JP5123223B2 - 赤外線センサ素子のパッケージ - Google Patents
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Description
以下、実施形態1について図1に基づいて説明する。
本実施形態の赤外線センサ素子Aのパッケージ1の基本構成は実施形態1とほぼ同じであり、図2に示すように、前記熱伝達規制手段として、リッド3におけるゲッタ被形成部3cおよびゲッタ被形成部3cの外周全体を囲む部位に設けられ且つリッド3におけるゲッタ被形成部3cの外周全体を囲む部位の外側の部位に比べて厚みが薄く設定された薄肉部3dが設けられてなる点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の赤外線センサ素子Aのパッケージ1の基本構成は実施形態1とほぼ同じであり、図3(a)に示すように、前記熱伝達規制手段として、リッド3におけるゲッタ被形成部3cの外周全体を囲む部位に設けられ且つリッド3におけるゲッタ被形成部3cの外周全体を囲む部位の外側の部位に比べて厚みが薄く設定された薄肉部3dを有する点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の赤外線センサ素子Aのパッケージ1の基本構成は実施形態1とほぼ同じであり、図4に示すように、前記熱伝達規制手段として、リッド3におけるゲッタ被形成部3cの外周全体を囲む部位に断熱部7が設けられている点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の赤外線センサ素子Aのパッケージ1の基本構成は実施形態1とほぼ同じであり、図5に示すように、前記熱伝達規制手段として、リッド3のゲッタ被形成部3cをリッド3の前記一表面とは交差する方向(本実施形態では、前記一表面と直交する方向)に突出した形で支持する突出片3fを備える点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
2 パッケージ本体
2a 内底面
3 リッド
3b 開口部
3c ゲッタ被形成部
3d 薄肉部(熱伝達規制手段)
3f 突出片(熱伝達規制手段)
4 赤外線透過部材
6 ヒートシンク(熱伝達規制手段)
7 断熱部(熱伝達規制手段)
51,52 接合部
A 赤外線センサ素子
C ゲッタ
Claims (5)
- 一面が開放された箱状に形成され赤外線センサ素子が内底面に配設されるパッケージ本体と、前記赤外線センサ素子に対応する部位に開口部を有し前記パッケージ本体の前記一面側を覆う形で前記パッケージ本体の前記一面側に第1の固着材により接合されたリッドと、赤外線を透過する材料により形成され且つ前記リッドの前記開口部を覆う形で前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側の一表面側に第2の固着材により接合された赤外線透過部材と、前記パッケージ本体の内側における前記リッドの他表面側に設けられパッケージ内部に存在する気体を吸着するためのゲッタとを備え、前記ゲッタを活性化するために前記リッドの前記他表面側に前記ゲッタが設けられた前記リッドのゲッタ被形成部を前記一表面側から前記リッドに非接触の加熱手段により局所的に加熱する際に、前記ゲッタ被形成部から前記リッド全体への熱の伝達を規制する熱伝達規制手段が設けられてなり、前記熱伝達規制手段として、前記リッドの前記一表面側における前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位に設けられ前記ゲッタ被形成部から前記ゲッタ被形成部の外側へ伝達する熱を前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側に放熱して前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部の外周部を冷却する冷却手段を備えることを特徴とする赤外線センサ素子のパッケージ。
- 一面が開放された箱状に形成され赤外線センサ素子が内底面に配設されるパッケージ本体と、前記赤外線センサ素子に対応する部位に開口部を有し前記パッケージ本体の前記一面側を覆う形で前記パッケージ本体の前記一面側に第1の固着材により接合されたリッドと、赤外線を透過する材料により形成され且つ前記リッドの前記開口部を覆う形で前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側の一表面側に第2の固着材により接合された赤外線透過部材と、前記パッケージ本体の内側における前記リッドの他表面側に設けられパッケージ内部に存在する気体を吸着するためのゲッタとを備え、前記ゲッタを活性化するために前記リッドの前記他表面側に前記ゲッタが設けられた前記リッドのゲッタ被形成部を前記一表面側から前記リッドに非接触の加熱手段により局所的に加熱する際に、前記ゲッタ被形成部から前記リッド全体への熱の伝達を規制する熱伝達規制手段が設けられてなり、前記熱伝達規制手段として、前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部および前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位に設けられ且つ前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位の外側の部位に比べて厚みが薄く設定された薄肉部を備えることを特徴とする赤外線センサ素子のパッケージ。
- 一面が開放された箱状に形成され赤外線センサ素子が内底面に配設されるパッケージ本体と、前記赤外線センサ素子に対応する部位に開口部を有し前記パッケージ本体の前記一面側を覆う形で前記パッケージ本体の前記一面側に第1の固着材により接合されたリッドと、赤外線を透過する材料により形成され且つ前記リッドの前記開口部を覆う形で前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側の一表面側に第2の固着材により接合された赤外線透過部材と、前記パッケージ本体の内側における前記リッドの他表面側に設けられパッケージ内部に存在する気体を吸着するためのゲッタとを備え、前記ゲッタを活性化するために前記リッドの前記他表面側に前記ゲッタが設けられた前記リッドのゲッタ被形成部を前記一表面側から前記リッドに非接触の加熱手段により局所的に加熱する際に、前記ゲッタ被形成部から前記リッド全体への熱の伝達を規制する熱伝達規制手段が設けられてなり、前記熱伝達規制手段として、前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位に設けられ且つ前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位以外の部位に比べて厚みが薄く設定された薄肉部を備えることを特徴とする赤外線センサ素子のパッケージ。
- 一面が開放された箱状に形成され赤外線センサ素子が内底面に配設されるパッケージ本体と、前記赤外線センサ素子に対応する部位に開口部を有し前記パッケージ本体の前記一面側を覆う形で前記パッケージ本体の前記一面側に第1の固着材により接合されたリッドと、赤外線を透過する材料により形成され且つ前記リッドの前記開口部を覆う形で前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側の一表面側に第2の固着材により接合された赤外線透過部材と、前記パッケージ本体の内側における前記リッドの他表面側に設けられパッケージ内部に存在する気体を吸着するためのゲッタとを備え、前記ゲッタを活性化するために前記リッドの前記他表面側に前記ゲッタが設けられた前記リッドのゲッタ被形成部を前記一表面側から前記リッドに非接触の加熱手段により局所的に加熱する際に、前記ゲッタ被形成部から前記リッド全体への熱の伝達を規制する熱伝達規制手段が設けられてなり、前記熱伝達規制手段として、前記リッドにおける前記ゲッタ被形成部の外周全体を囲む部位に設けられ且つ熱絶縁性の高い材料で形成された断熱部を備えることを特徴とする赤外線センサ素子のパッケージ。
- 一面が開放された箱状に形成され赤外線センサ素子が内底面に配設されるパッケージ本体と、前記赤外線センサ素子に対応する部位に開口部を有し前記パッケージ本体の前記一面側を覆う形で前記パッケージ本体の前記一面側に第1の固着材により接合されたリッドと、赤外線を透過する材料により形成され且つ前記リッドの前記開口部を覆う形で前記リッドの前記パッケージ本体側とは反対側の一表面側に第2の固着材により接合された赤外線透過部材と、前記パッケージ本体の内側における前記リッドの他表面側に設けられパッケージ内部に存在する気体を吸着するためのゲッタとを備え、前記ゲッタを活性化するために前記リッドの前記他表面側に前記ゲッタが設けられた前記リッドのゲッタ被形成部を前記一表面側から前記リッドに非接触の加熱手段により局所的に加熱する際に、前記ゲッタ被形成部から前記リッド全体への熱の伝達を規制する熱伝達規制手段が設けられてなり、前記熱伝達規制手段として、前記リッドの前記ゲッタ被形成部を前記リッドの前記一表面とは交差する方向に突出した形で支持する突出片を備えることを特徴とする赤外線センサ素子のパッケージ。
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