JP4477170B2 - 走査型顕微鏡装置 - Google Patents
走査型顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4477170B2 JP4477170B2 JP27029599A JP27029599A JP4477170B2 JP 4477170 B2 JP4477170 B2 JP 4477170B2 JP 27029599 A JP27029599 A JP 27029599A JP 27029599 A JP27029599 A JP 27029599A JP 4477170 B2 JP4477170 B2 JP 4477170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- image
- resolution
- stage
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型顕微鏡装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に走査型顕微鏡装置とは、後述するレーザー走査型顕微鏡が知られている。レーザー走査型顕微鏡は、光源からの光を対物レンズで微小なスポットに絞り、このスポットで試料上を走査し、試料からの透過光や反射光または蛍光を光検出器でサンプリングして電気信号に変換し、画像モニタ上に試料像を表示する構成となっており、例えば、特開昭61−219919号公報等に開示されている。
【0003】
従来、この種のレーザー走査型顕微鏡において、蛍光試料の画像を獲得するために像位置を探す場合には、まず、通常の顕微鏡による観察により、おおまかな観察対象領域の決定が行なわれる。次にレーザー走査型顕微鏡による観察により、レーザー光を観察試料表面の走査領域にラスタスキャンする。そして、このレーザーの走査により観察試料から発せられた蛍光により得られる観察対象領域の画像をモニタで確認しながら、観察試料が載置された顕微鏡ステージの位置の微調整、あるいは画像が鮮明に観察できるように、光検出器の調整を行なう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のレーザー走査型顕微鏡では、レーザー光を観察試料表面に連続的にラスタスキャンするために用いるガルバノメータの特性上、あまり高速で走査することができず、1画面の画像を獲得するのに、数秒の時間を要することになる。
【0005】
このため、実際に像探しを行なうときには、レーザー光を連続走査させた状態で、ホトマル等の光検出器の感度の調整を行なった後、1画面の画像情報が獲得されるまで数秒待って、画像がどう変化したかを確認した上で、さらに感度調整を行なっていた。
【0006】
また、ステージを移動して走査領域を変更した後、1画面の画像情報が獲得されるまで数秒待って、画像の変化を見てから再度ステージを動かすという繰り返し動作が必要となり、像を探す作業に時間がかかるといった問題があった。そこで、従来はサンプリングするデータ数を減らすことによって、走査を速くし、1画面の画像を取得する時間を短くすることが行なわれている。
【0007】
ここで、サンプリングするデータ数を減らすと、解像度は低くなり、得られる画像のサイズは小さくなる。実際には、像探し時における試料の位置合せや、光検出器の粗い感度調整に関しては、それほど解像度は要求されないので、解像度を低くすることが可能である。一方、光検出器の感度の微調整は、走査の速さが影響するので、最終的な画像の解像度で走査を行なう必要がある。
【0008】
したがって、まず、解像度を低くして走査を実行し、試料の位置合わせや光検出器の感度の粗い調整をして像探しを行なった後、一旦その走査を終了させ、次に解像度を高くして走査を実行し、光検出器の感度の微調整を行ない、最終的な画像を取り込むといった一連の操作が従来は必要であり、最終的な画像を取り込むまでの操作が多く、時間を多く要するといった問題があった。
【0009】
本発明の目的は、試料の位置合わせの作業を効率良く実行できるとともに、操作性の大幅な向上を可能とした走査型顕微鏡装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の走査型顕微鏡装置は以下の如く構成されている。
【0011】
(1)本発明の走査型顕微鏡装置は、ステージ上に載置された試料上にスポット光を走査することで、試料を観察する走査型顕微鏡装置において、前記試料の観察像の位置の変化を監視することにより、前記観察像に対する移動操作の有無を判定する判定手段と、前記判定手段によって移動操作が行なわれていないことを判定したときに、前記試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みにおけるサンプリングデータ数を変えて走査を再開させる画像情報取り込み手段と、から構成されている。
【0012】
(2)本発明の走査型顕微鏡装置は上記(1)に記載の装置であり、かつ前記判定手段は、前記ステージの移動量を計測するステージ移動量計測手段と、走査中の時間経過を計測する時間経過計測手段と、前記ステージ移動量計測手段によって前記ステージの移動を検出したときに、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間を0にリセットするリセット手段と、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間が一定の時間を超えたときに前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、からなる。
【0013】
(3)本発明の走査型顕微鏡装置は上記(1)に記載の装置であり、かつ前記判定手段は、前記スポット光を前記試料上に走査して取り込んだ1ラインごとの画像情報を記憶する画像情報記憶手段と、前記1ラインごとの画像情報が、前記画像情報記憶手段によって記憶された前回走査した時の画像情報と比較して変化量が一定の値より小さいときに、前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、からなる。
【0014】
上記手段を講じた結果、それぞれ以下のような作用を奏する。
【0015】
(1)本発明の走査型顕微鏡装置によれば、まず、試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みのサンプリングデータ数を少なくして連続的に走査し、画像モニタに画像を表示する。この処理中に、観察像移動操作の有無を判定する判定手段により、観察像移動操作が行なわれていないと判定された場合には、サンプリングデータ数を多くして走査を再開させる画像情報取り込み手段により、サンプリングデータ数を多くして解像度の高い画像の取り込みを行なう。
【0016】
(2)本発明の走査型顕微鏡装置によれば、ステージ移動が行なわれると、ステージ移動量計測手段により、ステージ移動が検出される。ステージ移動が検出されると、時間経過計測手段により計測されている走査中の経過時間は、リセット手段により0にリセットされる。これにより、ステージ移動が行なわれていない時間を計測することができる。ステージ移動が行なわれていない時間が一定時間を超えると、観察像移動操作の有無を判定する手段により観察像移動操作が行なわれていないと判定される。
【0017】
(3)本発明の走査型顕微鏡装置によれば、スポット光を試料上に1ライン走査するごとに、取り込んだ画像情報と画像情報記憶手段により記憶された前回の1ライン分の画像情報を比較する。前回の走査したときの画像情報と比較して変化が一定の値より大きいときには、観察像移動操作の有無を判定する手段により、観察像移動操作が行なわれたものと判定され、画像情報記憶手段によって1ライン分の画像情報を記憶する。また、画像情報の変化が一定の値より小さいときには、観察像移動操作の有無を判定する手段により、観察像移動操作が行われなかったものと判定される。
【0018】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る走査型顕微鏡装置のシステム構成を示す図である。図1に示す走査型顕微鏡装置は、レーザー走査型顕微鏡Aと、コンピュータシステムを構成する操作パネル1、コントローラ2、メモリ5、画像モニタ6とから構成されている。レーザー走査型顕微鏡Aは、2次元走査ユニット3、レーザー光源12、ミラー13、ダイクロイックミラー21、レンズ22、ピンホール23、光検出器24を備えている。さらにレーザー走査型顕微鏡Aには、観察試料Bを載置するステージ11、ステージ位置検出器4、対物レンズ15を取り付けたレボルバ14が設けられている。
【0019】
操作パネル1は、キーボード等の他、トラックボールやジョイスティック、あるいはマウス等のポインティングデバイスを含んでおり、ユーザからの指示により、コントローラ2に対してレーザー光の走査指示司令及び画像入力指令等を出力する。また操作パネル1は、ユーザからの指示により、コントローラ2に対して光検出器24に対する感度の調整指令を出力する。
【0020】
コントローラ2は、操作パネル1から走査指示司令が入力されると、走査制御信号を2次元走査ユニット3に出力する。そして、光検出器24からの観察試料Bの画像情報(画像データ)をメモリ5に転送するとともに、画像モニタ6に画像表示する。またコントローラ2は、操作パネル1から光検出器24の感度の調整指令が入力されると、光検出器24に対する印加電圧や、ゲイン、オフセット等の設定を行なう。
【0021】
また、コントローラ2は内部にタイマー18を有しており、このタイマー18はコントローラ2からの司令により、スタート、ストップ、リスタート動作を自在に行なわせることができる。さらにコントローラ2は、このタイマー18を用いることで、2次元走査を開始してからの経過時間を知ることが可能である。
【0022】
2次元走査ユニット3は、コントローラ2からの走査制御信号に基づいて、2次元走査ユニット3内のX走査用のガルバノメータミラーとY走査用のガルバノメータミラーを駆動して、ミラー13を介してレーザー光源12から出射されたレーザー光を、レボルバ14に取付けられた対物レンズ15を通してステージ11上に載置された観察試料B上にスポット光としてXY走査させる。そして2次元走査ユニット3は、各ライン上のレーザー光の走査が終了する毎に、走査終了信号をコントローラ2に出力する。
【0023】
観察試料B上を走査するスポット光による画像情報として反射光もしくは試料Bから発生した蛍光は、入射した光路を逆に戻り、ダイクロイックミラー21で反射され、レンズ22で集光される。この集光位置には、ピンホール23が置かれ、共焦点光学系を形成している。ピンホール23を通過した光は光検出器24に入射し、その光量に応じた電気信号に変換されてコントローラ2に入力される。
【0024】
ステージ位置検出器4は、ステージ11の位置情報(X、Y及びZ位置)を検出し、コントローラ2に送信する。メモリ5は、走査前に設定されている解像度を記憶するメモリ部と、走査ラインごとの輝度値データを記憶するメモリ部と、例えば1024画素×1024画素×8ビット(256階調)の画像を記憶する画像メモリ部とを有する。この画像メモリ部は、光検出器24からコントローラ2を介して転送される画像情報を記憶する。
【0025】
次に、上述の如く構成された走査型顕微鏡装置の動作について、図2のフローチャートを参照して説明する。
【0026】
まず、観察者(ユーザー)は通常の顕微鏡観察により観察試料B上の観察領域を決定した後、操作パネル1を用いてコントローラ2に走査開始司令を出力する。コントローラ2は、操作パネル1からの走査開始司令を入力すると、Step1で、現在設定されている解像度をメモリ5に格納し、Step2で、解像度を低く設定した調整用の速い走査のモードに設定し、Step3で、タイマー18の設定値を解像度が低いときの設定にする。そして、Step4で、コントローラ2は画像モニタ6の表示画面をクリアし、Step5で、タイマー18をスタートさせる。
【0027】
次にコントローラ2は、Step6で、走査位置を最初の1ライン目に設定し、Step7で、2次元走査ユニット3にそのラインに対して走査を行なわせて、1ライン分の画像を取り込む。コントローラ2は、Step8で、走査中に試料Bに対する位置合わせ作業に伴うステージ11の移動の有無、及び光検出器24の感度調整が行なわれたかどうかを判別し、ステージ11または光検出器24の変更が行なわれたと判断された場合に、Step9で、タイマー18を再スタート(以下、リスタートと称する)させる。
【0028】
上記Step9の後、または上記Step8でステージ11または光検出器24の変更が行なわれなかったと判断された場合には、Step10で、コントローラ2は、タイマー18によって計測された経過時間と、上記Step3で設定されたタイマー設定値とを比較し、経過時間がタイマー設定値を超えていない場合には、Step11で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。ここで最終ラインでないと判断された場合には、Step12で、コントローラ2は走査位置を次のラインに移し、上記Step7以降の処理に戻る。一方、上記Step11にて最終ラインと判断された場合には、上記Step6以降の処理に戻る。
【0029】
一方、上記Step10で、経過時間が予め設定された時間(タイマー設定値)を超えたと判断された場合は、Step13で、コントローラ2は上記Step1においてメモリー5に格納した走査前の解像度を読み出し、Step14で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Step15で、コントローラ2は走査前の設定にし、Step16で、タイマー18の設定値を走査前の解像度の画像を一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Step4以降の処理に戻る。また、上記Step14で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【0030】
なお、上記ではStep8のように、処理の途中で毎回ステージ11の移動または光検出器24の感度調整が行なわれたかどうかを確認したが、ソフトウエアの割り込み処理を使って、ステージ11の移動及び光検出器24の感度調整が行なわれた時だけ、ステップ9でタイマー18をリスタートさせることも可能である。また、Step3のタイマー設定値は、操作パネル1によるユーザーの入力によって設定できるようにすることも可能である。
【0031】
以上、本第1の実施の形態によれば、像探しの操作として、ステージ11の移動または光検出器24の感度調整が行なわれている間は、解像度を低くして速い走査を実行し、それが終わった時点で走査前に設定されていた解像度の高い観察用の走査の設定に切り替えて、観察試料Bに対する画像の取り込みを実行することができる。
【0032】
また、本第1の実施の形態によって、解像度を走査前の設定に戻した後にステージ11の位置の調整を行なった場合にも、調整が行なわれた走査ラインから一画面分だけ走査を行なうことにより、必要最小限の走査で像探し処理を終了することができる。
【0033】
(第2の実施の形態)
本第2の実施の形態では、上記第1の実施の形態で示した図2におけるStep8のユーザーによる像探し操作の判定処理を改良したものについて、図3のフローチャートを参照して説明する。
【0034】
図3に示すStep20〜26までのタイマーを起動して1ライン分の画像を取り込むまでの処理は、図2に示したStep1〜6までの処理と同じであるので、説明を省略する。
【0035】
その後、まずStep27で、コントローラ2はステージ11の移動の有無を調べ、ステージ11の移動が行なわれたと判断された場合には、Step28で、さらに現在の走査による解像度が走査前の解像度であるかを調べる。ここで、走査前の解像度でない場合には、Step29で、コントローラ2はタイマー18をリスタートさせる。また、現在の走査による解像度が走査前の解像度である場合には、Step30で、コントローラ2はステージ11の移動量を調べて、移動量が予め設定した値よりも大きい場合には、ユーザーが再び像探しを始めたと判断し、上記Step21以降の低い解像度での像探し用の走査を実行する。また、上記Step30でステージ11の移動量が小さい場合には、Step29で、コントローラ2はタイマー18をリスタートさせる。
【0036】
一方、上記Step27でステージ移動が行なわれていなかった場合には、次にStep31で、コントローラ2は光検出器24の感度調整が行なわれたかどうかを調べ、感度調整が行なわれた場合には、上記Step29でタイマー18をリスタートさせる。コントローラ2は、Step32で、タイマー18によって計測された時間と、上記Step22で設定されたタイマー設定値とを比較し、経過時間がタイマー設定値を超えていない場合には、Step33で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。ここで最終ラインでないと判断された場合には、Step34で、コントローラ2は走査位置を次のラインに移し、上記Step26以降の処理に戻る。また、上記Step33にて最終ラインと判断された場合には、上記Step25以降の処理に戻る。
【0037】
一方、上記Step32で、経過時間が予め設定された時間を超えたと判断された場合は、Step35で、コントローラ2は上記Step20においてメモリ5に格納した走査前の解像度を読み出し、Step36で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Step37で、コントローラ2は走査前の解像度にし、Step38で、タイマー18の設定時間を、走査前の解像度の画像を一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Step23以降の処理に戻る。また、上記Step36で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【0038】
以上、本第2の実施の形態によれば、一度像探し走査を終了し、解像度を走査前の設定に戻した後に再びステージ11を大きく移動して像探しを行ない始めた時にも、解像度の低い走査に戻すことが可能になる。
【0039】
(第3の実施の形態)
本第3の実施の形態では、上記第2の実施の形態で示した図3におけるStep36での解像度の現在の判定処理を変更したものについて、図4のフローチャートを参照して説明する。本第3の実施の形態では、像探し用の低い解像度を2段階に分けている。例えば本第3の実施の形態では、走査前の解像度を1024×1024画素とし、像探し用の低い解像度を512×512画素と256×256画素とする。
【0040】
まずStep40で、コントローラ2は操作パネル1から走査開始司令を入力すると、現在設定されている解像度(1024×1024)をメモリ5に格納し、Step41で、解像度を像探し用の一番低い設定(256×256)にする。その後、Step55までの、経過時間がタイマー18の設定値を超えて、走査前の解像度を読み出す処理は、図3に示したStep22〜35と同じであるので、説明は省略する。
【0041】
図4に示すStep56で、経過時間がタイマー18の設定値を超えた時、コントローラ2は現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Step57で、さらに現在の走査が像探し用の中間の解像度(512×512)に設定されているかを調べる。ここで現在の走査が像探し用の中間の解像度になっていない場合には、Step58で、コントローラ2は中間の解像度(512×512)にして、上記Step43以降の処理に戻る。一方、上記Step57で像探し用の中間の解像度になっているときには、Step59で、コントローラ2は走査前の解像度(1024×1024)に戻し、Step60で、タイマー設定値を走査前の解像度の画像が一画面分取り込むことができる時間に変更して、上記Step43以降の処理に戻る。また、上記Step56で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【0042】
以上、本第3の実施の形態によれば、像探し用の解像度を、始め広い領域で像を探すために走査の速さを重要視し、低い解像度(256×256)にして走査を行ない、その後、像の細部を見て像の位置を修正するために、解像度を走査前(1024×1024)と速い走査時(256×256)との中間の値(512×512)に設定し、最後に走査前の解像度(1024×1024)に戻して走査を行なう、といった一連の処理を自動的に行なえるようになる。
【0043】
(第4の実施の形態)
本第4の実施の形態について図5のフローチャートを参照して説明する。
【0044】
本第4の実施の形態の特徴は、上記第1〜第3の実施の形態によるところの像探し操作の検出方法として、ステージ位置検出器を用いる代わりに、取り込んだ画像の輝度値の変化を調べる点に違いがある。
【0045】
まずStep70で、コントローラ2は操作パネル1から走査開始司令を入力すると、現在設定されている解像度をメモリ5に格納し、Step71で、解像度を低く設定した調整用の速い走査のモードに設定する。またコントローラ2は、Step72でメモリ5の輝度値データを格納する部分に残っているデータを消去し、Step73で画像モニタ6の表示画面をクリアする。
【0046】
次にStep74で、コントローラ2は走査位置を最初の1ライン目に設定し、2次元走査ユニット3にそのラインに対して走査を行なわせて、Step75で、1ライン分の画像を取り込む。次にコントローラ2は、Step76で、この時取り込まれた画像情報から1ライン分の輝度値のトータルを求める。
【0047】
そしてStep77で、コントローラ2はメモリ5から前の走査におけるこのライン位置での輝度値のトータルを読み出し、Step78で、今回取り込んだものとの変化量を調べる。ここで、メモリ5に前回取り込んだ輝度値データがない場合(走査開始後及び解像度が走査前に戻った後の始めの1画面を取り込んでいると判断する)、または、取り込んだ輝度値のトータルの値が小さい場合(試料がない領域を走査していると判断する)、またはその変化量が予め設定された値よりも大きい場合(ステージ11の移動、または光検出器24の感度調整が行なわれたと判断する)には、Step79で、コントローラ2は今回の輝度値のトータルをこのラインの輝度値データとしてメモリ5に格納し、Step80で、現在のラインが最終ラインかどうかを調べる。
【0048】
ここで最終ラインでないと判断された場合には、Step81で、コントローラ2は走査位置を次のラインに移し、上記Step75以降の処理に戻る。一方、上記Step80にて最終ラインと判断された場合には、上記Step74以降の処理に戻る。
【0049】
一方、上記Step78において、1ライン分の輝度値のトータルの変化量が予め設定された値よりも小さい場合には、Step82で、コントローラ2は上記Step70においてメモリ5に格納した走査前の解像度を読み出し、Step83で、現在の走査の解像度が走査前の解像度に戻っているかを調べる。ここで現在の走査が走査前の解像度になっていない場合には、Step84で、コントローラ2は走査前の設定にして、上記Step72以降の処理に戻る。また、上記Step83で走査前の解像度の設定になっている場合には、像探し処理を終了する。
【0050】
なお、像探し操作の終了を判定するために必要な1ラインごとの輝度値データとして利用できるものとしては、輝度値のトータル以外にも、輝度値の平均やライン上の輝度値の分布などが考えられる。
【0051】
以上、本第4の実施の形態によれば、像探し用の速い走査から走査前の解像度での走査への移行を、タイマーやステージの移動を監視するのに必要なステージ11の位置検出器を使わずに行なえる。また、解像度を走査前の設定に戻した後に光検出器24の微調整を行なった場合にも、調整が行なわれた走査ラインから一画面分だけ走査を行なうことにより、必要最小限の走査で画像取り込みの処理が終了する。
【0052】
なお、本発明は上記各実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施できる。
【0053】
【発明の効果】
本発明によれば、試料の位置合わせの作業を効率良く実行できるとともに、操作性の大幅な向上を可能とした走査型顕微鏡装置を提供できる。すなわち本発明によれば、観察試料の最適な画像を得るための光検出器の感度調整、及び試料の位置合わせを、迅速かつ容易に実現することができるようになるとともに、無駄な走査をなくすことで、観察時間を短縮することにより、試料への余計なレーザー光の照射を減らし、試料の退色を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るレーザー走査型顕微鏡のシステム構成を示す図。
【図2】本発明の第1の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図3】本発明の第2の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図4】本発明の第3の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【図5】本発明の第4の実施の形態におけるレーザー走査型顕微鏡の動作を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
1…操作パネル
2…コントローラ
3…走査ユニット
4…ステージ位置検出器
5…メモリ
6…画像モニタ
11…ステージ
12…レーザー光源
13…ミラー
14…レボルバ
15…対物レンズ
18…タイマ
21…ダイクロイックミラー
22…レンズ
23…ピンホール
24…光検出器
A…レーザー走査型顕微鏡
B…観察試料
Claims (3)
- ステージ上に載置された試料上にスポット光を走査することで、試料を観察する走査型顕微鏡装置において、
前記試料の観察像の位置の変化を監視することにより、前記観察像に対する移動操作の有無を判定する判定手段と、
前記判定手段によって移動操作が行なわれていないことを判定したときに、前記試料上にスポット光を走査することによる画像情報取り込みにおけるサンプリングデータ数を多くして走査を再開させる画像情報取り込み手段と、
を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。 - 前記判定手段は、前記ステージの移動量を計測するステージ移動量計測手段と、
走査中の時間経過を計測する時間経過計測手段と、
前記ステージ移動量計測手段によって前記ステージの移動を検出したときに、前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間を0にリセットするリセット手段と、
前記時間経過計測手段によって計測された走査中の経過時間が一定の時間を超えたときに前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、
からなることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡装置。 - 前記判定手段は、前記スポット光を前記試料上に走査して取り込んだ1ラインごとの画像情報を記憶する画像情報記憶手段と、
前記1ラインごとの画像情報が、前記画像情報記憶手段によって記憶された前回走査した時の画像情報と比較して変化量が一定の値より小さいときに、前記観察像に対する移動操作が行なわれていないことを判定する手段と、
からなることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27029599A JP4477170B2 (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 走査型顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27029599A JP4477170B2 (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 走査型顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001091845A JP2001091845A (ja) | 2001-04-06 |
JP4477170B2 true JP4477170B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=17484282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27029599A Expired - Fee Related JP4477170B2 (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 走査型顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4477170B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE527774T1 (de) * | 2004-03-19 | 2011-10-15 | Magiq Technologies Inc | Selbstkalibrierung für qkd systeme |
JP2006145793A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮像システム |
DE102005020540A1 (de) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
JP4758331B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2011-08-24 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用撮像装置および顕微鏡用撮像プログラム |
JP5940291B2 (ja) | 2011-12-13 | 2016-06-29 | オリンパス株式会社 | 走査型レーザ顕微鏡システム |
WO2014192258A1 (en) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral microscopy device |
WO2014192257A1 (en) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Spectral microscopy device |
-
1999
- 1999-09-24 JP JP27029599A patent/JP4477170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001091845A (ja) | 2001-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5941395B2 (ja) | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 | |
JP5814709B2 (ja) | タイムラプス観察方法、及び、それに用いられるタイムラプス観察装置 | |
KR100689319B1 (ko) | 주사형 공초점현미경 | |
JP5053691B2 (ja) | 標本スキャナ装置、該装置による標本位置検出方法 | |
JP4477170B2 (ja) | 走査型顕微鏡装置 | |
JPH03152846A (ja) | 電子顕微鏡のオートフォーカス方法 | |
JP2006293219A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡および試料情報測定方法 | |
US8041097B2 (en) | Confocal microscope | |
JP3579166B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP4912545B2 (ja) | 共焦点レーザ走査型顕微鏡 | |
JP3896196B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP2007286284A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡システム、及びそれを使用した観察方法 | |
JP3518923B2 (ja) | 共焦点走査型光学顕微鏡の自動画像形成装置 | |
JPH10260132A (ja) | 走査型光学測定装置 | |
KR20110121497A (ko) | Pzt 스테이지를 이용한 공초점 현미경 시스템 및 그 스캔방법 | |
JPH1138324A (ja) | レーザ走査顕微鏡 | |
JP2012083621A (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP2002122552A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2004078175A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2001166212A (ja) | 走査型顕微鏡装置 | |
JP4914567B2 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡 | |
JP2003057552A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP2938515B2 (ja) | 自動合焦装置 | |
JP2589924Y2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JPH1184223A (ja) | 自動位置検出方法及び自動位置検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100311 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |