JP4698200B2 - レーザ加工方法およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1に係るレーザ加工方法およびレーザ加工装置を、図1〜図3に基づき説明する。
なお、図示しないが、ビーム拡散部材2の遮蔽板材11の駆動部材を制御して溝部2aの幅を調節するための制御部が設けられており、上記ビーム形状検出装置13にて検出された検出結果は、当該制御部に入力されて、所定幅の溝部2aとなるように制御される。
レーザ照射器1からシングルモードで且つ照射断面形状が円形状のレーザビームRが出射されると、このレーザビームRはビーム均し部材3の複数のスリット3aを通過した後、ビーム拡散部材2の溝部2aを通過する。
なお、加工時においては、レーザビームR(R1)の照射断面形状がビーム形状検出装置13により検出されるとともに、制御部を介して、当該照射断面形状が常に所定形状となるように、駆動部材を介して溝部2aの幅が制御されている。勿論、この制御については、それぞれの加工幅に応じて、溝部2aの幅を変更する際にだけ用いるようにしてもよい。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2に係るレーザ加工方法および加工装置を、図4に基づき説明する。
この構成によると、レーザ照射器1から出射されたレーザビームRは、少なくともビーム拡散部材2を通過する際の回折作用によりY方向に広げられ、このY方向に広がったレーザビームは第1シリンドルカルレンズ21にてY方向で狭められて円形状にされた後、第2シリンドルカルレンズ22にてX方向に狭められて、その照射断面形状が、長方形状に、より具体的には細長い楕円形状に成形されて、被加工物Kの表面に照射される。なお、図4の右側に、各照射経路上でのレーザビームRの照射断面形状を示しておく。
[実施の形態3]
次に、本発明の実施の形態3に係るレーザ加工方法および加工装置を、図5〜図8に基づき説明する。
[実施の形態4]
次に、本発明の実施の形態4に係るレーザ加工方法および加工装置を、図9に基づき説明する。
すなわち、図9に示すように、実施の形態1で説明したレーザ加工装置におけるレーザ拡散部材2から照射されたレーザビームRの照射経路の途中に、その経路を90度変える(鉛直方向から水平方向へ)反射ミラー51およびこの反射ミラー51にて方向が変えられたレーザビームRを、さらにその照射経路を90度変える(水平方向から鉛直方向へ)とともに溝部2aの方向で狭めて被加工物Kの表面に照射させる集光ミラー(具体的には、凹面鏡が用いられる)52が配置されたものである。
なお、図9においても、レーザ照射器1、レーザ均し部材3、サンプリング用ミラー12およびビーム形状検出装置13については、その図示を省略している。
2 レーザ拡散部材
2a 溝部
3 レーザ均し部材
3a スリット
4 凸レンズ
11 遮蔽板材
12 サンプリング用ミラー
13 ビーム形状検出装置
21 第1シリンドリカルレンズ
22 第2シリンドリカルレンズ
31 第1レーザ拡散部材
31a 第1溝部
32 第2レーザ拡散部材
32a 第2溝部
41 遮蔽板材
42 遮蔽板材
51 反射ミラー
52 集光ミラー
Claims (5)
- シングルモードのレーザビームをその照射経路上に配置された穴部を通過させて回折作用により広げるとともに、照射経路上の穴部内、穴部の前方または穴部の後方に配置された複数本のスリットによりレーザビームに干渉を生じさせ、このレーザビームを集光レンズで狭めて被加工物に照射させることを特徴とするレーザ加工方法。
- シングルモードのレーザビームをその照射経路上に配置された溝部を通過させて回折作用により溝部幅方向で広げるとともに、照射経路上の溝部内、溝部の前方または溝部の後方に配置された複数本のスリットによりレーザビームに干渉を生じさせ、このレーザビームを集光レンズにて溝部幅方向と直交する方向で狭めて被加工物に照射させることを特徴とするレーザ加工方法。
- 集光レンズとして凸レンズを用いるとともに、この凸レンズにおけるレーザビームの焦点位置を、当該凸レンズに照射した際の焦点位置に対して、±10mmの範囲内となるようにすることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工方法。
- シングルモードのレーザビームを照射するレーザ照射器と、このレーザ照射器からのレーザビームの照射経路上に配置されるとともに穴部を有し且つ当該穴部をレーザビームが通過するに際し回折作用を行わせるビーム拡散部材と、上記穴部内、穴部の前方または穴部の後方に配置されてレーザビームに干渉を生じさせる複数本のスリットと、このビーム拡散部材の穴部を通過し回折したレーザビームを狭めて被加工物上に照射させる集光レンズとを具備したことを特徴とするレーザ加工装置。
- シングルモードのレーザビームを照射するレーザ照射器と、このレーザ照射器からのレーザビームの照射経路上に配置されるとともに溝部を有し且つ当該溝部をレーザビームが通過するに際し回折作用を行わせるビーム拡散部材と、上記溝部内、溝部の前方または溝部の後方に配置されてレーザビームに干渉を生じさせる複数本のスリットと、このビーム拡散部材の溝部を通過し回折したレーザビームを溝部幅方向で狭めて被加工物上に照射させる集光レンズとを具備したことを特徴とするレーザ加工装置。
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