JP7390216B2 - サンプリング回路およびレーザ走査型顕微鏡 - Google Patents
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Description
本発明の一態様は、スキャナによって試料上において走査されたレーザ光の走査位置を示す走査位置信号に基づいて、該走査位置信号の走査周波数のN倍(Nは1以上の整数)で、かつ、前記走査位置信号の位相と同期したN逓倍クロックをフェーズロックループによって生成する位相同期部と、前記試料からの光を検出器によって変換して得られる検出信号を、前記位相同期部によって生成された前記N逓倍クロックに同期してAD変換するAD変換部と、前記N逓倍クロックに同期してクロック数を計数するカウンタ部と、前記スキャナによる所望の走査位置に対応する前記カウンタ部の所定のカウンタ閾値を少なくとも1つ保存する閾値保存部と、該閾値保存部によって保存されている前記カウンタ閾値と前記カウンタ部によって計数されている前記クロック数を示すカウンタ値とを比較し、これらカウンタ閾値とカウンタ値とが一致した場合にサンプリングクロックを出力する比較部と、前記AD変換部によってAD変換された前記検出信号を前記比較部から出力される前記サンプリングクロックに基づいてサンプリングし、サンプリングした前記検出信号に基づいて画素データを生成するデータ処理部とを備えるサンプリング回路である。
この構成によって、スキャナによるレーザ光の往路の走査と復路の走査との画素ずれを補正することができる。
上記態様においては、複数の前記検出信号が、前記サンプリングクロックの出力を基準に時間的に前または後にAD変換された一定個数の前記検出信号であってもよい。
上記態様においては、複数の前記検出信号が、前記サンプリングクロックの出力を基準に時間的に前後する期間にAD変換された一定個数の前記検出信号であってもよい。
本発明の第1実施形態に係るサンプリング回路およびレーザ走査型顕微鏡について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、例えば、図1に示すように、試料Sを観察する顕微鏡本体3と、試料Sの画素データを生成するサンプリング部(サンプリング回路)5と、顕微鏡本体3およびサンプリング部5を制御等する制御部7と、試料Sの画像を表示する画像表示部9とを備えている。
検出器19は、検出した蛍光の強度に相当する検出信号をサンプリング部5に送信する。
上記構成のレーザ走査型顕微鏡1により試料Sを観察する場合、制御部7によって共振スキャナ13を駆動させ、レーザ光源11からレーザ光を発生させる。レーザ光源11から発せられたレーザ光は、共振スキャナ13によって走査された後、対物レンズ15によって試料S上に集光される。これにより、共振スキャナ13の揺動動作に応じて、試料S上でレーザ光が2次元的に走査される。共振スキャナ13によるスキャナ走査位置信号はサンプリング部5のPLL部21に送られる。
次に、本発明の第2実施形態に係るサンプリング回路およびレーザ走査型顕微鏡について説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、例えば、図5に示すように、サンプリング部5が、共振スキャナ13による往路と復路のレーザ光の走査開始位置のずれを補正する補正値(補正量)を出力する往復スキャン補正量生成部(補正量生成部)33と、往復スキャン補正量生成部33から出力された補正値に基づいて、カウンタ閾値保存メモリ27によって保存されているカウンタ閾値を補正するカウンタ補正部(カウンタ閾値補正部)35とを備える点で第1実施形態と異なる。
以下、第1実施形態に係るサンプリング部5と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係るサンプリング回路およびレーザ走査型顕微鏡について説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、例えば、図9に示すように、共振スキャナ13によって試料S上で実際にレーザ光を走査させる走査対象エリア(走査範囲)をユーザが指定する入力装置(入力部)37を備え、制御部7が、入力装置37によって指定された走査対象エリアに基づいて、カウンタ閾値を計算する計算部(閾値計算部)8を備える点で第1,2実施形態と異なる。
以下、第1,2実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の第4実施形態に係るサンプリング回路およびレーザ走査型顕微鏡について説明する。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、例えば、図13に示すように、ADデータの所定の閾値を出力するADデータ閾値生成部39と、ADコンバータ23から出力されるADデータとADデータ閾値生成部39から出力される閾値とを比較する比較器41とを備える点で第1~3実施形態と異なる。
以下、第1~3実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
カウンタ閾値保存メモリ27には、例えば、予め決められたカウンタ閾値が保存されている。
ADデータ閾値生成部39には、格子チャートCの明暗を区別する所定の1つの数値がADデータ閾値として保存されている。
上記構成のレーザ走査型顕微鏡1によってカウンタ閾値を作成するには、まず、試料Sに代えて、既知のパターンが描かれた格子チャートC上をレーザ光によって走査させる。格子チャートC上が走査されることにより検出器19によって検出された検出信号がADコンバータ23によってADデータに変換され、変換されたADデータが比較器41に送られる。
本実施形態によれば、共振スキャナ13による任意の走査座標に対応するカウンタ値をカウンタ閾値として用いることにより、共振スキャナ13の個体差および共振スキャナ13による往路と復路とでの走査位置ずれが補正されたサンプリングクロックを生成することができる。
例えば、図16に示すように、カウンタ閾値を作成する場合に、格子チャートCを採用するのではなく、ADコンバータ23によってスキャナ走査位置信号をADデータに変換したADデータを用いることとしてもよい。
比較器41は、例えば、図18に示すように、ADコンバータ23によってスキャナ走査位置信号から変換されたADデータが、ADデータ閾値生成部39に保存されているADデータ閾値と一致するタイミングを示すカウンタ閾値保存タイミング信号を、そのADデータ閾値の走査座標と対応付けてカウンタ閾値保存メモリ27に送信する。
本変形例によれば、格子チャートC等を用いることなく、共振スキャナ13の個体差および往復ずれを補正したサンプリングクロックを生成することができる。
上記各実施形態においては、データ処理部31が、サンプリングクロックの立ち上がりに同期してAD変換されたADデータのみをサンプリングすることとした。これに代えて、データ処理部31が、例えば、比較部29から出力されるサンプリングクロックを基準として複数のADデータをサンプリングすることとしてもよい。
画素データを平均化することにより、試料Sから発せられる蛍光の検出時間の相違による明るさ変動を抑制しつつ、検出時間を長くすることができる。
3 顕微鏡本体
5 サンプリング部(サンプリング回路)
7 制御部
8 計算部(閾値計算部)
11 レーザ光源
13 共振スキャナ(スキャナ)
19 検出器
21 PLL部(位相同期部)
23 ADコンバータ(AD変換部)
25 カウンタ部
27 カウンタ閾値保存メモリ(閾値保存部)
29 比較部
31 データ処理部(画像データ生成部)
33 往復スキャン補正量生成部(補正量生成部)
35 カウンタ補正部(カウンタ閾値補正部)
37 入力装置(入力部)
S 試料
Claims (9)
- スキャナによって試料上において走査されたレーザ光の走査位置を示す走査位置信号に基づいて、該走査位置信号の走査周波数のN倍(Nは1以上の整数)で、かつ、前記走査位置信号の位相と同期したN逓倍クロックをフェーズロックループによって生成する位相同期部と、
前記試料からの光を検出器によって変換して得られる検出信号を、前記位相同期部によって生成された前記N逓倍クロックに同期してAD変換するAD変換部と、
前記N逓倍クロックに同期してクロック数を計数するカウンタ部と、
前記スキャナによる所望の走査位置に対応する前記カウンタ部の所定のカウンタ閾値を少なくとも1つ保存する閾値保存部と、
該閾値保存部によって保存されている前記カウンタ閾値と前記カウンタ部によって計数されている前記クロック数を示すカウンタ値とを比較し、これらカウンタ閾値とカウンタ値とが一致した場合にサンプリングクロックを出力する比較部と、
前記AD変換部によってAD変換された前記検出信号を前記比較部から出力される前記サンプリングクロックに基づいてサンプリングし、サンプリングした前記検出信号に基づいて画素データを生成するデータ処理部とを備えるサンプリング回路。 - 前記スキャナによる往路と復路の前記レーザ光の走査開始位置のずれを補正する補正量を出力する補正量生成部と、
該補正量生成部から出力された前記補正量に基づいて、前記閾値保存部によって保存されている前記カウンタ閾値を補正するカウンタ閾値補正部とを備える請求項1に記載のサンプリング回路。 - 前記データ処理部が、前記サンプリングクロックの出力に同期してAD変換された前記検出信号のみをサンプリングする請求項1または請求項2に記載のサンプリング回路。
- 前記データ処理部が、前記サンプリングクロックの出力を基準として複数の前記検出信号をサンプリングし、サンプリングした複数の前記検出信号を積算した積算信号に基づいて前記画素データを生成する請求項1または請求項2に記載のサンプリング回路。
- 複数の前記検出信号が、一の前記サンプリングクロックが出力されてから次のサンプリングクロックが出力されるまでの期間にAD変換された全ての前記検出信号である請求項4に記載のサンプリング回路。
- 複数の前記検出信号が、前記サンプリングクロックの出力を基準に時間的に前または後にAD変換された一定個数の前記検出信号である請求項4に記載のサンプリング回路。
- 複数の前記検出信号が、前記サンプリングクロックの出力を基準に時間的に前後する期間にAD変換された一定個数の前記検出信号である請求項4に記載のサンプリング回路。
- 前記レーザ光を発生するレーザ光源と、
前記スキャナおよび前記検出器とを備える顕微鏡本体と、
請求項1から請求項7のいずれかに記載のサンプリング回路と、
該サンプリング回路および前記スキャナを制御する制御部と、
前記サンプリング回路により得られた前記画素データに基づいて前記試料の画像データを生成する画像データ生成部とを備えるレーザ走査型顕微鏡。 - 前記スキャナによって前記レーザ光を走査させる前記試料上の走査範囲を指定する入力部と、
該入力部によって指定された前記走査範囲に基づいて、前記カウンタ閾値を計算する閾値計算部とを備える請求項8に記載のレーザ走査型顕微鏡。
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