JP6675951B2 - ビーム整形装置 - Google Patents
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- 238000007493 shaping process Methods 0.000 title claims description 72
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 60
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 37
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000003796 beauty Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 208000025174 PANDAS Diseases 0.000 description 1
- 208000021155 Paediatric autoimmune neuropsychiatric disorders associated with streptococcal infection Diseases 0.000 description 1
- 240000000220 Panda oleosa Species 0.000 description 1
- 235000016496 Panda oleosa Nutrition 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるビーム整形装置100の構成図である。レーザ発振器1から出射されたレーザ光11は、伝送光学系2を通過し、部分反射ミラー3に到達する。部分反射ミラー3はレーザ光11の入射ビームの一部を90°反射して、レーザ光11のビーム形状を測定する測定手段であるビーム形状モニタ4に入射させる。ビーム形状モニタ4としては、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)またはCCD(Charge−Coupled Device)によってビーム強度分布を測定する装置、もしくはナイフエッジ形状といった形状を有する可動アパーチャを装備したパワー計測装置等が用いられる。ビーム形状モニタ4で計測するレーザ光11のビーム形状は、部分反射ミラー3を透過したビームの光軸の上でビーム形状をモニタするモニタ位置5におけるビーム形状と一致する。
図6は、本発明の実施の形態2にかかるビーム整形装置200の構成図である。実施の形態2にかかるビーム整形装置200には、実施の形態1にかかるビーム整形装置100から移動機構14が除かれている代わりに、光軸上で光学系15を移動することが可能な移動機構16が追加されている。そして、ビーム整形装置100では固定されていた基準位置10がビーム整形装置200では光軸に沿って移動する基準位置17に変更されている。
図7は、本発明の実施の形態3にかかるビーム整形装置300の構成図である。実施の形態3にかかるビーム整形装置300においては、実施の形態1にかかるビーム整形装置100の光学系15が、レーザ光11のビーム径の拡大率が可変のビームエキスパンダ18で構成されている。ビームエキスパンダ18以外のビーム整形装置300の構成は、ビーム整形装置100と同じであり、説明を省略する。
図8は、本発明の実施の形態4にかかるビーム整形装置400の構成図である。実施の形態4にかかるビーム整形装置400においては、実施の形態2にかかるビーム整形装置200の光学系15が、拡大率が可変のビームエキスパンダ18で構成されており、光軸上でビームエキスパンダ18を移動することが可能な移動機構19が設けられている。すなわち、ビーム整形装置200の光学系15および移動機構16がビームエキスパンダ18および移動機構19に置き換わっており、それら以外のビーム整形装置400の構成は、ビーム整形装置200と同じであり、説明を省略する。
Claims (4)
- 光軸の上のモニタ位置におけるレーザ光のビーム形状を測定する測定手段と、
前記モニタ位置を経た前記レーザ光を透過する第1のシリンドリカルレンズと、
前記第1のシリンドリカルレンズと集光方向が互いに直交し、前記第1のシリンドリカルレンズを経た前記レーザ光を透過する第2のシリンドリカルレンズと、
前記第2のシリンドリカルレンズを経た前記レーザ光の進行方向を変更する折り曲げミラーと、
前記第1、第2のシリンドリカルレンズおよび前記折り曲げミラーを光軸の方向にそれぞれ移動させる移動機構と、
を備え、
前記モニタ位置における前記ビーム形状に基づいて、前記モニタ位置と、前記折り曲げミラーにより進行方向が変更された後に前記レーザ光が経由する基準位置とが、前記第1のシリンドリカルレンズ及び前記第2のシリンドリカルレンズの両方に対し、結像条件を満たすように前記移動機構を制御する
ことを特徴とするビーム整形装置。 - 光軸の上のモニタ位置におけるレーザ光のビーム形状を測定する測定手段と、
前記モニタ位置を経た前記レーザ光を透過する第1のシリンドリカルレンズと、
前記第1のシリンドリカルレンズと集光方向が互いに直交し、前記第1のシリンドリカルレンズを経た前記レーザ光を透過する第2のシリンドリカルレンズと、
前記第2のシリンドリカルレンズを経た前記レーザ光が経由する光学系と、
前記第1、第2のシリンドリカルレンズおよび前記光学系を光軸の方向にそれぞれ移動させる移動機構と、
を備え、
前記モニタ位置における前記ビーム形状に基づいて、前記モニタ位置と、前記第2のシリンドリカルレンズと前記光学系との間に位置する基準位置とが、前記第1のシリンドリカルレンズ及び前記第2のシリンドリカルレンズの両方に対し、結像条件を満たすように前記移動機構を制御する
ことを特徴とするビーム整形装置。 - 前記基準位置を経由した前記レーザ光が入射し、前記レーザ光のビーム径の拡大率が可変なビームエキスパンダを備える
ことを特徴とする請求項1に記載のビーム整形装置。 - 前記光学系は、前記レーザ光のビーム径の拡大率が可変なビームエキスパンダである
ことを特徴とする請求項2に記載のビーム整形装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016155677A JP6675951B2 (ja) | 2016-08-08 | 2016-08-08 | ビーム整形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016155677A JP6675951B2 (ja) | 2016-08-08 | 2016-08-08 | ビーム整形装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018025606A JP2018025606A (ja) | 2018-02-15 |
JP6675951B2 true JP6675951B2 (ja) | 2020-04-08 |
Family
ID=61194566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016155677A Active JP6675951B2 (ja) | 2016-08-08 | 2016-08-08 | ビーム整形装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6675951B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7422313B2 (ja) | 2018-12-26 | 2024-01-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ラインビーム走査光学系およびレーザレーダ |
JP7499628B2 (ja) * | 2020-07-07 | 2024-06-14 | 住友重機械工業株式会社 | ビーム整形光学装置及び真円度調整方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63242484A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-07 | Fuji Electric Co Ltd | レ−ザ−加工装置 |
JPH04237587A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-26 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP3531199B2 (ja) * | 1994-02-22 | 2004-05-24 | 三菱電機株式会社 | 光伝送装置 |
JP4698200B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2011-06-08 | 日立造船株式会社 | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
JP2007136477A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
KR100984727B1 (ko) * | 2010-04-30 | 2010-10-01 | 유병소 | 대상물 가공 방법 및 대상물 가공 장치 |
JP2012030267A (ja) * | 2010-08-02 | 2012-02-16 | Sharp Corp | レーザビーム照射装置、およびレーザビーム照射方法 |
-
2016
- 2016-08-08 JP JP2016155677A patent/JP6675951B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018025606A (ja) | 2018-02-15 |
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