JP5848877B2 - レーザ光整形及び波面制御用光学系 - Google Patents
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Description
この場合、ガウシアン分布は半径0mmを中心として回転対称となるため、1次元解析により非球面形状を設計することになる。
なお、本手法に基づけば、整形後の出射レーザ光の所望の強度分布も規定の関数のみならず、任意の強度分布とすることも可能である。
[第1の実施形態]
(第1の実施例)
(第2の比較例)
(比較検証)
[第2の実施形態]
(第2の実施例)
[第3の実施形態]
(第3の実施例)
[第4の実施形態]
(第4の実施例)
Claims (4)
- 入射レーザ光の強度分布を変換して所望の強度分布に整形する強度変換レンズと、
前記強度変換レンズからの出射レーザ光を変調して波面制御を行うと共に、前記強度変換レンズからの出射レーザ光の位相を揃えて平面波に補正する光変調素子と、
前記強度変換レンズと前記光変調素子との間に配置され、前記強度変換レンズからの出射レーザ光を拡大又は縮小する拡大縮小光学系と、
を備える、レーザ光整形及び波面制御用光学系。 - 前記拡大縮小光学系は、一対の凸レンズにより構成される、請求項1に記載のレーザ光整形及び波面制御用光学系。
- 前記拡大縮小光学系は、一対の凹レンズ及び凸レンズにより構成される、請求項1に記載のレーザ光整形及び波面制御用光学系。
- 前記光変調素子の変調面は、前記強度変換レンズからの出射レーザ光の強度分布が前記所望の強度分布に分布する面に位置する、請求項1に記載のレーザ光整形及び波面制御用光学系。
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