JP2019144426A - 光照射装置、光照射装置を用いた光加工装置、光照射方法、及び光加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このような微細加工を精度よく行うためには、収束位置におけるビーム形状が、安定し、かつ理想的なビーム形状を維持する制御が求められている。
そこでビーム形状として、高品質なガウシアンビームやトップハットビーム、ラゲールビーム、ベッセルビームなどにビームプロファイルを変換して、対象物に照射させる要求がある。トップハットビームにビームプロファイルを変換する手段として、円柱形状のトップハットビームに変換する非球面レンズタイプや矩形形状のトップハットビームに変換する回折光学素子(DOE)を用いるなどの方法がある。
このような問題点を解決するために、例えば収差補正手段によってレーザー光の収差を抑えることでビームプロファイルを高品質にする方法が知られている(例えば特許文献1等参照)。
光照射装置100は、レーザー発振器たる光源101と、光源101から出射されたレーザー光を収束および調整するための照射光学系102と、試料WKを配置するための試料テーブル103と、試料WKの位置を調整するための移動ステージ104と、を有している。
なお、本実施形態においては、レーザー光Lの光軸方向をZ軸として、光軸に垂直な2方向をX方向、Y方向としている。したがって、『光軸に垂直な断面』とはXY平面を指し、『光軸に垂直な断面における一方の軸』をY方向とすると、『光軸と一方の軸とに対して直交する他方の軸』はX方向と定まる。
また本実施形態では図1に示すように、照射光学系102によってレーザー光Lの進行方向が変化するが、かかる進行方向は、照射光学系102の設計によって、あるいは試料WKの配置位置によって適宜変更され得るため、何れの場合においても光軸方向をZ軸として表現している。
照射光学系102はまた、レーザー光Lの光軸の位置調整に用いられるX偏向ミラー40、Y偏向ミラー50と、試料WKの任意の収束位置にレーザー光Lを収束させるための集光レンズ60と、を有している。
なお、本実施形態ではミラーM1〜M6の6枚構成としているが、10枚以上のミラーを用いた構成であっても良いし、かかるミラーの数は限定されるものではない。
X偏向ミラー40とY偏向ミラー50とを用いて、レーザー光Lは光軸中心に対して対称になるように微調整された後、集光レンズ60により試料WKの任意の収束位置Pへと照射される。
照射されたレーザー光Lにより、試料WKが加工される。
ここで、図3(a)、(b)に、図2において下記の通り回転させたときの、レーザー光Lの入射ビームの破線における断面をそれぞれ示す。
図2において、プリズム211をA方向、プリズム212をB方向にそれぞれ回転させる。かかる方向に回転させると、図3(a)に示すように、X方向、Y方向におけるレーザー光Lのビーム断面の径:Rx、Ryとしたとき縦横比Rx/Ry<1となってレーザー光Lのビーム断面DはY方向に相対的に伸長する。なお、このとき実際にはX方向の射出ビームが狭くなることにより、縦横比Rx/Ry<1となる。
同様に、図2においてプリズム211をB方向、プリズム212をA方向にそれぞれ回転させると、図3(b)に示すように、縦横比Rx/Ry>1となってレーザー光Lのビーム断面DはX方向に伸長する。
かかる構成により、例えば入射ビームの断面が歪な形状であったとしても、ビーム変倍手段21を用いてレーザー光Lのビーム断面Dを真円にすることができるから、より理想的なビームプロファイルを生成することができて、加工精度が向上する。
このような3群3枚のシリンダレンズL21a〜L21cのうち、中央の可動シリンダレンズL21bをZ方向に前後移動させることにより、X方向についてのビーム径:Rxだけを拡大・縮小することができる。
かかる構成によれば、Y方向のビーム径:Ryはそのままで、X方向のビーム径:Rxだけを拡大・縮小することができるから、X方向とY方向とのうちどちらか1方のみのビーム径を変倍させることが可能である。
なお、ここでの変倍とは、レーザー光Lのビーム断面の形状を相似的に拡大・縮小するのではなく、ビーム断面の形状を非相似的に変形して拡大・縮小することである。
かかる構成により、例えば入射ビームの断面が歪な形状であったとしても、ビーム変倍手段21を用いてレーザー光Lのビーム断面Dを真円にすることができるから、より理想的なビームプロファイルを生成することが可能となる。
また、図4に示したケプラー型3群レンズ系は、既に述べたダブルプリズム方式に比べてさらに収差が少なくて済む。同様に図5に示したガリレオ型3群レンズ系は、レーザー光Lを集光させない光学系のため、エアブレイクダウンしにくい構成であり、フェムト秒レーザー等、短時間でピークパワーの大きい(≒大出力の)レーザー用途に適している。
このような透過型の位相変調素子は、数画素〜数十画素の透明な分割電極でできており、素子の透過面全体に2次関数的な電位分布を作ることができて、電位に応じた位相差が印加されることで位相分布を作り出して球面収差や非点収差など特定の波面を生成する。
その結果、ツェルニケ多項式の収差関数に相当する波面を作り出すことができる。
かかる構成は、光軸たるZ軸に垂直なXY面内において、一方の軸と、一方の軸に直交する他方の軸との焦点位置が異なる光軸について回転非対称な光学素子として複数のシリンダレンズを用いた構成である。
2つのシリンダレンズCYL1、CYL2の曲面は互いに向い合せになるように配置されている。かかるレンズ構成を、凹凸CYL方式と呼称する。
具体的には、f1=50mm、f2=−50mm、d=0.25mmとしたとき、f=10000mmであり、f1とf2の値よりも非常に長い焦点距離を作ることができる。
言い換えると、2つのシリンダレンズCYL1、CYL2を透過する透過波面に、わずかな量のシリンダ波面を重畳させることができる。すなわち、図8に破線で示すように、平行な波面をもつ入射したレーザー光Lに対して、湾曲した波面をもつ出射レーザー光L’を得ることができる。
また、集光レンズ60のデフォーカス効果と組み合わせることで、透過波面の0度アスティグマ成分を創り出すこともできる。
さらに、間隔dを調整することで、レーザー光Lの短軸径に対する長軸径の割合すなわち縦横比が、収束位置P近傍で相対的に小さくなるようにビーム成型することも可能である。
ビーム波面変換手段22をこのような凹凸CYL方式とすれば、2枚のシリンダレンズをほぼ密着させればよいため、コンパクトな設計が可能となるとともに、光軸調整が容易になる。
凸凸CYL方式のビーム波面変換手段22は、図10に示すように、2つのX方向がシリンダ面となるシリンダレンズCYL3、CYL4を、平面が対向するように距離L+ΔLだけ離間して配置された光学系である。
まず、入射側のシリンダレンズCYL3を入射側に凸面が向くように、同様に出射側のシリンダレンズCYL4を出射側に凸面が向くように配置し、シリンダレンズCYL3と、シリンダレンズCYL4との焦点位置が重なるように配置すれば、当該光学系全体での倍率1で波面はフラットのままである。すなわち、理想的にはX方向とY方向の集光位置は一致する。
このときのシリンダレンズCYL3とシリンダレンズCYL4との間の距離Lに対して、微小距離ΔLだけ調整することでわずかに変化させると、図10に破線で示すようにX方向にだけシリンダ波面を作ることができる。
集光レンズ60のデフォーカス効果と組み合わせることで、透過波面の0度アスティグマ成分を創り出すこともできる。
このように凸凸CYL方式によれば、凹凸CYL方式よりも光路長は長くなるものの、非常に良好な波面を形成することができる。
しかしながら、これらの非点収差波面は、チルトやデフォーカスといった照射光学系102を構成する光学素子の位置調整で解決可能な波面を除けば最も低周波成分であり、ビーム品質において非常に重要な波面である。本実施形態によれば、簡単な構成を用いてかかる重要な波面の非点収差の成分だけを効率よく補正できる。
なお、光源101が波長532nm、最大出力8W、周波数200kHz、ビームエキスパンダ10による拡大後のレーザー光Lの直径3mm、集光レンズ60の焦点距離100mmとしたときの、集光レンズ60の集光位置におけるビームプロファイルの測定結果の一例を図12(a)、(b)、(c)に示した。
なお、図10に示した照射光学系102の構成においては、折り返しミラーなど、光学設計上必要な構成であっても収差等への影響が微小なものについては適宜説明を省略した。
かかる結果から、集光レンズ60の手前において、非点収差が生じており、X方向とY方向とでビーム径Dが最小となるビームウエスト位置にずれが生じていることがわかる。
かかる構成により、X方向とY方向とで、ビームウエスト位置はほぼ一致しているものの、ビームウエストサイズが変わってしまうということがわかる。
これは、非点収差を補正したことにより、Y方向に発散光、X方向に収束光となってしまったことにより、集光レンズ60前でX方向の入射ビーム径Rxが小さく、Y方向の入射ビーム径Ryが大きくなってしまったことによって生じる。
波面センサ70の配置位置としては、集光レンズ60の入射側であって、集光レンズ60の直前に配置されることが理想ではあるが、照射光学系102内のどこに配置するものであっても良い。なお、かかる波面センサ70は集光レンズ60以降や試料WKと等価な位置に配置されるものであっても良い。
つまり、かかる波面センサ70で計測された透過波面の収差量の位相分布をツェルニケ多項式に展開して収差成分を導出し、ビーム波面変換手段22を用いて当該収差成分の一部あるいは全部の位相がオフセットされるように位相分布を変換することができる。
このように、波面センサ70の収差計測結果に基づいてビーム波面変換手段22を調整することで、より高精度にビームプロファイルを制御することができる。
さらに、波面センサ70によるモニタリングによりフィードバック制御を行うことで、加工途中における環境変化が生じてしまった場合にも、環境変化に応じたプロファイルに設定することができるから高精度な加工を行うことができる。
本実施形態では、照射光学系102は、集光レンズ60の直前に配置されたVortex素子用DOEであるビーム強度変換素子90を有している。
本実施形態においては、ビーム変倍手段21は図5に示したようにシリンダレンズL21a、L21cが凹レンズを含むガリレオ型3群レンズ系であり、3枚のシリンダレンズによって入射したレーザー光LをX方向について変倍することができる。
また、ビーム波面変換手段22は透過型の液晶位相変調素子であり、位相変調素子が全OFFの所謂フラットミラー状態で配置されている。照射光学系102は、複数のミラーや光学素子を経由してレーザー光Lが試料WKに達するように配置されている。なお、その他の構成については、第1の実施形態において既に述べた構成と重複するため適宜説明を省略する。
ビーム波面変換手段22は、かかる収差量の位相分布をツェルニケ多項式に展開して収差成分を導出し(ステップS102)、その一部あるいは全部の波面収差の位相がオフセットされるような波面の位相を逆算して、位相変調素子に印加する電圧等を決定する(ステップS103)。かかる工程は、レーザー光Lの透過波面の位相分布を変換するためのビーム位相変更工程である。
かかるビーム強度変換素子90は、入射する直前において透過波面収差が良好に補正されていることが好ましい。したがって、集光レンズ60の直前に配置されることが最も望ましい。
かかる構成により、レーザー光Lのビーム断面が理想的な状態で、ラゲールガウスビームに変換されるから、集光レンズ60によって試料WK上の収束位置Pに照射されることで、狙いのビームプロファイルのレーザー光Lを照射することができる。
かかる実施形態を用いて、収束位置Pにおける強度分布を色分けにより模式的に表示したものが図15である。
このとき、ステップS201において、noすなわち加工が終了していないと判断されると、収束位置Pの座標(x,y,z)を変更(ステップS202)して、再度透過波面を取得する(ステップS101)。
かかる構成とすれば、加工途中においても透過波面を取得して波面を補正することができるから、さらに精度よく、任意のビームプロファイルを作り出すことができる。
本実施形態において、ビーム強度変換素子90は、トップハットビームに変換するためのトップハットコンバイナ用DOEであり、ビームエキスパンダ10の出射側に設けられている。
また、本実施形態において、ビーム変倍手段21は、ダブルプリズム型の変倍手段であり、複数のプリズム211と、プリズム212とを独立して回転させる所謂ダブルプリズム方式を用いている。かかる構成においては、プリズム211とプリズム212とに入射する光線の角度を互いに異ならせることで縦横比を変倍することができる。
ビーム強度変換素子90によって、レーザー光Lの断面における強度分布は、所謂トップハット型のビームプロファイルに変換される。
さらに、レーザー光Lは、プリズム211とプリズム212とを透過することで、X方向、Y方向に所望の縦横比に変倍される。かかる工程は、レーザー光Lの光軸Z軸に垂直なXY断面において、X軸の直径Rxと、Y軸の直径Ryと、の径の比を変更するビーム断面変更工程である。
レーザー光Lは、再度プリズムミラー224で反射され、照射光学系102を構成する光学素子を順次透過した後、集光レンズ60によって試料WKに照射される。かかる工程は、本実施形態における集光工程である。
図17(a)は、ビーム変倍手段21を用いて補正を行った後のビーム断面の縦横比が理想的なRx/Ry=1の状態であり、かつ位相分布が理想的な状態となった測定結果である。
他方、図17(b)、(c)は、位相分布が理想的な状態からわずかに非点収差が重畳された状態の比較例を表している。かかる比較例においては、非点収差が重畳された量は透過波面においてλ/10以下の微少量ではあるが、形状に影響がでるほど乖離してしまうことがわかる。
このように、ビーム変倍手段21とビーム波面変換手段22とを合わせ用いることによって、適切なビームプロファイルを高精度に再現することで、高品質で安定的なビームプロファイルを持ったレーザー光Lを照射可能となる。
本実施形態では、ミラーや光学素子の面精度によらず、照射されるレーザー光Lのビームプロファイルを制御できる。
本実施形態では、既に説明した光照射装置100に加えて、試料WKの位置を調整するためのホストコンピュータである加工制御部310と、光照射装置100から出射されたレーザー光Lをポリゴンミラー321によって偏向して走査光として試料WKに照射する走査光学系320と、を有している。
加工制御部310は、移動ステージ104を制御して収束位置Pの座標に試料WKを移動させる座標制御手段311と、試料WKの材質や形状によって光源101のレーザー光Lの露光時間等の制御を行う露光条件設定手段312と、を有している。
かかる露光パラメータに従って、光源101はレーザー光Lを出射し、上述の第1〜第3の実施形態として述べたようなビーム変倍手段21とビーム波面変換手段22とによってレーザー光Lの断面の縦横比や透過波面の位相が高精度に制御された状態で、走査光学系320へと入射する。
ポリゴンミラー321は、等角速度で回転する多面体ミラーであり、側面に入射したレーザー光Lを反射することで主走査方向に連続して照射する。ここで主走査方向とは、ポリゴンミラー321の回転によってレーザー光Lの収束位置Pが動く方向であるとする。
fθレンズ322は、主走査方向と直交する副走査方向にはパワーを有し、主走査方向にはレーザー光Lが角度θで入射すると、焦点距離f’を掛け合わせた大きさ(H=f’・θ)の像を結ぶようなレンズである。かかる構成により、ポリゴンミラー321が等角度で回転していても、レーザー光Lの入射角度によって走査速度が変動することなく一様な走査速度でレーザー光Lを照射することができる。
かかる構成により、試料WKの表面は、主走査方向Cに沿って連続的にレーザー光Lによって加工されることとなる。かかる工程は、集光された光によって加工対象物を加工する光加工工程である。
このとき、試料WKに照射されるビームスポット径は、数十μm〜100μm程度であり、一般にはビームスポット径は小さい方が加工品質が高いとされる。
しかしながら、ビームスポット径を小さくすると、ビームの位相や縦横比の制御、また集光工程における収束位置Pの制御の難易度が増大してしまうことが知られている。
本実施形態のように、小さなビームスポットであっても、高品質で安定的なビームプロファイルを持ったレーザー光Lを照射可能とすることで、加工品質の向上に寄与する。
かかる構成により、ポリゴンミラー321の各ポリゴン面で走査したときの、走査開始位置を毎回同じ位置に揃えることができるから、回転ムラや露光位置のずれを生じることなく、精度よく収束位置Pを決定することができる。
また、レーザー加工装置300は、シリンダレンズCYLよりも手前側に、開口絞りたるアパーチャ332と、コリメータレンズ331と、を有している。
かかる構成により、短パルスレーザーによる微細加工で、レーザーパワーを挙げることなくスループットを上げるレーザー加工装置を提供することができる。
かかるレーザー加工装置を用いることで、特にタッチパネルで利用されるITO電極のパターニング加工や銀ペースト加工、導光板加工をはじめとする、微小サイズで加工面積率が高く、目標加工深さが揃っている試料に対して高速かつ高精細の加工を可能とする。
20 ビームプロファイル制御手段
21 第1調光手段(ビーム変倍手段)
22 第2調光手段(ビーム波面変換手段)
60 集光レンズ
100 光照射装置(光加工装置)
101 光源
102 照射光学系
103 試料テーブル
104 移動ステージ
300 光加工装置
320 走査光学系
C 主走査方向
M1〜M7 ミラー(折り返しミラー)
P 収束位置
Claims (11)
- 光源から出力されたレーザー光を折り返しミラー及び集光レンズを介して所望の収束位置に収束させる光照射装置において、
前記レーザー光の入射ビーム断面を変倍する第1調光手段と、
前記レーザー光の透過波面の位相分布を変換する第2調光手段と、を有することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1に記載の光照射装置において、
前記第1調光手段は、当該第1調光手段に入射する入射ビームの光軸に垂直な断面において、一方の軸に沿った径と、前記光軸と前記一方の軸とに対して直交する他方の軸に沿った径との割合を変化させ、
前記第1調光手段と、前記第2調光手段とは、前記集光レンズの前記光源側に配置され、前記集光レンズの入射側面において前記レーザー光が所望の断面形状と透過波面とを有することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1または2に記載の光照射装置において、
前記第1調光手段は、複数のアナモフィックレンズを有し、前記複数のアナモフィックレンズのうち少なくとも1つのアナモフィックレンズを光軸方向に移動させることで前記レーザー光を変倍することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1または2に記載の光照射装置において、
前記第1調光手段は、複数のプリズムを有し、前記プリズムに入射する角度を互いに異ならせることで前記レーザー光を変倍することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1乃至4の何れか1つに記載の光照射装置において、
前記第2調光手段は、複数のアナモフィックレンズを有し、
前記複数のアナモフィックレンズの間隔を変更することで、前記レーザー光の透過波面の位相分布を変換することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1乃至4の何れか1つに記載の光照射装置において、
前記第2調光手段は、液晶位相変調素子であることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1乃至6の何れか1つに記載の光照射装置において、
前記集光レンズの光源側に配置された波面センサと、当該波面センサの計測結果に基づいて前記第1調光手段と前記第2調光手段とを制御する位相分布制御手段と、を有し、
前記位相分布制御手段は、前記波面センサで計測された前記透過波面の収差量の位相分布をツェルニケ多項式に展開して収差成分を導出し、前記収差成分の一部あるいは全部の位相がオフセットされるように前記第2調光手段を用いて位相分布を変換することを特徴とする光照射装置。 - 請求項1乃至6の何れか1つに記載の光照射装置において、
回折光学素子を有し、
前記第1調光手段と前記第2調光手段とは、前記回折光学素子と前記集光レンズの間に配置されたことを特徴とする光照射装置。 - 請求項1乃至7の何れか1つに記載の光照射装置と、
少なくとも1つの回転可能な走査ミラーを有し、
前記光源はパルスレーザー発振器であって、
前記レーザー光を前記走査ミラーを介して所望の位置に収束させ、前記収束位置において対象物の加工を行うことを特徴とする光加工装置。 - 光源から出射された光を集光する集光工程と、
前記集光される前記光を制御して所望の断面形状と位相分布とを持ったビームへと変換する調光工程と、を有し、
前記調光工程は、当該光の光軸に垂直な断面において、一方の軸の直径と、前記一方の軸と前記光軸とに垂直な他方の軸と、の径の比を変更するビーム断面変更工程と、
前記光の透過波面の位相分布を変換するためのビーム位相変更工程と、
を有することを特徴とする光照射方法。 - 光源から出射された光を加工対象物の表面の加工対象位置に集光する集光工程と、
前記集光される前記光を、当該光の光軸に垂直な断面において、一方の軸の直径と、前記一方の軸と前記光軸とに垂直な他方の軸の直径と、の比を変更するビーム断面変更工程と、
前記光の透過波面の位相分布を変換するためのビーム位相変更工程と、
前記集光された光によって前記加工対象物を加工する光加工工程と、
を有し、
前記集光工程よりも前に前記ビーム断面変更工程と、前記ビーム位相変更工程とが実施され、前記集光工程において入射光が所望の断面形状と位相分布とを有することを特徴とする光加工方法。
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