JP6407629B2 - 搬送装置および基板処理装置 - Google Patents
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Description
また、第3の態様は、第1または第2の態様に係る搬送装置であって、前記間隔変更部材は、水平方向に移動することによって、前記2つの先端側起立部間の隙間間隔を変更する。
図1は、実施形態に係る基板処理装置1を示す概略平面図である。基板処理装置1は、液晶表示装置の画面パネルを製造するための角形ガラス基板(以下、単に「基板」と称する。)90を各処理部で処理する。なお、図1に示す基板処理装置1の各処理部の配置は一例であり、各処理部の配置はこのようなものに限定されない。
次に、搬送装置30a〜30hの構成について説明する。なお、搬送装置30a〜30hは、搬送装置30aとほぼ同様の構成を備えているため、ここでは主に搬送装置30aについて説明する。
次に、搬送装置の変形例について説明する。なお、以降の説明において、既に説明した要素と同様の機能を有する要素については、同一の符号またはアルファベットを追加した符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。
11 洗浄部(基板処理部)
12 デハイドベーク部(基板処理部)
30a〜30h,30p 搬送装置
31a 上アーム部
31b 下アーム部
311 第一アーム部
312 第二アーム部
313,313A ハンド部(基板保持部)
314 支持部
315 基部
316 支持ピン
32 昇降機構
32a アーム部
33 回転機構
34 ハウジング部
342 扉部
35 エア供給部
351 配管部
41 先端側起立部
43 基端側起立部
45 間隔変更部
90 基板
LP リフトピン
OP 開口
Claims (4)
- 基板を搬送する搬送装置であって、
水平方向に延びており、基板を下方から支持する複数の支持部と、前記複数の支持部の基端部が接続される基部とを有する基板保持部と、
前記基板保持部を、鉛直方向に昇降させる昇降機構と、
前記基板保持部を、前記鉛直方向に沿う回転軸周りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部を前記水平方向に移動させる水平移動機構と、
前記支持部における、前記基板の支持位置よりも前記水平方向の先端側の位置に設けられ、かつ、前記支持部のそれぞれにおける前記基板の支持位置よりも上方に延びるように起立する先端側起立部と、
隣り合う2つの前記支持部のそれぞれに設けられた2つの前記先端側起立部の間を移動することによって、前記2つの先端側起立部間の隙間間隔を変更する間隔変更部材と、
を備える、搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
前記支持部における、前記基板の支持位置よりも基端側の位置に設けられて、前記支持部における前記基板の支持位置よりも上方に起立し、かつ、前記複数の支持部が並ぶ方向に延びる基端側起立部、
をさらに備える、搬送装置。 - 請求項1または2に記載の搬送装置であって、
前記間隔変更部材は、水平方向に移動することによって、前記2つの先端側起立部間の隙間間隔を変更する、搬送装置。 - 基板処理装置であって、
基板を処理する基板処理部と、
前記基板処理部に前記基板を搬入または搬出する、請求項1から3のいずれか1項に記載の搬送装置と、
を備える、基板処理装置。
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