JP4922353B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
コイル部品及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4922353B2 JP4922353B2 JP2009158259A JP2009158259A JP4922353B2 JP 4922353 B2 JP4922353 B2 JP 4922353B2 JP 2009158259 A JP2009158259 A JP 2009158259A JP 2009158259 A JP2009158259 A JP 2009158259A JP 4922353 B2 JP4922353 B2 JP 4922353B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- bump electrode
- layer
- magnetic
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
11 磁性基板
12 薄膜コイル層
13,13a〜13d バンプ電極
14 磁性樹脂層
15,15a〜15d 絶縁層
16 第1のスパイラル導体
17 第2のスパイラル導体
18 第1のコンタクトホール導体
19 第2のコンタクトホール導体
20〜23 引き出し導体
24,24a-24d 端子電極
25 開口
26 磁性コア
27 バンプ電極
100 コイル部品
200 コイル部品
Claims (16)
- 磁性セラミック材料からなる磁性基板と、
前記磁性基板の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層と、
前記薄膜コイル層の主面に形成されたバンプ電極と、
前記バンプ電極の形成位置を除いた前記薄膜コイル層の前記主面に形成された絶縁樹脂層とを備え、
前記バンプ電極は、めっきにより形成された厚膜電極であり、
前記バンプ電極の厚さは、前記薄膜コイル層内の導体パターンよりも厚く、
前記バンプ電極は前記コイル導体と平面視にて重なる部分を有することを特徴とするコイル部品。 - 前記バンプ電極は、前記薄膜コイル層内の前記導体パターンの5倍以上の厚さを有することを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。
- 前記バンプ電極の厚さは、0.08mm以上0.1mm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル部品。
- 前記バンプ電極は、前記絶縁樹脂層と同等かそれ以上の厚さを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記絶縁樹脂層と接する前記バンプ電極の側面がエッジのない曲面形状を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記絶縁樹脂層は磁性粉含有樹脂材料からなり、
前記コイル導体は、互いに磁気結合する第1及び第2のスパイラル導体を含み、前記第1及び第2のスパイラル導体はコモンモードフィルタを構成していることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記第1及び第2のスパイラル導体の内側に設けられた磁性コアをさらに備え、
前記磁性コアは、前記絶縁樹脂層と同一の材料で同時に形成されたものであることを特徴とする請求項6に記載のコイル部品。 - 磁性セラミック材料からなる磁性基板の一方の主面にコイル導体を含む薄膜コイル層を形成する工程と
前記薄膜コイル層の主面に露出する前記コイル導体の端子電極上に、前記薄膜コイル層内の導体パターンよりも厚いバンプ電極をめっきにより形成する工程と、
前記バンプ電極が形成された前記薄膜コイル層の前記主面に絶縁樹脂のペーストを充填し、前記ペーストを硬化させることにより、前記バンプ電極の周囲に絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記絶縁樹脂層の上面を研磨又は研削して前記バンプ電極の上面を露出させる工程とを備えることを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 前記バンプ電極は、前記薄膜コイル層内の前記導体パターンの5倍以上の厚さを有することを特徴とする請求項8に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記バンプ電極の厚さは、0.08mm以上0.1mm以下であることを特徴とする請求項8又は9に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記バンプ電極は、前記絶縁樹脂層と同等かそれ以上の厚さを有することを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記薄膜コイル層を形成する工程は、互いに磁気結合する第1及び第2のスパイラル導体を形成する工程と、前記第1及び第2のスパイラル導体の内側に設けられた磁性コアを形成する工程とを含み、
前記磁性コアは、前記絶縁樹脂層と同一の材料で同時に形成されることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記磁性セラミック材料からなるウェハー上に前記コイル部品を複数形成する工程と、前記複数のコイル部品を個片化する工程とを備えることを特徴とする請求項8乃至12のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記ウェハー上に形成された複数のコイル部品を個片化した後、各コイル部品の外表面をバレル研磨してエッジを除去する工程と、
前記各コイル部品の表面に露出するバンプ電極の表面をめっきする工程をさらに備えることを特徴とする請求項13に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記ウェハー上の前記複数のコイル部品を個片化する工程は、前記バンプ電極上を通過する位置でダイシングする工程を含むことを特徴とする請求項14に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記ウェハー上の前記複数のコイル部品を個片化する工程は、前記バンプ電極の外側を通過する位置でダイシングする工程を含むことを特徴とする請求項14に記載のコイル部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158259A JP4922353B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | コイル部品及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158259A JP4922353B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | コイル部品及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012021754A Division JP5500186B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | コイル部品及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011014747A JP2011014747A (ja) | 2011-01-20 |
JP4922353B2 true JP4922353B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=43593350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009158259A Active JP4922353B2 (ja) | 2009-07-02 | 2009-07-02 | コイル部品及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4922353B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091097A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Tdk Corp | コイル部品 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8451083B2 (en) | 2010-05-31 | 2013-05-28 | Tdk Corporation | Coil component and method of manufacturing the same |
JP5673358B2 (ja) * | 2010-05-31 | 2015-02-18 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
JP5382064B2 (ja) * | 2011-05-26 | 2014-01-08 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
JP5673837B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2015-02-18 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
JP5926913B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2016-05-25 | 東光株式会社 | 積層型電子部品 |
JP5488567B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2014-05-14 | Tdk株式会社 | 複合電子部品 |
JP5459291B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2014-04-02 | Tdk株式会社 | 複合電子部品 |
JP5488566B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2014-05-14 | Tdk株式会社 | コモンモードフィルタ |
JP5926926B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2016-05-25 | 東光株式会社 | 積層型電子部品 |
KR20130063363A (ko) * | 2011-12-06 | 2013-06-14 | 삼성전기주식회사 | 커먼 모드 노이즈 필터 |
KR20130066174A (ko) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
JP5741615B2 (ja) | 2013-03-14 | 2015-07-01 | Tdk株式会社 | 電子部品及びその製造方法 |
JP5737313B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2015-06-17 | Tdk株式会社 | 電子部品及びその製造方法 |
US10062493B2 (en) | 2013-11-26 | 2018-08-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Electronic component and circuit board having the same mounted thereon |
KR102004788B1 (ko) * | 2014-04-22 | 2019-07-29 | 삼성전기주식회사 | 공통 모드 필터 및 그 제조방법 |
JP6380192B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-08-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型電子部品 |
JP6561745B2 (ja) | 2015-10-02 | 2019-08-21 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品、パッケージ部品およびスィッチングレギュレータ |
KR101607065B1 (ko) * | 2016-01-13 | 2016-03-28 | 삼성전기주식회사 | 공통 모드 필터 및 그 제조 방법 |
JP6828555B2 (ja) | 2017-03-29 | 2021-02-10 | Tdk株式会社 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2019041032A (ja) | 2017-08-28 | 2019-03-14 | Tdk株式会社 | 電子部品及びその製造方法 |
JP6780741B2 (ja) * | 2019-05-31 | 2020-11-04 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品、パッケージ部品およびスィッチングレギュレータ |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000173835A (ja) * | 1998-12-05 | 2000-06-23 | Tdk Corp | 積層電子部品及びその製造方法 |
JP2000232018A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-22 | Tokin Corp | チップ型電子部品及びその製造方法 |
JP2001023822A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Tdk Corp | 積層フェライトチップインダクタアレイおよびその製造方法 |
JP3628579B2 (ja) * | 2000-02-28 | 2005-03-16 | Jfeケミカル株式会社 | 平面磁気素子およびスイッチング電源 |
JP2002270448A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インダクタ部品の製造方法 |
JP2004146655A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Taiyo Yuden Co Ltd | コイル部品及びそれを利用した回路装置 |
JP4191506B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2008-12-03 | Tdk株式会社 | 高密度インダクタおよびその製造方法 |
JP2005093547A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Murata Mfg Co Ltd | 高周波コイル及びその製造方法 |
JP2005277385A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-10-06 | Tdk Corp | 積層チップインダクタ形成用部材および積層チップインダクタ部品の製造方法 |
JP2006073868A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 超小型電力変換装置の製造方法 |
JP4752280B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2011-08-17 | カシオ計算機株式会社 | チップ型電子部品およびその製造方法 |
JP2006294891A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Tdk Corp | 電子部品の製造方法 |
JP4844045B2 (ja) * | 2005-08-18 | 2011-12-21 | Tdk株式会社 | 電子部品及びその製造方法 |
JP2007066973A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Taiyo Yuden Co Ltd | コモンモードチョークコイル |
JP4683026B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2011-05-11 | Tdk株式会社 | コモンモードチョークコイル及びその製造方法 |
JP2009117459A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
-
2009
- 2009-07-02 JP JP2009158259A patent/JP4922353B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091097A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Tdk Corp | コイル部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011014747A (ja) | 2011-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4922353B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5093210B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5195876B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5673358B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5206775B2 (ja) | 電子部品 | |
US8723632B2 (en) | Coil component and method of manufacturing the same | |
JP5737313B2 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP5488566B2 (ja) | コモンモードフィルタ | |
TWI543210B (zh) | 電子零件及其製造方法 | |
JP5500186B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5970716B2 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2008198923A (ja) | コイル部品 | |
JP6020645B2 (ja) | 電子部品 | |
JP4609466B2 (ja) | 積層型電子部品の製造方法 | |
JP7355051B2 (ja) | インダクタ部品および電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4922353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150210 Year of fee payment: 3 |