JP2010129997A - 埋込みパターンを持つプリント基板及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】回路絶縁層の内部に埋め込まれることにより、アンダーカットの発生がなく、微細回路の具現が可能なプリント基板の製造方法及び構造を提供する。
【解決手段】第1絶縁層300、第1絶縁層300上に形成され、回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層500、及び開口部に充填された導電性金属でなる回路層900を含み、第1絶縁層300と第2絶縁層500の間に接合面が形成されている。
【選択図】図8

Description

本発明は、埋込みパターンを持つプリント基板の構造及び製造方法に係り、より詳しくは第1絶縁層と第2絶縁層から構成される絶縁層の内部に埋め込まれた回路パターンとビアを持つプリント基板の構造、及びドライフィルムを利用して第1絶縁層上に回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層を形成するプリント基板の製造方法に関するものである。
プリント基板は、フェノール樹脂絶縁板またはエポキシ樹脂絶縁板などの絶縁材に形成された配線パターンによって、実装された部品を互いに電気的に連結して電源などを供給するとともに部品を機械的に固定させる役目をするもので、プリント基板には絶縁基板の一面にだけ配線を形成した片面PCB、両面に配線を形成した両面PCB、及び多層に配線したMLB(多層プリント基板;Multi Layered Board)がある。
このようなプリント基板に配線パターンを形成する方法としては、アディティブ法(Additive process)、サブトラクティブ法(Subtractive Process)、MSAP(Modified Semi Additive Process)及びSAP(Semi Additive Process)などが利用されている。
近年、電子産業の発達につれて、電子部品の高機能化、小型化に対する要求が急増している。このような趨勢に対応するために、プリント基板も回路パターンの高密度化が要求されており、これに応えて多様な微細回路パターン具現工法が考案、提示されて適用されている。
本発明は、このような微細回路パターン(fine circuit pattern)の具現方法の中で、回路パターンが絶縁層の内部に埋め込まれて回路パターンの高密度化を具現する方法について述べようとする。
図1は従来技術によってMSAPまたはSAPで配線パターンを形成する工程を工程順に示す図である。
まず、図1Aに示すように、配線パターン7が形成される絶縁材1にシード層3を形成し、配線パターン7が形成される部分を除いた残りの部分にメッキレジスト層5を形成した後、電気メッキを行って配線パターン7の電気メッキ層を形成する。その後、図1Bに示すように、レジスト層5を除去し、図1Cに示すように、フレッシュ(Flesh)エッチング、クィックエッチング(Quick etching)などによって、露出したシード層3を除去することで配線パターン7を完成することになる。
しかし、フレッシュ(Flesh)エッチング、クィックエッチング(Quick etching)などのエッチング法でシード層3の露出部を除去すれば、シード層3だけでなく配線パターン7を形成する電気メッキ層もエッチングされ、配線パターン7の側面がひどくテーパーになるか、配線幅が小さくなる。これにより、配線パターン7の短絡現像が起こるか、配線パターンの信号伝逹特性が劣化する問題点があった。
本発明は前記のような従来技術の問題点を解決するためになされたもので、回路絶縁層の内部に埋め込まれることにより、アンダーカットの発生がなく、微細回路の具現が可能なプリント基板の製造方法及び構造を提供することにその目的がある。
前記目的を達成するために、本発明による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法は、(A)第1絶縁層上に回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層を形成する段階;及び(B)前記開口部に導電性金属を充填して回路層を形成する段階;を含む。
前記(A)段階は、(I)第1絶縁層上にドライフィルムを積層する段階;(II)前記ドライフィルムが回路層と同一のパターンを有するように、前記ドライフィルムにパターン溝部を形成する段階;(III)前記パターン溝部に第2絶縁層を充填する段階;及び(IV)前記ドライフィルムを除去する段階;を含むことができる。
前記第1絶縁層は、前記第2絶縁層よりフィラー含量が高いことができる。
前記方法は、前記(A)段階の後、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層を貫通するビアホールを形成する段階さらに含み、前記(B)段階は、前記ビアホールを含む前記開口部に導電性金属を充填する段階であることができる。
前記ドライフィルムは感光性ドライフィルムであることができる。
前記方法は、前記第2絶縁層を充填する段階の後、前記ドライフィルムの上面が露出するように、前記ドライフィルム上に積層された前記第2絶縁層を除去する段階をさらに含むことができる。
前記第2絶縁層を除去する段階は、化学的エッチング工程または機械的研磨工程によって行われることができる。
また、前記目的を達成するために、本発明の埋込みパターンを持つプリント基板は、第1絶縁層;前記第1絶縁層上に形成され、回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層;及び前記開口部に充填された導電性金属でなる回路層;を含み、前記第1絶縁層と第2絶縁層の間に接合面が形成されている。
前記第1絶縁層は、前記第2絶縁層よりフィラー含量が高いことができる。
前記プリント基板は、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層を貫通する導電性金属でなるビアをさらに含むことができる。
本発明の特徴及び利点は添付図面に基づく以下の詳細な説明からより明らかになるであろう。本明細書及び請求範囲に使用された用語または単語は通常的で辞書的な意味といて解釈されてはいけなく、発明者が自分の発明を最良の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想に合う意味及び概念として解釈されなければならない。
本発明による埋込みパターンを持つプリント基板は、回路及びビアが絶縁層の内部に埋め込まれた形態なので、回路パターンのアンダーカット発生がなく、微細なピッチの回路パターンを持つ。
一方、本発明による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法によれば、ドライフィルムを利用して第2絶縁層に回路形成用開口部をパターニングするので、埋込みパターンを形成するための既存のインプリント方式またはレーザートレンチ方式に比べ、工程が簡素化し、工程費用が節減されるという利点がある。
従来技術によってMSAPまたはSAPで配線パターンを形成する工程を順に示す工程断面図(1)である。 従来技術によってMSAPまたはSAPで配線パターンを形成する工程を順に示す工程断面図(2)である。 従来技術によってMSAPまたはSAPで配線パターンを形成する工程を順に示す工程断面図(3)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(1)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(2)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(3)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(4−1)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(4−2)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(4−3)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(5)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(6)である。 本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を順に示す工程断面図(7)である。
以下、本発明による電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。添付図面の全般にわたって、同一ないし対応する構成要素は同一の図面符号を付け、その重複した説明は省略する。本明細書において、上部、下部などの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別するために使用するもので、構成要素が前記用語によって制限されるものではない。
図2〜図8は本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法を工程順に示す図である。
まず、図2に示すように、コアとして使用される両面銅張積層板(CCL)が提供されれば、銅箔110上に第1絶縁層300を積層する。両面銅張積層板は、絶縁基板100の両面に銅箔110が積層されてなる。第1絶縁層300は電気絶縁素材の高分子物質でなり、例えばエポキシ樹脂を含むプリプレグであることができる。
本実施例においては、コア基材として両面銅張積層板を使用する方法について説明するが、本発明がこれに限定されるものではなく、コアとして使用される基材は導電性金属で配線パターンが形成された片面、両面、多層プリント基板であることができ、第1絶縁層300そのものがコアとして使用できることもできる。
ついで、図3に示すように、第1絶縁層300上に回路層900と同一のパターンを持つドライフィルム400を形成する。この際、ドライフィルム400は感光性ドライフィルム400のものが好ましい。感光性ドライフィルム400は、光遮断パターンを持つマスクを使用して選択的に硬化してパターニングすることができる素材である。第1絶縁層300上にドライフィルム400を積層し、光遮断マスクを用いて、ドライフィルム400が回路層900と同一のパターンを有するように、露光及び現像することで、ドライフィルム400にパターン溝部410を形成する。
この工程でドライフィルム500の厚さを調節することにより、後に形成される回路層900の回路パターン910の高さを調節することが可能なので、高密度の薄型プリント基板を製造する場合、ドライフィルム500の厚さを薄くすることが好ましい。
ついで、図4に示すように、パターン溝部410に第2絶縁層500を充填する。第2絶縁層500は第1絶縁層300と同一の物質でなることができるが、パターン溝部410にうまく充填できるように、第1絶縁層300よりフィラーの含量が少ない樹脂を使用することが好ましい。また、同じ理由で、第2絶縁層500に含まれたフィラーの平均粒径は第1絶縁層300に含まれたフィラーの平均粒径より小さいことが好ましい。フィラーは絶縁樹脂に剛性または伝熱性を付与するために絶縁樹脂に添加する材料で、例えばアルミニウム化合物、カルシウム化合物、カリウム化合物、マグネシウム化合物、または珪素化合物を採用することができる。
一方、本実施例においては、第1絶縁層300の積層後に順次第2絶縁層500を積層するため、第1絶縁層300と第2絶縁層500の間には表面粗度によって区別される接合面が生成される。
この際、図5Aに示すように、第2絶縁層500をドライフィルム400に形成されたパターン溝部410に充填するに際して、ドライフィルム400の上面が第2絶縁層500で覆われることができる。このような場合は、後続工程でドライフィルム400の除去を容易にするために、ドライフィルム400上に積層された第2絶縁層500を除去しなければならない。
これは、図5Bに示すように、プラズマを用いる乾式エッチング法、あるいは、例えばエッチング液供給部610を通じて供給された有機アルカリまたはアルカリ水溶液によるウェット(wet)エッチング法である化学的エッチング工程によって第2絶縁層500を厚さ方向に一部を除去することで行うことができ、あるいは、図5Cに示すように、例えばバフ630(buff)を使用する機械的な研磨工程によってドライフィルム400上に形成された第2絶縁層を除去することができる。また、図示されていないが、ベルトサンダーまたは研磨用ブラッシュを使用することも可能である。
ついで、図6に示すように、剥離液でドライフィルム400を除去する。ドライフィルム400を除去することにより、第1絶縁層500の開口部510が形成された部分に第1絶縁層300を貫通させてコア層の銅箔110を露出するビアホール700を形成する。ビアホール700の形成は、例えばYAGレーザーまたはCOレーザーを用いるレーザードリルで行うことができる。
ついで、図8に示すように、ビアホール700を含む開口部510に導電性金属を充填して回路層900を形成する段階である。第1絶縁層300及び第2絶縁層500上にシード層を形成し、このシード層を引込線として電解メッキを行って電解メッキ層を形成する。シード層及び電解メッキ層は、例えば金、銀、銅、ニッケルなどの導電性金属でなることができる。その後、第2絶縁層500上に形成された無電解シード層及び電解メッキ層を除去する。例えば、バフ630研磨機、研磨用ブラッシュ、またはベルトサンダーを用いて、第2絶縁層500上に形成されたシード層及び電解メッキ層を除去することにより、回路パターン910及びビア930でなる回路層900を完成する。
前述したような埋込みパターンを持つプリント基板の製造工程によれば、ドライフィルム400を用いて第2絶縁層500に回路パターン910形成用開口部をパターニングするため、既存のレーザートレンチ方式に比べ、開口部の幅及び深さが一様であり、均一の高さを有する回路パターンを形成することができる利点がある。
また、埋込みパターンを形成するための既存のインプリント方式やレーザートレンチ方式に比べ、工程が簡素化し、工程費用が節減するという利点がある。
以下、図8に基づいて、本発明の好適な実施例による埋込みパターンを持つプリント基板の構造を説明する。
図8に示すように、本実施例による埋込みパターンを持つプリント基板は、第1絶縁層300、第1絶縁層300上に形成され、回路層900形成用開口部510持つ第2絶縁層500、及び開口部510に充填された導電性金属でなる回路層900を含む構成で、第1絶縁層300及び第2絶縁層500を貫通する導電性金属でなるビア930をさらに含むことができる。
この際、第1絶縁層300と第2絶縁層500の間には、他の部分との粗度差によって区別される接合面が存在する。このような接合面は、第1絶縁層300と第2絶縁層500が同時に形成されなくて順次形成される工程の順序によって不可避に生成される。
ここで、第1絶縁層300及び第2絶縁層500は、例えばフィラーを含むエポキシ樹脂、ガラスエポキシ(glass epoxy)樹脂、アルミナ(alumina)を含むエポキシ樹脂などでなることができ、この材料が特別に限定されるものではない。また、第1絶縁層300と第2絶縁層500は同一材料で構成される必要はなく、異種材料で構成されることができる。
この際、第1絶縁層300は第2絶縁層500よりフィラー含量の高いものが好ましく、もっと好ましくは第1絶縁層300に含まれたフィラーの平均粒径が第2絶縁層500に含まれた平均粒径より大きい。
前述したような本実施例による埋込みパターンを持つプリント基板は、回路パターン910及びビア930が第2絶縁層500の内部に埋め込まれた形態なので、回路パターン910のアンダーカットの発生がない微細なピッチの回路パターン910を持つ利点がある。
また、絶縁層の内部に埋め込まれた回路パターンの高さが一様であるので、向上した電気信号伝達性能を持つ。
一方、本発明は前記開示した実施例に限定されるものではなく、本発明の思想及び範囲を逸脱しない範囲内で多様に修正及び変形できることが当該技術分野で通常の知識を持った者に明らかであろう。よって、そのような変形例または修正例は本発明の特許請求範囲に属するものである。
本発明に係る埋込みパターンを持つプリント基板及びその製造方法は、第1絶縁層と第2絶縁層から構成される絶縁層の内部に埋め込まれた回路パターンとビアを持つプリント基板に適用可能である。
100 絶縁基板
110 銅箔
300 第1絶縁層
400 ドライフィルム
410 パターン溝部
500 第2絶縁層
510 開口部
610 エッチング液供給部
630 バフ研摩機
700 ビアホール
900 回路層
910 回路パターン
930 ビア

Claims (10)

  1. (A)第1絶縁層上に回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層を形成する段階;及び
    (B)前記開口部に導電性金属を充填して回路層を形成する段階;
    を含むことを特徴とする、埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  2. 前記(A)段階は、
    (I)第1絶縁層上にドライフィルムを積層する段階;
    (II)前記ドライフィルムが回路層と同一のパターンを有するように、前記ドライフィルムにパターン溝部を形成する段階;
    (III)前記パターン溝部に第2絶縁層を充填する段階;及び
    (IV)前記ドライフィルムを除去する段階;
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  3. 前記第1絶縁層は前記第2絶縁層よりフィラー含量が高いことを特徴とする、請求項1に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  4. 前記(A)段階の後、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層を貫通するビアホールを形成する段階さらに含み、
    前記(B)段階は、前記ビアホールを含む前記開口部に導電性金属を充填する段階であることを特徴とする、請求項1に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  5. 前記ドライフィルムは、感光性ドライフィルムであることを特徴とする、請求項2に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  6. 前記第2絶縁層を充填する段階の後、
    前記ドライフィルムの上面が露出するように、前記ドライフィルム上に積層された前記第2絶縁層を除去する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項2に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  7. 前記第2絶縁層を除去する段階は、化学的エッチング工程または機械的研磨工程によって行われることを特徴とする、請求項6に記載の埋込みパターンを持つプリント基板の製造方法。
  8. 第1絶縁層;
    前記第1絶縁層上に形成され、回路層形成用開口部を持つ第2絶縁層;及び
    前記開口部に充填された導電性金属でなる回路層;
    を含み、
    前記第1絶縁層と第2絶縁層の間に接合面が形成されたことを特徴とする、埋込みパターンを持つプリント基板。
  9. 前記第1絶縁層は、前記第2絶縁層よりフィラー含量が高いことを特徴とする、請求項8に記載の埋込みパターンを持つプリント基板。
  10. 前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層を貫通する導電性金属でなるビアをさらに含むことを特徴とする、請求項8に記載の埋込みパターンを持つプリント基板。
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