JP4823895B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
Oxidation of Silicon)法により形成する。次に、素子分離絶縁膜2により区画された素子活性領域内に、ゲート絶縁膜3、ゲート電極4、シリサイド層5、サイドウォール6、並びに低濃度拡散層21及び高濃度拡散層22からなるソース・ドレイン拡散層を備えたトランジスタ(MOSFET)を形成する。ゲート絶縁膜3としては、例えば、熱酸化により、厚さが100nm程度のSiO2膜を形成する。次いで、全面に、シリコン酸窒化膜7を、MOSFETを覆うようにして形成し、更に全面にシリコン酸化膜8aを形成する。シリコン酸窒化膜7は、シリコン酸化膜8aを形成する際のゲート絶縁膜3等の水素劣化を防止するために形成されている。シリコン酸化膜8としては、例えば、CVD法により、厚さが700nm程度のTEOS(tetraethylorthosilicate)膜を形成する。
第1の試験では、平面形状が、一辺の長さが50μmである正方形の強誘電体キャパシタを形成し、その中の強誘電体膜の配向の面内分布及び結晶性、並びに電気的特性(非線形容量、静電容量、スイッチング電荷量Qsw、抗電圧Vc並びにリーク電流等)を調査した。強誘電体膜としては、(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti)O3膜にLa及びNbを添加したものを形成した。各試料の強誘電体膜中のLa及びNbの含有量(mol%)並びに強誘電体膜の厚さ(nm)を表1に示す。
第2の試験では、平面形状が、一辺の長さが50μmである正方形の強誘電体キャパシタ(ディスクリート)を形成し、その電気的特性を調査し、平面形状が、長辺の長さが1.80μm、短辺の長さが1.15μmである長方形の強誘電体キャパシタを1428個備えたメモリセルアレイを形成し、その電気的特性も調査した。この調査は、配線を形成した後に行った。強誘電体膜としては、(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti)O3膜にLa及びNbを添加したものを形成した。各試料の強誘電体膜中のLa及びNbの含有量(mol%)並びに強誘電体膜の厚さ(nm)を表2に示す。
Claims (9)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上方に形成され、下部電極、強誘電体膜、及び上部電極を備えた強誘電体キャパシタと、
を有し、
前記強誘電体膜は、化学式がABO 3 で表される物質のAサイトにLaが添加され、BサイトにNbが添加されて構成されており、
前記強誘電体膜を構成する物質の化学式は、
Pb(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti,Ta)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti,Ta)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti,Ta)O3、
SrBi2Ta2O9、
Bi4Ti3O9、及び
BaBi2Ta2O9からなる群から選択された1種で表され、
前記上部電極は、
第1の酸化物膜と、
前記第1の酸化物膜上に形成され、前記第1の酸化物膜よりも酸素含有率が高い第2の酸化物膜と、
を有し、
前記第1の酸化物膜はIrO 1.4 膜であり、
前記第2の酸化物膜はIrO 2 膜であることを特徴とする半導体装置。 - 前記強誘電体膜中のLaの含有量は、0.1mol%乃至5mol%であること特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜中のNbの含有量は、0.1mol%乃至5mol%であること特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜中のLaの含有量は、0.1mol%乃至5mol%であり、Nbの含有量は、0.1mol%乃至5mol%であること特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜を構成する物質は、Aサイト元素として、Pb、Sr、Ca、Bi、Ba、Li及びYからなる群から選択された少なくとも1種の元素を含有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜を構成する物質は、Bサイト元素として、Ti、Zr、Hf、V、Ta、W、Mn、Al、Bi及びSrからなる群から選択された少なくとも1種の元素を含有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体キャパシタは、Pt、Ir、Ru、Rh、Re、Os及びPdからなる群から選択された少なくとも1種の元素の酸化物を含有する上部電極を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体キャパシタを複数個備えたメモリセルアレイを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体基板の上方に、下部電極、強誘電体膜、及び上部電極を順に備えた強誘電体キャパシタを形成する工程を有し、
前記強誘電体膜として、化学式がABO 3 で表される物質のAサイトにLaが添加され、BサイトにNbが添加されて構成される膜を形成し、
前記強誘電体膜を構成する物質の化学式は、
Pb(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti,Ta)O3、
(Pb,Ca)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Sr)(Zr,Ti,Ta)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti,W)O3、
(Pb,Ca,Sr)(Zr,Ti,Ta)O3、
SrBi2Ta2O9、
Bi4Ti3O9、及び
BaBi2Ta2O9からなる群から選択された1種で表され、
前記上部電極を形成する工程は、
第1の酸化物膜を形成する工程と、
次に、熱処理を行う工程と、
次に、前記第1の酸化物膜上に、前記第1の酸化物膜よりも酸素含有率が高い第2の酸化物膜を形成する工程と、
を有し、
前記第1の酸化物膜はIrO 1.4 膜であり、
前記第2の酸化物膜はIrO 2 膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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