JP4802016B2 - 基板の受け渡し装置 - Google Patents
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Description
上記処理装置から搬出された上記基板を保持位置で受け取る受け部であって、上記基板の搬送方向に沿って複数の取り付け部が櫛歯状に設けられた架台を有し、上記各取り付け部の上面には回転可能に支持されたローラ軸を有し、このローラ軸に設けた受けローラによって、上記処理装置から搬出された上記基板を上記所定の角度で傾斜した状態で受ける受け部と、
この受け部に対して進退する方向に往復動可能であって、上記保持位置と受け渡し位置との間を移動可能に設けられた可動体と、
上記取り付け部と対応する間隔で櫛歯状に設けられた複数のアームを有し、上記可動体に回動可能に設けられたアーム体を具備し、
上記アーム体を上記受け部に保持された上記基板と同じ角度で傾斜させた状態でその基板の下方に入り込ませてから、上記アーム体を水平に起上させて上記基板を上記受け部から受け、この状態で上記可動体を上記受け渡し位置まで移動させてなることを特徴とする基板の受け渡し装置にある。
Claims (2)
- 搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送されながら処理装置によって処理された基板を水平な状態に変換して受け渡す基板の受け渡し装置において、
上記処理装置から搬出された上記基板を保持位置で受け取る受け部であって、上記基板の搬送方向に沿って複数の取り付け部が櫛歯状に設けられた架台を有し、上記各取り付け部の上面には回転可能に支持されたローラ軸を有し、このローラ軸に設けた受けローラによって、上記処理装置から搬出された上記基板を上記所定の角度で傾斜した状態で受ける受け部と、
この受け部に対して進退する方向に往復動可能であって、上記保持位置と受け渡し位置との間を移動可能に設けられた可動体と、
上記取り付け部と対応する間隔で櫛歯状に設けられた複数のアームを有し、上記可動体に回動可能に設けられたアーム体を具備し、
上記アーム体を上記受け部に保持された上記基板と同じ角度で傾斜させた状態でその基板の下方に入り込ませてから、上記アーム体を水平に起上させて上記基板を上記受け部から受け、この状態で上記可動体を上記受け渡し位置まで移動させてなることを特徴とする基板の受け渡し装置。 - 上記基板が上記受け部に向かって搬送されてくる方向と、上記アーム体が上記受け部に対して進退駆動される方向は直交していることを特徴とする請求項1記載の基板の受け渡し装置。
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