JP4842281B2 - 表面保護フィルム - Google Patents
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Description
しかしこのような表面保護フィルムにおいても、表面保護層へのフォトレジストの付着を完全に防止することはできず、表面保護層に露光を繰り返すごとに少しずつ付着したフォトレジストによって、露光の際の光が遮蔽されたり、光散乱性が増加するといったことが起こり、露光障害となってしまう。また、付着したフォトレジストの表面凹凸が基板(レジスト)に再転写されてしまい、傷による不良となってしまう。
本発明の表面保護フィルムの一態様において、透明高分子フィルムの他方の面には粘着層が設けられている。
また本発明の表面保護膜用組成物は、前記縮合反応型樹脂が、JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を含む。本発明の表面保護膜用組成物において、縮合反応型樹脂は、例えば、この縮合反応型シリコーン系樹脂を15重量%以上、70重量%以下含む。
本発明の表面保護層用組成物は、水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂と、水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂を含むものである。本発明の表面保護層用組成物は、高分子フィルム等の基材に表面保護層を設けた表面保護フィルムの表面保護層や、表面保護すべき材料(例えばフォトマスク)の表面に直接設けた表面保護層を形成するのに用いられる。
本発明の表面保護フィルムは、透明高分子フィルムの一方の面に表面保護層が設けられ、他方の面に粘着層が設けられた表面保護フィルムであり、表面保護層は本発明の表面保護層用組成物から形成されたものである。以下、本発明の表面保護フィルムの実施の形態について説明する。
或いは帯電防止層を設けた透明高分子フィルムの面に、粘着層を設けても良い。
離型性成分は、フォトレジストに対し高い離型性を与える成分であり、主として、JIS R3257:1999における水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂(以下、高接触角縮合反応型樹脂ともいう)からなる。またバインダー成分は、透明高分子フィルムに対する高い接着性を与える成分であり、主として、JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂(以下、低接触角縮合反応型樹脂ともいう)とからなる。
なお表面保護フィルムとしては、以上の実施の形態で説明したように、粘着層を有するものが一般的であるが、本発明の表面保護フィルムにおいて粘着層は必須ではなく、粘着層を有しないものも本発明に含まれる。
厚み6μmの透明高分子フィルム(ルミラー:東レ社)の一方の表面に下記組成の表面保護層用塗布液をバーコーティングにより塗布し、120℃で5分加熱硬化させ、厚み約1μmの表面保護層を形成した。更にもう一方の面に下記組成の粘着層用塗布液を塗布し、乾燥させることにより、厚み約2μmの粘着層を形成して、表面保護フィルムを作製した。粘着層には、取り扱い上のために厚み25μmのポリエチレンテレフタレート離型フィルム(MRB:三菱化学ポリエステルフィルム社)を貼り合わせた。
・縮合反応型シリコーン系樹脂 4部
(KS705F:信越化学工業、接触角108度:固形分30%)
・縮合反応型シリコーン系樹脂 60部
(有機シラン縮合物:メラミン樹脂:アルキド樹脂=10:3:7、接触角80度:固形分30%)
・スズ系硬化触媒 0.5部
・顔料 0.1部
(Nipsil
SS-15:東ソー・シリカ)
・メチルエチルケトン 20部
・トルエン 20部
・アクリル酸エステル共重合体 10部
(アコンタックSCL-200:固形分40%、東亜合成化学)
・トルエン 10部
・酢酸エチル 10部
実施例1の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを作製した。
・縮合反応型シリコーン系樹脂 12部
(KS705F:信越化学工業、接触角108度:固形分30%)
・縮合反応型シリコーン系樹脂 60部
(有機シラン縮合物:メラミン樹脂:アルキド樹脂=10:3:7、接触角80度:固形分30%)
・スズ系硬化触媒 0.5部
・顔料 0.1部
(Nipsil
SS-15:東ソー・シリカ)
・メチルエチルケトン 16部
・トルエン 16部
実施例1の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを作製した。
・縮合反応型シリコーン系樹脂 21部
(KS705F:信越化学工業、接触角108度:固形分30%)
・縮合反応型シリコーン系樹脂 60部
(有機シラン縮合物:メラミン樹脂:アルキド樹脂=10:3:7、接触角80度:固形分30%)
・スズ系硬化触媒 0.5部
・顔料 0.1部
(Nipsil
SS-15:東ソー・シリカ)
・メチルエチルケトン 12部
・トルエン 12部
実施例1の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを作製した。
・付加重合型シリコーン系樹脂 30部
(LTC750A:東レダウコーニングシリコーン、接触角100度以上:固形分30%)
・白金系硬化触媒 0.3部
・顔料 0.05部
(Nipsil
SS-15:東ソー・シリカ)
・トルエン 70部
実施例1の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを作製した。
・縮合反応型シリコーン系樹脂 30部
(KS705F:信越化学工業、接触角100度以上)
・スズ系硬化触媒 0.6部
・顔料 0.05部
(Nipsil
SS-15:東ソー・シリカ株式会社)
・トルエン 70部
実施例1〜3、および比較例1〜2の表面保護フィルムの表面保護層を有する面に、粘着テープ(ニチバンセロテープNo.405:ニチバン社)幅18mmを貼り付けて、引張試験機(TENSILON HTM-100:東洋ボールドウイン社)を用いて、剥離速度300mm/minにおける180°剥離力を測定した。測定結果が、50g/18mm未満のものを「◎」、50g/18mm〜200g/18mm未満のものを「○」、200g/18mm以上のものを「×」とした。
フォトレジスト(光感光性樹脂)としてエトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(A−BPE4:新中村化学)を使用し、これに光重合開始剤としてアセトフェノン系光ラジカル重合開始剤(イルガキュア184:チバスペシャリティーケミカルズ社)を3重量%加えたものをバーコーターでポリエステルフィルム上に塗布厚10μmとなるように塗布した試験片Aを作製した。この試験片Aの光感光性樹脂塗布面と、実施例1〜3、および比較例1〜2の表面保護フィルムの表面保護層を有する面を密着させ、表面保護層を有する面の背面からメタルハライドランプを用いて200mJ/cm2の紫外線露光を行った後、試験片Aを剥離した。同様の作業を100回行った後、表面保護フィルムの表面保護層を有する面に、粘着テープ(ニチバンセロテープNo.405:ニチバン社)18mm幅を貼り付けて、引張試験機(TENSILON HTM-100:東洋ボールドウイン社)を用いて、剥離速度300mm/minにおける180°剥離力を測定した。測定結果が、50g/18mm未満のものを「◎」、50g/18mm〜200g/18mm未満のものを「○」、200g/18mm以上のものを「×」とした。
実施例1〜3、および比較例1〜2の表面保護フィルムの表面保護層を有する面を、プロピレングリコールモノメチルエーテルを染み込ませたガーゼで、100g/cm2となる荷重をかけながら往復20回ラビングした後、表面保護層を有する面を観察した。表面保護層の変化が認められないものを「◎」、擦過痕は認められるが表面保護層の脱落が認められないものを「○」、表面保護層の脱落が若干認められるものを「△」、表面保護層の脱落が顕著に認められるものを「×」とした。
Claims (7)
- 透明高分子フィルムの一方の面に表面保護層が設けられた表面保護フィルムにおいて、
表面保護層が、離型性成分としてJIS R3257:1999における水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂を含み、バインダー成分としてJIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂を含むことを特徴とする表面保護フィルム。 - 前記水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂として、縮合反応型シリコーン系樹脂を含むことを特徴とする請求項1記載の表面保護フィルム。
- 前記水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂の割合は、前記バインダー成分100重量部に対して、1重量部〜40重量部であることを特徴とする請求項1記載の表面保護フィルム。
- 前記透明高分子フィルムの他方の面に、粘着層が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の表面保護フィルム。
- JIS R3257:1999における水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂と、JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂とを含むことを特徴とする表面保護膜用組成物。
- 前記縮合反応型樹脂が、JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を含むことを特徴とする請求項5に記載の表面保護膜用組成物。
- JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を前記縮合反応型樹脂の15重量%以上、70重量%以下含むことを特徴とする請求項6に記載の表面保護膜用組成物。
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