CN219917125U - 一种用于晶圆的定位夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆的定位夹具，涉及夹具技术领域，旨在解决适用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。

Description

一种用于晶圆的定位夹具

技术领域

本实用新型涉及夹具技术领域，更具体地说，它涉及一种用于晶圆的定位夹具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的载体，由于其形状为圆形，故称为圆晶，半导体用晶圆通常根据原材料的不同，分为锗晶圆、砷化镓晶圆、硅晶圆、碳化硅晶圆等；根据不同的工艺步骤，又分为抛光晶圆、外延晶圆，本实用新型的晶圆不限于任何一种。

在对晶圆的刻蚀、取样检测、清洗、定位等过程中需要使用到夹具以对晶圆起到固定作用，现有的晶圆一般具有6寸、8寸、12寸等规格，晶圆一般较薄、脆，现有的晶圆夹具适用范围小，其需要精确控制定位件的运动距离，如果超过夹持范围导致夹持力过大，容易导致晶圆变形、破损，因此通常只能对一种规格大小的晶圆起到夹持作用，无法满足两种规格晶圆的夹持作用。

因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于晶圆的定位夹具，包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。

通过采用上述技术方案，在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。

本实用新型进一步设置为：所述驱动槽包括位于滑动槽一侧的第一通槽，与连接于第一通槽并位于滑动槽另一侧的第二通槽，所述第一通槽与第二通槽的长度分别对应于两种晶圆规格。

本实用新型进一步设置为：所述置料板的下方设置有底板，所述底板表面转动连接有转动台，所述置料板固定连接于转动台的表面，所述底板底部安装有第一电机，所述第一电机通过皮带轮与皮带驱动转动台。

本实用新型进一步设置为：所述驱动盘的底部固定连接有连接轴，所述置料板与转动台开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下端固定连接有齿轮，还包括用于驱动连接轴的驱动组件，所述驱动组件通过啮合于齿轮以驱动连接轴。

本实用新型进一步设置为：所述底板的下方设置有工作台，所述驱动组件包括安装于工作台的第二电机与离合器，所述第二电机的转轴套设在离合器内环，所述离合器外环与连接轴上的齿轮啮合连接，所述工作台底部安装升降气缸，用于控制置料板的升降。

本实用新型进一步设置为：所述定位件包括滑动连接于滑动槽内的滑动部，所述滑动部的表面设置有定位部，所述驱动杆设置于滑动部的表面。

本实用新型进一步设置为：所述驱动杆可拆卸连接于滑动部的表面。

本实用新型进一步设置为：所述滑动部的表面开设有螺纹槽，所述驱动杆的底部设置有螺纹连接于螺纹槽内的螺杆。

本实用新型进一步设置为：所述驱动槽的内壁设置有橡胶垫。

本实用新型具有以下有益效果：在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。

附图说明

图1为本实施例的立体结构示意图；

图2为本实施例的俯视结构示意图；

图3为图2中A部的局部放大示意图；

图4为本实施例定位件的爆炸结构示意图。

附图说明：1、置料板；2、定位件；3、驱动盘；4、齿轮；5、驱动槽；51、第一通槽；52、第二通槽；6、驱动杆；7、底板；8、转动台；9、第一电机；10、皮带轮；11、皮带；12、滑动部；13、定位部；14、螺纹槽；15、螺杆；16、工作台；17、驱动组件；171、离合器；172、第二电机；18、升降气缸。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

如图所示，一种用于晶圆的定位夹具，包括置料板1，置料板1表面沿其直径方向开设有四个滑动槽，滑动槽内滑动连接有定位件2，置料板1的表面转动连接有驱动盘3，还包括有用于控制驱动盘旋转的驱动组件17，驱动盘的表面设置有四个对应于定位件2的驱动槽5，定位件2表面设置有穿设于驱动槽5内的驱动杆6，驱动杆6处于驱动槽5的不同位置时，定位件2的夹距随之改变。驱动槽5包括位于滑动槽一侧的第一通槽51，与连接于第一通槽51并位于滑动槽另一侧的第二通槽52，第一通槽51与第二通槽52的角度相对于滑动槽呈镜像设置，第一通槽51与第二通槽52的长度分别对应于两种晶圆规格。

在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件2的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件17带动驱动盘3逆时针转动，使得驱动杆6进入到第一通槽51内，在驱动盘3转动的同时，使得驱动杆6相对于第一通槽51滑动，从而带动定位件2沿滑动槽朝向置料板1的圆心运动，当驱动杆6抵接于第一通槽51的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件17带动驱动盘3反向转动并复位，同时带动定位件2复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件17带动驱动盘3顺时针转动，使得驱动杆6进入到第二通槽52，从而带动定位件2沿滑动槽朝向置料板1的圆心运动，当驱动杆6抵接于第二通槽52的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。

置料板1的下方设置有底板7，底板7表面转动连接有转动台8，置料板1固定连接于转动台8的表面，底板7底部安装有第一电机9，第一电机9通过皮带轮10与皮带11驱动转动台8。通过第一电机9便能对置料板1的角度进行调节，方便对晶圆的角度进行调节，以便对晶圆进行加工。

驱动盘3的底部固定连接有连接轴(图中未示出)，置料板1与转动台8开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，连接轴的下端固定连接有齿轮4，底板7的下方设置有工作台16，驱动组件17包括安装于工作台16的第二电机172与离合器171，第二电机172的转轴套设在离合器171内环，离合器171外环与连接轴上的齿轮4啮合连接，工作台16底部安装升降气缸18，其活塞杆端部固定连接于底板7底部，用于控制置料板1的升降。

定位件2包括滑动连接于滑动槽内的滑动部12，滑动部12的表面外侧设置有定位部13，驱动杆6设置于滑动部12的表面。驱动杆6可拆卸连接于滑动部12的表面。由于在工作时，驱动杆6的圆周侧壁会与驱动槽5的内壁发生摩擦，长时间工作后驱动杆6的侧壁会产生磨损，从而影响其正常的驱动与定位效果，因此可在其发生磨损后更换新的驱动杆6以保证其定位效果。

滑动部12的表面开设有螺纹槽14，驱动杆6的底部设置有螺纹连接于螺纹槽14内的螺杆15，通过螺杆15以便对驱动杆6进行更换。

驱动槽5的内壁设置有橡胶垫(图中未示出)，以对驱动槽5的内壁起到保护作用，减少对驱动槽5内壁的磨损。

具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：包括置料板（1），所述置料板（1）表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件（2），所述置料板（1）的表面转动连接有驱动盘（3），所述驱动盘（3）的表面设置有若干驱动槽（5），所述定位件（2）表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆（6），所述驱动杆（6）处于驱动槽（5）的不同位置时，所述定位件（2）的夹距随之改变，所述驱动槽（5）包括位于滑动槽一侧的第一通槽（51），与连接于第一通槽（51）并位于滑动槽另一侧的第二通槽（52），所述第一通槽（51）与第二通槽（52）的长度分别对应于两种晶圆规格。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述置料板（1）的下方设置有底板（7），所述底板（7）表面转动连接有转动台（8），所述置料板（1）固定连接于转动台（8）的表面，所述底板（7）底部安装有第一电机（9），所述第一电机（9）通过皮带轮（10）与皮带（11）驱动转动台（8）。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动盘（3）的底部固定连接有连接轴，所述置料板（1）与转动台（8）开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下端固定连接有齿轮（4），还包括用于驱动连接轴的驱动组件（17），所述驱动组件（17）通过啮合于齿轮（4）以驱动连接轴。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述底板（7）的下方设置有工作台（16），所述驱动组件（17）包括安装于工作台（16）的第二电机（172）与离合器（171），所述第二电机（172）的转轴套设在离合器（171）内环，所述离合器（171）外环与连接轴上的齿轮（4）啮合连接，所述工作台（16）底部安装升降气缸（18），用于控制置料板（1）的升降。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述定位件（2）包括滑动连接于滑动槽内的滑动部（12），所述滑动部（12）的表面设置有定位部（13），所述驱动杆（6）设置于滑动部（12）的表面。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动杆（6）可拆卸连接于滑动部（12）的表面。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述滑动部（12）的表面开设有螺纹槽（14），所述驱动杆（6）的底部设置有螺纹连接于螺纹槽（14）内的螺杆（15）。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动槽（5）的内壁设置有橡胶垫。