JP4909020B2

JP4909020B2 - 顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法

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Publication number: JP4909020B2
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Inventors: 幸雄野々田
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Description

本発明は、顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法に関するものである。

一般に、顕微鏡、特に教育用顕微鏡は、一度購入すると長期間に亘って使用されるケースが多い。そのため、顕微鏡が有する開口部より長年に亘り塵や埃が内部に侵入し、光学部品に堆積して観察像が劣化したり、駆動機構に堆積し動作に支障を来たしたりするような不具合が発生している。これと同様に、研究機関等で使用される研究用顕微鏡や生産現場で使用される検査用顕微鏡は、頻繁に試料を交換するため、塵や埃が発生しやすく同様の不具合が発生している。また、近年、研究対象の微細化が進み、高倍で高解像度の画像を得るためにレーザを用いた検鏡が行われているが、観察条件が難しいが故に塵や埃による影響を大きく受けてしまうため、細心の注意が必要となってきている。

ここで、従来の不具合を具体的に説明するため、図６に従来の正立顕微鏡の概略側面図を示す。本体１には落射照明光路Ｘｒと透過照明光路Ｘｔとが配置され、各光路Ｘｒ，Ｘｔにランプハウス１１ｒ，１１ｔが装着されている。落射照明光路Ｘｒには、明視野観察、暗視野観察、ＤＩＣ観察等に切換え可能な光路切換え部組１ａが設けられ、ツマミ１ｂを紙面表裏方向に挿脱することで、図示しないガイド機構により、検鏡方法の切換えが可能とされている。本体１の上部には、接眼レンズ３とＴＶカメラ１３が取り付いたＴＶアダプタ１２が装着された３眼鏡筒２が配置され、双眼部の観察光軸Ｘと３眼部の観察光軸Ｘｃとの切換えが可能な光路切換え部組２ａのツマミ２ｂを紙面表裏方向に挿脱することで、図示しないガイド機構により、観察光路が切換えられる構成とされている。また、観察光軸Ｘには、対物レンズ６が装着されたレボルバ５、本体１のハンドル１ｃの回転により上下動可能に配置されたステージ受け１０に装着されたステージ７、コンデンサ９が配置されている。コンデンサ９には、図示しない回転機構により位相差リング等の光学部材を選択的に観察光軸Ｘに配置できる構成となっている。これにより、観察者４は、標本８を所望の検鏡方法で観察することができる。

ところが、本体１には、照明用のフィルタを挿入する開口部１ｄや、ＦＳ調整穴１ｅ、ＡＳ調整穴１ｆがあり、外部の塵や埃が本体１の内部に侵入する。侵入した塵埃は、矢印Ｄ１〜Ｄ６で示すような様々な方向に拡散され、対物レンズ６を始めとする各種光学部品や光路切換え部組１ａを始めとする駆動機構に付着する。また、光路切換え部組１ａは、光路切換えを行うことにより、図示しないガイド機構の金属磨耗や樹脂磨耗が発生するため、金属粉や樹脂粉が矢印Ｄ７で示すように対物レンズ６の方向に落下する。また、ハンドル１ｃの回転により、ラックアンドピニオン機構でステージ受け１０を上下動させる場合においては、金属粉或いは樹脂粉が矢印Ｄ８で示すように落下する。

同様に、３眼鏡筒２では、光路切換え部組２ａの切換えにより、磨耗する粉が矢印Ｄ９で示すように結像レンズに落下する。コンデンサ９内部においても、図示しないが、磨耗による粉が発生し、光学部品に付着する。外部の塵や埃の侵入に対しては、開口部を塞ぐことである程度は抑えることができるが、ユーザが光学部品を挿入する箇所を完全に遮蔽することは困難である。

ここで、光学部品の汚れによる不具合に対しては、防塵フィルタの清掃を容易に行える構造が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１は、ＣＣＤの近傍に配置した防塵フィルタの清掃が困難であるため、清掃用の防塵フィルタを新たに設けることで、清掃作業を簡易にしたものである。

また、駆動機構の汚れによる不具合に対しては、ステージにおいて塵埃による悪影響を回避するためにステージの機構部をステージフロア下に配置した提案例がある（例えば、特許文献２参照）。

特開平８−１７９２２０号公報特開２００５−１５７３８３号公報

しかしながら、特許文献１のものでは、清掃作業は簡易となるものの、依然として煩雑な分解作業は必要である。そして、このような作業が必要であるにも関わらず機能的に必要のない防塵フィルタ、着脱用の筒、押さえ環といった部品を必要としており、高価になってしまうため、十分な改善策とはいい難いものである。

また、特許文献２のものは、ステージの機構部から落下する塵埃に対する対策は考慮されておらず、ステージ下部に配置された焦準機構やコンデンサへの塵埃の付着は避けられない。このため、これらの機構等に対する煩雑な清掃が必要となる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡は、第１の光学部材と、当該顕微鏡の観察操作時に前記第１の光学部材の近傍を通過するように可動するとともに、複数の第２の光学部材が取り付けられる可動部材と、前記可動部材に取り付けられ、前記可動部材の可動時に、前記第１の光学部材の表面に付着した塵埃に対して除去機能を発揮する塵埃除去部材と、を備えることを特徴とする。

また、本発明に係る顕微鏡の塵埃処理方法は、当該顕微鏡の観察操作時に第１の光学部材の近傍を通過するように可動するとともに、複数の第２の光学部材が取り付けられる可動部材に塵埃除去部材を取り付けて、当該顕微鏡の観察操作に伴う前記可動部材の可動時に前記第１の光学部材の表面に付着した塵埃に対して前記塵埃除去部材に除去機能を発揮させることを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法によれば、顕微鏡が有する開口部より侵入した塵埃若しくは内部で発生した磨耗粉などの微小粒は捕捉部材の表面に落下して停滞するように捕捉され、顕微鏡内部で拡散することがないので、光学部品、駆動機構等の内蔵部品への塵埃、磨耗粉の付着を防止することができ、よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法によれば、顕微鏡の観察操作時にユーザが行う通常の操作に基づき塵埃除去部材が光学部材の表面に付着した塵埃に対して除去機能を発揮して塵埃を強制的に除去するので、光学部材の表面を塵埃、磨耗粉の付着のない状態に維持することができ、よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法によれば、気流発生源から開口部に向けて気流が流れるように流路を形成することで、開口部から内部への塵埃の侵入を防止するので、光学部品、駆動機構等の内蔵部品への塵埃の侵入・付着を防止して清掃を不要にすることができ、よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法によれば、電源投入時やユーザによる任意の操作時には超音波振動子を所定時間振動させることで光学部材に付着した塵埃等を強制的かつ瞬時に落下させて除去するので、光学部材の表面を塵埃等の付着のない状態に維持することができ、よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができるという効果を奏する。

以下、本発明に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。

（実施の形態１）
本発明の実施の形態１を図１に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。図６で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明を省略する。本実施の形態の正立顕微鏡は、図６中に矢印Ｄ１〜Ｄ４及びＤ７で示した塵埃等（微小粒）の拡散経路となる本体１内の落射照明光路Ｘｒの下部には、表面に接着剤が塗布されて捕捉部材となる吸着シート１００が配置されている。また、図６中に矢印Ｄ９で示した磨耗粉（微小粒）の拡散経路となる３眼鏡筒２内の光路切換え部組２ａの下部には、表面に接着剤が塗布されて捕捉部材となる吸着シート１０１が配置されている。さらに、図６中に矢印Ｄ８で示した磨耗粉（微小粒）の拡散経路となるハンドル１ｃの下部には、捕捉部材となるマグネットシート１０２が配置されている。

このように落射照明光路Ｘｒ用の開口部１ｄより内部に侵入する塵埃の拡散経路と光路切換え部組１ａによって内部で発生した磨耗粉の拡散経路とに対して吸着シート１００を配置させることで、開口部１ｄより内部に侵入した塵埃や光路切換え部組１ａで発生した磨耗粉は、吸着シート１００の表面の接着剤上に落下して吸着により捕捉され、顕微鏡内部での拡散が抑えられる。同様に、光路切換え部組２ａによって発生する磨耗粉の拡散経路に対して吸着シート１０１を配置させることで、光路切換え部組２ａの切換えにより発生した磨耗粉は、吸着シート１０１の表面の接着剤上に落下して吸着により捕捉され、結像レンズへの落下を防止できる。さらに、ハンドル１ｃの回転によって発生する金属粉等の拡散経路に対してマグネットシート１０２を配置させることで、ハンドル１ｃの回転によって発生する鉄粉等の金属粉はマグネットシート１０２の表面に落下し磁気的な吸着により捕捉され、顕微鏡内部での拡散が抑えられる。

このように、本実施の形態に係る顕微鏡及び顕微鏡の塵埃処理方法によれば、塵埃や磨耗粉などの微小粒の拡散経路中に吸着シート１００，１０１やマグネットシート１０２を配置することで、顕微鏡が有する開口部１ｄより侵入した塵埃若しくは内部で発生した磨耗粉などの微小粒は吸着シート１００，１０１やマグネットシート１０２の表面に落下して停滞するように吸着により捕捉され、顕微鏡内部で拡散することがないので、各種光学部品、駆動機構等の内蔵部品への塵埃、磨耗粉の付着を防止することができる。よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができる。

なお、吸着シート１００，１０１やマグネットシート１０２などの捕捉部材を配置する箇所は、図１中に例示した箇所に留まらず、塵埃、磨耗粉などの微小粒が拡散し得る拡散経路中であればどこに配置してもよい。また、表面に接着剤が塗布された吸着シート１００，１０１やマグネットシート１０２を捕捉部材の一例として用いるようにしたが、これに限らず、例えば帯電しやすいプラスチックシートを利用して静電気により塵埃を吸着することにより捕捉させてよく、或いは、軟質素材のゴムを利用してもよく、要は、吸着効果を有するものであればどのような素材を使用してもよい。また、微小粒を捕捉する態様としては、吸着に限らず、例えば表面に微小凹凸形状のあるシートであっても塵埃を捕捉して拡散を停滞させる効果を有するため、このような形状による捕捉機能を利用して拡散を防止するものであってもよい。また、捕捉部材の設置箇所によって、シートの交換が必要であれば、交換を前提とした着脱部位を設けて着脱自在とし、一定期間毎に定期的にシートを交換するようにすれば、より快適な状態で顕微鏡を使用することができる。さらに、捕捉部材は、シート状部材に限らず、例えば顕微鏡を構成する内蔵部品の一部に吸着等によって微小粒を捕捉して拡散防止し得る効果を有する部材を使用してもよく、これによれば、新たに部品を設ける必要がなくなる。特に、マグネットシート１０２は、鉄製品を磁化させたもので代用することができる。

（実施の形態２）
本発明の実施の形態２を図２及び図３に基づいて説明する。図２は、本発明の実施の形態２に係る顕微鏡中のコンデンサ部分の構成例を示す概略側面図であり、図３は、図２中のＡ矢視方向に見たコンデンサターレットの底面図である。

本実施の形態２のコンデンサ９´は、図６中に示したコンデンサ９を改良したものである。本実施の形態２のコンデンサ９´には、位相差リング等の複数の光学部材９´ｂを、使用する対物レンズ６に合わせて観察光軸Ｘに挿入できるターレット９´ａが回転可能に配置され、図示しないクリック機構で位置決めされている。すなわち、ターレット９´ａは、顕微鏡の観察操作時に観察光軸Ｘ上に配置された光学部材であるレンズ９´ｃの近傍を通過するように可動する部材であり、このターレット９´ａの下面には、光学部材９´ｂの光路を遮蔽しない位置に塵埃除去部材である複数のブラシ１０３が放射状に取り付けられている。ブラシ１０３は、少なくともレンズ９´ｃの直径以上の長さを有するとともに、観察に際してユーザがターレット９´ａを図３中に示す矢印Ｂ方向に回転操作したときにレンズ９´ｃの上側表面をなぞるように僅かに接しながら通過する高さに設定されている。このようなブラシ１０３は、レンズ９´ｃの表面に接しても傷つけないような軟質素材、例えば鳥の羽で形成されている。

このような構成において、顕微鏡の観察操作時にユーザが行う通常の操作としてターレット９´ａを回転させると、ターレット９´ａの下面に取り付けられたブラシ１０３は、レンズ９´ｃの上側表面をなぞるように僅かに接しながら通過し、レンズ９´ｃの上側表面に付着した塵埃に対して除去機能を発揮し塵埃を強制的に除去する。

このように本実施の形態２によれば、顕微鏡の観察操作時にユーザが行う通常の操作に基づきレンズ９´ｃの表面は常に清掃されて、塵埃、磨耗粉の付着のない状態に維持されるので、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができる。

なお、本実施の形態２では、コンデンサ９´中のレンズ９´ｃを清掃対象として可動するターレット９´ａに塵埃除去部材であるブラシ１０３を設けた例で説明したが、コンデンサ部分に限らず、例えば、鏡筒や投光管の光路切換え機構、焦準部の上下機構等の如く、顕微鏡観察時にユーザが通常に行う操作で可動する部材であれば、どの部材に塵埃除去部材を設けるようにしてもよい。また、ブラシ１０３を交換する必要がある場合には、交換を前提としてブラシ１０３を着脱できる構成にしておけば、定期的なブラシ交換によって長期間に亘って塵埃除去機能を発揮させることができる。また、塵埃除去部材は、ブラシ１０３のように必ずしもレンズ９´ｃ等の対象となる光学部材の表面に接する必要はなく、例えば静電気が帯電しやすいプラスチックシートを用い、ターレット９´ａの回転操作に基づきレンズ９´ｃの近傍を通過する際に、レンズ９´ｃの表面に接することなくその表面上の塵埃をプラスチックシートの静電気によって吸着することで塵埃除去機能を発揮させるようにしてもよい。

（実施の形態３）
本発明の実施の形態３を図４に基づいて説明する。図４は、本発明の実施の形態３に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。図６で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明を省略する。本実施の形態の正立顕微鏡では、ランプの点灯等に使用される本体電源１４を気流発生源として有して顕微鏡内部に気流を発生する機構が本体１内において落射照明光路Ｘｒ用の上部の開口部１ｄの下部側位置に設けられている。そして、本体電源１４と上部の開口部１ｄとの間に、矢印Ｅ１で示すように本体電源１４から開口部１ｄに向けて気流が流れるように流路を形成する衝立１５が設けられている。また、本体１の透過照明光路Ｘｔを構成する土台部１６の前面部（顕微鏡正面）には開口部１ｇが形成され、この開口部１ｇの内面側には開口部１ｇからの塵埃の侵入を防止するためのフィルタ１７が配置されている。フィルタ１７の後方（本体１の内部側）には、図示しないモータにより羽根が回転して風力を発生するファン１８を気流発生源として有して顕微鏡内部に気流を発生する機構を備える。ファン１８は、顕微鏡の電源と同期して回転するが、ユーザにより任意に回転の有無が設定可能とされている。さらに、下部側の開口部１ｄの近傍には衝立１９が配置され、ファン１８と下部の開口部１ｄとの間に、矢印Ｅ２で示すようにファン１８から開口部１ｄに向けて気流が流れる流路が形成されている。

このような構成において、顕微鏡の電源を投入すると、本体電源１４は発熱する。ここで発生した熱は、周りの空気を暖め、熱気流として上方に流れる。この際、上部の開口部１ｄ付近には衝立１５が配置されて熱気流の流れを規制して開口部１ｄ側に向かう流路を形成しているため、矢印Ｅ１で示すように本体電源１４から開口部１ｄを経て顕微鏡外に気流が流れ出ることとなる。一方、土台部１６側では、ファン１８が回転することで開口部１ｇ、フィルタ１７を通して塵埃のない清浄な空気が土台部１６内に取り込まれる。この際、土台部１６側の開口部１ｄ付近には衝立１９が配置されて気流の流れを規制して開口部１ｄ側に向かう流路を形成しているため、空気は矢印Ｅ２で示すようにファン１８から開口部１ｄを経て顕微鏡外に流れ出ることとなる。

このように、気流発生源としての本体電源１４やファン１８から開口部１ｄに向けて気流が流れるように流路を形成することで、開口部１ｄから顕微鏡内部への塵埃の侵入が防止され、顕微鏡内部は常に清掃された状態となり、光学部品、駆動機構等の内蔵部品への塵埃の侵入・付着を防止できるので、外部の塵埃に対する清掃を不要にすることができる。よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができる。特に、本実施の形態３のように、本体電源１４から発生する熱気流を利用する対策によれば、気流を考慮した流路設計を行って衝立１５を配置すればよく、特別な機構は必要ないため、安価に構成できる。

なお、本実施の形態３では、気流発生源として本体電源１４なる熱源を利用するようにしたが、これに限らず、例えばランプハウス１１ｒの熱源、電動機構のモータの熱源を利用してもよく、要は、熱気流を発生し得る熱源であればよい。また、流路を形成する対象となる開口部は、上部側の開口部１ｄに限らず、例えばＦＳ調整穴１ｅやＡＳ調整穴１ｆ等のような顕微鏡が有する開口部であればどのような開口部に対して適用してもよい。また、ファン１８は、気流の発生のために特別設ける必要はなく、例えばＣＣＤ等の冷却用ファンによる気流、ターレットの回転機構により発生する気流、焦準機構の上下動の際に発生する気流等の駆動機構による気流を利用すれば、より一層安価に構成できる。

（実施の形態４）
本発明の実施の形態４を図５に基づいて説明する。図５は、本発明の実施の形態４に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。図６で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明を省略する。

本実施の形態４の顕微鏡は、倒立顕微鏡への適用例を示し、本体２０には、落射照明用のランプハウス２１が装着され、その照明光軸上には所望の光学部材を内蔵したキューブターレット２２が配置されている。キューブターレット２２は、照明光軸を本体２０の焦準機構に装着されたレボルバ２３に取り付けられた対物レンズ２４の観察光軸Ｘに反射する。また、本体２０の上面には、ステージ２５と接眼レンズ３が取り付けられた鏡筒２６が観察光軸Ｘ上に位置させて装着されている。本体２０の観察光軸Ｘは、分割プリズム２７によってＴＶ観察用に分岐され、分岐されたＴＶ観察用の光軸上には、ＴＶアダプタ１２及びＴＶカメラ２８が装着されている。このＴＶカメラ２８内には、分岐されたＴＶ観察用の光軸上にＣＣＤ等の受光素子２８ａと光学部材としてのフィルタ２８ｂとが配置されている。ここで、フィルタ２８ｂは、受光素子２８ａに塵や埃が付着するのを防止するための防塵フィルタであり、外部との気密性を保つ状態で装着されている。また、このフィルタ２８ｂには、光路に影響しないように外周部に位置させて超音波振動子２９が取り付けられている。この超音波振動子２９は、顕微鏡の電源投入時に所定時間、約３万回／秒の超音波振動するように設定されている。

また、観察光軸Ｘ上には、レチクルホルダ３０に固定された光学部材である写真フレーム用のレチクル３１が配置されている。このレチクル３１は、ユーザによる図示しない回転ツマミの回転操作により、レチクルホルダ回転軸３０ａを軸とする矢印Ｃで示す方向の９０度の回動で観察光軸Ｘに対して進退可能とされている。レチクル３１を保持する部材であるレチクルホルダ３０には、レチクル３１の光路に影響しないように超音波振動子３２が取り付けられている。この超音波振動子３２は、ユーザによる回転ツマミの回転操作によりレチクルホルダ３０が図５中に仮想線で示すように９０度回動して観察光軸Ｘから外れて垂直状態となったときに所定時間、約３万回／秒の超音波振動するように設定されている。

このような構成において、顕微鏡の電源を投入する度に、所定時間、超音波振動子２９が約３万回／秒なる超音波振動を発生するので、フィルタ２８ｂ表面に付着した塵埃は強制的かつ瞬時に振り落とされて落下する。また、ユーザが任意に回転ツマミを回転操作してレチクルホルダ３０を観察光軸Ｘから退避する度に、所定時間、超音波振動子３２が約３万回／秒なる超音波振動を発生するので、レチクル３１表面に付着した塵埃は強制的かつ瞬時に振り落とされて落下する。

このように、本実施の形態４によれば、電源投入時やユーザによる任意の操作時には超音波振動子２９，３２を所定時間振動させることでフィルタ２８ｂやレチクル３１に付着した塵埃等を強制的かつ瞬時に落下させて除去するので、フィルタ２８ｂやレチクル３１の表面を塵埃等の付着のない状態に維持することができる。よって、煩雑な清掃作業を行うことなく、長期間に亘って顕微鏡内蔵部品のメンテナンスを行う必要もない安価な顕微鏡を提供することができる。特に、本実施の形態４のＴＶカメラ２８内のフィルタ２８ｂ等のように非常に微小な塵埃が問題となる箇所は、一般的には物理的な清掃が困難であるが、本実施の形態４を適用することで、電源投入やユーザによる回転ツマミ操作だけで日常的な清掃が可能となり、煩雑な清掃作業を必要としないものとなる。

なお、超音波振動子を取り付ける光学部材或いはその保持部材としては、本実施の形態４で例示したものに限らず、例えば、顕微鏡が備える各種防塵ガラス、光学部材に適用してもよい。特に、ユーザが観察時に直接見ることができる実像が投影される部位、例えばＦＳやその近傍のレンズ表面は、塵埃が直接見える部位であるため、このような部位に超音波振動子を取り付けると大きな効果が得られる。

また、本実施の形態４では、重力方向に対して光学部材であるレチクル３１の長手方向が平行に配置された状態（退避状態）で超音波振動子３２を超音波振動させるようにしたが、重力方向に対して平行な状態に限らず、重力方向に対して傾斜を持つ状態で超音波振動子３２を作動させるようにしてもよい。また、超音波振動子２９，３２の超音波振動は約３万回／秒としたが、取り付ける対象物に応じて適切な振動数に変更してもよい。さらには、超音波振動子による超音波振動で振り落とされた塵埃の拡散が生ずる場合には、実施の形態１で示したような吸着シート等の捕捉部材を下部側に配置させて、振り落とされた塵埃を吸着させるようにしてもよい。また、取り付けた超音波振動子の超音波振動により他の光学部品への悪影響が懸念される場合には、超音波振動を減衰させるゴム等の緩衝材を介して超音波振動子を取り付けるようにすればよい。

（付記１）当該顕微鏡の内部の微小粒の拡散経路中に配置されて、当該顕微鏡が有する開口部より内部に侵入し又は当該顕微鏡の内部で発生して表面に落下した微小粒を停滞させる捕捉部材を備えることを特徴とする顕微鏡。

（付記２）前記捕捉部材は、表面に接着剤が塗布された吸着シートであることを特徴とする付記１に記載の顕微鏡。

（付記３）前記捕捉部材は、微小粒として金属粉を磁気的に吸着して停滞させるマグネットシートであることを特徴とする付記１に記載の顕微鏡。

（付記４）前記捕捉部材は、静電気により微小粒を吸着して停滞させるシート部材であることを特徴とする付記１に記載の顕微鏡。

（付記５）前記捕捉部材は、表面に落下した微小粒を停滞させる形状を有するシート部材であることを特徴とする付記１に記載の顕微鏡。

（付記６）前記捕捉部材は、着脱自在に設けられていることを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載の顕微鏡。

（付記７）当該顕微鏡の観察操作時に光学部材の近傍を通過するように可動する部材に取り付けられて該部材の可動時に前記光学部材の表面に付着した塵埃に対して除去機能を発揮する塵埃除去部材を備えることを特徴とする顕微鏡。

（付記８）前記塵埃除去部材は、可動する前記部材の可動時に前記光学部材の表面に接する軟質素材からなることを特徴とする付記７に記載の顕微鏡。

（付記９）前記塵埃除去部材は、軟質素材からなるブラシであることを特徴とする付記８に記載の顕微鏡。

（付記１０）前記塵埃除去部材は、可動する前記部材の可動時に前記光学部材の近傍を通過して該光学部材の表面に付着した塵埃を静電気で吸着除去する除去機能を発揮する部材であることを特徴とする付記７に記載の顕微鏡。

（付記１１）前記塵埃除去部材は、着脱自在に取り付けられていることを特徴とする付記７〜１０のいずれか一つに記載の顕微鏡。

（付記１２）気流発生源を有して当該顕微鏡の内部に気流を発生する機構と、
前記気流発生源と当該顕微鏡が有する開口部との間に流路を形成する部材と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。

（付記１３）前記気流発生源は、熱源であることを特徴とする付記１２に記載の顕微鏡。

（付記１４）前記気流発生源は、ファンであることを特徴とする付記１２に記載の顕微鏡。

（付記１５）当該顕微鏡に内蔵された光学部材若しくは該光学部材を保持する部材に取り付けられて当該顕微鏡の電源投入又はユーザによる任意の操作に基づき所定時間振動する超音波振動子を備えることを特徴とする顕微鏡。

（付記１６）前記超音波振動子が取り付けられた部材の下部に、表面に落下した微小粒を停滞させる捕捉部材を備えることを特徴とする付記１５に記載の顕微鏡。

（付記１７）当該顕微鏡の内部の微小粒の拡散経路中に捕捉部材を配置して、当該顕微鏡が有する開口部より内部に侵入し又は当該顕微鏡の内部で発生して前記捕捉部材の表面に落下した微小粒を停滞させることを特徴とする顕微鏡の塵埃処理方法。

（付記１８）当該顕微鏡の観察操作時に光学部材の近傍を通過するように可動する部材に塵埃除去部材を取り付けて、当該顕微鏡の観察操作に伴う前記部材の可動時に前記光学部材の表面に付着した塵埃に対して前記塵埃除去部材に除去機能を発揮させることを特徴とする顕微鏡の塵埃処理方法。

（付記１９）当該顕微鏡の内部に気流を発生する機構が有する気流発生源と当該顕微鏡が有する開口部との間に、前記気流発生源から前記開口部に向けて気流が流れるように流路を形成することを特徴とする顕微鏡の塵埃処理方法。

（付記２０）当該顕微鏡に内蔵された光学部材若しくは該光学部材を保持する部材に超音波振動子を取り付けて、当該顕微鏡の電源投入又はユーザによる任意の操作に基づき前記超音波振動子を所定時間振動させることを特徴とする顕微鏡の塵埃処理方法。

本発明の実施の形態１に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。本発明の実施の形態２に係る顕微鏡中のコンデンサ部分の構成例を示す概略側面図である。図２中のＡ矢視方向に見たコンデンサターレットの底面図である。本発明の実施の形態３に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。本発明の実施の形態４に係る顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。従来の正立顕微鏡の構成例を示す概略側面図である。

符号の説明

１ｄ開口部
９´ａターレット
９´ｃレンズ
１４本体電源
１５衝立
１８ファン
１９衝立
２８ｂフィルタ
２９超音波振動子
３０レチクルホルダ
３１レチクル
３２超音波振動子
１００，１０１吸着シート
１０２マグネットシート
１０３ブラシ

Claims

第１の光学部材と、
当該顕微鏡の観察操作時に前記第１の光学部材の近傍を通過するように可動するとともに、複数の第２の光学部材が取り付けられる可動部材と、
前記可動部材に取り付けられ、前記可動部材の可動時に、前記第１の光学部材の表面に付着した塵埃に対して除去機能を発揮する塵埃除去部材と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
前記塵埃除去部材は、前記可動部材の可動時に前記第１の光学部材の表面に接する軟質素材からなることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
前記塵埃除去部材は、軟質素材からなるブラシであることを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡。
前記塵埃除去部材は、前記可動部材の可動時に、前記第１の光学部材の近傍を通過して該光学部材の表面に付着した塵埃を静電気で吸着除去する除去機能を発揮する部材であることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
前記塵埃除去部材は、着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の顕微鏡。
当該顕微鏡の観察操作時に第１の光学部材の近傍を通過するように可動するとともに、複数の第２の光学部材が取り付けられる可動部材に塵埃除去部材を取り付けて、当該顕微鏡の観察操作に伴う前記可動部材の可動時に前記第１の光学部材の表面に付着した塵埃に対して前記塵埃除去部材に除去機能を発揮させることを特徴とする顕微鏡の塵埃処理方法。