JP4758118B2 - 赤外線検出器および赤外線検出器のガス吸着手段活性化方法 - Google Patents
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Description
なお、ここで、赤外線吸収率の高い面とは、例えば、赤外線吸収率の高い材料がコーティングされた面や、赤外線吸収率が高くなるように表面処理された面のことである。一方、赤外線吸収率の低い面とは、例えば、赤外線吸収率の低い材料がコーティングされた面や、赤外線吸収率が低くなるように表面処理された面のことである。
図1はこの発明の実施の形態1の赤外線検出器の縦断面図である。図2は図1のA−A線に沿う矢視横断面図である。本実施の形態の赤外線検出器110は、まず、概略矩形凹状のパッケージ1と、概略円盤状で中央に円形の大径穴2aが空けられた枠状のキャップ2と、この大径穴2aを塞ぐように設けられた円板状の赤外線を透過する円盤3とで構成されたケーシング4を有している。
図3はこの発明の実施の形態2の赤外線検出器の縦断面図である。本実施の形態の赤外線検出器120においては、ガス吸着手段であるゲッター20は、一般的な長さの内部端子32に支持されて、真空室5の矩形筒状空間5a内に配設されている。
図4はこの発明の実施の形態3の赤外線検出器の縦断面図である。本実施の形態の赤外線検出器130においては、本実施の形態のガス吸着手段であるゲッター30は、高さが赤外線検知素子7の高さと同じくらいの高さとなるような内部端子32に支持されて、真空室5の矩形筒状空間5aの上端付近に位置している。
図5はこの発明の実施の形態4の赤外線検出器の縦断面図である。本実施の形態の赤外線検出器140においては、本実施の形態のガス吸着手段であるゲッター40は、実施の形態3と同じように、内部端子42に支持されて、真空室5の矩形筒状空間5aの上端付近に位置している。本実施の形態においては、赤外線検知素子7の第1の面の受光部7a以外の部分に赤外線吸収率の高い黒色めっき27が施されている。なお、赤外線吸収率の高い表面処理としては、黒色めっき26に限らず、赤外線吸収率を高くするような他の表面処理であってもよい。この構成により、実施の形態3と同じ理由で同様の効果を得ることができる。
図6はこの発明の実施の形態5の赤外線検出器の縦断面図である。本実施の形態の赤外線検出器150においては、本実施の形態においては、赤外線検知素子7とゲッター50の間に、熱の伝達を防ぐ遮蔽板46が設けられている。ゲッター50は、遮蔽板46から十分低くなるように実施の形態3,4のものより短い内部端子42にて支持されている。なお、遮蔽板46の高さは、ゲッター50から発した熱線Hが円盤3にて反射角θにて反射しても受光部7aに到達しない高さにされている。
図7はこの発明の実施の形態6の赤外線検出器を示す遮蔽板46の部分を拡大して示す部分拡大図である。本実施の形態では、実施の形態5の遮蔽板46のゲッター50側の表面に、赤外線吸収率の高い表面処理として黒色めっき28を施し、また、遮蔽板46の赤外線検知素子7側の表面に赤外線吸収率の低い表面処理としてニッケルめっき36を施している。
本実施の形態においては、この発明にかかる赤外線検出器のガス吸着手段活性化方法の1例を示す。本実施の形態の赤外線検出器のガス吸着手段活性化方法においては、従来の構造及び実施の形態1から6のいずれかの赤外線検出器において、先ず、赤外線検知素子7を含む検出器全体を第1の温度である所定の高温(例えば200℃程度)に加熱した状態としておき、コイルヒータによる通電による温度上昇幅を第2の温度である(例えば300℃程度)として、ゲッターの活性化を行うものである。この場合、ゲッター温度は500℃となり、活性化される。
1a 筒状部
1b 底部
2 キャップ
2a 大径穴
3 円盤
4 ケーシング
4a 窓部
5 真空室
5a 矩形筒状空間(溝部)
5b 円板状空間
6 電子冷却素子(凸設部、冷却部材)
6a 第1基板
6b 熱電素子
6c 第2基板
6d 電極
6e 延設部
7 赤外線検知素子
7a 受光部
8 ワイヤボンディング
9 外部端子
10,20,30,40,50 ゲッター(ガス吸着手段)
11 ゲッターリード
12,22,32,42,52 内部端子
26,27,28 黒色めっき(吸収率の高い表面処理)
46 遮蔽板(遮蔽手段)
36 ニッケルめっき(吸収率の低い表面処理)
H 熱線
Claims (4)
- 赤外線透過用の窓部と、当該窓部とともに内部に真空室を形成するセラミックパッケージとを有してなるケーシングと、
前記真空室内に収納された電子冷却素子と、
ダイオード型またはマイクロボロメータ型の多数の画素が2次元アレイ状に配列されてなり、赤外線を受光する受光部を有し該受光部を前記窓部に向けて前記真空室内に収納され、前記電子冷却素子上に配置された赤外線検知素子と、
前記真空室内に設けられ、通電により発熱するゲッターとを備え、
前記赤外線検知素子は、受光部以外の部分に前記窓部と対向する黒色の表面処理部が設けられ、
前記ゲッターは、前記ケーシングの内壁と前記電子冷却素子の間における底部から開口部まで形成された間隙に、前記ゲッターの発した熱線が前記赤外線検知素子の前記受光部に直接到達することがなく、前記ゲッターが発し前記窓部で反射された熱線が前記赤外線検知素子の前記黒色の表面処理部にて吸収されて前記受光部に到達しにくくなるように収納されていることを特徴とした赤外線検出器。 - 前記赤外線検知素子は、前記真空室内に凸設部を形成する前記電子冷却素子の頂面に配設され、
前記ゲッターは、前記電子冷却素子と前記ケーシング内面との間に形成された溝部の底に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。 - 前記電子冷却素子は、ペルチエ効果を利用して前記赤外線検知素子を所定の温度にする ことを特徴とする請求項2に記載の赤外線検出器。
- 前記ケーシングの内面の前記熱線が到達する部分に黒色めっきが形成されている
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の赤外線検出器。
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