JP5093210B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 薄膜コイル層
3,4 磁性基板
5,6 コイル導体
10a,10b コイル部品の側面
11 磁性基板
12 薄膜コイル層
13,13a〜13d バンプ電極
14 磁性樹脂層
15,15a〜15d 絶縁層
16 第1のスパイラル導体
17 第2のスパイラル導体
18 第1のコンタクトホール導体
19 第2のコンタクトホール導体
20a〜20d 引き出し導体
21a,21b 外部端子電極
22,23 引き出し導体
24a〜24d 内部端子電極
25 開口
26 磁性コア
27a〜27d コンタクトホール導体
31 ダミー電極
32a,32b ダミー電極
33a,33b ダミー電極
41a,41b ダミー電極
100〜600 コイル部品
Claims (16)
- 磁性セラミック材料からなる磁性基板と、
前記磁性基板の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層と、
前記薄膜コイル層の主面に形成されたバンプ電極と、
前記バンプ電極の形成位置を除いた前記薄膜コイル層の前記主面に形成された絶縁樹脂層とを備え、
前記バンプ電極は前記コイル導体と異なる層においてめっきにより形成された厚膜電極であり、
前記バンプ電極の厚さは、前記薄膜コイル層内の導体パターンよりも厚く、
前記絶縁樹脂層は前記バンプ電極の全周囲に形成されていることを特徴とするコイル部品。 - 前記バンプ電極と前記コイル導体の端部とを接続するコンタクトホール導体をさらに備え、
前記コンタクトホール導体は、前記バンプ電極と平面視にて重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。 - 前記コイル導体の端部に接続された引き出し導体をさらに備え、前記引き出し導体の端部は当該コイル部品の側面から露出する外部端子電極に接続されていることを特徴とする請求項2に記載のコイル部品。
- 前記絶縁樹脂層の露出面に形成されたダミー電極をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記ダミー電極が前記バンプ電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項4に記載のコイル部品。
- 前記バンプ電極の側面がエッジのない曲面形状を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記絶縁樹脂層は磁性粉含有樹脂材料からなり、
前記コイル導体は、互いに磁気結合する第1及び第2のスパイラル導体を含み、前記第1及び第2のスパイラル導体はコモンモードフィルタを構成していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記第1及び第2のスパイラル導体の内側に設けられた磁性コアをさらに備え、
前記磁性コアは、前記絶縁樹脂層と同一の材料で同時に形成されたものであることを特徴とする請求項7に記載のコイル部品。 - 前記バンプ電極は、前記薄膜コイル層内の前記導体パターンの5倍以上の厚さを有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記バンプ電極の厚さは、0.08mm以上0.1mm以下であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記バンプ電極は、前記絶縁樹脂層と同等かそれ以上の厚さを有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 磁性セラミック材料からなる磁性基板の一方の主面にコイル導体を含む薄膜コイル層を形成する工程と、
前記薄膜コイル層の主面に露出する前記コイル導体の端子電極上に、前記薄膜コイル層内の導体パターンよりも厚いバンプ電極をめっきにより形成する工程と、
前記バンプ電極が形成された前記薄膜コイル層の前記主面に絶縁樹脂のペーストを充填し、前記ペーストを硬化させることにより、前記バンプ電極の全周囲に絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記絶縁樹脂層の上面を研磨又は研削して前記バンプ電極の上面を露出させる工程とを備えることを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 前記薄膜コイル層を形成する工程は、互いに磁気結合する第1及び第2のスパイラル導体を形成する工程と、前記第1及び第2のスパイラル導体の内側に設けられた磁性コアを形成する工程とを含み、
前記磁性コアは、前記絶縁樹脂層と同一の材料で同時に形成されることを特徴とする請求項12に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記バンプ電極は、前記薄膜コイル層内の前記導体パターンの5倍以上の厚さを有することを特徴とする請求項12又は13に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記バンプ電極の厚さは、0.08mm以上0.1mm以下であることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記バンプ電極は、前記絶縁樹脂層と同等かそれ以上の厚さを有することを特徴とする請求項12乃至15のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。
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