JP4912545B2 - 共焦点レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
試料の画像が存在する位置または領域を迅速かつ容易に見つけることができる共焦点レーザ走査型顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、レーザ走査型顕微鏡がある。レーザ走査型顕微鏡は、レーザビームの点光源を試料のX軸とY軸の2次元方向に走査して、試料からの蛍光または反射光を光学系を介して抽出し、この抽出した光をフォトマルチプライヤあるいはフォトダイオード等からなる光検出器で光電変換し、この光電変換した電気信号を輝度情報として輝度画像データを生成し、これをディスプレイにより表示出力し、またはカラープリンタにより印刷出力する。
【0003】
このようなレーザ走査型顕微鏡の中でも、共焦点光学系を用いたものを共焦点レーザ走査型顕微鏡と呼んでいる。共焦点光学系は、結像する位置( 合焦位置) に共焦点アパーチャ(ピンホール)を置くことで合焦位置以外からの光を一切排除する光学系であり、光学顕微鏡に比べてフレアのないコントラストの良い像(共焦点画像)を得ることができる。
【0004】
この共焦点レーザ走査型顕微鏡における試料の焦点調節方法では、試料の蛍光または反射光の光学系を介し共焦点アパーチャを通り光検出器で検出された輝度情報が一番明るくなるように、試料と対物レンズとの相対距離を調整する。その一番明るくなった相対距離が合焦位置とされる。一般に、上記の試料と対物レンズとの相対方向は試料のZ軸方向として定義される。
【0005】
レーザ走査型顕微鏡は、レーザビームの点光源の走査によって画像データを取得しているため、表示画面1枚分の合焦画像を表示するには比較的長い時間を要する。他方、レーザ走査による共焦点画像は、焦点深度が極端に浅いため、ユーザが手動でZ軸方向の距離(試料と対物レンズとの相対距離)を調整し合焦画像を得るには高度の熟練を要する。特に上記のように合焦画像をディスプレイ上に表示しながらZ軸方向の距離を手動調整する場合、Z軸方向距離の僅かな動きで合焦位置から外れ、本来あるはずの画像が表示されなくなり、このためユーザがZ軸方向距離の調整位置を見失うということが多々有った。
【0006】
ところで、特開平9−218355号公報には、試料と光検出器の間にピンホールを設けた共焦点検出部と、ピンホールを設けない非共焦点検出部を使い分け、非共焦点検出部で輝度が最大値であり一定レベルを維持するZ位置(Z軸方向の距離位置)の範囲を絞り込み、その後、共焦点検出部に切り替えて上記検出されている範囲の中で輝度が最大になるZ位置すなわち合焦位置を更に絞り込むという方式が開示されている。
【0007】
また、特開平11−249022号公報には、共焦点検出部で試料の光量がほぼ「0」である期間は、X軸、Y軸の走査速度を速くすることによって、鋭敏な合焦操作を提供すること、および共焦点検出部の輝度情報を、横軸に時間、縦軸に明るさをとったグラフで表示することが開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特開平9−218355号公報に開示されている方式は、前述したように共焦点画像は極端に焦点深度が浅いため、非共焦点検出部で概略のZ位置の範囲を絞り込んだ後、共焦点検出部に光路を切り替えてしまうと、合焦位置を見失う虞があり、一旦合焦位置を見失うと、非共焦点検出部で得られた情報が無になり、再度、非共焦点検出処理に戻ってもう一度合焦位置近傍のZ位置範囲の絞り込みを行うという作業が発生して手数と時間がかかる。
【0009】
また、特開平11−249022号公報に開示されている方式は、試料から得られた画像を1画面に構成する時間を短縮するために提案されたものであり、合焦操作のためだけであれば、そのように1画面分の画像を形成する必要はない。また、共焦点検出処理後の輝度情報を時間軸と明るさ軸でグラフ表示したものは、時間的に変化する輝度情報はわかるものの、調整しなければならないZ軸方向の位置がどの位置にあるのかの判断が難しい。
【0010】
本発明の課題は、上記の技術の更なる改良を目的とし、合焦点すなわち試料の画像が存在する位置または領域を迅速かつ容易に見つけることができる共焦点レーザ走査型顕微鏡を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
以下に、本発明に係わる共焦点レーザ走査型顕微鏡の構成を述べる。
本発明の共焦点レーザ走査型顕微鏡は、試料と対物レンズとの相対距離を調整することにより試料画像の合焦位置を得るレーザ走査型顕微鏡であって、上記試料に対しレーザ光を走査して得られた試料からの光を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路に同時に照射し、上記試料からの光量を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路とで2種類のデータとしてサンプリングする光量見本抽出手段と、該光量見本抽出手段によりサンプリングされた上記2種類のデータをA/D変換して量子化する光量見本量子化手段と、該光量見本量子化手段により量子化された上記2種類のデータを上記試料と上記対物レンズとの相対方向における位置に対する光量情報としてディスプレイ上にグラフ表示する表示手段と、を有して構成される。そして、この共焦点レーザ走査型顕微鏡は、例えば、上記試料と上記対物レンズとの相対距離を調整する調整移動量を電気信号に変換して出力する調整移動量出力手段と、上記光量見本量子化手段により量子化されるデータと上記調整移動量出力手段により出力される調整移動量とに基づいて、上記試料と上記対物レンズとの相対方向において共焦点の光量が最大となる位置データを出力する位置データ出力手段と、を更に備え、上記表示手段は、上記位置データ出力手段により出力される上記位置データに基づいて上記共焦点の光量が最大となる位置への調整移動の向きを上記ディスプレイに表示するように構成される。
【0012】
また、本発明の共焦点レーザ走査型顕微鏡は、試料と対物レンズとの相対距離を調整することにより試料画像の合焦位置を得るレーザ走査型顕微鏡であって、上記試料に対しレーザ光を走査して得られた光量を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路とでサンプリングする光量見本抽出手段と、該光量見本抽出手段によりサンプリングされたデータをA/D変換して量子化する光量見本量子化手段と、該光量見本量子化手段により量子化されたデータを上記試料と上記対物レンズとの相対方向における位置に対する光量情報としてディスプレイ上にグラフ表示する表示手段と、上記試料と上記対物レンズとの相対距離を調整する調整移動量を電気信号に変換して出力する調整移動量出力手段と、上記光量見本量子化手段により量子化されるデータと上記調整移動量出力手段により出力される調整移動量とに基づいて、上記試料と上記対物レンズとの相対方向において共焦点の光量が最大となる位置データを出力する位置データ出力手段と、を備え、上記表示手段は、上記位置データ出力手段により出力される上記位置データに基づいて上記共焦点の光量が最大となる位置への調整移動の向きを上記ディスプレイに表示する、ように構成される。また、本発明の共焦点レーザ走査型顕微鏡は、例えば、上記位置データ出力手段により出力される上記位置データに基づいて上記試料と上記対物レンズとの相対距離を電動的に制御する相対距離制御手段を更に備えて構成される。
【0013】
これにより、この共焦点レーザ走査型顕微鏡は、試料の画像が存在する位置または領域を迅速かつ容易に見つけることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1は、第1の実施の形態における共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステム構成を模式的に示す図である。同図に示す共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステムは、先ず、試料(例えば、蛍光を発する試料)9と、この試料9を固定して上下方向の位置調節が可能なステージ20と、このステージ20を手動で調整するための不図示のステージハンドルと、このステージハンドルと連動しステージ20を電動で上下動させるZ制御装置21とを設けた顕微鏡本体を備えている。
【0015】
次に、試料9の蛍光を励起させるために照射する1つまたは複数のレーザ発振器1と、このレーザ発振器1のレーザ光をレーザ発振器1から試料9まで誘導し、また、試料9の蛍光を試料9から後述する2つの光電変換回路へ誘導するための光学系と、レーザ発振器1のレーザ光を試料9上に2次元、線、または点で走査させるために設けられた走査制御装置17とを備えている。
【0016】
更に、共焦点アパーチャ10を経て光電変換を行う共焦点光電変換回路12′と、共焦点アパーチャ10を経ないで光電変換を行う非共焦点光電変換回路12とが設けられており、これら共焦点光電変換回路12′と非共焦点光電変換回路12の信号をローパスフィルタ13を通過後量子化するアナログデジタル(A/D)変換器14と、それら量子化されたデータを蓄積し、輝度信号として画像を構成し、各部制御装置に命令を出力するデータ処理装置15と、画像を表示するためのCRTモニタ16とを備えている。なお、表示はCRTモニタに限らず、液晶モニタ、プラズマディスプレイ等を用いて行ってもよい。
【0017】
また、この共焦点レーザ走査型顕微鏡は、以下に述べる合焦支援装置を備えている。先ず、複数設けることが可能なレーザ発振器1からのレーザビーム(照明光)は、ビームエキスパンダ2を通過し、ビームスプリッタやダイクロイックミラーなどからなる光路分割素子3で反射し、ガルバノを用いたX方向スキャナ4及びY方向スキャナ5に入射する。例えば2次元走査等をすべく偏向してY方向スキャナ5を出射したレーザビームは、瞳投影レンズ6及び結像レンズ7を介して対物レンズ8に入射して試料9面を2次元走査する。
【0018】
この走査光により試料9から発光した蛍光は、レーザビームと同一の光路を逆に辿って光路分割素子3に達し、更に光路分割素子3からダイクロイックミラー11に到達する。そして、ダイクロイックミラー11で反射した方の蛍光は、非共焦点光電変換回路12に受光され、ダイクロイックミラー11を透過した方の蛍光は、共焦点アパーチャ10を介し、ミラー11′で反射され、共焦点光電変換回路12′で受光される。
【0019】
非共焦点光電変換回路12は、ダイクロイックミラー11を介して受光した試料9からの蛍光を輝度情報を示す電気信号に変換する。この電気信号化された輝度情報はローパスフィルタ13を介してA/D変換回路14により量子化すなわちデジタルデータに変換される。このデジタルデータは試料9に対する検出信号としてデータ処理装置15に入力される。同様に、共焦点光電変換回路12′は、ダイクロイックミラー11′を介して受光した試料9からの蛍光を輝度情報を示す電気信号に変換する。この電気信号化された輝度情報も、ローパスフィルタ13を介してA/D変換回路14に入力され、デジタルデータに変換され、試料9に対する検出信号としてデータ処理装置15に入力される。
【0020】
データ処理装置15は、A/D変換回路14からのデジタルデータを処理して画像情報を生成し、その画像をCRTモニタ16に表示させる。また、データ処理装置15はレーザ光の光点を、詳しくは後述する2次元、線、又は点で走査させるための走査命令を走査制御装置17へ送信し、走査制御装置17はその走査命令に従って走査駆動回路18及び19を駆動してX方向スキャナ4及びY方向スキャナ5を制御する。また、データ処理装置15は、Z制御装置21を制御してステージ20を上下動させる機能を有している。
【0021】
ここで、共焦点で検出される輝度と、非共焦点で検出される輝度の違いについて説明する。
図2は、共焦点の検出輝度と非共焦点の検出輝度との相関を示す特性図である。同図は横軸にZ位置、縦軸に検出輝度を示しており、曲線aは非共焦点での検出輝度、曲線bは共焦点での検出輝度を示している。同図から分かるように、非共焦点における検出輝度aは横軸に示すZ位置の移動量に対して広い範囲mで分布しており、その中央部の最大輝度分布も広い範囲nに分布している。これに対して、共焦点の検出輝度bの分布範囲は、非共焦点検出輝度の最大輝度分布の範囲n内にあって更にそれよりも狭い範囲m′に分布している。そして、その最大輝度を示す範囲n′は極めて狭い。
【0022】
本実施形態の発明は、このような非共焦点と共焦点それぞれの輝度分布の特性を利用して合焦位置(試料の画像が存在する位置または領域)を迅速かつ容易に取得しようとするものである。
図3は、上記第1の実施の形態における合焦支援装置すなわちデータ処理装置15による処理のフローチャートである。
【0023】
図4は、そのデータ処理装置15による処理においてCRTモニタに表示される画像表示の例を示す図である。これらの図3及び図4を用いて合焦支援装置による合焦支援処理を説明する。尚、この処理はユーザから合焦支援処理を行うように指示する命令入力によって開始される。また、処理の開始にあたり、試料9に対するレーザ走査を、2次元走査、線走査、または点走査のいずれの走査方法で行うかを、ユーザによって予め選択されて設定されている。
【0024】
先ず、データ処理装置15は、CRTモニタ16に、図4に示す合焦支援画面22を表示する(ステップS1)。同図に示すように、合焦支援画面22には、左方に大きく光量表示領域23が設けられ、それよりも狭いZ位置表示領域24が右方に設けられている。
【0025】
左方の光量表示領域23には上下二段に分かれて非共焦点バーグラフの表示窓枠25と共焦点バーグラフの表示窓枠26が表示されている。この初期表示の段階では、実際には、これらの表示窓枠25及び26内には、同図に示すようにバーグラフ27、27′が表示されているとは限らないが、いずれの表示窓枠25、26も、左方が「暗」、右方にいくほど「明」を表わし、バーグラフ27又は27′が数を増やして右方に伸びるほど明るい(輝度が高い)ことを示している。
【0026】
また、合焦支援画面22の右方のZ位置表示領域24には、スクロールバー28が上下移動する縦長のスクロール窓29が表示され、このスクロール窓29の上端と下端には、それぞれ上矢印ボタン31と下矢印ボタン32が表示されている。
【0027】
データ処理装置15は、CRTモニタ16に上記の合焦支援装置の初期表示を行った後、試料9に対し、ユーザにより任意に選択されて設定された2次元、線、または点の、いずれかの走査方法でレーザ走査を開始するよう走査制御装置17に命令を送信する(ステップS2)。
【0028】
そして、データ処理装置15は、非共焦点光電変換回路12の出力と、共焦点光電変換回路12′の出力を常に監視し(ステップS3)、それら双方の出力に基づいて、それら双方の輝度状態を表わすバーグラフデータを生成し、図4に示すように、合焦支援画面22の光量表示領域23の表示窓枠25及び26内にバーグラフ27を表示する(ステップS4)。
【0029】
このバーグラフデータを生成するについては、上述した2次元、線、または点の、レーザ光の走査方法にもよるが、その走査によって得られた輝度信号の平均または最大値をとってバーグラフデータを生成する。
上述したように、共焦点の最大輝度範囲n′は、非共焦点の最大輝度範囲nの中にあるから、Z位置を移動させていったとき、非共焦点の輝度を表わすバーグラフ27が増加していくようであれば、そのまま同方向にZ位置を移動させ、非共焦点のバーグラフ27の増加が止まったときから、いずれかの時点で共焦点の最大輝度を表わすバーグラフ27′が表示されるから、ユーザはそのときのZ位置を確認すればよい。
【0030】
また、初期表示の段階で非共焦点の輝度を表わすバーグラフ27が表示されているのであれば、いずれかの方向へZ位置を移動させ、共焦点の最大輝度を表わすバーグラフ27′が表示されれば、それでよく、非共焦点の輝度を表わすバーグラフ27が減少するようであればZ位置を反対方向へ移動させる。これによって非共焦点のバーグラフ27の増加が表示され、これにより共焦点の最大輝度を示す位置にZ位置が移動していることが判明する。
【0031】
試料9が載置されているステージ20に上下移動つまりZ位置移動を行わせるには、ユーザによるステージハンドルを用いた手動によっても制御が可能であるが、合焦支援画面22のZ位置表示領域24のスクロールバー28を用い、データ処理装置15及びZ制御装置21を介して、電動的に制御することも可能である。
【0032】
そこでデータ処理装置15は、スクロールバー28がユーザによって操作されているか否かを判別し(ステップS5)、操作されていなければ(S5がNo)、ステップS3に戻ってステップS3、S4、S5を繰り返す。そして、スクロールバー28が操作されていれば(S5がYes)、その操作方向へステージ20を移動させるようにZ制御装置21に命令を出力する(ステップS6)。
【0033】
そして、ユーザによる終了指示が入力されているか否かを判別し(ステップS7)、まだ、終了指示が入力されていなければ(S7がNo)、ステップS3に戻ってステップS3〜S7を繰り返す。これにより、ステージ20の移動に伴って合焦支援画面22の輝度を示すバーグラフの表示が変化する。
【0034】
ここで、上記のレーザ走査について説明する。合焦位置検出のためだけであれば、試料9上を2次元走査して試料画像の1画面分の表示を行う必要は無く、試料9の蛍光が抽出できる部分であれば一部分を走査すれば良い。
したがって、ユーザは、合焦支援画面22上に、試料9を画像として構成した場合の、限られた範囲の2次元走査による平均または最大光量を図4のように表示させるか、1ラインまたは数ラインの走査から得られた平均または最大光量を図4のように表示させるか、あるいは、蛍光抽出可能部分の点を走査して得られた平均または最大光量を図4のように表示させるかを、任意に設定することができる。
【0035】
また、上記のライン走査を行う場合でも、X軸又はY軸に平行なライン走査のみでなく、斜めまたは円等の走査も可能である。このことによって、レーザ光による走査の制御効率を上げ、図4に示すように、リアルタイム性の高い輝度情報を合焦支援画面22上に表示して、ユーザに報知することができる。これにより、ユーザは合焦位置すなわち試料9の蛍光画像が存在する位置または領域を迅速かつ容易に見つけることができる。
【0036】
ユーザにより合焦位置が見出され、合焦支援処理の終了指示が入力されたことを検出すると(S7がYes)、データ処理装置15は処理を終了する。
尚、上述した共焦点及び非共焦点の輝度サンプリング方式においては、共焦点輝度検出部と非共焦点輝度検出部を別々に設けて、レーザ走査に対応して同時のサンプリングを行ってているが、共焦点と非共焦点の輝度サンプリングはこれに限ることなく、共焦点アパーチャ10を自動着脱が可能な構成にし、この共焦点アパーチャ10を交互に着脱して、レーザ走査を2回実行することにより、共焦点と非共焦点の輝度サンプルを取得するようにしてもよい。そのようにすれば、上記2つの光電変換回路が1つでよいことになるので、コストの低減したシステムを構成することができる。
【0037】
図5は、第2の実施の形態における共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステム構成を模式的に示す図である。同図に示す共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステムは、図1に示した構成に新たにZ位置検出装置33を加えて構成されている。このZ位置検出装置33は、ステージ20を上下移動させる不図示のステージハンドルの回転量を電気信号に変換して出力するこれも不図示のエンコーダからなる。尚、その他の構成部分は図1の場合と同一であるので図1と同一の番号を付与して示している。
【0038】
図6(a) は、上記本例の構成において、CRTモニタ16に表示される合焦支援装置の表示例の一つであるバーグラフを示す図であり、同図(b) は同じく表示例の他の例として折れ線グラフを示す図である。図6(a) に示す合焦支援画面34も図4に示した合焦支援画面22と同様に、左方に光量表示領域35が設けられ、右方にはZ位置表示領域36が設けられている。ただし図4の場合は右方のZ位置表示領域24にはスクロール窓29(スクロールバー28、上矢印ボタン31、下矢印ボタン32を含む)のみが設けられていたが、この図6に示す合焦支援画面34では、スクロール窓37の他に7個の合焦マーク38(38a〜38g)が表示されている。
【0039】
いま、左方の光量表示領域35の非共焦点バーグラフの表示窓枠39には、非共焦点の輝度を示すバーグラフ41が最高輝度を示しており、この最高輝度表示範囲内(図2の範囲n参照)において、ユーザによるステージハンドルの手動操作、又はデータ処理装置15による自動制御によってZ位置調整が適切に行われたことにより、共焦点バーグラフの表示窓枠42には共焦点の最高輝度を示すバーグラフ43が表示されている。そして、このようにZ位置が共焦点の最高輝度範囲(図2(b) の範囲n′参照)に一致したことにより、Z位置表示領域36の7個の合焦マーク38の内、中央の合焦マーク38dが点灯表示されている。このように合焦支援画面34が表示されるようになるまでの処理を以下に説明する。
【0040】
先ず、合焦支援画面34の初期表示の段階で、ユーザによりZ位置表示領域36の左下隅に表示されている「AF」ボタン44がクリック操作される。これにより、オートフォーカス機能が起動する。このオートフォーカス機能では、先ず、データ処理装置15は、試料9に対し、ユーザにより任意に選択され設定されている2次元、線、または点の走査方法のいずれかでレーザ走査を開始するように走査制御装置17に命令を送信する。
【0041】
次に、データ処理装置15は、Z制御装置21へ非共焦点光電変換回路12の出力が暗になるまで試料9と対物レンズ8との相対距離を離すよう命令を出力する。これにより、非共焦点光電変換回路12の出力が暗になる。この後、データ処理装置15は、図6(a) に示す合焦支援画面34のZ位置表示領域36の7個の合焦マーク38の内の合焦マーク38c、38b、及び38aを順に点滅させて、合焦位置へ調整すべくステージ20を上げて試料9と対物レンズ8との相対距離を縮めるように、ユーザに表示報知する。
【0042】
ユーザは、この表示報知に従って、ステージハンドルによる手動操作又はZ位置表示領域36のスクロール窓37の操作によってステージ20を上に移動させる。
この間、データ処理装置15は、非共焦点光電変換回路12の出力と共焦点光電変換回路12′の出力を監視し、監視して得られた輝度状態をバーグラフデータに変換して、図6(a) に示すように、光量表示領域35の非共焦点バーグラフの表示窓枠39に非共焦点の輝度を示すバーグラフ41を表示し、同じく共焦点バーグラフの表示窓枠42に共焦点の輝度を示すバーグラフ43を表示する。
【0043】
Z位置表示領域36の中央の合焦マーク38dは、非共焦点光電変換回路12の出力が或る閾値以上に明るくなると点滅するように設定されており、これにより合焦位置が近いことをユーザに報知することができる。
また、データ処理装置15が例えば合焦マーク38c、38b、及び38aの順次点滅によってステージ20を上へ移動させるようにユーザに表示報知しているにも拘らず、ステージ20が下へ移動された場合は、合焦マーク38の表示状態は更新されずに維持される。この逆に、合焦マーク38e、38f、及び38gの順次点滅によって下へ移動させるようにとの表示報知に対してステージ20が上へ移動された場合も同様に合焦マーク38の表示は変化しない。
【0044】
一方、ステージ20を合焦マークの表示報知に従って移動させた結果、共焦点光電変換回路12′の出力が輝度最大値を超えて暗くなる場合には、現在動かしているステージ20の方向と逆方向にステージ20を動かすように、例えば合焦マーク38c、38b、及び38aの順次点滅表示から、合焦マーク38e、38f、及び38gの順次点滅表示に、表示報知の処理手順を更新する。
【0045】
これによって、ステージ20をどちらの向きに移動させれば合焦位置に近づくことができるのかを、ユーザに対し視覚的に通知することができる。
上記の動作は、ユーザによるステージハンドルの手動操作又はZ位置表示領域36のスクロール窓37の操作によってステージ20を上又は下に移動させるものであるが、これを完全自動で行うこともできる。
【0046】
すなわち、その場合は、上記のようにZ制御装置21へ非共焦点光電変換回路12の出力が暗になるまで試料9と対物レンズ8との相対距離を離すよう命令を出力して非共焦点光電変換回路12の出力が暗になった後、データ処理装置15は試料9と対物レンズ8との相対距離を近づけるようにZ制御装置21に命令する。
【0047】
そして、非共焦点光電変換回路12の出力と共焦点光電変換回路12′の出力を監視しながら、ステージ20を僅かずつ移動させ、先ず非共焦点光電変換回路12の出力が高くなったところでステージ20の移動速度を落として共焦点光電変換回路12′の出力が高くなる点を探索する。そして共焦点の輝度が最大値を超えてそれよりも暗くなった瞬間にステージ20の移動を停止させ、今度はステージ20を、それまでの対物レンズ8が試料9に近づく方向から遠ざかる方向に微動させながら、再び共焦点の輝度が最大値となる点を探索する。これを繰り返して最終杓に共焦点光電変換回路12′の出力が最大になる場所でステージ20を停止させる。そして、このように合焦位置が得られたことによりCRTモニタ16に「AF終了」のメッセージを表示報知する。
【0048】
このようにすれば、ユーザは最初に2次元、線、または点の走査方法のいずれかのレーザ走査を設定し、次に「AF」ボタン44をクリック操作するだけで、あとは自動的に合焦位置を取得することができる。
尚、合焦支援画面22の光量表示領域23の表示または合焦支援画面34の光量表示領域35の表示については、バーグラフに限るものではなく、例えば折れ線グラフで示すようにしてもよい。図6(b) の合焦支援画面45の光量表示領域46には、一例として、横軸にZ位置をとり縦軸に明るさ(輝度)をとって、非共焦点の輝度情報(共焦点の輝度情報は未だ現れていない)が折れ線グラフで示されている。勿論、サンプリングを細かくすれば、このグラフは折れ線でなく曲線で表わされる。
【0049】
本例においては、図6(a) に示す表示方法と同図(b) に示す表示方法は任意に選択することが可能であり、特に同図(b) に示す折れ線グラフで表示する方法は、Z位置を微調整しながら確実に輝度の高いポイントを得たいときには極めて有効な方法である。
【0050】
尚、本実施形態から以下のように表現することができる方法発明を引き出すことができる。これを付記として、以下に述べる。
(付記1)レーザ走査型顕微鏡において試料と対物レンズとの相対距離を調整することにより前記試料の合焦位置を得る合焦支援方法であって、前記試料に対しレーザ光を走査して得られた光量を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路とでサンプリングする光量見本抽出工程と、該光量見本抽出工程によりサンプリングされたデータをA/D変換して量子化する光量見本量子化工程と、該光量見本量子化工程により量子化されたデータを前記試料と前記対物レンズとの相対方向における位置に対する光量情報としてディスプレイ上にグラフ表示する表示工程と、を含むことを特徴とする合焦支援方法。
(付記2)前記試料と前記対物レンズとの相対距離を調整する調整移動量を電気信号に変換して出力する調整移動量出力工程と、前記光量見本量子化工程により量子化されるデータと前記調整移動量出力工程により出力される調整移動量とに基づいて、前記試料と前記対物レンズとの相対方向において共焦点の光量が最大となる位置データを出力する位置データ出力工程と、を更に含み、前記表示工程は、前記位置データ出力工程により出力される前記位置データに基づいて前記共焦点の光量が最大となる位置への調整移動の向きを前記ディスプレイに表示する、ことを特徴とする付記1記載の合焦支援方法。
(付記3)前記位置データ出力工程により出力される前記位置データに基づいて前記試料と前記対物レンズとの相対距離を電動的に制御する相対距離制御工程を更に備えたことを特徴とする付記2記載の合焦支援方法。
【0051】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、共焦点の輝度情報のみでなく非共焦点の輝度情報を同時に検出してこれら2つの輝度情報をディスプレイに同時表示するので、非共焦点の輝度情報による追い込みから共焦点の輝度情報による絞り込みへの切り替えで絞り込むべき位置を見失うことなく、試料の画像が存在する位置または領域を迅速かつ容易に見つけて合焦画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態における共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステム構成を模式的に示す図である。
【図2】共焦点の検出輝度と非共焦点の検出輝度との相関を示す特性図である。
【図3】第1の実施の形態における合焦支援装置による処理のフローチャートである。
【図4】第1の実施の形態における合焦支援装置による処理においてCRTモニタに表示される画像表示の例を示す図である。
【図5】第2の実施の形態における共焦点レーザ走査型顕微鏡のシステム構成を模式的に示す図である。
【図6】 (a),(b) は第2の実施の形態における共焦点レーザ走査型顕微鏡においてCRTモニタに表示される合焦支援装置の表示の例を示す図である。
【符号の説明】
1 レーザ発振器
2 ビームエキスパンダ
3 光路分割素子
4 X方向スキャナ
5 Y方向スキャナ
6 瞳投影レンズ
8 対物レンズ
9 試料
10 共焦点アパーチャ
11 ダイクロイックミラー
11′ ミラー
12 非共焦点光電変換回路
12′ 共焦点光電変換回路
13 ローパスフィルタ
14 A/D変換回路
15 データ処理装置
16 CRTモニタ
17 走査制御装置
18、19 走査駆動回路
20 ステージ
21 Z制御装置
22 合焦支援画面
23 光量表示領域
24 Z位置表示領域
25 非共焦点バーグラフ表示窓枠
26 共焦点バーグラフ表示窓枠
27、27′バーグラフ
28 スクロールバー
29 スクロール窓
31 上矢印ボタン
32 下矢印ボタン
33 Z位置検出装置
34 合焦支援画面
35 光量表示領域
36 Z位置表示領域
37 スクロール窓
38(38a〜38g) 合焦マーク
39 非共焦点バーグラフ表示窓枠
41 非共焦点輝度バーグラフ
42 共焦点バーグラフ表示窓枠
43 共焦点輝度バーグラフ
44 「AF」ボタン
45 合焦支援画面
46 光量表示領域
47 折れ線グラフ

Claims (3)

  1. 試料と対物レンズとの相対距離を調整することにより試料画像の合焦位置を得るレーザ走査型顕微鏡であって、
    前記試料に対しレーザ光を走査して得られた試料からの光を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路に同時に照射し、前記試料からの光量を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路とで2種類のデータとしてサンプリングする光量見本抽出手段と、
    該光量見本抽出手段によりサンプリングされた前記2種類のデータをA/D変換して量子化する光量見本量子化手段と、
    該光量見本量子化手段により量子化された前記2種類のデータを前記試料と前記対物レンズとの相対方向における位置に対する光量情報としてディスプレイ上にグラフ表示する表示手段と、
    前記試料と前記対物レンズとの相対距離を調整する調整移動量を電気信号に変換して出力する調整移動量出力手段と、
    前記光量見本量子化手段により量子化されるデータと前記調整移動量出力手段により出力される調整移動量とに基づいて、前記試料と前記対物レンズとの相対方向において共焦点の光量が最大となる位置データを出力する位置データ出力手段と、
    を備え、
    前記表示手段は、前記位置データ出力手段により出力される前記位置データに基づいて前記共焦点の光量が最大となる位置への調整移動の向きを前記ディスプレイに表示する、
    を有することを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。
  2. 試料と対物レンズとの相対距離を調整することにより試料画像の合焦位置を得るレーザ走査型顕微鏡であって、
    前記試料に対しレーザ光を走査して得られた光量を共焦点光電変換回路と非共焦点光電変換回路とでサンプリングする光量見本抽出手段と、
    該光量見本抽出手段によりサンプリングされたデータをA/D変換して量子化する光量見本量子化手段と、
    該光量見本量子化手段により量子化されたデータを前記試料と前記対物レンズとの相対方向における位置に対する光量情報としてディスプレイ上にグラフ表示する表示手段と、 前記試料と前記対物レンズとの相対距離を調整する調整移動量を電気信号に変換して出力する調整移動量出力手段と、
    前記光量見本量子化手段により量子化されるデータと前記調整移動量出力手段により出力される調整移動量とに基づいて、前記試料と前記対物レンズとの相対方向において共焦点の光量が最大となる位置データを出力する位置データ出力手段と、
    を備え、
    前記表示手段は、前記位置データ出力手段により出力される前記位置データに基づいて前記共焦点の光量が最大となる位置への調整移動の向きを前記ディスプレイに表示する、
    ことを特徴とする共焦点レーザ走査型顕微鏡。
  3. 前記位置データ出力手段により出力される前記位置データに基づいて前記試料と前記対物レンズとの相対距離を電動的に制御する相対距離制御手段を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の共焦点レーザ走査型顕微鏡。
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