JP2014183153A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放電電極で生じる放電により、レーザ媒質ガスが励起される。駆動回路が放電開始トリガを受信すると、放電電極への電力の供給を開始し、放電停止トリガを受信すると、放電電極への電力の供給を停止する。計測器が、放電電極に与えられる電圧または電流の少なくとも一方の物理量を計測する。制御装置が、駆動回路に放電開始トリガを与えた後、計測器により測定された前記物理量の計測値に基づいて、駆動回路に放電停止トリガを与える。
【選択図】 図7
Description
レーザ媒質ガスを励起する放電電極と、
放電開始トリガを受信することにより、前記放電電極への電力の供給を開始し、放電停止トリガを受信することにより前記放電電極への電力の供給を停止する駆動回路と、
前記放電電極に与えられる電圧及び電流の少なくとも一方の物理量を計測する計測器と、
前記駆動回路に、前記放電開始トリガを与えた後、前記計測器により測定された前記物理量の計測値に基づいて、前記駆動回路に前記放電停止トリガを与える制御装置と
を有するレーザ加工装置が提供される。
ガスレーザ発振器に、放電電極への電力供給開始の指令を与える工程と、
前記ガスレーザ発振器に前記電力供給開始の指令を与えた時点から、前記放電電極に与えられている電圧または電流の少なくとも一方の物理量を計測する工程と、
前記物理量の計測値に基づいて、前記放電電極に電力を供給する時間幅を算出する工程
と、
前記電力供給開始の指令の時点から、算出された前記時間幅が経過した時点で、前記ガスレーザ発振器に、前記放電電極への電力供給の停止を指令する工程と
を有するレーザ加工方法が提供される。
った後、放電電流は、振幅がほぼ一定の定常状態になる。
チャートを示す。図7に、トリガ信号、高周波電圧、放電電流、及び光出力のタイミングチャートを示す。加工対象物30をステージ25に保持して、加工対象物30の位置決めが完了すると、最初に加工すべき被加工点にレーザパルスが入射するように、ビーム走査器18を制御する。ステップS1において、ビーム走査器18の位置決めが完了するまで待機する。ビーム走査器18の位置決めが完了すると、ステップS2において、駆動回路11に放電開始トリガ(電力供給開始の指令)を与える。ステップS2は、図7に示した時刻t11、t21、t31に相当する。
ーザ加工処理を終了する。
11 駆動回路
12 スポット位置安定化光学系
13 非球面レンズ
14 コリメートレンズ
15 マスク
16 フィールドレンズ
17 折り返しミラー
18 ビーム走査器
19 fθレンズ
20 制御装置
20A 物理量の計測値を受信する機能ブロック
20B パルスエネルギを一定にする条件データ
20C 放電停止トリガを送出する時刻調整を行う機能ブロック
20D トリガ生成機能ブロック
25 ステージ
30 加工対象物
40 送風機
41 放電電極
42 放電空間
43 導電部材
44 セラミック部材
46 熱交換器
50 チェンバ
51 端子
52 チェンバ内電流路
55 チェンバ外電流路
56 計測器
Claims (6)
- レーザ媒質ガスを励起する放電電極と、
放電開始トリガを受信することにより、前記放電電極への電力の供給を開始し、放電停止トリガを受信することにより前記放電電極への電力の供給を停止する駆動回路と、
前記放電電極に与えられる電圧及び電流の少なくとも一方の物理量を計測する計測器と、
前記駆動回路に、前記放電開始トリガを与えた後、前記計測器により測定された前記物理量の計測値に基づいて、前記駆動回路に前記放電停止トリガを与える制御装置と
を有するレーザ加工装置。 - 前記制御装置は、前記駆動回路に前記放電開始トリガを与えた後、予め決められた判定時間が経過するまでの、前記計測器による計測結果に基づいて、前記放電開始トリガを与えてから前記放電停止トリガを与えるまでの時間幅を算出する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御装置は、前記計測器により計測された前記物理量が大きいほど、前記放電開始トリガから前記放電停止トリガまでの時間幅を短くする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御装置は、前記計測器により計測される前記物理量と、前記放電開始トリガから前記放電停止トリガまでの時間との対応関係を記憶しており、
前記計測器により計測された前記物理量の計測値と前記対応関係とに基づいて、前記放電開始トリガから前記放電停止トリガまでの時間幅を求める請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - ガスレーザ発振器に、放電電極への電力供給開始の指令を与える工程と、
前記ガスレーザ発振器に前記電力供給開始の指令を与えた時点から、前記放電電極に与えられている電圧または電流の少なくとも一方の物理量を計測する工程と、
前記物理量の計測値に基づいて、前記放電電極に電力を供給する時間幅を算出する工程と、
前記電力供給開始の指令の時点から、算出された前記時間幅が経過した時点で、前記ガスレーザ発振器に、前記放電電極への電力供給の停止を指令する工程と
を有するレーザ加工方法。 - 前記時間幅を算出する工程において、前記電力供給開始の指令の時点から、予め決められた判定時間が経過するまでの前記電圧または電流の計測値に基づいて、前記時間幅を算出する請求項5に記載のレーザ加工方法。
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