JP4934901B2 - 多層プリント配線板及びその製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁基板上に絶縁層を介して形成された各配線層がバイアホールにて電気的に接続されてなる多層プリント配線板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器の小型化、薄形化が進み、プリント配線板においても配線の高密度化もさることながら高信頼性が要求されている。そのため、配線層間をバイアホールにて電気的に接続するフィルドビア構造の多層プリント配線板の必要性が高まっている。導電ペーストをバイアホール用穴に充填してバイアホールを形成する方法は既に実用化されているが、小径バイアホールに対してはバイアホール内に気泡を持ち込むことから信頼性上問題であるとされている。従って、小径バイアホールに関しては、電解めっきを用いたバイアホール形成技術が注目され実用化されつつある。
【0003】
多層プリント配線板の一般的な製造工程としては、図3(a)〜(f)に示すように、まず、絶縁基板61の両面に第1配線層62a及び62bを形成する(図3(a)参照)。次に、樹脂付き銅箔を積層して絶縁層63及び第2導体層64を形成する(図3(b)参照)。次に、第2導体層64の所定位置にバイアホール用穴を形成するための開口部65を形成する(図3(c)参照)。次に、開口部65より炭酸ガスレーザー等を照射して絶縁層63にバイアホール用穴66を形成する(図3(d)参照)。次に、無電解銅めっきによりバイアホール用穴66内を導電化処理した後、電解銅めっきによりバイアホール用穴66が完全に埋まるまでめっきを行ない、バイアホール67及び導体層68を形成する(図3(e)参照)。さらに、第2導体層64及び導体層68をサブトラクティブ法にてパターニング処理し、絶縁基板61の両面に第2配線層64a及び配線層68aからなる2層構造の第2配線層69aを、第2配線層64b及び配線層68bからなる2層構造の第2配線層69bをそれぞれ形成し、4層の多層プリント配線板を得る(図3(f)参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記製造方法ではバイアホール67を形成する際バイアホールの径や深さによっても変わるが、第2導体層64上にもある厚さの導体層68が形成される。
これは、第2配線層が2層構造になり、微細配線層形成の障害になるばかりでなく、製造効率を落とすことになる。例えば、深さ65μmのバイアホール用穴を完全に埋めるのに、バイアホール径80μmφで20μm厚、100μmφの時で30μm厚の導体層68が第2導体層64上に形成される。
【0005】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、バイアホール形成後の導体層の厚みを、バイアホールの径や深さに係わらず常に一定にして、微細な配線層が得られるようにした多層プリント配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
本発明に於いて上記課題を解決するために、まず、請求項1においては、絶縁基板上に絶縁層を介して配線層間がバイアホールにて電気的に接続されてなるプリント配線板において、前記絶縁層上に形成される配線層の表面と、前記配線層を貫通し、かつ、バイアホールを銅で埋めて形成されるバイアホールの上部が、同一高さであり、バイアホール形成後も前記配線層の厚みがバイアホール形成前と略同一になっていることを特徴とする多層プリント配線板としたものである。
【0007】
また、請求項2においては、少なくとも以下の工程を備えていることを特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板の製造方法としたものである。
(a)絶縁基板上に銅箔からなる第1導体層を形成し、パターニング処理して第1配線層を形成する工程。
(b)前記絶縁基板及び前記第1配線層上に絶縁層及び銅箔からなる第2導体層を形成し、第2導体層上にバリアー層を形成する工程。
(c)前記絶縁層の所定位置に前記第2導体層及び前記バリアー層を介してバイアホール用穴を形成する工程。
(d)前記バイアホール用穴内に無電解めっきにて薄膜導体層を形成し、電解銅めっきにて前記バイアホール用穴内にバイアホールを、前記バリアー層上に導体層を形成する工程。
(e)前記バリアー層上に形成された前記導体層及び前記バイアホールの上部をエッチング等で除去し、前記バイアホールの上面が第2配線層の表面と同一高さになるまで除去する工程。
(f)前記バリアー層を除去し、前記第2導体層をパターニング処理して第2配線層を形成し、多層プリント配線板を作製する工程。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
本発明の多層プリント配線板は図1に示すように、絶縁基板11の両面に絶縁層13を介して第1配線層12a及び12b、第2配線層14a及び14bが形成されており、第1配線層12a及び12bと第2配線層14a及び14bとはバイアホール18aにて電気的に接続され、第2配線層14a及び14bの表面とバイアホール18aの上部がほぼ同一高さになっている。このことは、バイアホール18a形成後も第2導体層の厚みはバイアホール形成前の厚みが維持され、第2導体層をパターニング処理する際、微細な高密度の配線層が形成できるという利点を有する。
【0009】
本発明の多層プリント配線板の作製法について説明する。
まず、絶縁基板11の両面に第1導体層を形成し、パターニング処理して、第1配線層12a及び12bを作成する(図2(a)参照)。
絶縁基板11としては、リジット基板、フレキシブル基板、テープ状のいずれでも良い。絶縁材料としては、エポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリイミド、ポリエステル、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーが使用でき、ガラス繊維、アラミド繊維を補強材として含む材料が使用できる。
導体層の形成は、あらかじめ銅箔が積層された両面銅張り積層板あるいは片面銅張り積層板の銅箔を導体層として使用できる。
配線層の形成は、ここではサブトラクティブ法を使用したが、アディティブ法等のいずれの方法でも良い。
【0010】
次に、絶縁基板11、第1配線層12a及び12b上に樹脂付き銅箔を高圧プレスで積層し、絶縁層13及び第2導体層14を形成する。さらに、第2導体層14上に銅以外の金属、例えば、ニッケルを電解めっきにて所定厚形成し、バリアー層15を形成する(図2(b)参照)。
絶縁層13を形成している樹脂付き銅箔の樹脂材料としては、上記絶縁基板と同様の材料を用いることができるが、補強材にはガラス、アラミド等の繊維ではなく粒状の無機フィラーを使用する方が、後にバイアホール用穴を形成する際に穴の壁面からの繊維の飛び出しがなく優れたバイアホール用穴品質が得られる。銅箔からなる第2導体層の厚みはいくらでも良いが、配線層のパター密度からくる導体層のパターニング性、導電性等を考慮して、最適の導体層厚を設定する必要がある。
【0011】
さらに、バリアー層15にはここではニッケル被膜を適用したが、これに限定されるものではなく、バリアー層上の銅からなる導体層及びバイアホールの上部をエッチング除去する際のエッチング液に耐性を示すものであればニッケル金属以外の材料も使用できる。さらに、バリアー層15の膜厚は、膜厚が厚いと後にバリアー層を除去する場合、必要溶解量が大きくなる分溶解ばらつきが大きくなり、その結果下地の導体層が不均一に溶解され厚みがばらつく危険がある。よってバリアー層の厚さは0.5〜3μm程度が好ましい。
【0012】
次に、バリアー層15及び第2配線層14の所定位置に開口部16を形成し(図2(c)参照)、さらに、開口部16より炭酸ガス、YAG、エキシマ等のレーザーを照射し、絶縁層13にバイアホール用穴17を形成する(図2(d)参照)。
バイアホール用穴17の形成にあたっては、ここでは、あらかじめバリアー層15及び第2配線層14の所定位置に開口部16を形成し、開口部16よりレーザーを照射し絶縁層13の穴開け加工を行ない、バイアホール用穴17を形成したが、バリアー層15及び第2配線層14より直接レーザーを照射し穴開け加工し、バイアホール用穴を形成することも可能である。
【0013】
次に、バイアホール用穴17の低部、壁面に残留した樹脂残差を除去するためのデスミア処理を行ない、無電解銅めっきを行ないバイアホール用穴内に導電性を付与した後、電解銅めっきを行ない、バイアホール用穴17内にバイアホール18を、バリアー層15上に導体層19を形成する(図2(e)参照)。
ここで、めっき液は硫酸銅めっき液がバイアホール用穴を埋めるのに最も適している。またレベリング性に優れた添加剤を使用することがバイアホール用穴を埋めるのには有効である。電解電流波形は直流またはパルスが適用できる。
【0014】
次に、バリアー層上に形成された導体層19及びバイアホール18の上部をエッチングにて除去し、バリアー層15を露出させ、バイアホール18の上部が第2導体層の表面と同一高さになったバイアホール18aを形成する(図2(f)参照)。
導体層19及びバイアホール18の上部の除去方法は、銅からなる導体層及びバイアホールは溶解するがバリアー層は溶解しない、あるいは、銅からなる導体層の溶解速度に比べ極端にバリアー金属の溶解速度が遅いようなエッチング液を使用して行なう。例えば、バリアー層15にニッケル皮膜を適用した場合、5%過酸化水素−10%硫酸水溶液を用いて表面銅を溶解していくとバリアー層15上に形成された導体層19は、バイアホール18の上部が一部除去され、第2導体層表面とほぼ同一高さになった時点で完全に除去されてバリアー層15が露出する。
【0015】
次に、バリアー層15を弗化物−過酸化水素系のエッチング液で除去し、第2導体層14をパターニング処理して第2配線層14aを形成して、フィルドビア構造を有する4層の多層プリント配線板100を得ることができる(図2(g)参照)。この系統のエッチング液は銅からなる第2導体層14への侵食が少ないため、第2導体層14を殆どエッチングすることなくバリアー層15の除去が可能である。
また、第2配線層の形成法としては、バリアー層15及び第2導体層14を同時にパターニング処理して2層構造の第2配線層を形成してもよいが、微細配線層の形成という観点では好ましくない。
さらに、絶縁層、バイアホール及び配線層形成の工程を必要回数繰り返すことにより、所望のフィルドビア構造の多層プリント配線板を得ることができる。
【0016】
【実施例】
以下実施例により本発明の4層ビルドアッププリント配線板の製造方法事例について説明する。
まず、ガラス−エポキシからなる絶縁基板11に銅箔からなる導体層が積層された0.8mm厚のガラス−エポキシ両面銅張り積層板を用い、スルーホールを形成し、スルーホール内をエポキシ樹脂にて孔埋めした後、銅箔からなる導体層をサブトラクティブ法によりパターニング処理し、絶縁基板11の両面に第1配線層12a及び12bを形成した(図2(a)参照)。
【0017】
次に、絶縁基板11、第1配線層12a及び12b上に厚さ70μmのエポキシ系樹脂に12μm厚の銅箔を貼り合わせた樹脂付き銅箔を高圧真空プレスにより積層し、絶縁基板11上に60μm厚の絶縁層13及び12μm厚の第2導体層14を形成した。さらに、第2導体層14上にスルファミン酸ニッケル浴を用いて電解ニッケルめっきを行ない、2μm厚のバリアー層15を形成した(図2(b)参照)。
【0018】
次に、バリアー層15上にレジストパターンを形成し、塩化第二鉄液を用いてバリアー層15及び第2導体層14をエッチングして、150μmφの開口部16を形成した(図2(c)参照)。
【0019】
次に、開口部16より炭酸ガスレーザーを照射し、絶縁層13の穴開け加工を行ない、100μmφのバイアホール用穴17を形成した(図2(d)参照)。
【0020】
次に、過マンガン酸カリウムと水酸化ナトリウムの混合溶液を用いてバイアホール用穴内のデスミア処理を行なった後無電解銅めっきにて、バリアー層15上及びバイアホール用穴内に銅を析出させ、0.3μm厚の薄膜導体層を形成した(特に図示せず)。さらに、硫酸銅めっき液を用いて、電解銅めっきを行ないバイアホール18及び導体層19を形成した(図2(e)参照)。ここで、電解めっき液としては硫酸銅五水和物220g/L、硫酸60g/L、添加剤はキューブライトVF(荏原ユージライト(株)製)を使用した。
【0021】
次に、バリアー層15上の導体層19及びバイアホール18の上部を5%過酸化水素−10%硫酸のエッチング液を用いてバイアホール18の上部が第2導体層14の表面と同一高さになるまでエッチングし、導体層19を完全に除去し、バイアホール18aを形成した(図2(f)参照)。
【0022】
次に、バリアー層15を弗化物−過酸化水素系のエッチング液で除去し、さらに、第2導体層14上に感光層を形成し、露光、現像等の一連のパターニング処理を行ってレジストパターンを形成し、塩化第二鉄液で第2導体層14をエッチングして、線幅/間隙=40/40μmの第2配線層14a、14bを形成し、ソルダーレジストを形成し、フィルドビア構造を有する4層ビルドアップ多層プリント配線板100を得た。
【0023】
【発明の効果】
本発明の多層プリント配線板は、配線層表面とバイアホールの上部がほぼ同一高さになるようにしているので、バイアホールの径や深さに係わらずバイアホール形成後も導体層の厚さはバイアホール形成前の厚さが維持されており、導体層の厚さを最適に設定することにより、微細な配線層を形成でき、高密度化、高信頼性に優れた多層プリント配線板を得ることができる。
従って、本発明は、ビルドアップ構造を有する高密度多層配線板分野においては、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層プリント配線板の一実施例を示す模式部分構成断面図である。
【図2】(a)〜(g)は、本発明の多層プリント配線板の製造方法の一実施例を示す模式部分構成断面図である。
【図3】(a)〜(f)は、従来の本発明の多層プリント配線板の製造方法の一例を示す模式部分構成断面図である。
【符号の説明】
11、61……絶縁基板
12a、12b、62a、62b……第1配線層
13、63……絶縁層
14、64……第2導体層
14a……第2配線層
15……バリアー層
16、65……開口部
17、66……バイアホール用穴
18、67……バイアホール
18a……高さ調整されたバイアホール
19、68……導体層
64a、64b……第2配線層
68a、68b……配線層
69a、69b……2層構造の第2配線層
100……多層プリント配線板
Claims (2)
- 絶縁基板上に絶縁層を介して配線層間がバイアホールにて電気的に接続されてなるプリント配線板において、前記絶縁層上に形成される配線層の表面と、前記配線層を貫通し、かつ、バイアホールを銅で埋めて形成されるバイアホールの上部が、同一高さであり、バイアホール形成後も前記配線層の厚みがバイアホール形成前と略同一になっていることを特徴とする多層プリント配線板。
- 少なくとも以下の工程を備えていることを特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板の製造方法。
(a)絶縁基板上に銅箔からなる第1導体層を形成し、パターニング処理して第1配線層を形成する工程。
(b)前記絶縁基材及び前記第1配線層上に絶縁層及び銅箔からなる第2導体層を形成し、前記第2導体層上にバリアー層を形成する工程。
(c)前記絶縁層の所定位置に前記第2導体層及び前記バリアー層を介してバイアホール用穴を形成する工程。
(d)前記バイアホール用穴内に無電解めっきにて薄膜導体層を形成し、電解銅めっきにて前記バイアホール用穴内にバイアホールを、前記バリアー層上に導体層を形成する工程。
(e)前記バリアー層上に形成された前記導体層及び前記バイアホールの上部をエッチング等で除去し、バイアホールの上面が第2配線層の表面と同一高さになるまで除去する工程。
(f)前記バリアー層を除去し、前記第2導体層をパターニング処理して第2配線層を形成し、多層プリント配線板を作製する工程。
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