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Stand der Technik
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Formung eines Laserstrahls mit einem auf einem programmierbaren Strahlformer eingestellten Formungsmuster zu einem geformten Laserstrahl, wobei der geformte Laserstrahl auf eine Arbeitsfläche abgebildet wird.
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Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls mit einem auf einem programmierbaren Strahlformer eingestellten Formungsmuster zu einem geformten Laserstrahl, wobei eine Arbeitsfläche zur Abbildung des Laserstrahls vorhanden ist.
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Diffraktive optische Elemente (DOE) werden zur Strahlformung in Anlagen mit einer Laserlicht-Quelle, beispielhaft für Außer-Achs-Beleuchtung, für Lithographie oder Laser-Materialbearbeitung wie Schneiden, Schweißen oder für Ablation, eingesetzt. Unveränderbare DOE aus Glas, beispielhaft mittels Elektronenstrahl- oder Laser-Lithografie hergestellt, werden zunehmend durch programmierbare Strahlformer ersetzt. Programmierbare Strahlformer zur Beeinflussung der örtlichen und zeitlichen Intensitätsverteilung eines Laserstrahls sind als „Spatial Light Modulator (SLM)“ auf Basis von Flüssigkristallen oder als „Digital Micromirror Device“ in Form von ein- oder zweidimensionalen Anordnungen bewegbarer Spiegel bekannt. Die Spatial Light Modulators (SLM) bewirken örtliche Phasenänderungen durch Änderung der optischen Weglänge oder des Brechungsindex. Bei Kenntnis der Eigenschaften des Eingangsstrahls kann mit ihnen eine gewünschte Form einer Wellenfront eines Ausgangsstrahls gezielt eingestellt werden. Auch kann mittels eines SLM im Fernfeld auf einer Arbeitsfläche der Laser-Bearbeitungsanlage eine gewünschte Intensitätsverteilung des Laserstrahls und damit eine gewünschte Strahlform eingestellt werden. Kalibrierfehler oder Drift während des Bearbeitungsprozesses können das Bearbeitungsergebnis beeinträchtigen und müssen durch Justage der Anlage behoben werden.
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Bei Einsatz von diffraktiven Strahlformern, wie sie beispielhaft bei der Formung eines Eingangs-Laserstrahls mit Gauss-Profil zu einem Laserstrahl mit Rechteck-Profil („Top Hat“) verwendet werden können, hängt die Strahlqualität des Ausgangsstrahls stark von einer korrekten Justage der optischen Komponenten, insbesondere vom Abgleich der Strahlmitte des Eingangs-Strahls und der Mitte des Formungsmusters auf dem diffraktiven Strahlformer ab. Weiterhin geht auch der Radius des Eingangsstrahls in das Ergebnis der Strahlformung ein. Dies kann durch Temperaturdrift und nicht ausreichende Justage zu einer Verminderung der Bearbeitungsqualität führen.
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Die Schrift
DE 10 2012 202 093 A1 zeigt ein optisches System zur Wellenfront-Steuerung. In einen Strahlengang eines Lasers mit einer, insbesondere gaußförmigen, Intensitätsverteilung ist eine Intensitätsumwandlungslinse eingebracht, welche ein gewünschtes Strahlprofil (z.B. stufenförmig) erzeugt. Der Strahl wird nachfolgend aufgeweitet und einem Lichtmodulator (SLM) zugeführt. Dieser führt eine Wellenfront-Steuerung durch. In einer Ausführungsvariante ist nach dem Lichtmodulator ein Strahlteiler vorgesehen, welcher einen Teil der Strahlung einem Wellenfront-Sensor zuführt. Die Korrektur-Wellenfront des SLM wird entsprechend der durch den Wellenfront-Sensor gemessenen Wellenfront angesteuert.
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Bei dem in der Schrift
DE 11 2013 003 671 T5 beschriebenen Verfahren und der zugehörigen Vorrichtung wird ein Laserstrahl mittels eines SLM (reflektierend oder durchlässig) moduliert, beispielsweise zur Erzeugung eines computergenerierten Hologramms (CGH). Bei einer solchen Modulation kann unerwünscht Licht nullter Ordnung durch eine Lichtkomponente, die in dem SLM nicht moduliert wird, auf das zu beleuchtende Objekt geleitet werden. Die Schrift sieht ein Korrekturverfahren vor, bei dem durch eine entsprechende Korrektur der Ansteuerung des SLM das Licht nullter Ordnung zumindest minimiert wird.
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Bei der in der Schrift
DE 196 00 978 A1 offenbarten Vorrichtung zur Echtzeitüberwachung des Strahlprofils eines Lasers wird ein Teil des zu überwachenden Laserstrahls mittels eines Strahlteilers ausgekoppelt und einem optischen Korrelator zugeführt. Der optische Korrelator enthält ein diffraktives Element, welches entsprechend dem Soll-Strahlprofil des Lasers ausgebildet ist. Entspricht das Strahlprofil des Lasers dem Soll-Strahlprofil, so gibt der optische Korrelator ein Korrelationspeak (ebene Welle) aus. Weicht das Strahlprofil von dem Soll-Strahlprofil ab, so entsteht ein diffuses Beugungsbild. Mit dem optischen Korrelator kann somit im Betrieb das Strahlprofil des Lasers überwacht werden.
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Bei dem in der Schrift
DE 10 2005 017 014 A1 gezeigten Verfahren zur Formgebung eines Beleuchtungslaserstrahls wird ein Ausgangslaserstrahl eines Lasers mittels eines strahlformenden Elements, insbesondere aus Glas, in einen Beleuchtungslaserstrahl mit gewünschten Eigenschaften geformt. Dabei kann beispielsweise das Strahlprofil oder der Querschnitt des Laserstrahls verändert werden. Zumindest eine Eigenschaft eines an dem strahlformenden Element ausgekoppelten Anteils (Überwachungslaserstrahl) des Ausgangslaserstrahls oder des Beleuchtungslaserstrahls, der nicht in Richtung des Beleuchtungslaserstrahls verläuft, wird von einer Detektionseinrichtung erfasst. Vorzugsweise wird die Leistung des Überwachungslaserstrahls bestimmt und daraufhin die Leistung des Lasers geregelt. Es ist jedoch auch möglich, die Strahlform des Ausgangslaserstrahls bzw. Beleuchtungslaserstrahls zu überwachen. Bei Kenntnis der zumindest einen Eigenschaft des Ausgangslaserstrahls / des Beleuchtungslaserstrahls kann bei Kenntnis der Wirkung des strahlformenden Elements die dem strahlformenden Element nachfolgende Einrichtung gesteuert und damit der Beleuchtungsstrahlengang verändert werden.
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Üblicherweise erfordert die Justage einer Anlage zur Formung eines Laserstrahls eine langwierige manuelle Justage, welche bei einer Drift der Strahleigenschaften des Lasers oder bei thermischen Einflüssen auf Komponenten wiederholt werden muss.
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Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur vereinfachten Überwachung und Regelung einer Strahlformung für einen Laserstrahl bereitzustellen.
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Offenbarung der Erfindung
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Die das Verfahren betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass aus dem geformten Laserstrahl mit einem Strahlteiler ein Nebenstrahl ausgekoppelt und auf einen Sensor zur Bestimmung eines Strahlprofils des Nebenstrahls abgebildet wird und dass bei einer Abweichung des Strahlprofils auf dem Sensor von einem vorgegebenen Strahlprofil das Formungsmuster auf dem programmierbaren Strahlformer derart angepasst wird, dass das mit dem Sensor bestimmte Strahlprofil dem vorgegebenen Strahlprofil im Bereich einer vorgebbaren Toleranz entspricht und/oder dass zumindest ein Aktuator zur Beeinflussung des Laserstrahls derart angesteuert wird, dass das mit dem Sensor bestimmte Strahlprofil dem vorgegebenen Strahlprofil im Bereich einer vorgebbaren Toleranz entspricht.
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Aus dem geformten Laserstrahl wird ein Nebenstrahl ausgekoppelt um während eines laufenden Bearbeitungsprozesses das Ergebnis der Strahlformung beobachten, überwachen und korrigieren zu können. Der Sensor kann als Fraunhofer-Anordnung ausgebildet sein, die ein ein- oder zweidimensionales Intensitätsprofil („Strahlprofil“) auf einer lichtempfindlichen Bildaufnahmeeinrichtung erzeugt, das repräsentativ für die Intensitätsverteilung des Hauptstrahls auf der Arbeitsfläche ist. Der Sensor kann auch als Wellenfrontsensor zur Beobachtung einer für die Form der Wellenfront („Strahlprofil“) des Hauptstrahls repräsentativen Wellenfront sein. Wird eine Abweichung des gemessenen Strahlprofils von einem Soll-Strahlprofil festgestellt, wird das Formungsmuster auf dem Strahlformer angepasst, eine Korrektur von optischen Komponenten (wie die erste und zweite Linse) der Einrichtung zur Strahlformung vorgenommen oder es werden beide Maßnahmen zusammen durchgeführt. Auch die Nachführung der Kühlung des programmierbaren Strahlformers wird in die Korrektur mit einbezogen. Die Korrektur erfolgt als Regelschleife, so dass die Strahlformung während des Bearbeitungsprozesses ständig nachgeführt werden kann.
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In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass zumindest eine Abweichung zwischen dem Strahlprofil auf dem Sensor von dem vorgegebenen Strahlprofil bestimmt wird und dass auf Basis der Abweichung, insbesondere durch eine iterative Fouriertransformation, eine Korrektur des Formungsmusters bestimmt wird. Durch die iterative Fouriertransformation (iterative Fourier transform algorithm IFTA) kann für eine gewünschte Intensitätsverteilung auf der Arbeitsfläche ein Phasenmuster für den programmierbaren Strahlformer berechnet werden und es können auch Korrekturen für Phasenmuster bestimmt werden.
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Zur Erzeugung von Vorab-Wissen zur Auswirkung von Fehljustagen der Einrichtung zur Strahlformung werden charakteristische Abweichungen zwischen dem Strahlprofil auf dem Sensor von dem vorgegebenen Strahlprofil berechnet oder durch Vorab-Versuche ermittelt und den jeweiligen Fehlerursachen zugeordnet. Hierdurch kann bei Auftreten einer der charakteristischen Abweichungen die jeweilige Fehlerursache schneller und mit weniger Aufwand erkannt und korrigiert werden.
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Zum Abgleich der Verhältnisse im Hauptstrahl und im Nebenstrahl ist vorgesehen, dass in einem Kalibriervorgang das Strahlprofil auf der Arbeitsfläche und auf dem Sensor bestimmt und verglichen werden und dass Abweichungen durch den Kalibriervorgang korrigiert werden. Nach dieser Kalibrierung muss nur noch der Nebenstrahl analysiert werden, so dass auch während eines laufenden Bearbeitungsprozesses eine Überwachung, Korrektur und Regelung der Strahlformung erfolgen kann.
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Eine bessere Eingrenzung und Behebung von Fehlern in der Strahlformung wird ermöglicht, indem charakteristische Eigenschaften des Laserstrahls vor dem programmierbaren Strahlformer bestimmt werden und bei der Anpassung des Formungsmusters auf dem programmierbaren Strahlformer und/oder der Ansteuerung des zumindest einen Aktuators berücksichtigt werden. Hierzu wird ein zweiter Nebenstrahl vor dem programmierbaren Strahlformer ausgekoppelt, analysiert und es werden Korrekturmaßnahmen durchgeführt.
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In einer Ausführungsform („diffraktiver Strahlteiler zur Erzeugung eines Punktmusters mit M × N Punkten“) ist vorgesehen, dass der programmierbare Strahlformer ein Formungsmuster zur Erzeugung eines Punktmusters aufweist und dass eine Korrektur eines Punktdurchmessers des Punktmusters durch Anpassung des Durchmessers des Laserstrahls und/oder durch Anpassung des Formungsmusters erfolgt und/oder dass eine Korrektur eines Abstands zwischen zumindest zwei Punkten des Punktmusters durch Anpassung des Formungsmusters erfolgt und/oder dass eine Korrektur einer Position zumindest eines Punktes des Punktmusters durch Anpassung des Formungsmusters und/oder zumindest eines Aktuators zur Beeinflussung des Laserstrahls und/oder der Position der Arbeitsfläche erfolgt.
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Eine Korrektur der Strahlformung ohne eine mechanische Verschiebung von Komponenten sieht vor, dass das Formungsmuster auf dem programmierbaren Strahlformer derart verschoben wird, dass das auf dem Sensor bestimmte Strahlprofil dem vorgegebenen Strahlprofil im Bereich einer vorgebbaren Toleranz entspricht. Hierdurch kann durch eine Anpassung der Programmierung des Formungsmusters oder des Phasenmusters des programmierbaren Strahlformers die gewünschte Korrektur oder Regelung der Strahlformung besonders einfach und schnell durchgeführt werden.
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In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der programmierbare Strahlformer ein Formungsmuster zur Erzeugung einer flachen Intensitätsverteilung (Top Hat) mit einem runden oder mehreckigen, beispielsweise rechteckigen, Querschnitt auf der Arbeitsfläche aus einem Laserstrahl mit einer gaußförmigen Intensitätsverteilung aufweist und dass bei einer asymmetrischen Intensitätsverteilung auf der Arbeitsfläche das Formungsmuster in Richtung der Strahlanteile mit der niedrigen Intensität verschoben wird. Ein „Top Hat“ ist ein Laserstrahl mit einer senkrecht zum Strahl weitgehend konstanten („flachen“) Intensitätsverteilung. Hierbei kann, je nach Anwendung, der Strahlquerschnitt dreieckig, rechteckig, mehreckig, elliptisch oder rund sein. Ist die Intensitätsverteilung auf der Arbeitsfläche asymmetrisch, so spiegeln auch die mit dem Sensor bestimmten Daten diese Asymmetrie wider und die Korrektur kann vorgenommen werden. In dem Ausführungsbeispiel wird von einem Eingangsstrahl mit einer gaußförmigen oder auch von der Gaußform abweichenden Intensitätsverteilung ausgegangen. Die Intensitätsverteilung des Eingangsstahls vor dem Strahlformer kann jedoch nach einem der vorbenannten Ansprüche bei Bedarf bestimmt und den Anforderungen angepasst werden.
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Die die Vorrichtung betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass ein Strahlteiler zur Auskopplung eines Nebenstrahls aus dem geformten Laserstrahl vorhanden ist, dass ein Sensor zur Bestimmung eines Strahlprofils des Nebenstrahls vorhanden ist und dass bei einer Abweichung des Strahlprofils auf dem Sensor von einem vorgegebenen Strahlprofil das Formungsmuster auf dem programmierbaren Strahlformer derart angepasst ist, dass das mit dem Sensor bestimmte Strahlprofil dem vorgegebenen Strahlprofil im Bereich einer vorgebbaren Toleranz entspricht und/oder dass zumindest ein Aktuator zur Beeinflussung des Laserstrahls derart angesteuert ist, dass das mit dem Sensor bestimmte Strahlprofil dem vorgegebenen Strahlprofil im Bereich einer vorgebbaren Toleranz entspricht.
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Für viele Anwendungen, insbesondere bei der Laser-Materialbearbeitung, ist eine Kalibrierung, Beobachtung und Analyse der Strahlformung vorteilhaft. Die Beobachtung der Strahlformung während des Bearbeitungs-Prozesses kann wertvolle Informationen zur Prozess-Qualität und -Stabilität liefern. Das System kann sich durch Regelschleifen automatisch oder zumindest teil-automatisch justieren und so beispielhaft eine Temperaturdrift ausgleichen. Durch die erfindungsgemäße Strahlformung können Abweichungen in dem von dem Laser abgegebenen Laserstrahl hinsichtlich Intensität, Form der Wellenfront oder Divergenzwinkel erfasst und korrigiert werden, so dass sie sich nicht oder nur unwesentlich auf das Bearbeitungsergebnis auswirken.
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Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
- 1 in einer schematischen Darstellung eine Anlage zur Formung eines Laserstrahls,
- 2 eine Intensitätsverteilung eines geformten Laserstrahls,
- 3 ein Intensitätsprofil eines geformten Laserstrahls.
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1 zeigt schematisch eine Anlage zur Formung eines Laserstrahls 13. Der Laserstrahl 13 wird von einer Laserquelle 10 erzeugt und von einer Kollimationsoptik aufgeweitet. Bevorzugt erzeugt die Laserquelle 10 einen Laserstrahl 13 mit Gaußprofil und einer niedrigen Beugungsmaßzahl M2. Bevorzugt ist die Beugungsmaßzahl M2 kleiner als 1,3. Die Kollimationsoptik ist bevorzugt ein Kepler- oder Galileo-Teleskop und besteht aus einer ersten Linse 11 und einer zweiten Linse 12. Der kollimierte und aufgeweitete Laserstrahl 13 wird einem programmierbaren Strahlformer 14 zugeführt und von diesem zu einem geformten Laserstrahl 16 geformt. Der programmierbare Strahlformer 14 kann als auf Flüssigkristallen oder als auf Mikrospiegeln basierte zweidimensionale Phasenschieber-Anordnung ausgeführt sein. Der aufgeweitete Laserstrahl 13 ist im Durchmesser der Größe des programmierbaren Strahlformers 14 angepasst, um dessen Fläche bestmöglich auszunutzen, ohne Streuung an dessen Außenbegrenzung zu erzeugen.
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Das Phasenmuster auf dem programmierbaren Strahlformer 14 kann mit einem geometrischen Strahlformungs-Algorithmus, mit einem Algorithmus zur iterativen Fouriertransformation (IFTA), einem genetischen Algorithmus oder ähnlichen Verfahren berechnet werden. Das Phasenmuster dient der Strahlformung derart, dass im Fernfeld auf einer Arbeitsfläche 24 eine gewünschte Intensitätsverteilung erzielt wird.
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Bei Anwendungen mit einer hohen Leistung des Laserstrahls 13 pro Flächeneinheit ist eine passive oder aktive Kühlung 15 des programmierbaren Strahlformers 14 vorgesehen. Der geformte Laserstrahl 16 wird einem Strahlteiler 17 zugeführt, der einen Nebenstrahl 18 auskoppelt und über einen Spiegel 19 zur Kompensation von Unterschieden von optischen Weglängen in einem Hauptstahl 25 und in dem Nebenstrahl 18 einem Sensor 22 zur Analyse des Ergebnisses der Strahlformung zuführt. Nach dem Strahlteiler 17 wird der geformte Laserstrahl 16 in dem Hauptstahl 25 von einer dritten Linse 21 auf die Arbeitsfläche 24 fokussiert und dient dort einer Laserbearbeitung wie Schneiden, Schweißen, Beschriften oder für einen Materialabtrag durch Ablation. Die Fokussierungswirkung der dritten Linse 21 kann vollständig von dieser erfolgen oder auch ganz oder teilweise durch Wahl des Formungsmusters (Fresnel-Aufbau) auf dem programmierbaren Strahlformer 14 bewirkt werden.
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Während eines Kalibriervorgangs der Anlage zur Strahlformung werden das Abbild des Laserstrahls auf der Arbeitsfläche 24 und die von dem Sensor 22 aufgenommenen Daten miteinander verglichen, so dass anschließend die von dem Sensor 22 aufgenommenen Daten zur Analyse und Korrektur des geformten Laserstrahls 16 im Fernfeld auf der Arbeitsfläche 24 verwendet werden können. Hierzu ist der Sensor 22 mit einer Steuereinheit 23 verbunden, die bei Bedarf über eine Steuerleitung 20 (oder über mehrere Steuerleitungen 20) Korrekturen an der Laserquelle 10, der ersten Linse 11, der zweiten Linse 12, dem programmierbaren Strahlformer 14 oder der Kühlung 15 vornehmen kann. Der Sensor 22 kann zur Analyse eines Strahlprofils ein Intensitätsprofil, ein Amplitudenprofil, eine Wellenfront oder eine Kombination der vorgenannten bewerten. Die Analyse kann dabei eindimensional als Schnitt oder zweidimensional als Bewertung einer Flächenverteilung, beispielhaft der Strahlintensität, erfolgen.
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In einer Weiterbildung der Anlage zur Strahlformung kann ein weiterer Strahlteiler vor dem programmierbaren Strahlformer 14 vorgesehen sein, in dem ein weiterer Nebenstrahl zur Analyse des Laserstahls 13 ausgekoppelt wird. Durch entsprechende Korrekturen, kann so der dem programmierbaren Strahlformer 14 zugeführte Laserstrahl 13 geeignet beeinflusst werden.
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Ist das Ziel der Strahlformung, den Hauptstrahl 25 auf der Arbeitsfläche 24 als eine MxN-Punktmatrix zu formen (Diffraktiver Strahlteiler), kann ein gewünschter Punktdurchmesser im Fernfeld auf der Arbeitsfläche 24 durch Beeinflussung des Durchmessers des Laserstrahls 13 eingestellt und geregelt werden. Hierzu kann bevorzugt die Position der zweiten Linse 12 auf Basis der von dem Sensor 22 aufgenommenen Daten mittels der Steuereinheit 23 über die Steuerleitung 20 beeinflusst werden. Abweichungen der Punktabstände von einem Sollwert können über das Phasenmuster auf dem programmierbaren Strahlformer 14 beeinflusst werden. Die Position der Punkte der MxN-Punktmatrix können über das Phasenmuster auf dem programmierbaren Strahlformer 14, den Abstand der Arbeitsfläche 24 oder die Anordnung der optischen Komponenten im Lichtpfad des Laserstrahls 13 oder des geformten Laserstrahls 16 den Sollwerten angepasst werden.
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2 zeigt eine Intensitätsverteilung 30 auf der Arbeitsfläche 24. Ziel der Strahlformung mit dem programmierbaren Strahlformer 14 ist in diesem Ausführungsbeispiel eine Formung eines zweidimensionalen rechteckigen Strahlprofils (Top Hat) aus dem Laserstrahl 13 mit Gaußprofil. Bedingt durch eine nicht ganz korrekte Justage der Anlage ergeben sich Bereiche mit niedriger Intensität 31 und Bereiche mit hoher Intensität 32. Zur weiteren Bewertung wird die Intensitätsverteilung 30 entlang einer Schnittlinie 33 betrachtet.
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3 zeigt in einem Diagramm 40 entlang der Schnittlinie 33 und entlang einer Intensitätsachse 44 ein erstes Intensitätsprofil 41, ein zweites Intensitätsprofil 42 und ein drittes Intensitätsprofil 43. Ist die Justage der Anlage, insbesondere die Justage der Mitte des Laserstrahls 13 und der Mitte des Phasenmusters auf dem programmierbaren Strahlformer 14, korrekt, ergibt sich das erste Intensitätsprofil 41, das einen mittleren Bereich gleichmäßig hoher Intensität aufweist. Zur Vereinfachung der Justage der Anlage erfolgt eine Berechnung von Intensitätsverteilungen 30 im Fernfeld unter Einfluss von Fehlern in der Justage. Insbesondere wird die bei einer Abweichung der Mitte des Laserstrahls 13 von der Mitte des Phasenmusters zu erwartende Intensitätsverteilung 30 berechnet. Durch dieses Vorab-Wissen können unerwünschte Abweichungen in der Intensitätsverteilung 30 mit Justagefehlern verknüpft werden und diese schneller behoben werden.
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Stimmen die Mitte des Laserstrahls 13 und die Mitte des Phasenmusters auf dem programmierbaren Strahlformer 14 nicht überein, ergibt sich ein einseitiger Abfall der Intensität, wie dies in dem zweiten Intensitätsprofil 42 und dem dritten Intensitätsprofil 43 zu sehen ist. Zur Justage wird das Phasenmuster auf dem programmierbaren Strahlformer 14 in Richtung des Abfalls der Intensität verschoben. Dies kann mechanisch oder bevorzugt durch Programmierung des programmierbaren Strahlformers 14 erfolgen. Hierdurch kann mit Hilfe des Sensors 22, der Steuereinheit 23 und der Programmierung des programmierbaren Strahlformers 14 während des Bearbeitungsprozesses über die Steuerleitung die Strahlqualität des Hauptstrahls 25 dauerhaft auf einem hohen Niveau gehalten werden. Sollte ein vorgebbares Toleranzband für die Strahleigenschaften verlassen werden, kann die Anlage abgeschaltet werden um eine fehlerhafte Bearbeitung des Werkstücks zu verhindern.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102012202093 A1 [0005]
- DE 112013003671 T5 [0006]
- DE 19600978 A1 [0007]
- DE 102005017014 A1 [0008]
