JP5939385B2 - 赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 84
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 63
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 18
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 17
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- 239000002585 base Substances 0.000 description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 13
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007637 SnAg Inorganic materials 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008433 SnCU Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007116 SnPb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005728 SnZn Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M caesium iodide Inorganic materials [I-].[Cs+] XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Inorganic materials [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- -1 moisture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M potassium bromide Inorganic materials [K+].[Br-] IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
- G01J5/045—Sealings; Vacuum enclosures; Encapsulated packages; Wafer bonding structures; Getter arrangements
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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Description
以下、本発明の第1の実施形態における赤外線センサパッケージ17について、図1A乃至図1Eを参照して説明する。
例えば、外部端子の一例として、図1Bに示すように、ベース基板2上の赤外線センサ素子1の実装面とは表裏反対面に形成され、且つ、赤外線センサ素子1およびベース基板2に電気的に接続された導体ピン13aを外部端子(いわゆるPGA[Pin Grid Array]と呼ばれる外部端子)とする例が挙げられる。
また、外部端子の他の例として、図1Cに示すように、ベース基板2上の赤外線センサ素子1の実装面とは表裏反対面に形成され、且つ、赤外線センサ素子1およびベース基板2に電気的に接続された導体ボール13bを外部端子(いわゆるBGA[Ball Grid Array]と呼ばれる外部端子)とする例が挙げられる。
また、外部端子の他の例として、図1Dに示すように、ベース基板2の側面に形成され、且つ、赤外線センサ素子1およびベース基板2に電気的に接続された導体端子13cを赤外線センサパッケージ17の外部端子(いわゆるLGA[Land Grid Array]と呼ばれる外部端子)とする例が挙げられる。
また、外部端子の他の例として、図1Eに示すように、ベース基板2上の赤外線センサ素子1の実装面とは表裏反対面に形成され、且つ、赤外線センサ素子1およびベース基板2に電気的に接続された導体端子13dと電気的に接続されたフレキシブル回路基板14を赤外線センサパッケージ17の外部端子とする例が挙げられる。
次に、本発明の第2の実施形態について、図2に基づいて以下に説明する。ここで、第2の実施形態では、前述した第1の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第1の実施形態との間の相違点のみを説明する。
次に、本発明の第3の実施形態について、図3に基づいて以下に説明する。ここで、第3の実施形態では、前述した第2の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第2の実施形態との間の相違点のみを説明する。
次に、本発明の第4の実施形態について、図4A乃至図4Cに基づいて以下に説明する。ここで、第4の実施形態では、前述した第1の実施形態乃至第3の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第1の実施形態乃至第3の実施形態との間の相違点のみを説明する。
一方、本発明の第4の実施形態のようにゲッター6aを薄膜形状にすれば、あらかじめ複数(多数)のベース基板2を薄膜のゲッター6aの形成装置内にセットし、ベース基板2と薄膜のゲッター6aが一体となったものをまとめて製造することができ、製造量産効率を高めて、パッケージの製造コストを低減させることができるというメリットがある。
次に、本発明の第5の実施形態について、以下に説明する。ここで、第5の実施形態では、前述した第4の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第4の実施形態との間の相違点のみを説明する。
一方、赤外線センサ素子1は、約300℃以上の環境下で性能が劣化するため、赤外線センサパッケージ17全体を約300℃以上に加熱することができず、一般的にはゲッター6aに電流を流すことによって、ゲッター6aだけを直接加熱して活性化を行うという手段が多く使用されている。
次に、本発明の第6の実施形態について、図5に基づいて以下に説明する。ここで、第6の実施形態では、前述した第2の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第2の実施形態との間の相違点のみを説明する。
次に、本発明の第7の実施形態について、図6に基づいて以下に説明する。ここで、第7の実施形態では、前述した第1の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第1の実施形態との間の相違点のみを説明する。
次に、本発明の第8の実施形態について、図7Aおよび図7Bに基づいて以下に説明する。ここで、第8の実施形態では、前述した第1の実施形態と以下に説明する一部のみが異なるため、以下では、第1の実施形態との間の相違点のみを説明する。
次に、本発明の第9の実施形態について、以下に説明する。
次に、本発明の第10の実施形態について、以下に説明する。
2:ベース基板
3:ハウジング
4:貫通穴
5:赤外線透過窓
6a:ゲッター
6b:端子
6c:表面端子
7:空間
8:スペーサー材料
9:空隙
10:凹部
11:ワイヤー線
12:板状の素子(遮熱部材)
13a〜13d:外部端子
14:フレキシブル回路基板
15:フレキシブル回路基板の端子
17:赤外線センサパッケージ
18:接着剤
19:ハウジング一体型ベース基板
Claims (9)
- 赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子に電気的に接続されたベース基板部と、前記赤外線センサ素子を囲うハウジング部と、赤外線透過窓と、ゲッターとを少なくとも備え、
前記赤外線センサ素子は、前記ベース基板部と前記ハウジング部と前記赤外線透過窓とによって囲まれた空間内に真空封止されており、
前記ゲッターは、前記赤外線センサ素子と前記ベース基板部との間にスペーサーを配置することによって形成された前記赤外線センサ素子と前記ベース基板部との間の空隙に配置され、
前記赤外線センサ素子と前記ゲッターとの間に、遮熱部材が配置され、
前記遮熱部材は、前記赤外線センサ素子を加熱する加熱ヒーター、または、Niを含む合金または耐熱ガラスから成る素子であることを特徴とする赤外線センサパッケージ。 - 前記遮熱部材は、前記ゲッターに対向する前記赤外線センサ素子の対向面に固着されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記遮熱部材は、前記赤外線センサ素子を加熱する加熱ヒーターであることを特徴とする請求項1または2に記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記ベース基板部は、前記赤外線センサ素子に対向する対向面に凹部を有し、
前記ゲッターは、前記ベース基板部の前記凹部を跨ぐように、前記ベース基板部の前記対向面上に実装されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の赤外線センサパッケージ。 - 前記ゲッターは、薄膜形状を有していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記ゲッターは、300°℃以下の加熱により活性化する材料から成ることを特徴とする請求項5に記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記スペーサーは、ガラス材料から成ることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の赤外線センサパッケージ。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の赤外線センサパッケージと、前記赤外線センサパッケージに電気的に接続され前記赤外線センサパッケージを駆動する駆動回路とを備えていることを特徴とする赤外線センサモジュール。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の赤外線センサパッケージまたは請求項8に記載の赤外線センサモジュールを搭載したことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012091535A JP5939385B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器 |
US13/845,897 US9157805B2 (en) | 2012-04-13 | 2013-03-18 | Infrared ray sensor package, infrared ray sensor module, and electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012091535A JP5939385B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013222735A JP2013222735A (ja) | 2013-10-28 |
JP5939385B2 true JP5939385B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=49580553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012091535A Active JP5939385B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9157805B2 (ja) |
JP (1) | JP5939385B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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CN104934380B (zh) * | 2015-05-11 | 2018-02-09 | 清华大学 | 一种用于芯片的封装结构 |
JP6457345B2 (ja) * | 2015-06-24 | 2019-01-23 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージおよび電子装置 |
KR102592972B1 (ko) | 2016-02-12 | 2023-10-24 | 삼성전자주식회사 | 센싱 모듈 기판 및 이를 포함하는 센싱 모듈 |
JP7247730B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-03-29 | 三菱電機株式会社 | 電子モジュール |
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---|---|---|---|---|
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- 2012-04-13 JP JP2012091535A patent/JP5939385B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013222735A (ja) | 2013-10-28 |
US20130306868A1 (en) | 2013-11-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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