JP4844835B2 - 補正方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
図2には、露光装置1001〜100Nを代表して、露光装置1001の概略構成が示されている。露光装置1001は、照明系10、レチクルRを保持するレチクルステージRST、投影光学系PL、感光物体としてのウエハWが搭載される移動体としてのウエハステージWST及び装置全体を統括制御する主制御装置20等を備えている。なお、露光装置1001は、走査型露光装置である。
(2)実際の露光を行う前に、重ね合わせ露光の基準となるウエハ(いわゆる基準ウエハ)を予め露光装置に投入して、そのウエハグリッドをアライメント系ASで検出し、その検出結果からショット間誤差の非線形成分を抽出し、その抽出結果に基づいて各ショット領域の位置を補正するグリッド補正機能(第2の補正機能)
(3)ショット領域の位置を補正するための補正情報として、ショット間誤差の非線形成分を近似して得られる2次以上の項を含む所定次数の補正関数を用いる機能(関数補正機能)
(4)ショット領域の位置を補正するための補正情報として、ショット間誤差の非線形成分に対応する各ショット領域の非線形成分の集合体である補正マップを用いる機能(マップ補正機能)
ところで、上記ステップ216においてホスト150から露光指示を受けた露光装置1001の主制御装置20では、図5のフローチャートに示される処理アルゴリズムに従って処理を行う。
図8には、サブルーチン506のフローチャートが示されている。図8に示されるように、まず、ステップ602において、上記ステップ502でのEGAの計測結果(すなわちサンプルショット領域の実測位置情報)を用いて、例えば上記式(2)で示される関数で、ショット間誤差の関数フィッティングを行い、ステップ604において、上記式(2)により算出される位置ずれ量(dx,dy)に対する、サンプルショット領域の中心の設計上の位置座標と実測位置座標の位置ずれ量(これを(Δx,Δy)とする)の残差の二乗和(ランダムエラー)を算出する。
図9には、関数モードGCM計測のサブルーチン614のフローチャートが示されている。図9に示されるように、まず、ステップ702において、ランダムエラーの値が、所定の閾値(これを第2の閾値とする)より大きいか否かを判断する。この第2の閾値としては、前述の第1の閾値よりも小さい値が設定されている。この判断が否定されればステップ710に進み、肯定されればステップ704に進む。ステップ704では、さらに追加サンプルショット領域の計測を行い、ステップ706において、上記ステップ502で行ったEGA計測の計測結果と、追加サンプルショット領域の計測結果との両方に基づいて、ステップ602と同様に、上記式(2)を用いた関数フィッティングを行い、ショット領域の配列のショット間誤差を近似して得られる所定次数の関数の係数a0〜a9,b0〜b9を算出する。そして、次のステップ708では、新たに算出された係数を式(2)に設定した場合の上記残差の二乗和(ランダムエラー)を改めて算出し、ステップ702に戻る。
次に、サブルーチン616のマップモードGCM計測について説明する。図10には、サブルーチン616のフローチャートが示されている。図10に示されるように、まず、ステップ802において、追加サンプルショット領域の計測を行う。どのショット領域を、この追加サンプルショット領域とするかについては、予め定められており、例えば、そのサンプルショット領域が、市松模様状に配置されるように選択されるものとする。このようにすれば、ウエハW内で、サンプルショット領域の配置を均一化することができ、精度の面で有利である。次のステップ804では、追加サンプルショット領域の計測結果を含めて、これまでの全ての計測結果を用いて、上記式(2)などの関数よりもさらに高次の関数を用いて、ウエハグリッドの関数フィッティングを例えば最小二乗法などの統計的手法を用いて行い、それらの係数の値を求める。
一方、1枚目のウエハWに対する処理を行う時に、図6のサブルーチン308において、ステップ402で判断が肯定されるか、又はステップ406、410で判断が否定され、ステップ412に進み、Sモードフラグがリセットされた場合の処理について説明する。
Claims (16)
- 露光装置に順次投入される複数の感光物体各々に対し複数の区画領域を転写形成する際に、前記各感光物体の位置の補正を行う補正方法であって、
前記露光装置及び前記露光装置に投入された感光物体の少なくとも一方に関連する所定の情報に基づいて、前記各区画領域の形成位置の基準となる2次元格子の理想格子又は所定の基準格子に対する位置誤差の非線形成分を考慮して前記感光物体の位置を補正するために前記露光装置に設けられた補正機能であって、前記露光装置に投入された感光物体上の複数の既成区画領域の配列の検出結果により規定される前記2次元格子の前記理想格子に対する位置誤差の第1の非線形成分に関する情報を抽出し、その抽出結果を、前記各区画領域を転写形成する際のその感光物体の位置を補正するための補正情報として用いる少なくとも1つの第1の補正機能と、前記2次元格子の前記所定の基準格子に対する位置誤差の非線形成分であって予め抽出された第2の非線形成分に関する情報を、前記補正情報として用いる少なくとも1つの第2の補正機能と、を少なくとも含む考慮可能な非線形成分の次数がそれぞれ異なる複数の補正機能の中から、少なくとも1つの機能を選択する選択工程を含み、
前記所定の情報には、前記露光装置に投入された感光物体上に前記既成区画領域が形成されているか否かを示す情報と、前記各区画領域の転写形成に用いられた露光装置に関する情報との少なくとも一方が含まれている補正方法。 - 請求項1に記載の補正方法において、
前記選択工程において、前記第1の補正機能が選択された場合には、
前記複数の感光物体のうち、最初に前記露光装置に投入される所定数の感光物体に対しては、その感光物体の前記各既成区画領域の位置情報を計測し、その計測結果に基づいて前記第1の非線形成分に関する情報を前記補正情報として抽出し、
他の感光物体に対しては、その感光物体の前記各既成区画領域の位置情報を計測し、その計測結果に基づく前記第1の非線形成分に関する情報を前記補正情報として抽出するか、過去に前記露光装置に投入された感光物体の前記第1の非線形成分に関する情報を前記補正情報として用いるかを、前記所定の情報に応じて判断することを特徴とする補正方法。 - 請求項2に記載の補正方法において、
前記所定数の感光物体に対して、その投入された感光物体上の既成区画領域の位置情報の計測結果に基づいて前記補正情報を求める場合には、
前記所定の情報に応じて、前記補正情報を、前記第1の非線形成分に関する情報の平均値とするか、今回投入された感光物体の前記各既成区画領域の位置情報の計測結果のみに基づく前記第1の非線形成分に関する情報とするかを判断することを特徴とする補正方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の補正方法において、
前記選択工程では、前記露光装置に投入された感光物体上に前記既成区画領域が形成されていなければ、前記第2の補正機能を選択することを特徴とする補正方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の補正方法において、
前記選択工程において、前記第1の補正機能及び前記第2の補正機能が選択された場合には、前記第1の非線形成分に関する情報に含まれる所定次数以下の第1成分と、前記第2の非線形成分に関する情報に含まれる成分のうち、前記第1成分に相当する成分を除く第2成分とを補正情報として用いて、前記露光装置に投入された前記各感光物体の位置を補正する補正工程をさらに含むことを特徴とする補正方法。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の補正方法において、
前記考慮可能な次数が異なる補正機能として、前記2次元格子が有する前記位置誤差の非線形成分を近似して得られる所定次数の項を含む関数を、前記各区画領域を転写形成する際の前記感光物体の位置を補正するための補正情報として用いる少なくとも1つの関数補正機能と、前記2次元格子が有する前記位置誤差の非線形成分に対応する前記各区画領域の非線形成分の集合体である補正マップを、前記補正情報として用いる少なくとも1つのマップ補正機能と;を含むことを特徴とする補正方法。 - 請求項6に記載の補正方法において、
前記所定の情報は、前記露光装置に投入された感光物体上の複数の既成区画領域の実測位置情報と、前記関数補正機能を選択した場合に得られる補正情報に基づくその既成区画領域の位置情報との残差をさらに含み、
前記選択工程では、前記残差が許容値以上である場合には、前記マップ補正機能を選択することを特徴とする補正方法。 - 請求項6又は7に記載の補正方法において、
前記選択工程を行った後、前記補正情報に基づく前記各既成区画領域の位置情報とその実測値との残差が許容範囲内となるまで、前記関数の次数と、位置情報の計測対象となる前記既成区画領域の数及び配置との少なくとも一方を最適化する最適化工程をさらに含むことを特徴とする補正方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の補正方法において、
前記所定の情報には、前記露光装置に前記感光物体が投入される前後における環境の変化に関する情報と、前記露光装置に投入されてから露光されるまでの前記感光物体の待ち時間に関する情報と、前記感光物体上の複数の既成区画領域の転写形成に用いられた露光装置に関する情報と、前記露光装置に過去に投入された感光物体と今回投入された感光物体との非線形成分の違いに関する情報との少なくとも1つがさらに含まれることを特徴とする補正方法。 - 請求項9に記載の補正方法において、
前記環境の変化に関する情報は、前記感光物体の温度変化に関する情報であることを特徴とする補正方法。 - 複数の感光物体各々に複数の区画領域を転写形成する露光装置であって、
投入された感光物体を保持する移動体を有し、その移動体に保持された感光物体に対し前記複数の区画領域の転写形成を行う転写装置と;
前記転写装置及び前記移動体に保持された感光物体の少なくとも一方に関連する所定の情報に基づいて、前記各区画領域の形成位置の基準となる2次元格子の理想格子又は所定の基準格子に対する位置誤差の非線形成分を考慮して前記感光物体の位置を補正するために設けられた補正機能であって、前記移動体に保持された感光物体上の複数の既成区画領域の配列の検出結果により規定される前記2次元格子の前記理想格子に対する位置誤差の第1の非線形成分に関する情報の前記抽出装置による抽出結果を、前記各区画領域を転写形成する際のその感光物体の位置を補正するための補正情報として用いる少なくとも1つの第1の補正機能と、前記2次元格子の前記所定の基準格子に対する位置誤差の非線形成分であって、予め抽出された第2の非線形成分に関する情報を、前記補正情報として用いる少なくとも1つの第2の補正機能と、を少なくとも含む考慮可能な非線形成分の次数がそれぞれ異なる複数の補正機能の中から、少なくとも1つの機能を選択する選択装置と;
前記複数の補正機能を有し、前記移動体に保持された感光物体を所定の位置に位置合わせする際に、前記選択装置により選択された補正機能を用いて、前記移動体に保持された感光物体の位置を補正する補正装置と;
前記移動体に保持された感光物体上の複数の区画領域のうちの任意の区画領域の位置情報の実測値を計測する計測装置と;
前記移動体に保持された感光物体上の複数の区画領域の配列により規定される前記2次元格子が有する位置誤差の非線形成分に関する情報を前記計測装置の計測結果から抽出する抽出装置と;を備え、
前記所定の情報には、前記転写装置に投入された感光物体上に区画領域が形成されているか否かを示す情報と、前記各区画領域の転写形成に用いられた露光装置に関する情報との少なくとも一方が含まれている露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記補正装置は、前記考慮可能な非線形係数の次数が異なる複数の補正機能として、前記2次元格子が有する前記位置誤差の非線形成分を近似して得られる所定次数の項を含む関数を、前記転写装置を用いて前記移動体に保持された感光物体上に前記各区画領域を転写形成する際のその感光物体の位置を補正するための補正情報として用いる少なくとも1つの関数補正機能と、前記2次元格子が有する前記位置誤差の非線形成分に対応する前記各区画領域の非線形成分の集合体である補正マップを、前記補正情報として用いる少なくとも1つのマップ補正機能と;を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項12に記載の露光装置において、
前記選択装置により選択された補正機能により用いられる補正情報に基づく前記各区画領域の位置情報と前記計測装置により計測されたその区画領域の位置情報の実測値との残差が許容範囲内となるまで、前記関数の次数と、位置情報の計測対象となる区画領域の数及び配置との少なくとも一方を最適化する最適化装置をさらに備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項12又は13に記載の露光装置において、
前記所定の情報には、
前記計測装置の計測結果により抽出された、前記転写装置に過去に投入された感光物体と今回投入された感光物体との非線形成分の違いに関する情報が含まれることを特徴とする露光装置。 - 請求項11〜14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記所定の情報には、
前記転写装置に前記感光物体が投入される前後における環境の変化に関する情報と、前記転写装置に投入されてから露光されるまでの前記感光物体の待ち時間に関する情報との少なくとも1つが含まれ、
前記所定の情報に含まれる少なくとも1つの情報を検出する検出装置を更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記環境の変化に関する情報は、前記感光物体の温度変化に関する情報であることを特徴とする露光装置。
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Families Citing this family (44)
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US7738074B2 (en) | 2003-07-16 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
TWI474132B (zh) | 2003-10-28 | 2015-02-21 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、投影曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
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TWI360837B (en) | 2004-02-06 | 2012-03-21 | Nikon Corp | Polarization changing device, optical illumination |
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JP2008085120A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置の位置補正係数算出方法及び荷電粒子ビーム描画装置の位置補正係数更新方法 |
US8451427B2 (en) | 2007-09-14 | 2013-05-28 | Nikon Corporation | Illumination optical system, exposure apparatus, optical element and manufacturing method thereof, and device manufacturing method |
EP2042829B2 (en) * | 2007-09-26 | 2017-08-09 | Hexagon Metrology AB | Modular calibration |
JP5267029B2 (ja) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP5264406B2 (ja) * | 2008-10-22 | 2013-08-14 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法およびデバイスの製造方法 |
US9482755B2 (en) | 2008-11-17 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker |
US8514395B2 (en) * | 2009-08-25 | 2013-08-20 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US8619265B2 (en) | 2011-03-14 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker |
US9400170B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-07-26 | Faro Technologies, Inc. | Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker |
US9377885B2 (en) | 2010-04-21 | 2016-06-28 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
WO2012141868A1 (en) * | 2011-04-15 | 2012-10-18 | Faro Technologies, Inc. | Enhanced position detector in laser tracker |
US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
EP2719500A4 (en) * | 2011-06-08 | 2015-04-15 | Murata Machinery Ltd | PART PROCESSING SYSTEM |
NL2009345A (en) | 2011-09-28 | 2013-04-02 | Asml Netherlands Bv | Method of applying a pattern to a substrate, device manufacturing method and lithographic apparatus for use in such methods. |
US9543223B2 (en) * | 2013-01-25 | 2017-01-10 | Qoniac Gmbh | Method and apparatus for fabricating wafer by calculating process correction parameters |
CN104094081A (zh) | 2012-01-27 | 2014-10-08 | 法罗技术股份有限公司 | 利用条形码识别的检查方法 |
CN103365124B (zh) * | 2012-03-31 | 2015-01-21 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 曝光对准方法 |
US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
WO2016084978A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 日立化成株式会社 | 配線基板の製造方法、データ補正装置、配線パターン形成システム及びデータ補正方法 |
CN112068406A (zh) * | 2015-02-23 | 2020-12-11 | 株式会社尼康 | 测量装置、光刻系统、以及组件制造方法 |
CN111610696A (zh) | 2015-02-23 | 2020-09-01 | 株式会社尼康 | 基板处理系统及基板处理方法、以及组件制造方法 |
JP6691693B2 (ja) | 2015-02-23 | 2020-05-13 | 株式会社ニコン | 計測装置、リソグラフィシステム及び露光装置、並びに重ね合わせ計測方法及びデバイス製造方法 |
KR20170124578A (ko) * | 2015-04-10 | 2017-11-10 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 검사와 계측을 위한 방법 및 장치 |
US10331040B2 (en) | 2015-10-08 | 2019-06-25 | Asml Netherlands B.V. | Method of controlling a lithographic apparatus and device manufacturing method, control system for a lithographic apparatus and lithographic apparatus |
US9933314B2 (en) * | 2016-06-30 | 2018-04-03 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Semiconductor workpiece temperature measurement system |
DE102017113419A1 (de) * | 2017-06-19 | 2018-12-20 | Keba Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Winkels zwischen zwei Werkstückflächen |
US10585360B2 (en) * | 2017-08-25 | 2020-03-10 | Applied Materials, Inc. | Exposure system alignment and calibration method |
JP6688330B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2020-04-28 | キヤノン株式会社 | 露光方法、露光装置、決定方法および物品製造方法 |
CN109579703B (zh) * | 2018-12-26 | 2020-06-16 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 测量坐标校正方法和系统 |
WO2020207632A1 (en) | 2019-04-10 | 2020-10-15 | Asml Netherlands B.V. | A method and system for determining overlay |
WO2021094041A1 (en) | 2019-11-11 | 2021-05-20 | Asml Netherlands B.V. | Calibration method for a lithographic system |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05114545A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-05-07 | Nikon Corp | 位置合わせ方法 |
JPH05217848A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-27 | Nikon Corp | 位置合わせ方法 |
US5561606A (en) * | 1991-08-30 | 1996-10-01 | Nikon Corporation | Method for aligning shot areas on a substrate |
JPH09218714A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Canon Inc | 位置合せ方法および装置 |
JP2001345243A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Nikon Corp | 評価方法、位置検出方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP2002353121A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法 |
US20040126004A1 (en) * | 2000-05-31 | 2004-07-01 | Nikon Corporation | Evaluation method, position detection method, exposure method and device manufacturing method, and exposure apparatus |
WO2004077534A1 (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-10 | Nikon Corporation | 最適位置検出式の検出方法、位置合わせ方法、露光方法、デバイス製造方法及びデバイス |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6232613A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-12 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JP2864060B2 (ja) * | 1991-09-04 | 1999-03-03 | キヤノン株式会社 | 縮小投影型露光装置及び方法 |
US5525808A (en) * | 1992-01-23 | 1996-06-11 | Nikon Corporaton | Alignment method and alignment apparatus with a statistic calculation using a plurality of weighted coordinate positions |
US5883704A (en) * | 1995-08-07 | 1999-03-16 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus wherein focusing of the apparatus is changed by controlling the temperature of a lens element of the projection optical system |
CN1434932A (zh) * | 2000-10-19 | 2003-08-06 | 克雷奥以色列有限公司 | 印刷电路板制造中的非线性图像畸变校正 |
JP4955874B2 (ja) | 2001-09-07 | 2012-06-20 | キヤノン株式会社 | 位置合わせ装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
TW584901B (en) * | 2001-11-30 | 2004-04-21 | Sony Corp | Exposure method of using complementary dividing moldboard mask |
JP4400745B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2010-01-20 | 株式会社ニコン | 露光方法及びデバイス製造方法、露光装置、並びにプログラム |
US7728953B2 (en) * | 2004-03-01 | 2010-06-01 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure system, and substrate processing apparatus |
US7561251B2 (en) * | 2004-03-29 | 2009-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2005
- 2005-09-12 CN CNB200580028251XA patent/CN100456423C/zh active Active
- 2005-09-12 JP JP2006535868A patent/JP4844835B2/ja active Active
- 2005-09-12 WO PCT/JP2005/016721 patent/WO2006030727A1/ja active Application Filing
- 2005-09-12 US US11/662,725 patent/US8130362B2/en active Active
- 2005-09-12 EP EP05782373A patent/EP1804278A4/en not_active Withdrawn
- 2005-09-12 KR KR1020077004096A patent/KR101133490B1/ko active IP Right Grant
- 2005-09-14 TW TW094131628A patent/TWI394008B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05114545A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-05-07 | Nikon Corp | 位置合わせ方法 |
US5561606A (en) * | 1991-08-30 | 1996-10-01 | Nikon Corporation | Method for aligning shot areas on a substrate |
JPH05217848A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-27 | Nikon Corp | 位置合わせ方法 |
JPH09218714A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Canon Inc | 位置合せ方法および装置 |
JP2001345243A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Nikon Corp | 評価方法、位置検出方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
US20040126004A1 (en) * | 2000-05-31 | 2004-07-01 | Nikon Corporation | Evaluation method, position detection method, exposure method and device manufacturing method, and exposure apparatus |
JP2002353121A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法 |
WO2004077534A1 (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-10 | Nikon Corporation | 最適位置検出式の検出方法、位置合わせ方法、露光方法、デバイス製造方法及びデバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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