JP4824883B2 - 基板の研磨装置および基板の研磨・洗浄・乾燥方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップの製造の際、基板(ウエハ)の裏面研削加工後、研削傷を消滅するためにポリッシャで研削面を研磨加工し、このウエハの研磨加工面を洗浄し、ウエハを乾燥させる研磨装置、および該研磨装置を用いて基板を研磨・洗浄・乾燥する方法に関する。
ウエハとしては、ベアウエハ、基板の表面にデバイスパタ−ンが施されているデバイスウエハ等が対象とされる。
【0002】
【従来の技術】
ICカ−ド用のICチップは、シリコン基板の表面にデバイスパタ−ンが施されている厚みが500〜750μmのデバイスウエハのデバイスパタ−ン面をUV照射硬化性粘着樹脂保護テ−プで被覆し、この保護テ−プとは反対面のシリコン層を裏面研削し、研削面をスピン洗浄後、さらに裏面研削面をエッチング処理してデバイスウエハの厚みを250〜450μmまで減少させる(特開2000−269175号、同2000−340638号)。
ついでUV照射硬化した後、保護テ−プをデバイスウエハより引き剥がし、デバイスウエハのパタ−ン面とは逆の裏面にUV照射硬化性粘着樹脂保護テ−プを貼り、ついでダイサ−でデバイスウエハのパタ−ンの格子線上に沿って切り込み、切断を行って製造している(特開2000−68293号)。
【0003】
また、裏面研削後のエッチングに替えて研削面を研磨加工(ポリッシング)し、ウエハ表面に付着した加工屑や研磨剤砥粒を除去するためロ−ル状ブラシスクラブ洗浄することも提案されている(特開2000−225561号、同2000−254857号)。
【0004】
しかし、ウエハ径が300mm、450mmと拡径し、5層以上の高集積、回線回路が13nm以下デバイス、厚みが30〜150μmのウエハの研磨・洗浄・乾燥ウエハを搬送ロボットで搬送している際、ウエハが破損する機会が多いことが半導体製造メ−カ−より指摘されている。
また、ウエハ径が拡大するにつれ、洗浄、乾燥される面積も増大し、特に、乾燥を完全に行ない、次工程のカセット内への収納工程またはマウンタ工程へと搬送する際のウエハ破損を無くすことが要求されている。
【0005】
ウエハの拡径により乾燥する面積が増え、ウエハに乾燥されていない部分が残ると、後工程のマウンタ、研磨加工・洗浄面テ−プ貼付工程、デバイス保護テ−プ剥離工程、ダイシング工程と続く次工程において、特に加工・洗浄面テ−プ貼付工程においてテ−プの密着力が低下する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、径が300mm以上のウエハ(基板)や厚みが30〜150μmの薄肉のウエハにおいても搬送ロボットによるウエハ搬送時にウエハが破損しない搬送ロボット、ポリッシャを備えた研磨装置を提供することを目的とする。
【0007】
本発明は又、目視できない径の屑が付着している数が基準数値以内であり、スピン乾燥がスル−プット時間内の短時間で行なえるスピン洗浄・乾燥装置を備えた研磨装置を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1は、研磨装置(20)の基台(11)より立設された支柱(31)の上部に支持プレ−ト(32)を水平に設け、この支持プレ−ト(32)上に第1回転軸(33)を、この第1回転軸の上に、第1回転軸芯(33a)を中心として回動自在に設けた回転移動ア−ム(34)を配し、その回転移動ア−ム(34)の端部下方に第2回転軸(35)を設け、これを蛇腹(35b)で覆い、前記回転軸(35)の下方にギアボックス(36)を設け、一対のア−ム(38,38)を回動させる第3回転軸(37,37)を設け、前記ア−ム(38,38)下に段差を設けてア−ム(39,39)を第3回転軸(37,37)下部に前記第3回転軸心廻りに回動自在に取り付け、このア−ム(39,39)に備え付けた取付具(40,40)に把持具(42a,42b)を備えるア−ム(41,41)を固定した前記把持具(42a,42b)が最下位位置となり、前記支持プレート(32)が上方位置となるように逆吊りに設けられたダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)、
基板を吸着する真空チャック(52)を下方に、基板の径よりも径が小さい研磨プラテン(51)を真空チャック(52)の上方に基板の中心点を通る円弧状に往復揺動するように設けたポリッシャ機構(50)、
前記真空チャック(52)のチャッククリ−ナ(60)、
および
前記基台(11)上に立設した上下方向に昇降可能および水平方向に回転可能な円板状ポーラスセラミック板(85)、前記基台(11)上に立設した支柱(91)に固定したブラケット(93)に前後方向に直線移動して前記円板状ポーラスセラミック板(85)上の位置に移動可能であって、かつ、水平方向に回動可能なブラシ洗浄機構(94)、前記基台(11)上に立設した支柱(91)に固定したブラケット(93)にロ−タリ−テ−ブル(162)を保持させ、該ロ−タリ−テ−ブルの回転軸に保持させた水平回動ア−ム(95b)に気体供給ノズル(95c)を固定した気体供給機構(95)、および、気体供給ノズル(95c)の前記円板状ポーラスセラミック板(85)上の位置を検知し、気体供給ノズルが定位置に来たら前記ロ−タリ−テ−ブル(162)の回転軸の回動向きを逆方向に切り替える手段とを備えるスピン洗浄・乾燥装置(1)、
とを備える基板の研磨装置(20)を提供するものである。
【0009】
ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30を逆吊りに使用し、ポリッシャ機構50の真空チャック52面をスピン洗浄・乾燥装置1の真空チャック85面と同様、研磨装置30の基台11に近い下方位置としたことにより、および基板の径よりも径が小さい研磨プラテン51を真空チャック52の上方に基板の中心点を通る円弧状に往復揺動するように設け、研磨プラテン51を揺動させながら基板をポリッシングするので、研磨面が均一となり、搬送ロボットによる基板搬送時の基板の破損する確率が皆無に近いほど減少した。
【0011】
回転するブラシを用いてスピン回転しているウエハを面でスクラブ洗浄するので、目視できない径の屑も基板より擦り取られ、ウエハ表面に残存する屑の個数が基準数値より低くなった。
また、気体供給ノズルをウエハ上で揺動させながらスピン回転しているウエハ面に気体を吹き付けるのでウエハ径方向への気体の分散が均一化され、ウエハ表面の乾燥が均一に行なわれる。
【0012】
本発明の請求項2は、把持具(42a,42b)がダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の最下位位置となり、前記支持プレート(32)が上方位置となるように基台(11)上に逆吊り設けたダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42a)で研削加工された基板を把持し、
真空チャック(52)を下方に、基板の径よりも径が小さい研磨プラテン(51)を真空チャック(52)の上方に基板の中心点を通る円弧状に往復揺動するように設けたポリッシャ機構(50)の前記真空チャック(52)上方に前記把持された基板を搬送し、ついで、基板を真空チャック(52)上に載置し、前記真空チャック(52)を減圧して基板を固定し、この真空チャック(52)を回転させることにより基板を回転させ、
この回転している基板上に、回転している研磨プラテン(51)を下降し、研磨プラテン(51)を基板面上で円弧状に往復揺動させつつ基板表面上で摺動させて基板の研削加工面を研磨した後、
研磨加工した基板をダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42a)で把持し、この研磨加工された基板をスピン洗浄・乾燥装置(1)の円板状ポーラスセラミック板(85)上方に研磨加工された基板面が上向きとなるように搬送し、ついで、基板を前記円板状ポーラスセラミック板(85)上に載置し、円板状ポーラスセラミック板(85)を減圧して基板を固定し、円板状ポーラスセラミック板(85)を回転させることにより基板を回転させ、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を継続しながら洗浄液を研磨された基板の中心点に供給しつつ、加工面に回転ブラシ(94m)を下降させ、基板をブラシスクラブ洗浄した後、洗浄液の供給を停止するとともに回転ブラシを基板面より後退させ、ついで、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を継続しながら気体供給ノズル(95c)を基板の中心点と該中心点を通過する円弧状軌跡と基板外周端が交差する基板外周端間を円弧状に往復揺動させつつ該気体供給ノズル(95c)より基板面に気体を吹き付けて基板表面を乾燥させ、
次いで、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を止め、円板状ポーラスセラミック板(85)をシリンダ(81)で上昇させた後、スピン洗浄・乾燥装置(1)の円板状ポーラスセラミック板(85)上の研磨・洗浄・乾燥された基板をダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42b)で把持し、次工程に搬送することを特徴とする、基板の研磨・洗浄・乾燥方法を提供するものである。
【0013】
搬送ロボットによるウエハ搬送時のウエハの破損もなく、かつ、ウエハの乾燥が均一に行なわれ、目視できない屑の付着数が基準数値以内の洗浄がなされたウエハを提供するのに適した研磨・洗浄・乾燥方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図1は本発明の実施に用いる研磨装置の平面図、図2はスピン洗浄・乾燥装置の一部を切り欠いた正面図、図3はスピン洗浄・乾燥装置において、ブラシとロボット搬送装置のア−ムが真空チャック上の仮想位置に移動した状態を示す部分平面図、図4はスピン洗浄・乾燥装置において、原点位置にある気体供給ノズルが真空チャック上に載置されたウエハ上の仮想位置に回動した状態を示す部分平面図、図5は気体供給ノズルの取付位置を示す正面図、図6は気体供給ノズルの取付位置を示す側面図、図7はロ−タリ−テ−ブルの斜視図、図8はダブルア−ム型多関節型搬送ロボットの側面図である。図9はポリッシャ機構50の正面図、図10は公知の裏面研削装置の斜視図である。
【0015】
【実施例】
本発明の実施例として、裏面研削装置の横にインライン化して並置される本発明の研磨磨装置を例として説明する。
【0016】
先に、裏面研削装置101について簡単に説明する。
図10に示す裏面研削装置101において、裏面研削装置101は左右にカセット117を対として前列に配置し、基台の上に左側のカセットの後部にウエハ仮置台106を、右側のカセットの後部にウエハ洗浄機構113を対として次列に配置し、ウエハ仮置台106と洗浄装置113後部の基台の中央部を刳り抜いた箇所にインデックスタ−ンテ−ブル108を設け、かつ、このインデックスタ−ンテ−ブルに該テ−ブルの軸心を中心に3基のウエハチャック機構107,107,107を等間隔に回転転自在に設けるとともにウエハロ−ディング/ウエハアンロ−ディングゾ−ンs1、粗研削ゾ−ンs2および仕上研削ゾ−ンs3にテ−ブルを区分けし、インデックスタ−ンテ−ブル108の後列には基台より起立させた枠体111に各研削ゾ−ンに適した砥石111dをスピンドル軸111cに軸承させた研削機構を各研削ゾ−ンに位置するウエハチャック機構に対応して設けている。
【0017】
前記1対のカセットの列と前記ウエハの仮置台と洗浄装置の列間の基台の略中央に昇降機構103、回転駆動機構、ウエハアライメント測定機構と各ア−ム115a,115b,115c駆動の制御機構を備えた多関節型搬送ロボット115を立設し、前記仮置台上のデバイスウエハをインデックスタ−ンテ−ブルのウエハロ−ディング/ウエハアンロ−ディングゾ−ンs1のチャック機構に移送可能としている。
インデックスタ−ンテ−ブルを設けた基台の略中央部の左右に設けた1対の軸に回転可能に取り付けられた柄112に設けられたデバイスウエハ径の2/3〜4/3倍の径を有する吸着パッド112a、112aは、それぞれ仮置台のデバイスウエハをウエハロ−ディング/ウエハアンロ−ディングゾ−ンのチャック機構上に、また、ウエハロ−ディング/ウエハアンロ−ディングゾ−ンのチャック機構上の裏面研削されたデバイスウエハを洗浄装置の真空チャック上に搬送する。
【0018】
インデックスタ−ンテ−ブルの各チャック機構は、基台より立設した枠体110に設けたネジ棒上を左右方向に移動可能な駆体に取り付けられたチャック洗浄機構109bとセラミック製チャッククリ−ナ109aにより洗浄される。
【0019】
この裏面研削装置101の横に図1で示す研磨装置20が並置される。
図2に示す本発明の平面図おいて、113は、前記研削装置の洗浄機構装置3(特開平11−330036号)を示すものである。
本発明の研磨装置20は、スピン洗浄・乾燥装置1、ウエハ収納カセット10,10、裏面研削装置101と研磨装置20との仕切壁21、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30、下面に研磨布を貼った研磨プラテン51とこの研磨プラテン下方に設けた基板チャック機構52、研磨プラテン51を回転軸53廻りに回動させてドレッサ70上に移動させる回動機構54(サ−ボモ−タ54aと減速機54b)、前記基板チャック機構を洗浄するチャック洗浄機器60、前記研磨プラテン51をドレッシングするドレッサ70を備える。
【0020】
前記ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30は、図1および図8に示すように、研磨装置の基台11より立設された支柱31の上部に支持プレ−ト32を水平に設け、この支持プレ−ト32上に第1回転軸33を、この第1回転軸の上に、第1回転軸芯33aを中心として回動自在に設けた回転移動ア−ム34を配し、その回転移動ア−ム34の端部下方に第2回転軸35を設け、これを蛇腹35bで覆い、前記回転軸の下方にギアボックス36を設け、一対のア−ム38,38を回動させる第3回転軸37,37を設ける。このア−ム38,38下にア−ム39,39間に段差を設けてア−ム39,39を第3回転軸37,37下部に前記第3回転軸心廻りに回動自在に取り付け、このア−ム39,39に備え付けた取付具40,40に把持具42a,42bを備えるア−ム41,41を固定する。なお、図1において、実線で左端に示されるダブルア−ム型多関節搬送ロボット30は、研磨装置20における原点復帰位置を示し、裏面研削装置の洗浄装置113からウエハを受け取りに行く位置に存る。
【0021】
また、図1において、仮想線で中央に示されるダブルア−ム搬送ロボット30は、基板チャック機構(真空チャック)52上に基板(裏面研削ウエハ)を載せる際、もしくは基板チャック機構52上の基板(ウエハ)を把持・搬送し、スピン洗浄・乾燥装置1上へウエハを搬送する際、あるいは収納カセット10内にウエハを収納する際の待機位置を示す。ダブルア−ム多関節搬送ロボットの把持具42bは研磨されたウエハを搬送するのに、ダブルア−ム多関節搬送ロボットの把持具42aは洗浄・スピン乾燥されたウエハをスピン洗浄・乾燥装置の円盤状ポーラスセラミック板85上から搬送するのに専ら使用するとカセット10内に収納される研磨された基板に汚れが付着しない。
【0022】
下面に研磨布51aを貼った研磨プラテン51の径に対し、研磨プラテンの下方位置に設けられた基板チャック機構52のセラミックチャック52aの径は1/2から2/3の大きさである。裏面研削されたデバイスウエハwは、保護フィルムが貼付されたデバイス面を下面に加工されたシリコンウエハ面を上向きにして基板チャック機構52に減圧固定される。裏面研削されたシリコンウエハ面の研削傷を消滅させるために水平方向に回転しているシリコンウエハ面に研磨液を供給しながら回転している研磨プラテン51をシリンダ58で下降させ、研磨プラテン51をモ−タ57の駆動力で駆動させて(図9参照)シリコンウエハ面上で摺動し、ウエハの研磨を行なう。
【0023】
この際、回転軸53を回動させることにより研磨プラテン51をウエハの中心点oを通りウエハの外周点pを通る円弧状幅、往復揺動させながら研磨を行ない、より均一な研磨面が得られるように加工する。なお、図1中で示す符号55は研磨液が基板チャック52外側に散乱することを防ぐ外套(フ−ド)である。
【0024】
前記基板チャック機構52のセラミック製チャック52aを洗浄するチャッククリ−ナ60は、図示されていないモ−タにより回転される軸に取り付けられたセラミック製ブラシ62を備えており、サ−ボモ−タ63によりセラミック製チャックの中心点方向に直線状に前後往復移動できるように基台より立設された支柱61により支持されている。
チャック機構52のセラミック製チャック52aのチャック洗浄は、基板が真空チャック52より外された後に行なわれる。
【0025】
ウエハの研磨が終了すると研磨プラテン51がシリンダ58の駆動により上昇し、基板チャック機構52の減圧が停止された後、図1で仮想線で示す中央で待機していたダブルア−ム搬送ロボット30のア−ムが回動、直線移動、上下移動等の動きをし、ダブルア−ム型多関節搬送ロボットの把持具42aにより研磨されたウエハの外端を把持し、再び上下移動、直線移動、回動等の動きをなし、研磨加工されたウエハwをスピン洗浄・乾燥装置1上へと搬送する。
【0026】
前記研磨プラテン51をドレッシングするドレッサ70は、研磨プラテン面に下側からドレッサ砥石72を摺動させ、研磨布の目立てを修復するとともに、ノズル73より高圧ジェット水を吹き付けて研磨プラテンに付着している研磨屑や研磨砥粒を洗い落すものである。
回転軸53の回動により図1の仮想線で示す研磨プラテン51がドレッサ70上に回動され、排水管に連通している外筒71内に設置した円盤状ドレッサ砥石72を摺動させるとともに高圧ジェット水噴出ノズル73より研磨プラテン51の研磨布に高圧ジェット水を吹き付けて洗浄を行なう。74は気体供給ノズルである。
【0027】
ドレッサ70上の研磨プラテン51の位置は、基板チャック機構52上にダブルア−ム型多関節搬送ロボット30が基板を載せる際の研磨プラテン待機位置である。
【0028】
次に、スピン洗浄・乾燥装置1の構造について説明する。
スピン洗浄・乾燥装置1は主として基板搭載機構80と基板洗浄・乾燥機構90を備える。
図1および図2に示すように、基板搭載機構80は、基台11の空所にエアシリンダ81を設け、このエアシリンダロッド81aの先端にL字型繋ぎ材81bを固定し、該L字型繋ぎ材の上面にモ−タ83を下面に固定する支持プレ−ト81cを固定する。
支持プレ−ト81cの中央は刳り貫かれていて中空スピンドル82が鉛直方向に設けられている。中空スピンドル82下部外周に取り付けられた滑車83dは、前記モ−タ83の回転力を回転軸83a外周に取り付けられた滑車83b、プ−リ83cから受けて水平方向に回転する。
【0029】
中空スピンドル82下端面には、中空スピンドル軸82の中空部に設けられた管82aに空気を導入、または排出する口84aを有するロ−タリ−ジョイント84が接続され、図示されていないコンプレッサおよび真空ポンプに分岐管を以って口84aに接続されており、その間に切替バルブ(図示されていない)が設けられる。
【0030】
中空スピンドル82上端面には、内周に段部を有し、底部に複数の円環状棚85cを有する円盤状支持部材85aに載せた円盤状ポ−ラスセラミック板85が軸承され、この円盤状ポ−ラスセラミック板85上に基板wが載せられる。支持部材85aとポ−ラススセラミック板85間には室85dが設けられている。前記複数の円環状棚85cは各々連絡孔または溝を有しており、これら円環状棚85cと円盤状ポ−ラスセラミック板85下面とで形成される複数の室85は気体がお互いの室を流通する構造となっている。
【0031】
室85dを真空ポンプにより減圧することにより基板wは円盤状ポ−ラスセラミック板85に固定(チャック)される。室85dにコンプレッサにより供給される加圧空気を導くことにより基板wの円盤状ポ−ラスセラミック板85上からの剥離を容易とする。
【0032】
位置決め機構の受皿86は中央が刳り貫かれ、前記中空スピンドル82が貫通している。受皿86の起立外周86aには、内側に円弧状に傾斜86bした突起部86cが複数設けられ、この突起部86cの傾斜面を基板が滑ってセンタリング(芯出し)を可能としている。円盤状ポ−ラスセラミック板85を昇降エアシリンダ81により受皿86の縁起立部86cよりも高い位置に上昇させることによりダブルア−ム型多関節搬送ロボット30の把持具42bによる基板の把持を容易とする。
【0033】
前記受皿86、中空スピンドル82は、基台11上に設けた支持部材88に固定された外筒87により保護される。この外筒87の外側には洗浄液供給ノズル89が固定される。そのノズル先端角度は、円盤状ポ−ラスセラミック板85上の基板の中心に洗浄液が届くように角度調整される。
【0034】
基板洗浄・乾燥機構90は、前記洗浄液供給機構89とブラシスクラブ洗浄機構94と気体供給機構95とからなる。
基台11上に中空支柱91を立設し、この中空支柱上にブラケット93を介して内側に複数のレ−ル92a,92aを備える取付ケ−ス92を固定する。
取付ケ−ス92の前側にはブラシスクラブ洗浄機構94を備えさせ、取付ケ−ス92の下面には気体供給機構95を設ける。
【0035】
ブラシスクラブブ洗浄機構94は、前記レ−ル92a,92a上を横水平方向に移動する可動体94a、この可動体94aを直線状に横方向に往復移動させる駆動力を与えるサ−ボモ−タ94b、取付ケ−ス92上に設けられたタイミングベルト94c,94c、可動体94a前面に固定して設けられた昇降シリンダ94d、昇降シリンダ94dに取付けられたレ−ル94e上を垂直方向に移動する可動体94f、可動体94fに取付部材94gを介してブラシハウジング94hを固定する。
【0036】
ブラシハウジング94h内にはスピンドル94iが収納され、サ−ボモ−タ94jにより回転駆動される。スピンドル94i先端にはブラシ固定プレ−ト94kが固定され、該固定プレ−ト下面に一対のブラシ94m,94mがスピンドル94i軸芯に対して対称位置に設けられる。
スピンドル94i下部外周に設けた軸受94nのフランジ94p下部には、前記一対のブラシ94m,94mを保護する透明樹脂フ−ド94lが吊り下げられる。
【0037】
取付ケ−ス92下部には、ブラケット93を介して気体供給機構95を設ける。気体供給機構95は主として気体供給ノズル95aこれに連通する気体供給管95b、気体供給ノズル取付ア−ム95c、この気体供給ノズル取付ア−ム95cを回動させるロ−タリ−テ−ブル162、搭載ステ−ジの真空チャックに吸着された基板wに対する気体供給ノズル95aの位置を検知する検知手段のリミットスイッチL1,L2,L3、これらリミットスイッチのon−off信号を受けてロ−タリ−テ−ブル162の回転軸の回動向きを逆方向に切り替える手段162c,162dを有する。
【0038】
気体供給ノズル95aに連通する気体供給管95bは、図5で示すようにロ−タリ−テ−ブル162の揺動テ−ブル162eの中央部を経由して支柱91内に収納され、その先をポンプ(図示されていない)に連結されている。気体供給ノズル95aはア−ム95cに固定され、このア−ムの一方端はロ−タリ−テ−ブル162の揺動テ−ブル162e下面にボルトで固定される。
ロ−タリ−テ−ブル162は、図7に示すように右角度調整ボルト162a、左角度調整ボルト162b、揺動テ−ブル162eを備え、上下逆にしてブラケット93に固定される。
【0039】
リミットスイッチL1,L2,L3のそれぞれのon信号は、図4で示すようにL1が基板wの右端外周位置または左端外周位置にノズル位置が存在することを、L2が基板wの中心点位置にノズル位置が存在することを、L3がノズルを実線で示す原点位置に存在することを報せる。
これら信号を受けて空気供給口162cへの空気供給、空気排気口162dからの空気排気の切り換え時期と空気量を変え、揺動テ−ブル162eを回動させる。
【0040】
リミットスイッチL1,L2間のon−off切替は、気体供給ノズル95aが基板中心点と基板の右端外周位置または左端外周位置間を円弧状に揺動する。L3は、図示されていない基板厚み測定機器で所望の厚みと検出された場合、または加工プログラムに設定された洗浄時間に達したときに洗浄・乾燥装置の制御装置より原点にノズルを戻す指令がロ−タリ−テ−ブル162に出力され、ノズルが原点位置に復帰したときにL3がonとなり、基板のスピン洗浄・乾燥が終了する。
【0041】
基板wの洗浄は、円盤状ポ−ラスセラミック板85上に研磨加工された基板(ウエハ)を加工面が上向きとなるように載置し、円盤状ポ−ラスセラミック板85の回転を継続しながらノズル89より洗浄液を基板の中心点に供給しつつ、基板の加工面に回転するブラシ94m,94mを下降し、基板面で摺動するスクラブ洗浄をなした後、ブラシを上昇させ、ついでブラシを左方向に後退させ、しばらく洗浄液を流したのち、洗浄液の供給を止め、次で、取付ア−ム95cをロ−タリ−テ−ブル162で回動して気体供給ノズルを基板上に移動させる。
【0042】
ついで、円盤状ポ−ラスセラミック板85の回転を継続しながら気体供給ノズル95cを基板の中心点と基板外周端が交差する基板外周端間を円弧状に往復揺動させつつ該気体供給ノズルより基板面に気体を吹き付けて基板表面を乾燥させる。または中心点を通過する円弧状軌跡と基板外周端が交差する右左両基板外周端間を往復揺動させつつ該気体供給ノズルより基板面に気体を吹き付けて基板表面を乾燥させる。
【0043】
気体供給ノズル95cの円弧状往復揺動速度は30〜200m/分、円盤状ポ−ラスセラミック板85の回転数は50〜6,000rpmで基板の乾燥を行なうのが好ましい。
【0044】
基板のスピン乾燥を終えた後、気体供給ノズル95aの取付ア−ム95bを回動して気体供給ノズル95aを原点位置に戻し、シリンダ81により円盤状ポ−ラスセラミック板85を上昇させ、ついでダブルア−ム型多関節搬送ロボット30の把持具42bにより円盤状ポ−ラスセラミック板85上の基板を把持し、室85dへの減圧を止め、圧空を室85dへ瞬時供給して基板の離れを容易となしたのち、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30で基板をカセット10内に搬送する。ついで、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30の回転移動ア−ム34を回動させ、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30を図1において実線で示す左端の待機位置に移動させ、裏面研削装置内の洗浄装置113上の基板を搬入する準備にはいる。
【0045】
上記実施例では、裏面研削された基板の研削傷を無くす手段として研磨プラテンを用いる研磨加工を以って説明したが、研磨プラテンに代えて炭酸バリウム粒子を含有する2,400〜4,000番の固定砥石(裏面研削盤には600〜800番の第一研削砥石と1,200〜1,800番の第二研削砥石を使用)を用い、ドライポリッシングして研削傷を無くすようにしてもよい。
【0046】
【発明の効果】
本発明の研磨装置20は、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30を上下逆の逆さ吊りとし、基板把持具42a,42bを最下位置に持ってきたので、ポリッシャ機構50の真空チャック52およびスピン洗浄・乾燥装置1の円盤状ポ−ラスセラミック板85を基台11近くに設置でき、研磨、洗浄作業が容易となり、かつ、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30のア−ム、ギヤボックス等も基台11上に存在するので、ダブルア−ム型多関節搬送ロボット30の点検、補修作業が容易である。
【0047】
また、スピン洗浄・乾燥装置1は、回転するブラシ94mを用いてスピン回転しているウエハを面でスクラブ洗浄するので、目視できない径の屑も基板より擦り取られ、ウエハ表面に残存する屑の個数が基準数値より低くなった。
また、気体供給ノズル95aをウエハ上で円弧状軌跡で往復揺動させながらスピン回転しているウエハ面に気体を吹き付けるのでウエハ径方向への気体の分散が均一化され、ウエハ表面の乾燥が均一に行なわれる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の研磨装置の平面図である。
【図2】スピン洗浄・乾燥装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図3】スピン洗浄・乾燥装置において、ブラシとロボット搬送装置のア−ムが真空チャック上の仮想位置に移動した状態を示す部分平面図である。
【図4】スピン洗浄・乾燥装置において、原点位置にある気体供給ノズルが真空チャック上に載置されたウエハ上の仮想位置に回動した状態を示す部分平面図である。
【図5】気体供給ノズルの取付位置を示す正面図である。
【図6】気体供給ノズルの取付位置を示す側面図である。
【図7】ロ−タリ−テ−ブルの斜視図である。
【図8】ダブルア−ム型多関節搬送ロボットの側面図である。
【図9】ポリッシャ機構の正面図である。
【図10】裏面研削装置の斜視図である。(公知)
【符号の説明】
1 スピン洗浄・乾燥装置
101 裏面研削装置
113 裏面研削装置の洗浄装置
20 研磨装置
30 ダブルア−ム型多関節搬送ロボット
50 ポリッシャ機構
51 研磨プラテン
52 真空チャック
60 チャッククリ−ナ
70 ドレッサ
w デバイスウエハ
80 基板搭載ステ−ジ
81 昇降エヤシリンダ
83 サ−ボモ−タ
85 円盤状ポ−ラスセラミック板
86 受皿
89 洗浄液供給ノズル
90 洗浄・乾燥機構
94 ブラシスクラブ洗浄機構
94m ブラシ
95 気体供給機構
95a 気体供給ノズル
162 ロ−タリ−テ−ブル
Claims (2)
- 研磨装置(20)の基台(11)より立設された支柱(31)の上部に支持プレ−ト(32)を水平に設け、この支持プレ−ト(32)上に第1回転軸(33)を、この第1回転軸の上に、第1回転軸芯(33a)を中心として回動自在に設けた回転移動ア−ム(34)を配し、その回転移動ア−ム(34)の端部下方に第2回転軸(35)を設け、これを蛇腹(35b)で覆い、前記回転軸(35)の下方にギアボックス(36)を設け、一対のア−ム(38,38)を回動させる第3回転軸(37,37)を設け、前記ア−ム(38,38)下に段差を設けてア−ム(39,39)を第3回転軸(37,37)下部に前記第3回転軸心廻りに回動自在に取り付け、このア−ム(39,39)に備え付けた取付具(40,40)に把持具(42a,42b)を備えるア−ム(41,41)を固定した前記把持具(42a,42b)が最下位位置となり、前記支持プレート(32)が上方位置となるように逆吊りに設けられたダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)、
基板を吸着する真空チャック(52)を下方に、基板の径よりも径が小さい研磨プラテン(51)を真空チャック(52)の上方に基板の中心点を通る円弧状に往復揺動するように設けたポリッシャ機構(50)、
前記真空チャック(52)のチャッククリ−ナ(60)、
および
前記基台(11)上に立設した上下方向に昇降可能および水平方向に回転可能な円板状ポーラスセラミック板(85)、前記基台(11)上に立設した支柱(91)に固定したブラケット(93)に前後方向に直線移動して前記円板状ポーラスセラミック板(85)上の位置に移動可能であって、かつ、水平方向に回動可能なブラシ洗浄機構(94)、前記基台(11)上に立設した支柱(91)に固定したブラケット(93)にロ−タリ−テ−ブル(162)を保持させ、該ロ−タリ−テ−ブルの回転軸に保持させた水平回動ア−ム(95b)に気体供給ノズル(95c)を固定した気体供給機構(95)、および、気体供給ノズル(95c)の前記円板状ポーラスセラミック板(85)上の位置を検知し、気体供給ノズルが定位置に来たら前記ロ−タリ−テ−ブル(162)の回転軸の回動向きを逆方向に切り替える手段とを備えるスピン洗浄・乾燥装置(1)、
とを備える基板の研磨装置(20)。 - 把持具(42a,42b)がダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の最下位位置となり、前記支持プレート(32)が上方位置となるように基台(11)上に逆吊り設けたダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42a)で研削加工された基板を把持し、
真空チャック(52)を下方に、基板の径よりも径が小さい研磨プラテン(51)を真空チャック(52)の上方に基板の中心点を通る円弧状に往復揺動するように設けたポリッシャ機構(50)の前記真空チャック(52)上方に前記把持された基板を搬送し、ついで、基板を真空チャック(52)上に載置し、前記真空チャック(52)を減圧して基板を固定し、この真空チャック(52)を回転させることにより基板を回転させ、
この回転している基板上に、回転している研磨プラテン(51)を下降し、研磨プラテン(51)を基板面上で円弧状に往復揺動させつつ基板表面上で摺動させて基板の研削加工面を研磨した後、
研磨加工した基板をダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42a)で把持し、この研磨加工された基板をスピン洗浄・乾燥装置(1)の円板状ポーラスセラミック板(85)上方に研磨加工された基板面が上向きとなるように搬送し、ついで、基板を前記円板状ポーラスセラミック板(85)上に載置し、円板状ポーラスセラミック板(85)を減圧して基板を固定し、円板状ポーラスセラミック板(85)を回転させることにより基板を回転させ、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を継続しながら洗浄液を研磨された基板の中心点に供給しつつ、加工面に回転ブラシ(94m)を下降させ、基板をブラシスクラブ洗浄した後、洗浄液の供給を停止するとともに回転ブラシを基板面より後退させ、ついで、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を継続しながら気体供給ノズル(95c)を基板の中心点と該中心点を通過する円弧状軌跡と基板外周端が交差する基板外周端間を円弧状に往復揺動させつつ該気体供給ノズル(95c)より基板面に気体を吹き付けて基板表面を乾燥させ、
次いで、円板状ポーラスセラミック板(85)の回転を止め、円板状ポーラスセラミック板(85)をシリンダ(81)で上昇させた後、スピン洗浄・乾燥装置(1)の円板状ポーラスセラミック板(85)上の研磨・洗浄・乾燥された基板をダブルア−ム型多関節搬送ロボット(30)の把持具(42b)で把持し、次工程に搬送することを特徴とする、基板の研磨・洗浄・乾燥方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001290371A JP4824883B2 (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 基板の研磨装置および基板の研磨・洗浄・乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001290371A JP4824883B2 (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 基板の研磨装置および基板の研磨・洗浄・乾燥方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003100684A JP2003100684A (ja) | 2003-04-04 |
JP2003100684A5 JP2003100684A5 (ja) | 2008-10-09 |
JP4824883B2 true JP4824883B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=19112685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001290371A Expired - Fee Related JP4824883B2 (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 基板の研磨装置および基板の研磨・洗浄・乾燥方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4824883B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180136094A1 (en) * | 2014-11-12 | 2018-05-17 | Illinois Tool Works Inc. | Planar grinder |
KR101899435B1 (ko) * | 2015-04-15 | 2018-09-17 | 주식회사 케이씨텍 | 웨이퍼 처리 장치 |
CN111822454B (zh) * | 2020-07-17 | 2023-06-16 | 安徽佳福莱食品有限公司 | 一种封闭管道用的高压清洗干燥一体装置 |
CN111739828B (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-01 | 山东元旭光电股份有限公司 | 一种晶圆自动刷片机 |
CN111681978B (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-01 | 山东元旭光电股份有限公司 | 一种晶圆清洗装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3338544B2 (ja) * | 1994-02-17 | 2002-10-28 | 東京応化工業株式会社 | 乾燥方法及び乾燥装置 |
JPH1064875A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-03-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式基板乾燥装置および基板乾燥方法 |
JPH10329011A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-12-15 | Canon Inc | 精密研磨装置及び方法 |
JP2000077499A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000216124A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研削装置およびウエハの研削方法 |
JP2001351884A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-21 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 基板の化学機械研磨装置 |
JP4773650B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-09-14 | 株式会社岡本工作機械製作所 | ウエハのスピン洗浄・乾燥方法および洗浄・乾燥装置 |
-
2001
- 2001-09-25 JP JP2001290371A patent/JP4824883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003100684A (ja) | 2003-04-04 |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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