JP4993986B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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射されたレーザをワークに照射して前記ワークを加工するレーザ加工装置であって、焦点
距離が同一であり、各円筒の軸線が導波管次元およびレーザの中心軸に直交するようにし
て配置された2個の円筒レンズと、前記2個の円筒レンズの間隔を変更するレンズ駆動手
段とを含むビーム径変更手段と、レーザのエネルギを検出するエネルギ検出手段と、を備
え、前記ビーム径変更手段は、前記エネルギ検出手段により検出した前記レーザのエネル
ギの変化に基づいて前記レーザの導波管次元のビーム径の変化を判断し、前記円筒レンズ
間の距離を変更することにより前記レーザの導波管次元のビーム径を制御し、前記レーザの光強度分布の変動を抑制することを特徴とする。
4 移動装置
5 ビームスプリッタ
7 集光レンズ
15 レーザ
50 ビーム径変更手段
2a 円筒レンズ
2b 円筒レンズ
f 焦点距離
Claims (1)
- スラブ導波管型レーザ発振器から出射されたレーザをワークに照射して前記ワークを加
工するレーザ加工装置であって、
焦点距離が同一であり、各円筒の軸線が導波管次元およびレーザの中心軸に直交するよ
うにして配置された2個の円筒レンズと、前記2個の円筒レンズの間隔を変更するレンズ
駆動手段とを含むビーム径変更手段と、
レーザのエネルギを検出するエネルギ検出手段と、
を備え
前記ビーム径変更手段は、前記エネルギ検出手段により検出した前記レーザのエネルギ
の変化に基づいて前記レーザの導波管次元のビーム径の変化を判断し、前記円筒レンズ間
の距離を変更することにより前記レーザの導波管次元のビーム径を制御し、前記レーザの光強度分布の変動を抑制すること
を特徴とするレーザ加工装置。
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JP2006261084A JP4993986B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006261084A JP4993986B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | レーザ加工装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP4993986B2 true JP4993986B2 (ja) | 2012-08-08 |
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Family Applications (1)
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- 2006-09-26 JP JP2006261084A patent/JP4993986B2/ja not_active Expired - Fee Related
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