JP4960665B2 - 発光素子アレイ及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
金属反射層を前記基板上かつ複数の発光素子部下に備え、且つ電気的分離のための抵抗層を前記電気的に分離されている発光素子間に備え、さらに電気的分離のための抵抗層を前記複数の発光素子と前記金属反射層との間に備えていることを特徴とする。
また本発明は、基板上に金属層を介して複数の発光素子を有するアレイ状光源であって、前記金属層と前記複数の発光素子間に電気的に分離するための層を設けて、該金属層と前記複数の発光素子とを電気的に分離していることを特徴とするアレイ状光源であることを特徴とする。
前記第1及び第2の発光素子群は、共通の金属層を介して、前記基板に設けられており、
前記第1及び第2の発光素子群と、前記金属層との間には、前記金属層と、該第1及び該第2の発光素子群とを、それぞれ電気的に分離するための分離層を有し、
前記第1の発光素子群と前記第2の発光素子群との間には、両者を電気的に分離するための分離溝を備え、且つ
該分離溝は、前記発光素子側から前記基板側に向かって、前記分離層に達するように設けられていることを特徴とするアレイ状光源であることを特徴とする。
図1は本発明の第1の実施形態を示す発光素子アレイの断面図である。図1に示すように、Si基板51上に、白金層61、金層62、銀層63、アンドープAlGaAs抵抗層(金属層と、第1及び第2の発光素子群とを、それぞれ電気的に分離するための層となる)64を有する。さらにその上に、n型AlGaAs層13、AlGaAs量子井戸活性層14、p型AlGaAs層15、p型GaAsコンタクト層16、p側電極17(「第1の電極」とする)を有する。19は絶縁膜である。素子分離のためにn型AlGaAs層13まで到達するように第1の分離溝(素子分離用溝)18が形成される。さらに、第1の電極と電気的に接続されるn側共通電極を分離するためにアンドープAlGaAs抵抗層64まで到達するように第2の分離溝(n型電極分離用溝)32が形成される。この第2の分離溝32はn側電極間の十分な抵抗をとり、電気的に分離するためのものであり、少なくとも分離溝がアンドープAlGaAs抵抗層64まで到達していれば良い。また、分離溝32が金属反射層となる銀層63まで到達していても良い。分離溝18は隣接する発光素子間を電気的に分離するために設けられ、分離溝32は発光素子をブロック単位で電気的に分離するために設けられる。分離溝32は第1の発光素子群(一のブロック内の複数の発光素子)と第2の発光素子群(他のブロック内の複数の発光素子)を擁するブロック間の、分離溝となり、両発光素子群を電気的に分離する。なお、この図1では簡略のためにn側電極が描かれていない(図2にn側電極11として示されている)。
(第2の実施形態)
図5は本発明の第2の実施形態を示す発光素子アレイの断面図である。この実施形態では図1とは異なり、アンドープAlGaAs層の代わりにSiO2膜101が金属反射層(銀層63)上に存在する。このSiO2膜を抵抗層とするため、より絶縁性の高い分離が可能となる。その他の構成部材は図1と同じである。
13 n型AlGaAs層
14 AlGaAs量子井戸活性層
15 p型AlGaAs層
16 p型GaAsコンタクト層
17 p側電極
18 第1の分離溝(素子分離用溝)
19 絶縁膜
21 n型AlGaAs上絶縁膜
22 p型GaAsコンタクト層上絶縁膜
23 発光領域
32 第2の分離溝(n型電極分離用溝)
41 半絶縁性GaAs基板上絶縁膜
51 Si基板
61 白金層
62 金層
63 銀層
64 アンドープAlGaAs抵抗層
81 AlAs選択エッチング分離層
101 SiO2膜
131 SiO2膜上絶縁膜
Claims (11)
- 基板上に複数の発光素子を有し、少なくとも一部の隣接する発光素子間は電気的に分離されている発光素子アレイであって、
前記基板と前記複数の発光素子との間に、前記複数の発光素子に共通する金属層を備えており、且つ
前記複数の発光素子と前記金属層との間に、前記金属層と前記複数の発光素子を電気的に分離するための層を備えており、
前記少なくとも一部の隣接する発光素子間は、少なくとも前記電気的に分離するための層まで達する分離溝によって電気的に分離されていることを特徴とする発光素子アレイ。 - 前記少なくとも一部の隣接する発光素子の一を含んで構成されるブロックを複数備えており、
前記少なくとも一部の隣接する発光素子は、互いに異なるブロックに属している請求項1記載の発光素子アレイ。 - 前記複数の発光素子は、それぞれ、第1(n側)電極、前記第1電極上の活性層、及び前記活性層上の第2(p側)電極を有しており、
前記複数の発光素子のうち、1つのブロックに含まれる、少なくとも2つの隣接した発光素子は、前記分離溝とは異なる、前記第1の電極まで達する分離溝により、電気的に分離されている請求項2記載の発光素子アレイ。 - 電気的に分離されている前記少なくとも一部の隣接する発光素子間の抵抗値が、前記発光素子を構成し前記電気的に分離するための層と接する領域の抵抗値よりも大きくなるように設定されている請求項1〜3のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
- 前記電気的に分離するための層がドープされていない、SiO2、SiN、SiON、AlN、あるいはAl2O3からなる請求項1〜4のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
- 基板上に、それぞれ、複数の発光素子からなる第1及び第2の発光素子群を有するアレイ状光源であって、
前記第1及び第2の発光素子群は、共通の金属層を介して、前記基板に設けられており、
前記第1及び第2の発光素子群と、前記金属層との間には、前記金属層と、該第1及び該第2の発光素子群とを、それぞれ電気的に分離するための層を有しており、
前記第1の発光素子群と前記第2の発光素子群との間には、両者を電気的に分離するための分離溝を備え、且つ
該分離溝は、前記発光素子側から前記基板側に向かって、前記電気的に分離するための層に達するように設けられていることを特徴とするアレイ状光源。 - 基板上に互いに電気的に分離された複数の発光素子を含み構成される複数のブロックを備え、前記ブロック毎に前記複数の発光素子の第1の電極と電気的に接続される共通電極を有し、かつ互いに異なる前記ブロック間は電気的に分離されている発光素子アレイであって、
前記基板と前記複数の発光素子との間に、複数の該発光素子に共通する金属層を備え、且つ
前記金属層と前記発光素子間の電気的に分離するための層を、複数の前記発光素子と前記金属層との間に備えており、
前記異なる前記ブロック間の電気的な分離は、前記互いに異なるブロック間に設けられ、少なくとも前記電気的に分離するための層まで達する分離溝によって電気的に分離されていることを特徴とする発光素子アレイ。 - 前記電気的に分離するための層が、アンドープのAlGaAs半導体である請求項1及び7のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
- 前記電気的に分離するための層はp型のAlGaAs半導体であり、該p型不純物のドーピング濃度は1×1017cm−3以下である請求項1及び7のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
- 前記電気的に分離するための層はn型のAlGaAs半導体であり、該n型不純物のドーピング濃度は3×1016cm−3以下である請求項1及び7のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
- 前記金属層が多層構造を有する請求項1及び7のいずれか一項に記載の発光素子アレイ。
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