JP5242148B2 - 走査型顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
特許文献1には、Xスキャナの中心位置を検出する手段を設け、この検出信号と電気的サンプリング中心位置を1ライン毎に検出し、このずれ量により走査信号の位相を補正して、位置のずれを補正する補正方法について開示されている。
(第1の実施例)
図1は、本実施例に係る共焦点レーザ走査型顕微鏡装置100の構成例を示す図である。
2次元走査機構113は、ミラー111を介して得たレーザ光源110からのレーザ光を2次元走査する機構である。本実施例に係る2次元走査機構113は、X方向走査用のレゾナントスキャナと、Y軸方向走査用のガルバノスキャナと、を組み合わせた2軸のスキャナで構成されている。ただし、この構成に限定するものではない。例えば、2次元走査機構113は、X方向走査用のスキャナとY方向の走査用のスキャナとが独立した構成でもよいし、X方向走査用にガルバノスキャナを用いてもよい。
レーザ光源110から射出されたレーザ光は、ミラー111で反射し、ハーフミラー112を透過して2次元走査機構113に入射される。そして、2次元走査機構113により2次元走査される。
コンピュータ102は、この画像検出信号と、2次元走査駆動制御回路114が出力するX方向画像有効信号およびY方向画像有効信号と、から観察画像を生成し、モニタ103に出力する。その結果、モニタ103上に試料130の観察画像が表示される。
本実施例に係る光学的位置検出部119は、光を集光するレンズ201と、所要の径のピンホールを有するピンホール板202と、ピンホール板202を通過する光を検出し、検出した光の強度に応じた検出信号を出力する光検出器203と、検出信号を一定のレベルに増幅するアンプ204と、を備える。
図3は、本実施例に係る電気的サンプリング回路300の構成例を示す図である。
入力信号生成部301は、Xスキャナの駆動速度0のタイミングを示すスキャナ同期信号を受けると、当該スキャナ同期信号から入力信号(正弦波信号)を生成する。入力信号生成部301には、例えば、バンドパスフィルタのようなアナログ回路を使用すればよい。
絶対値回路部304は、位置帰還部303からの出力信号を全波整流する回路である。絶対値回路部304は、全波整流した信号をVCO305に出力する。
図5には、光学的位置検出部119が出力する光学的走査位置信号と、カウンタ306が出力する電気的サンプリング位置信号と、位相比較器311が出力する光学的走査位置信号と電気的サンプリング位置信号との位相比較結果である位相比較結果信号と、所定の周波数を有する基準クロック信号と、誤差信号発生部312が出力する誤差出力信号と、を示している。
また、温度変化等により動作遅延や電気的遅延が変動しても、上述のフィードバック制御により、常に光学的位置検出信号と電気的サンプリング位置信号とを一致または略一致の状態に安定させることが可能となる。
なお、1回の2次元走査に1度だけ、つまり、1回の2次元走査により観察画像を生成する毎に上述のフィードバック制御による補正を行うようにしたが、複数回の2次元走査により複数の観察画像を生成する毎に上述のフィードバック制御による補正を行うようにしてもよい。
図6に示す入力信号発生回路600は、位相比較を行なう位相比較器601と、比較結果から一定の信号を抽出するループフィルタ602と、ループフィルタ602の出力信号に応じて周波数を変化させたクロック信号を出力するVCO603と、一定期間のクロック信号をカウントするアドレスカウンタ604と、図6に示す正弦波データaを記憶したROM605と、デジタル−アナログ変換を行なうD/Aコンバータ606と、を備える。
以上の処理が繰り返されると、アドレスカウンタ604が生成するタイミング信号とスキャナ同期信号とが同期したところで入力信号発生回路600が安定して動作する。
(第2の実施例)
本実施例に係る共焦点レーザ走査型顕微鏡の構成は、図1に示した共焦点レーザ走査型顕微鏡100の構成例と同様なので説明を省略する。ただし、2次元走査駆動制御回路114は、2次元走査範囲におけるY方向の中心位置(以下、「中心ライン」という)を検出し、当該中心ラインを検出するとパルス信号を出力するものとする。この場合、例えば、2次元走査駆動制御回路114は、Y方向画像有効信号をカウントし、中心ラインまでカウントしたらパルス信号(以下、このパルス信号を「マスク信号」という)を生成すればよい。
図7は、本実施例に係る電気的サンプリング回路700の構成例を示す図である。
本実施例に係る電気的サンプリング回路700は、2次元走査駆動制御回路114からのマスク信号を入力とする位相比較器701を備える。
例えば、Yスキャナは、2次元走査範囲の開始位置(1)から2次元走査を開始すると、Y方向に1ラインずつ駆動を行なう。そして、中心ラインを通過する。この時、光学的位置検出部119は、理想的には光学的走査位置信号aを生成する。しかし、上述のように、ピンホール板202の径の大きさによって、光学的走査位置信号cを生成する。
本実施例では、2次元走査駆動制御回路114が、走査期間における中心ラインを検出するとマスク信号を生成し、生成したマスク信号を位相比較器701に出力する。そして、位相比較器701が、光学的走査位置信号とマスク信号とをANDした信号と、電気的サンプリング位置信号とマスク信号とをANDした信号と、を位相比較するので、走査期間に生成された光学的位置検出信号(電気的サンプリング位置信号)のみを使用することができる。
図10には、光学的位置検出部119が出力する光学的走査位置信号と、カウンタ306が出力する電気的サンプリング位置信号と、2次元走査駆動制御回路114が出力するマスク信号と、位相比較器701が出力する光学的走査位置信号と電気的サンプリング位置信号との位相比較結果である位相比較結果信号と、所定の周波数を有する基準クロック信号と、誤差信号発生部312が出力する誤差出力信号と、を示している。
また、第1の実施例と同様に、温度変化等により動作遅延や電気的遅延が変動しても、上述のフィードバック制御により、常に、光学的位置検出信号と電気的サンプリング位置信号とを一致または略一致した状態で安定させることが可能となる。
(第3の実施例)
本実施例に係る共焦点レーザ走査型顕微鏡の構成は、図1に示した共焦点レーザ走査型顕微鏡100の構成例と同様なので説明を省略する。
図11は、本実施例に係る電気的サンプリング回路1100の構成例を示す図である。
本実施例に係る電気的サンプリング回路1100は、2次元走査駆動制御回路114からのY方向画像有効信号を入力とする誤差信号発生部1101を備える。
(第4の実施例)
図14に示す顕微鏡本体1400は、走査型レーザ顕微鏡に使用する光学系とは別に、画像取得に使用する光学系である光源1401、ハーフミラー1402、CCDカメラ1403を備えている。
119 ・・・ 光学的位置検出部
301 ・・・ 入力信号生成部
302 ・・・ 移相回路
303 ・・・ 位置帰還部
304 ・・・ 絶対値回路部
305 ・・・ VCO部
306 ・・・ カウンタ
307 ・・・ D/Aコンバータ
308 ・・・ コンパレータ
309 ・・・ 位相比較器
310 ・・・ ループフィルタ
311 ・・・ 位相比較器
312 ・・・ 誤差信号発生部
Claims (4)
- 試料に対して集束光を照射して得る反射光から観察画像を生成する走査型顕微鏡装置において、
前記試料に対して照射する集束光を、該集束光の光路に直交する平面上に対して2次元的に走査させる2次元走査手段と、
前記反射光を検出し、該検出した反射光の強度に応じた画像検出信号を生成する光検出手段と、
該画像検出信号を所定のサンプリングクロック信号に合わせてサンプリングし、前記試料の観察画像を生成する観察画像生成手段と、
前記2次元走査手段が走査する前記集束光の位置であって、該2次元走査手段が行なう2次元走査範囲の中心位置である光学的走査位置を検出し、光学的走査位置信号を生成する光学的走査位置検出手段と、
前記サンプリングクロック信号に合わせて前記画像検出信号をサンプリングして得る観察画像における位置であって、前記光学的走査位置における反射光から得る像と一致する位置である電気的サンプリング位置を検出し、電気的サンプリング位置信号を生成する電気的サンプリング位置検出手段とを含み、前記光学的走査位置信号と前記電気的サンプリング位置信号とが一致するように少なくとも1つの前記観察画像を生成する毎に1度だけ前記サンプリングクロック信号を調整する位置調整手段と、
を備えることを特徴とする走査型顕微鏡装置。 - 前記光学的走査位置検出手段は、前記集束光の位置に配置されたピンホールを通過した光のみを検出することで2次元走査範囲の中心位置である前記光学的走査位置を検出する、
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡装置。 - 前記2次元走査手段は、X方向走査用のスキャナとY方向走査用のスキャナからなり、
前記サンプリングクロック信号の調整は、前記Y方向走査用スキャナが、前記2次元走査範囲の走査終了位置から、前記2次元走査範囲の走査開始位置まで移動する帰線期間又は、前記2次元走査範囲であって、走査開始時と走査終了時とで画像を有効に取得できない画像無効期間に前記調整を行なう、
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡装置。 - 少なくとも1つ以上の撮像光学系をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡装置。
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