JP4783404B2 - ワーク装着装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワーク装着装置に関するものである。

縦型平面研削盤は、回転テーブル上のワーク装着面にワークを装着して、回転テーブルを回転させながら、縦軸心廻りに回転する研削砥石によりワークの上面を平面研削する。このような縦型平面研削盤により水晶ウエーハ、サファイアウエーハ等の結晶材料を平面研削する場合には、その結晶方位に合わせて研削する必要がある。

そこで、研削砥石を支持する砥石軸と平行な縦軸心廻りに回転する回転テーブル上に、上面にワーク装着面を有するワーク装着部を水平軸心廻りに角度調整可能に備えたワーク装着装置を用い、回転テーブルに対するワーク装着部の角度を調整してワーク装着面の傾斜角をワークの結晶方位に合わせ、その状態でワークを回転させながら研削する方法を採っている。

この種のワーク装着装置において、そのワーク装着部の傾斜角を調整する傾斜角調整方式には、従来、シーソー方式、ギヤ駆動方式等が提案されている。

シーソー方式は、研削砥石の砥石面と略平行な研削基準面を有する回転テーブルと、上面にワーク装着面を有するワーク装着部との間の径方向の一端側に枢支部を、他端側に高さ調整ねじ機構を夫々配置し、高さ調整ねじ機構を上下方向に操作してワーク装着部の傾斜角を枢支部の水平軸心廻りに調整するようにしている（特許文献１）。

またギヤ駆動方式は、ワーク装着部を径方向の水平軸により回転テーブル上に回動自在に枢支すると共に、このワーク装着部をウオームギヤ機構を介して水平軸廻りに駆動するサーボモータを回転テーブル上に設け、サーボモータの正逆駆動によりワーク装着部の傾斜角を水平軸廻りに調整するようにしている。
特開平１０−１５７９５号公報

従来の調整方式は、シーソー方式、ギヤ駆動方式の何れの場合にも、ワーク装着部を水平軸心廻りに直接揺動又は回動させて傾斜角を調整するため、微少角度の調整が困難である。

またシーソー方式の場合には、枢支部、高さ調整ねじ機構を介して回転テーブル上にワーク装着部を支持するため、ワーク装着装置全体の剛性の確保が困難であり、ワークを高精度に研削できないという問題がある。

ギヤ駆動方式の場合にも、水平軸、ウオームギヤ機構を介してワーク装着部を回転テーブルにより支持する上に、ウオームギヤ機構に一定のバックラッシュがあるため、シーソー方式と同様にワーク装着装置全体の剛性の確保が困難であり、しかも縦軸心廻りに回転する回転テーブル上にウオームギヤ機構、サーボモータがあるため、ワーク装着装置全体が大型化するという欠点もある。

本発明は、このような従来の問題点に鑑み、微少角度の調整を高精度で容易にできると共に、調整後の装置全体の剛性を十分に確保することが可能であり、操作性、精度及び剛性に優れたワーク装着装置を提供することを目的とする。

本発明は、固定部材により軸心廻りに回転自在に支持され且つ回転駆動手段により回転駆動される回転体と、ワーク装着面を有し且つ前記回転体により支持されたワーク装着体とを備え、前記ワーク装着面の傾斜角を調整するようにしたワーク装着装置において、前記回転体はその軸心に対して傾斜する傾斜角調整面を有し、前記ワーク装着体は前記ワーク装着面の反対側に該ワーク装着面に対して傾斜し且つ前記回転体の前記傾斜角調整面に面接触する傾斜角調整面を有し、前記ワーク装着体を前記回転体側に付勢して該回転体の軸心上の球面中心廻りに前記両傾斜角調整面に沿って前記ワーク装着体と前記回転体とを回転調整可能に結合し且つ前記ワーク装着体を前記固定部材に対して前記球面中心廻りに回転自在に結合する球面結合手段を設け、前記回転体と前記ワーク装着体との結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する解除手段と、前記ワーク装着体に係脱自在に結合して該ワーク装着体の回転を規制する規制手段とを備えたものである。

前記ワーク装着体は前記ワーク装着面と前記傾斜角調整面とを有する回転テーブルであってもよい。前記ワーク装着体は前記ワーク装着面を有する回転テーブルと、該回転テーブルと前記回転体との間に相対回転自在に介在された傾斜角調整体とを備え、前記傾斜角調整体に前記傾斜角調整面を設け、前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの対向側に、面接触する位相角調整面を前記ワーク装着面と略平行に設けてもよい。前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの何れか一方に、前記位相角調整面に対して他方側へと略垂直に突出して該他方側を相対回転自在に支持する位相角調整軸を設けてもよい。

前記回転体の軸心と直角な面と前記傾斜角調整面とのなす角と、前記ワーク装着体の前記ワーク装着面と前記傾斜角調整面とのなす角とが略同一であってもよい。前記回転体を軸受を介して内周側から回転自在に支持する筒状の固定軸と、前記ワーク装着体の略中心側から前記固定軸６内に突出する突出軸とを備え、前記突出軸と前記固定軸との間に前記球面結合手段を備えたものでもよい。

前記球面結合手段は前記固定軸と前記突出軸との間に介在され且つ前記突出軸に対して軸心方向に摺動自在に套嵌された球面座金部と、前記突出軸に套嵌され且つ前記ワーク装着体を前記回転体側へと軸心方向に付勢する付勢手段と、前記球面座金部と前記付勢手段との間に介在されたスラスト軸受とを備えたものでもよい。

前記回転体と前記傾斜角調整体との結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する第１解除手段と、前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する第２解除手段と、前記傾斜角調整体に係脱自在に結合して該傾斜角調整体の回転を規制する第１規制手段と、前記回転テーブルに係脱自在に結合して該回転テーブルの回転を規制する第２規制手段とを備えたものでもよい。

前記回転体は前記回転テーブルの前記ワーク装着面に装着されたワークを平面研削する研削砥石の砥石軸と略平行な軸心廻りに回転し、該回転体と前記傾斜角調整体との対向面に形成された前記各傾斜角調整面は前記軸心に対して傾斜し、前記回転テーブルと前記傾斜角調整体との対向面に形成された前記各位相角調整面は前記ワーク装着面と略平行であってもよい。前記回転体上に該回転体を上側から覆う前記ワーク装着体が設けられ、前記軸受の下側で前記回転体と前記固定軸との間を封止する封止体が設けられることもある。

本発明によれば、微少角度の調整を高精度で容易にできると共に、調整後の装置全体の剛性を十分に確保することが可能であり、操作性、精度及び剛性に優れるという利点がある。

以下、本発明の各実施例を図面に基づいて詳述する。図１〜図１１は水晶ウエーハ等の結晶材料を結晶方位修正加工する際に使用する縦型平面研削盤、取り分けその傾斜角調整式のワーク装着装置に適用した本発明の第１の実施例を例示する。

この縦型平面研削盤は、図１〜図３に示すように砥石軸１の下端に装着された研削砥石２と、研削砥石２の下側に配置され且つ研削砥石２の径方向である左右方向に往復移動可能なワーク装着装置３とを備え、ワーク装着装置３のワーク装着面４上に装着されたワーク（結晶材料）Ｗを、その結晶方位に合わせた傾斜角で研削砥石２により平面研削（インフィード研削）するようになっている。

研削砥石２は下端側に略水平な研削砥石面２ａを有し、図外の昇降用駆動手段、回転用駆動手段の駆動により砥石軸１を介してその縦軸心方向に昇降し、また縦軸心廻りに回転するようになっている。ワーク装着装置３はワークＷの結晶方位に合わせてワーク装着面４の傾斜角とその傾斜方向の位相角とを調整可能であり、また図外の移動用駆動手段の駆動により研削砥石２の下側の研削位置と研削砥石２の外側のワーク着脱位置との間で往復移動するようになっている。

ワーク装着装置３は、図１〜図３に示すように、研削位置とワーク着脱位置との間で移動可能な可動台５と、可動台５上に砥石軸１と略平行に立設された縦方向の固定軸６と、この固定軸６の外周に縦軸心廻りに回転自在に套嵌された回転体（支持体）７と、この回転体７上に傾斜角調整面８，９を介して相対回転自在に配置された傾斜角調整体１０と、この傾斜角調整体１０上に位相角調整面１１，１２を介して相対回転自在に配置された回転テーブル１３と、回転体７と傾斜角調整体１０、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３を回転体７の軸心上の球面中心３８廻りに傾斜角調整面８，９、位相角調整面１１，１２に沿って夫々回転調整可能に結合する球面結合手段１４と、回転体７と傾斜角調整体１０との結合を流体圧により解除する傾斜角調整用の第１解除手段１５と、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との結合を流体圧により解除する位相角調整用の第２解除手段１６と、回転体７を固定軸６廻りに回転駆動する回転駆動手段１７と、回転体７の原点位置を検出する第１検出手段１８と、傾斜角調整体１０の原点位置を検出する第２検出手段１９と、回転テーブル１３の原点位置を検出する第３検出手段２０と、傾斜角調整体１０に係脱自在に係合して傾斜角調整体１０の回転を規制する傾斜角調整用の第１規制手段２１と、回転テーブル１３に係脱自在に係合して回転テーブル１３の回転を規制する位相角調整用の第２規制手段２２とを備えている。なお、この実施例では、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とにより、ワーク装着面４を有するワーク装着体（可動体）２４が構成されている。

固定軸６は円筒状であって、回転体７内に略同心状に配置され、その下端側のフランジ部２３が可動台５上にボルト等により固定されている。この固定軸６の外周には下部側の段部２５と上端側の固定ナット２６との間に軸受２７が套嵌され、この軸受２７を介して回転体７が固定軸６により内周側から回転自在に支持されている。なお、軸受２７は１個又は複数個、例えば上下方向に２個配置され、アンギュラ玉軸受等が用いられている。

回転体７は環状又は筒状であって、その上面側に傾斜角調整面８が略同心状に設けられ、また下端に軸受押え兼用の環状の封止体２９がボルト等により略同心状に固定されている。傾斜角調整面８は図１、図４に示すように固定軸６（即ち回転体７）の軸心Ｘと略垂直な水平面Ｈに対して角度α（軸心Ｘに対しては角度９０−α）で斜めに傾斜している。封止体２９は固定軸６の外周に周方向に摺動自在に套嵌され、軸受２７の下側で回転体７と固定軸６との間を封じている。なお、封止体２９は固定軸６の外周に固定して、回転体７の内周に摺動自在に内嵌してもよい。

回転体７はその側方で可動台５上に固定された回転駆動手段１７により伝動機構３１を介して正逆転可能に駆動される。回転駆動手段１７はサーボモータ等の駆動モータ３０により構成され、その駆動モータ３０は取り付け台３２を介して可動台５上に固定されている。伝動機構３１は駆動モータ３０側の駆動プーリ３３と、回転体７の外周に略同心状に固定された従動プーリ３４と、これらのプーリ３３，３４間に巻き掛けられたタイミングベルト等の伝動ベルト３５とを含む巻き掛け伝動機構により構成されている。なお、伝動機構３１はギヤ伝動機構、その他の巻き掛け伝動機構以外のものを用いてもよい。

傾斜角調整体１０は偏平な環状である。この傾斜角調整体１０の下面には傾斜角調整面９が略同心状に設けられ、また上面には位相角調整面１１と、この位相角調整面１１の内周側から上側に突出する筒状の位相角調整軸３７とが略同心状に設けられている。傾斜角調整面９は回転体７の傾斜角調整面８上に周方向に摺動自在に面接触している。位相角調整面１１は図４に示すようにワーク装着面４と略平行であり、この位相角調整面１１（即ちワーク装着面４）と傾斜角調整面９とのなす角は、回転体７の傾斜角調整面８の傾斜角度αと略同一である。位相角調整軸３７は図４に示すように位相角調整面１１に対して略垂直に回転テーブル１３側へと突出している。

なお、傾斜角調整体１０の上端は固定軸６の上端よりも若干高い程度であるが、固定軸６の上端と略同程度、又は若干低い程度でもよい。また回転体７の上端内周側には、傾斜角の調整時に傾斜角調整体１０が傾斜角調整面８，９に沿って球面結合手段１４の球面中心３８廻りに回転体７に対して回転運動するため、傾斜角調整体１０の内周との間に所定の遊隙をおいて嵌合壁３６が設けられている。

各傾斜角調整面８，９の傾斜角と、位相角調整面１１と傾斜角調整面９とのなす角は、例えば回転テーブル１３上のワーク装着面４の傾斜角θを水平（傾斜角度０度）から最大傾斜角度（例えば傾斜角度０．６度）の範囲で無段階に調整する場合には、その最大傾斜角度の１／２（例えば０．３度）又は最大傾斜角度の１／２以上とすればよい。なお、最大傾斜角度の１／２以上とする場合には、１／２に近い程分解能がよくなる。

回転テーブル１３は傾斜角調整体１０及びその内周側の固定軸６等を含む内部機構を上側から覆う程度の円板状である。この回転テーブル１３の下面には内周孔１３ａと、この内周孔１３ａの外側に配置された位相角調整面１２と、内周孔１３ａの内側の中心部に配置された突出軸４２とが略同心状に設けられている。

内周孔１３ａは図４に示すように位相角調整軸３７と略平行であり、この内周孔１３ａに位相角調整軸３７が摺動自在に嵌合されている。位相角調整面１２は図４に示すようにワーク装着面４と略平行で位相角調整軸３７に対して略垂直であり、傾斜角調整体１０の位相角調整面１１に摺動自在に面接触している。従って、回転テーブル１３は位相角調整面１２が傾斜角調整体１０の位相角調整面１１に面接触し、その位相角調整面１１，１２に沿って位相角調整軸３７廻りに相対回転自在である。

突出軸４２は図４に示すように位相角調整軸３７と略平行であり、回転テーブル１３の軸心上で固定軸６内へと軸心方向に沿って下方に突出している。なお、位相角調整軸３７は回転テーブル１３の下面に、内周孔１３ａは傾斜角調整体１０に夫々設けてもよい。

回転テーブル１３上にはワーク装着部３９が略同心状に設けられている。ワーク装着部３９はその上面に位相角調整面１１，１２と平行なワーク装着面４を有し、このワーク装着面４にワークＷを着脱自在に装着できるようになっている。ワーク装着部３９はワーク装着面４上のワークＷを吸着する吸着式であって、セラミックス材料等の耐摩耗性を有する多孔質材により構成されると共に、外周の保持環４１を介して回転テーブル１３上に着脱自在に固定され、図外の真空ポンプ等の負圧源の真空引きによりワークＷを吸着するようになっている。

ワーク装着部３９はワーク装着面４側に位置決め部４０を有し、この位置決め部４０にワークＷの基準部Ｗ１を合わせてワーク装着面４上にワークＷを装着するようになっている。ワーク装着面４は傾斜角調整体１０の傾斜角調整面９と反対側にある調整対象部を構成するもので、回転体７、傾斜角調整体１０の傾斜角調整面８，９に対して平行にはなっていない。なお、ワーク装着面４は少なくとも回転体７の傾斜角調整面８に対して平行でなければよい。またワーク装着部３９は加工対象とするワークＷに応じて適宜変更可能であり、吸着式以外のものでもよい。

突出軸４２は固定軸６の下部側に達する長さを有し、この突出軸４２と固定軸６との間に球面結合手段１４が設けられ、また球面結合手段１４の下側外周に回転継ぎ手４３が相対回転自在に套嵌されている。なお、突出軸４２は必ずしもワーク装着面４、位相角調整面１２に対して垂直である必要はなく、若干傾斜状に設けてもよい。

球面結合手段１４は固定軸６と突出軸４２との間に介在され且つ突出軸４２に摺動自在に套嵌された球面座金部４５と、突出軸４２に套嵌され且つ回転体７、傾斜角調整体１０及び回転テーブル１３相互をその傾斜角調整面８，９、位相角調整面１１，１２の摩擦力により回転不能に結合すべく回転テーブル１３を回転体７側へと軸心方向に付勢する付勢手段４６と、球面座金部４５と付勢手段４６との間に介在されたスラスト軸受４７とを備えている。

スラスト軸受４７は突出軸４２を固定軸６に対して回転自在に支持するもので、軌道輪４８，４９を上下に備えたスラスト玉軸受等からなり、このスラスト軸受４７の上側に球面座金部４５が、下側に付勢手段４６が夫々配置され、これらが固定軸６の上部内周の段部５０と、突出軸４２の下部外周に螺合された調整ナット５１との間に介在されている。

球面座金部４５は固定軸６（即ち回転体７）の軸心と位相角調整軸３７（即ち突出軸４２）の軸心との交点に球面中心３８を有し、傾斜角の調整時に傾斜角調整面８，９に沿って回転体７と傾斜角調整体１０とを、位相角の調整時に位相角調整面１１，１２に沿って回転体７を含む傾斜角調整体１０側と回転テーブル１３とを夫々球面中心３８廻りに相対回転可能に支持すると共に、ワークＷの研削時に回転体７に一体的に結合された傾斜角調整体１０及び回転テーブル１３を固定軸６の軸心廻りに回転可能に支持するようになっている。

球面座金部４５はスラスト軸受４７の軌道輪４８の上面に一体に形成された球面座金５２と、球面座金５２の上側に配置された球面受け座５３とを備え、球面受け座５３が固定軸６の内周で段部５０により保持されている。なお、スラスト軸受４７と球面座金部４５は別々に設けてもよい。

付勢手段４６は皿バネ４６ａにより構成され、その付勢力は調整ナット５１により調整可能である。なお、付勢手段４６は皿バネ４６ａ以外の弾性体、例えばコイルバネ等を用いてもよいし、また空気シリンダ等を用いてもよい。

第１解除手段１５はノズル５５から傾斜角調整面８，９間に圧縮空気（圧力流体）を噴出して付勢手段４６の付勢力に抗して回転体７と傾斜角調整体１０との結合を解除するようになっている。またノズル５５は回転体７の傾斜角調整面８側に周方向に略等間隔を置いて複数個設けられており、回転体７、封止体２９、固定軸６、フランジ部２３に跨がって形成された通路５６を介して図外の圧縮空気供給源（圧力流体供給源）に接続されている。

第２解除手段１６も第１解除手段１５と同様にノズル５７から位相角調整面１１，１２間に圧縮空気（圧力流体）を噴出して付勢手段４６に抗して傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との結合を解除するようになっている。またノズル５７は回転テーブル１３の位相角調整面１２側に周方向に略等間隔を置いて複数個設けられており、回転テーブル１３、突出軸４２に形成された通路５８、突出軸４２の下端部の回転継ぎ手４３、及び管路５９等を介して図外の圧縮空気供給源（圧力流体供給源）に接続されている。

なお、各ノズル５５，５７の開口端側には、微少深さを有する四角形又は円形状のポケット５５ａ，５７ａが形成されており、このポケット５５ａ，５７ａ内にノズル５５，５７が開口している。このように各ノズル５５，５７毎にポケット５５ａ，５７ａを設けることにより負荷容量が大きくなり、圧縮空気を供給する際の空気圧を低くできる。またポケット５５ａ，５７ａを設ける場合には、その深さをできる限り浅くすることにより微少振動を防止することが可能である。勿論、ポケット５５ａ，５７ａは省いてもよい。

回転継ぎ手４３は突出軸４２の外周で周方向に相対摺動自在であり、フランジ部２３側から突出する１個又は複数個の廻り止め突起６０により廻り止めされている。廻り止め突起６０は回転継ぎ手４３に対して下側から係合しており、両者は回転体７の回転時及び傾斜角の調整時に回転継ぎ手４３が突出軸４２に追従できるように弾性材等を介して相対遊動可能になっている。

回転テーブル１３、突出軸４２にはワーク装着部３９の下面側に連通する通路６２が形成され、この通路６２は突出軸４２の下端に相対回転可能に接続された管路６３等を介して図外の負圧源に接続されている。なお、管路５９，６３はフランジ部２３の下面等に形成された切り欠き部を経て内周側から外部へと引き出されている。

第１検出手段１８、第２検出手段１９、第３検出手段２０、第１規制手段２１、第２規制手段２２は、回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３等の外周側に周方向に所定の間隔を置いて放射状に配置されている。各検出手段１８〜２０は回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３の外周に固定された被検出体６５〜６７と、この被検出体６５〜６７を検出する検出スイッチ６８〜７０とを備え、検出スイッチ６８〜７０は支持部材７１〜７３を介して可動台５上に取り付けられている。なお、検出スイッチ６８〜７０は非接触式の近接スイッチ等が用いられているが、接触式でもよい。また駆動モータ３０にサーボモータを使用した場合には、その制御装置側に回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３の座標位置を記憶させることができるため、検出手段１８〜２０は省略することもできる。

各規制手段２１，２２は傾斜角調整体１０、回転テーブル１３の外周に固定された係合部７５，７６と、この係合部７５，７６に係脱自在に係合する係合具７７，７８と、この係合具７７，７８を係合部７５，７６に対して係脱方向に出退駆動する係合駆動手段７９，８０とを備え、係合駆動手段７９，８０は支持部材８１，８２を介して可動台５に固定されている。

係合部７５，７６は径方向の外方に突出し、その先端が球面状に形成されている。係合駆動手段７９，８０は空気シリンダ等により構成され、そのロッドが支持部材８１，８２を貫通して径方向に出退自在に設けられている。係合具７７，７８は係合部７５，７６に対応して先端側が平面視Ｖ字状に形成されており、係合駆動手段７９，８０のロッドの先端に設けられている。

この縦型平面研削盤により水晶ウエーハ等のワークＷの結晶方位修正加工を行う場合には、次のようにする。例えば、ワーク装着装置３の回転体７と傾斜角調整体１０との傾斜角調整面８，９の傾斜角度を０．３°とした場合、図５に示すように傾斜角調整体１０を傾斜角調整面８，９に沿って回転体７に対して球面中心３８廻りに０〜１８０°の範囲で相対的に回転させて、そのひねり角δを変えることによりワーク装着面４の傾斜角θを０〜０．６°の範囲で任意に調整することができる。

そこで、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、例えば結晶方位が基準部Ｗ１と直角な方向に対して傾斜角０．５°で傾斜するワークＷを対象に、その結晶方位修正加工を行う場合には、ワーク装着面４を傾斜角θ＝０．５°に調整する。そして、ワーク装着面４の傾斜角θ＝０．５°の傾斜方向を回転テーブル１３の原点位置に合わせて位相を調整する。なお、この実施例では、説明の都合上、ワーク装着面４の位置決め部４０を回転テーブル１３の原点位置に対応させている。

次に図７（Ａ）（Ｂ）〜図１１（Ａ）（Ｂ）を参照しながらその調整方法を説明する。なお、図７（Ａ）〜図１１（Ａ）はワーク装着装置３の概略平面図、図７（Ｂ）〜図１１（Ｂ）は図７（Ａ）〜図１１（Ａ）のａ−ａ線断面図である。

ワーク装着装置３は、回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３が共に原点位置にあれば、図７に示すように夫々の軸心が縦方向の同一軸心に一致しており、回転テーブル１３上のワーク装着面４は傾斜角０°の水平状態である。このとき回転体７と傾斜角調整体１０は傾斜角調整面８，９同士が、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３は位相角調整面１１，１２同士が夫々面接触して、付勢手段４６の皿バネ４６ａの付勢による摩擦力によって回転しないように結合された状態にある。またワーク装着面４は研削砥石２の研削砥石面２ａと平行であり、位置決め部４０は回転テーブル１３の原点位置に対応している。

ワーク装着面４の傾斜角の調整に際しては、先ず傾斜角調整用の第１解除手段１５のノズル５５から傾斜角調整面８，９間に圧縮空気を噴出し、その静圧により皿バネ４６ａに抗して傾斜角調整体１０をｃ矢示方向に浮上させて、図８に示すように回転体７と傾斜角調整体１０との結合を解除する。このようにすれば、通常は皿バネ４６ａの付勢力が突出軸４２、回転テーブル１３を介して傾斜角調整体１０に加わっているにも拘わらず、第１解除手段１５により回転体７と傾斜角調整体１０との結合を容易に解除することができる。

そして、回転体７と傾斜角調整体１０との結合の解除と同時に又はこれに続いて第１規制手段２１の係合具７７をｄ矢示方向に前進させて傾斜角調整体１０の係合部７５に係合し、この傾斜角調整体１０の回転を規制する。この場合、係合具７７の先端がＶ字状で、係合部７５が球面状であるため、係合駆動手段７９により係合具７７を傾斜角調整体１０側へと前進させて行けば、係合具７７を係合部７５に容易且つ確実に係合させることができる。

傾斜角調整体１０の回転を規制した状態で駆動モータ３０により駆動プーリ３３、伝動ベルト３５、従動プーリ３４を介して回転体７をその軸心廻りに駆動し、この回転体７を固定軸６廻りにｅ矢示方向に傾斜角度分の１１３°回転させる（図５参照）。すると傾斜角調整体１０は第１規制手段２１により規制されているため、回転体７と傾斜角調整体１０とが傾斜角調整面８，９に沿って球面中心３８廻りに相対的に回転し、それに伴って回転テーブル１３上のワーク装着面４が傾斜角０°から次第に傾斜して行く。

また回転体７と傾斜角調整体１０は傾斜角調整面８，９に沿って相対回転するが、両傾斜角調整面８，９間にはノズル５５から噴出された圧縮空気による空気層があり、その空気層を介して傾斜角調整体１０が浮いているため、傾斜角調整面８，９を介して傾斜角調整体１０を皿バネ４６ａの付勢力に抗して押し上げながら回転させるにも拘わらず、回転体７を軽く円滑に回転させることができる。

また回転体７の回転に対して傾斜角調整体１０が球面中心３８廻りに相対回転するときに、傾斜角調整体１０の外周部分が上下動するが、係合部７５が球面状で、係合具７７の先端が平面視Ｖ字状であるため、第１規制手段２１が傾斜角調整体１０の動きに支障を来すようなこともない。

回転体７の回転角（ひねり角δ）は駆動モータ３０の回転量をパルス演算することにより求める。そして、回転体７が１１３°回転すれば、図５に示すように回転テーブル１３のワーク装着面４の傾斜角θが０．５°に傾斜することになるので、回転体７の回転を停止させる。

そして、第１解除手段１５のノズル５５からの圧縮空気の噴出を止めれば、図９に示すように皿バネ４６ａの付勢力により傾斜角調整体１０がｆ矢示方向に下降して、傾斜角調整面８，９を介して回転体７と傾斜角調整体１０とが面接触する。このため傾斜角調整面８，９相互の摩擦力により、回転体７と傾斜角調整体１０とを容易に結合することができる。また係合具７７を係合部７５から離脱させて、第１規制手段２１による傾斜角調整体１０の規制を解除する。これによってワーク装着面４の傾斜角が０．５°となる。

しかし、この状態では図９に示すようにひねり角δ＝１１３°の傾斜方向６４にワーク装着面４の傾斜トップ８３と傾斜ボトム８４があり、回転テーブル１３はひねり角δ＝１１３°の方向に傾斜しているので、次に傾斜角θ＝０．５°の傾斜方向６４の位相を回転テーブル１３の原点位置に合わせる必要がある。

この位相合わせに際しては、先ず第２解除手段１６のノズル５７から位相角調整面１１，１２間に静圧の圧縮空気を噴出し、その静圧により皿バネ４６ａに抗して回転テーブル１３を図１０に示すようにｇ矢示方向に浮上させて、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との結合を解除する。これと同時に又はこれに続いて第２規制手段２２の係合具７８をｈ矢示方向に前進させて回転テーブル１３の係合部７６に係合し、この回転テーブル１３の回転を規制する。

この場合にも第２解除手段１６が圧縮空気噴出式であるため、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との結合の解除も容易にでき、また第２規制手段２２が球面状の係合部７６とＶ字状の係合具７８を備えているため、両者の係合も容易且つ確実である。

その後、駆動モータ３０により駆動プーリ３３、伝動ベルト３５、従動プーリ３４を介して回転体７を固定軸６廻りにｉ矢示方向に逆回転させる。すると傾斜角調整体１０が位相角調整面１１，１２間の圧縮空気の静圧により押圧されて回転体７と結合した状態にあり、また第２規制手段２２により回転テーブル１３が規制されているため、回転体７と傾斜角調整体１０とが球面中心３８を通る固定軸６の軸心廻りに一体回転し、その傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とが位相角調整面１１，１２に沿って位相角調整軸３７、突出軸４２の軸心廻りに相対的に回転する。そして、傾斜角調整体１０の回転に伴って傾斜角調整体１０の傾斜ボトム８４が原点位置における回転テーブル１３上のワーク装着部３９の位置決め部４０側へと移動する。

この場合にも傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との位相角調整面１１，１２間には、前述の傾斜角の調整時と同様にノズル５７から噴出された圧縮空気の空気層があり、その空気層を介して回転テーブル１３が浮いているため、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とを軽く円滑に回転させることができる。

回転体７、傾斜角調整体１０の回転角は駆動モータ３０の回転量をパルス演算することにより求める。そして、傾斜角調整体１０がｉ矢示方向に回転してその傾斜方向６４がワーク装着部３９の位置決め部４０側に一致すれば、図１１に示すように回転体７を停止させると共に、第２解除手段１６のノズル５７からの圧縮空気の噴出を止めて、皿バネ４６ａの付勢力により回転テーブル１３をｊ矢示方向に下降させて傾斜角調整体１０と結合し、また第２規制手段２２による回転テーブル１３の規制を解除する。これによってワーク装着面４の傾斜角θ＝０．５°の位相を回転テーブル１３の原点位置の方向に合わせることができる。

このようにしてワーク装着面４の傾斜角を調整し、その傾斜方向６４の位相を合わせた後、位置決め部４０に合わせてワーク装着部３９上のワーク装着面４にワークＷを供給して、駆動モータ３０により回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３を球面中心３８を通る固定軸６の軸心廻りに一体的に回転させながら、研削砥石２によりワークＷをインフィード研削する。そして、ワークＷの上下両面を研削することにより、ワークＷの結晶方位が上下両面に略平行になるように結晶方位修正加工することができる。

また解除手段１５，１６、規制手段２１，２２を順次操作し、１個の駆動モータ３０で回転体７を駆動することにより、回転体７と傾斜角調整体１０、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とを夫々回転させながら傾斜角及び位相を調整することができるので、ワーク装着面４の傾斜角及び位相の調整時の操作が容易であり、その自動化を容易に促進することが可能である。しかも研削時に回転体７を回転駆動する駆動モータ３０をそのまま利用できるため、構造的にも簡単にできる利点がある。

更に傾斜角調整面８，９で互いに面接触する回転体７と傾斜角調整体１０との相対回転により傾斜角を調整しており、傾斜角の調整代に対する回転体７と傾斜角調整体１０との相対回転角度を大きく取ることが可能であり、このため分解能が著しく向上し微少角度での誤差のない高精度な傾斜角の調整が可能である。

しかも回転体７と傾斜角調整体１０は傾斜角調整面８，９で、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３は位相角調整面１１，１２で夫々面接触しており、回転体７、傾斜角調整体１０及び回転テーブル１３の相互の結合部分の摩擦力による剛性を高くできるため、高剛性を容易に確保することができる。

また回転体７、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３が外側にあって、その内部に固定軸６、球面結合手段１４、軸受２７、突出軸４２等を収容しているため、耐水性、耐油性にも優れており、研削液、冷却油等を使用する条件下でも十分な耐久性を確保することができる。

回転テーブル１３に突出軸４２を設け、この突出軸４２と固定軸６との間に球面座金部４５、付勢手段４６、スラスト軸受４７を介在して、付勢手段４６により突出軸４２を介して回転テーブル１３を回転体７側に付勢しているので、１個の付勢手段４６で回転体７と傾斜角調整体１０との結合、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との結合が可能であり、装置全体の構造を簡素化することができる。

球面結合手段１４は球面座金部４５と付勢手段４６との間にスラスト軸受４７を介しているので、付勢手段４６の付勢力を十分に確保して回転体７と傾斜角調整体１０、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との相互間の摩擦力を大にしても、傾斜角調整体１０の球面中心３８廻りの回転を円滑にすることができる。

しかも回転体６と傾斜角調整体１０とが球面結合手段１４の球面中心３８廻りに相対的に回転し、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とが球面中心３８を通る位相角調整軸３７、突出軸４２の軸心廻りに相対的に回転するため、球面結合手段１４の球面中心３８を回転体６の軸心上で任意の位置に選択することができ、装置全体の組み立てを考慮して球面結合手段１４を設計することが可能である。

ワーク装着部３９には多孔質材を使用しており、ワーク装着面４に供給されたワークＷを真空引きで吸着して固定するため、ワークＷの着脱も容易に行うことができる。

なお、この実施例では、ワーク装着部３９の位置決め部４０をワーク装着面４の傾斜方向と一致させる場合について説明したが、結晶方位の傾斜方向の位相が基準部Ｗ１に対して周方向に異なる場合には、ワーク着脱位置において、ワークＷの結晶方位の方向とワーク装着面４の傾斜方向が一致するように位相を調整すればよい。

またワーク装着部３９に位置決め部４０がなく、ローダによりワークＷを常に一定の角度でワーク装着部３９に対して供給するような場合には、例えば所定の傾斜角に調整した後、回転体７、傾斜角調整体１０と一体に回転テーブル１３を回転させて、供給される結晶方位とワーク装着面４の傾斜方向が一致するように停止させておけばよい。

図１２は本発明の第２の実施例を例示する。この実施例では、回転体６の上面には傾斜角調整面８があるが、第１の実施例の嵌合壁３６に相当する部分が省略されている。傾斜角の調整時には、回転体６と傾斜角調整体１０は球面中心３８廻りに相対的に回転するため、第１の実施例の嵌合壁３６はなくてもよい。付勢手段４６はコイルバネ４６ｂでもよい。

図１３、図１４は本発明の第３の実施例を例示する。この実施例のワーク装着装置３では、傾斜角調整体１０を兼用する回転テーブル１３によりワーク装着体２４が構成され、その回転テーブル１３の下面に突出軸４２の他に傾斜角調整面９が設けられている。回転テーブル１３は傾斜角調整面８に摺動自在に面接触する傾斜角調整面９を有する。なお、第２解除手段１６、第２規制手段２２、第３検出手段２０、及びこれらに付随する構成部分を除き、他の構成は第１の実施例と同じである。

このような構成のワーク装着装置３でも、回転体７と回転テーブル１３とを回転角度を調整することにより、ワーク装着面４の傾斜角を任意に調整することができる。但し、この場合には、第１の実施例と異なって回転テーブル１３による位相角の調整はできない。従って、位相角の調整を必要とするときは傾斜角の調整後に回転体７と回転テーブル１３とを一体に回転させて、供給されるワークＷの結晶方位とワーク装着面４の傾斜方向とが一致するように停止させておけばよい。

図１５は本発明の第４の実施例を、図１６は本発明の第５の実施例を夫々例示する。第１の実施例では、傾斜角調整体１０の中心線に対して傾斜角調整面９が傾斜する場合を例示し、第３の実施例では回転テーブル１３の軸心Ｚに対して傾斜角調整面９が傾斜する場合を例示している。しかし、図１５では傾斜角調整体１０の傾斜角調整面９は、その中心線Ｙに対して略垂直であり、図１６では回転テーブル１３の傾斜角調整面９は、その中心線Ｚに対して略垂直である。

このように傾斜角調整面９はワーク装着面４と平行でなく、ワーク装着面４に対して斜めに傾斜しておればよい。また位相角調整面１１，１２はワーク装着面４と略平行であればよく、傾斜角調整体１０、回転テーブル１３の中心線Ｚに対して略垂直である必要はない。

図１７、図１８は本発明の第６の実施例を例示する。この実施例は傾斜角調整装置付き可搬式の傾斜台座装置８５に適用したものである。この傾斜台座装置８５は重量物等を１個又は複数個で下側から支持するためのもので、下側に設置部を有する台座（支持体）８６と、上面に受け面（調整対象部）８７を有し且つ台座８６上に配置された受け台（可動体）８８と、台座８６と受け台８８との間に回転可能に介在された傾斜角調整体１０とを備え、これらの台座８６、受け台８８及び傾斜角調整体１０が球面結合手段１４の球面中心３８廻りに相互に回転調整可能に結合されている。

台座８６は筒状で下部に接地部８９を有し、必要箇所に適宜据え付けられるようになっている。また台座８６は上面に斜めに傾斜する傾斜角調整面８を有する。傾斜角調整体１０は下面に傾斜角調整面８に面接触する傾斜角調整面９を有し、上面に位相角調整面１１とこの位相角調整面１１に対して略垂直な位相角調整軸３７とを有する。受け台８８の下面には、上面の受け面８７と略平行で且つ傾斜角調整体１０の位相角調整面１１に面接触する位相角調整面１２と、位相角調整軸３７が嵌合する内周孔８８ａと、位相角調整面１２に対して略垂直に突出する突出軸４２とを略同心状に備えている。

球面結合手段１４は台座８６の内周側上端部の段部５０と突出軸４２の下端部の調整ナット５１との間に介在され、図１と同様に球面座金部４５と付勢手段４６とスラスト軸受４７とを備えている。付勢手段４６は皿バネ４６ａ等を有し、手動操作又は簡単な工具での操作により、台座８６、傾斜角調整体１０及び受け台８８をその摩擦力に抗して相対的に回転操作できる程度の付勢力に設定されている。

台座８６と傾斜角調整体１０との外周には、その一方に周方向に傾斜角を示す角度目盛９０が、他方に角度指示部９１が夫々付されている。角度目盛９０は受け面８７の水平状態から最大傾斜角度まで略１８０°の範囲、又は必要調整範囲に設けられている。例えば、角度指示部９１を角度目盛９０の「０」に合わせたときに受け面８７が水平になり、角度目盛９０の「θ」に合わせたときに受け面８７が傾斜角θになるようにすればよい。

この傾斜台座装置８５を使用すれば、重量物その他の物を下側から支持する際に、台座８６に対して傾斜角調整体１０を傾斜角調整面８，９に沿って球面中心３８廻りに回転させて、角度指示部９１を角度目盛９０の所定の角度に合わすことにより、受け面８７の傾斜角を最大調整範囲内で任意に調整することができる。

従って、重量物等を支持する部位に合わせて受け面８７側の傾斜角を調整する必要がある場合に便利である。また傾斜方向の位相角を調整する必要がある場合には、傾斜角調整体１０を固定して受け台８８を球面中心３８廻りに回転させて、受け台８８の傾斜方向の位相を調整すればよい。

以上、本発明の各実施例について詳述したが、この実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、回転体７はその内周側から軸受２７を介して固定軸６により支持されているが、固定軸６により回転体７を外周側から支持することも可能である。また回転体７は回転軸の先端に設け、この回転軸を軸受箱等により支持してもよい。

第１の実施例では回転テーブル１３に突出軸４２を設け、この突出軸４２と固定軸６との間に球面座金部４５、付勢手段４６、スラスト軸受４７を含む球面結合手段１４を設けているが、突出軸４２を傾斜角調整体１０の下側に設け、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との間に、回転テーブル１３を傾斜角調整体１０側に付勢する付勢手段４６とスラスト軸受４７とを別に設けてもよい。つまり回転テーブル１３と傾斜角調整体１０は球面中心３８廻りに回転させる必要はないので、傾斜角調整体１０を回転体７側に付勢する付勢手段と、回転テーブル１３とを傾斜角調整体１０側に付勢する付勢手段は別々に設けることも可能である。

また球面結合手段１４を採用することにより全体の構造を簡素化できるが、回転体７と傾斜角調整体１０とを第１の結合手段により、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３とを第２の結合手段により夫々解除可能に結合してもよい。従って、結合手段には球面結合手段１４以外のものを採用することも可能である。

第１〜５の実施例では、縦型平面研削盤用のワーク装着装置３を例示しているが、このワーク装着装置３は回転体７、回転テーブル１３等を横軸廻りに回転自在に配置することにより横型平面研削盤用としても利用可能である。またワークＷを回転体７の軸心廻りに回転させながら機械加工を行う機械加工装置にも適用可能である。従って、ワーク装着装置３は平面研削盤用に限定されるものではない。

ワーク装着部３９は、ワークＷが被吸着面を有するものであれば吸着式が便利であるが、被吸着面のないワークＷを対象とする場合には吸着式以外のものを用いてもよい。従って、ワーク装着部３９は対象とするワークＷに応じて適宜変更すればよい。

ワーク装着面４、受け面８７等の調整対象部を回転体７の軸心に対して略垂直な状態と最大角度傾斜した状態との間で調整対象部の傾斜角を調整する場合には、調整対象部と傾斜角調整面９とのなす角は、回転体７の傾斜角調整面８の角度と略同一にする必要がある。しかし、最小傾斜角度と最大傾斜角度との間で調整対象部の傾斜角を調整する場合には、その調整対象部と傾斜角調整面９とのなす角は回転体７の傾斜角調整面８の角度と略同一にする必要はない。

各解除手段１５，１６は、上下の傾斜角調整面８，９間、位相角調整面１１，１２間に圧縮空気を噴出して結合を解除するようにすれば、構造的にも非常に簡単であり、またその後の回転体７と傾斜角調整体１０、傾斜角調整体１０と回転テーブル１３との相対回転も円滑にできる利点があるが、互いの相対回動を許容するものであれば、その他の機械的支持を利用して解除するようにしてもよい。

相対向する傾斜角調整面８，９、位相角調整面１１，１２の両方又は一方に周溝を形成し、ノズル５５，５７から圧力流体をその周溝に噴出するようにしてもよい。またノズル５５，５７から噴出する圧力流体は圧縮空気が一般的であるが、他のガス類を利用してもよいし、オイルその他の液体を利用してもよい。

各規制手段２１，２２は傾斜角調整体１０、回転テーブル１３に係脱自在に結合してその回転を規制するものであればよく、例えば係合具が下側から上下方向に係脱するように配置してもよい。

また実施例では、傾斜角調整装置としてワーク装着装置３、傾斜台座装置８５を例示し、その支持体として回転体７、台座８６を、可動体として回転テーブル１３、受け台８８を、調整対象部としてワーク装着面４、受け面８７を夫々示しているが、ワーク装着装置３、傾斜台座装置８５に限定されるものではなく、これら以外の各種の機械装置類にも広く適用可能である。

なお、略水平は水平を、略垂直は垂直を、略平行は平行を、略同心は同心、略同一は同一を夫々含む意である。

本発明の第１の実施例を示す縦型平面研削盤のワーク装着装置の正面断面図である。 同ワーク装着装置の側面断面図である。 同ワーク装着装置の平面図である。 同ワーク装着装置の概略分解図である。 同ひねり角と傾斜角との関係を示す図である。 （Ａ）は同ワークの平面図、（Ｂ）はその正面図である。 同調整時の動作説明図であり、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）はそのａ−ａ線断面図である。 同調整時の動作説明図であり、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）はそのａ−ａ線断面図である。 同調整時の動作説明図であり、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）はそのａ−ａ線断面図である。 同調整時の動作説明図であり、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）はそのａ−ａ線断面図である。 同調整時の動作説明図であり、（Ａ）は概略平面図、（Ｂ）はそのａ−ａ線断面図である。 本発明の第２の実施例を示すワーク装着装置の側面断面図である。 本発明の第３の実施例を示すワーク装着装置の側面断面図である。 同ワーク装着装置の概略分解図である。 本発明の第４の実施例を示すワーク装着装置の概略正面図である。 本発明の第５の実施例を示すワーク装着装置の概略正面図である。 本発明の第６の実施例を示す傾斜台座装置の正面図である。 同断面図である。

符号の説明

１ 砥石軸
２ 傾斜砥石
４ ワーク装着面（調整対象部）
３ ワーク装着装置
６ 固定軸
７ 回転体（支持体）
８，９ 傾斜角調整面
１０ 傾斜角調整体
１３ 回転テーブル
１４ 球面結合手段
１５ 第１解除手段
１６ 第２解除手段
１７ 回転駆動手段
２１ 第１規制手段
２２ 第２規制手段
２４ ワーク装着体（可動体）
２９ 封止体
３７ 位相角調整軸
４２ 突出軸
４５ 球面座金部
４６ 付勢手段
４７ スラスト軸受

Claims (10)

1. 固定部材により軸心廻りに回転自在に支持され且つ回転駆動手段により回転駆動される回転体と、ワーク装着面を有し且つ前記回転体により支持されたワーク装着体とを備え、前記ワーク装着面の傾斜角を調整するようにしたワーク装着装置において、前記回転体はその軸心に対して傾斜する傾斜角調整面を有し、前記ワーク装着体は前記ワーク装着面の反対側に該ワーク装着面に対して傾斜し且つ前記回転体の前記傾斜角調整面に面接触する傾斜角調整面を有し、前記ワーク装着体を前記回転体側に付勢して該回転体の軸心上の球面中心廻りに前記両傾斜角調整面に沿って前記ワーク装着体と前記回転体とを回転調整可能に結合し且つ前記ワーク装着体を前記固定部材に対して前記球面中心廻りに回転自在に結合する球面結合手段を設け、前記回転体と前記ワーク装着体との結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する解除手段と、前記ワーク装着体に係脱自在に結合して該ワーク装着体の回転を規制する規制手段とを備えたことを特徴とするワーク装着装置。
2. 前記ワーク装着体は前記ワーク装着面と前記傾斜角調整面とを有する回転テーブルであることを特徴とする請求項１に記載のワーク装着装置。
3. 前記ワーク装着体は前記ワーク装着面を有する回転テーブルと、該回転テーブルと前記回転体との間に相対回転自在に介在された傾斜角調整体とを備え、前記傾斜角調整体に前記傾斜角調整面を設け、前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの対向側に、面接触する位相角調整面を前記ワーク装着面と略平行に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク装着装置。
4. 前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの何れか一方に、前記位相角調整面に対して他方側へと略垂直に突出して該他方側を相対回転自在に支持する位相角調整軸を設けたことを特徴とする請求項３に記載のワーク装着装置。
5. 前記回転体の軸心と直角な面と前記傾斜角調整面とのなす角と、前記ワーク装着体の前記ワーク装着面と前記傾斜角調整面とのなす角とが略同一であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のワーク装着装置。
6. 前記回転体を軸受を介して内周側から回転自在に支持する筒状の固定軸と、前記ワーク装着体の略中心側から前記固定軸内に突出する突出軸とを備え、前記突出軸と前記固定軸との間に前記球面結合手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のワーク装着装置。
7. 前記球面結合手段は前記固定軸と前記突出軸との間に介在され且つ前記突出軸に対して軸心方向に摺動自在に套嵌された球面座金部と、前記突出軸に套嵌され且つ前記ワーク装着体を前記回転体側へと軸心方向に付勢する付勢手段と、前記球面座金部と前記付勢手段との間に介在されたスラスト軸受とを備えたことを特徴とする請求項６に記載のワーク装着装置。
8. 前記回転体と前記傾斜角調整体との結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する第１解除手段と、前記傾斜角調整体と前記回転テーブルとの結合を流体圧により前記球面結合手段に抗して解除する第２解除手段と、前記傾斜角調整体に係脱自在に結合して該傾斜角調整体の回転を規制する第１規制手段と、前記回転テーブルに係脱自在に結合して該回転テーブルの回転を規制する第２規制手段とを備えたことを特徴とする請求項３又は４に記載のワーク装着装置。
9. 前記回転体は前記回転テーブルの前記ワーク装着面に装着されたワークを平面研削する研削砥石の砥石軸と略平行な軸心廻りに回転し、該回転体と前記傾斜角調整体との対向面に形成された前記各傾斜角調整面は前記軸心に対して傾斜し、前記回転テーブルと前記傾斜角調整体との対向面に形成された前記各位相角調整面は前記ワーク装着面と略平行であることを特徴とする請求項３、４、８の何れかに記載のワーク装着装置。
10. 前記回転体上に該回転体を上側から覆う前記ワーク装着体が設けられ、前記軸受の下側で前記回転体と前記固定軸との間を封止する封止体が設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載のワーク装着装置。

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