びにそのパラメータ設定方法およびパラメータ設定装置 | |
JP4858227B2 (ja) | 検査パラメータ設定支援装置、その制御プログラムおよび制御方法 | |
JP2000151198A (ja) | 外観検査装置 | |
JPH08189906A (ja) | 半田付け外観検査方法および装置 | |
JPH09270577A (ja) | クリーム半田印刷検査装置およびクリーム半田印刷検査方法 | |
JPH04279808A (ja) | ペースト半田印刷状態検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100816 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100823 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100917 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100928 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101015 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101022 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110425 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110506 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110527 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110603 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110628 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110801 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20110801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4990619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |