JP2009229547A - 光学ユニットおよび測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】経済的負担を伴うことなく、倍率切替時に生じる光軸のずれによる影響を極力低減し、高精度な測定を実現できる光学ユニットおよび測定装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ1と、この対物レンズ1の光軸上に配置され対物レンズ1から出射された光束を結像する結像レンズ2と、対物レンズ1と結像レンズ2との間に配置されアフォーカル倍率α1,α2が異なる複数のアフォーカル光学系11,12と、この複数のアフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】対物レンズ1と、この対物レンズ1の光軸上に配置され対物レンズ1から出射された光束を結像する結像レンズ2と、対物レンズ1と結像レンズ2との間に配置されアフォーカル倍率α1,α2が異なる複数のアフォーカル光学系11,12と、この複数のアフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、光学ユニットおよび測定装置に関する。詳しくは、光学倍率を可変できる光学ユニットおよび測定装置に関する。
画像測定機や光学機器などにおいて、光学倍率を変える手法として、従来から様々な手法が用いられている。
図3に示すように、対物レンズ1と結像レンズ2とを使って像を作る光学系を無限遠補正光学系という。ここで、対物レンズ1の焦点距離をf1、結像レンズ2の焦点距離をf2とすると、光学倍率βは、
β=f2/f1
で表される。対物レンズ1の焦点距離f1を固定とした場合、結像レンズ2の焦点距離f2を変えれば、光学倍率βを変えることができる。
図3に示すように、対物レンズ1と結像レンズ2とを使って像を作る光学系を無限遠補正光学系という。ここで、対物レンズ1の焦点距離をf1、結像レンズ2の焦点距離をf2とすると、光学倍率βは、
β=f2/f1
で表される。対物レンズ1の焦点距離f1を固定とした場合、結像レンズ2の焦点距離f2を変えれば、光学倍率βを変えることができる。
結像レンズ2の焦点距離f2を変えるには、結像レンズ2を切り替えるレンズ切替方式と、対物レンズ1からの光路を切り替える光路切替方式が知られている。
前者のレンズ切替方式は、図4に示すように、対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドするスライド機構3を用いて、焦点距離f2,f3が異なる結像レンズ2A,2Bを対物レンズ1の光軸上に切り替える構成、あるいは、ターレット機構を用いて、焦点距離が異なる結像レンズを対物レンズ1の光軸上に切り替える構成(例えば、特許文献1など参照)である。
前者のレンズ切替方式は、図4に示すように、対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドするスライド機構3を用いて、焦点距離f2,f3が異なる結像レンズ2A,2Bを対物レンズ1の光軸上に切り替える構成、あるいは、ターレット機構を用いて、焦点距離が異なる結像レンズを対物レンズ1の光軸上に切り替える構成(例えば、特許文献1など参照)である。
後者の光路切替方式は、図5に示すように、対物レンズ1からの光束を2つのハーフミラー4,5を使って2つの光路に分岐し、各分岐光路に焦点距離f2,f3が異なる結像レンズ2A,2Bを配置した構成である。各分岐光路にメカニカルシャッタ6,7を配置し、このメカニカルシャッタ6,7の切替によって光路を切り替え、倍率切替を行う。
しかし、従来の倍率切替方式では、次のような課題がある。
前者のレンズ切替方式の場合、スライド機構やターレット機構の機構精度(再現性なども含む)に限界があるため、倍率切替時に対物レンズ1の光軸に対して結像レンズ2A,2Bの光軸がずれる。すると、像側焦点位置の中心がずれてしまうため、高精度な測定が望めないという課題がある。
前者のレンズ切替方式の場合、スライド機構やターレット機構の機構精度(再現性なども含む)に限界があるため、倍率切替時に対物レンズ1の光軸に対して結像レンズ2A,2Bの光軸がずれる。すると、像側焦点位置の中心がずれてしまうため、高精度な測定が望めないという課題がある。
後者の光路切替方式の場合、結像レンズ2A,2Bが移動しないので、倍率切替時に対物レンズ1の光軸に対して結像レンズ2A,2Bの光軸がずれることはない。しかし、ハーフミラー4,5による光路分岐が必要なため、光量低下が生じるほか、結像レンズ2A,2Bに対応してそれぞれにカメラなどの撮像手段を配置しなければならないため、経済的負担が大きいという課題がある。
本発明の目的は、これらの課題を解消し、経済的負担を伴うことなく、倍率切替時に生じる光軸のずれによる影響を極力低減し、高精度な測定を実現できる光学ユニットおよび測定装置を提供することにある。
本発明の光学ユニットは、対物レンズと、この対物レンズの光軸上に配置され対物レンズから出射された光束を結像する結像レンズと、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置されアフォーカル倍率が異なる複数のアフォーカル光学系と、この複数のアフォーカル光学系のいずれかを前記対物レンズの光軸上に切替える切替手段とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、倍率切替にあたっては、切替手段の切替動作によって、複数のアフォーカル光学系のいずれかを対物レンズの光軸上に切替える。
対物レンズの焦点距離をf1、結像レンズの焦点距離をf2、アフォーカル光学系のアフォーカル倍率をαとすると、光学ユニットの光学倍率βは、
β=(f2/f1)×α
で表される。従って、切替手段の切替動作によって、倍率の異なるアフォーカル光学系を対物レンズの光軸上に切り替えれば、光学倍率を切り替えることができる。
対物レンズの焦点距離をf1、結像レンズの焦点距離をf2、アフォーカル光学系のアフォーカル倍率をαとすると、光学ユニットの光学倍率βは、
β=(f2/f1)×α
で表される。従って、切替手段の切替動作によって、倍率の異なるアフォーカル光学系を対物レンズの光軸上に切り替えれば、光学倍率を切り替えることができる。
この倍率切替動作時に、アフォーカル光学系の光軸が対物レンズおよび結像レンズの光軸に対してずれたとしても、アフォーカル光学系からの平行光束は必ず結像レンズの光軸中心に結像するため、像側焦点の中心ずれを極力少なくできる。従って、高精度な測定を実現できる。
もとより、光路を分岐する方式ではないため、光量低下などの問題も生じることがなく、また、カメラなどの撮像手段の増設に伴う経済的負担も少ない。
もとより、光路を分岐する方式ではないため、光量低下などの問題も生じることがなく、また、カメラなどの撮像手段の増設に伴う経済的負担も少ない。
本発明の光学ユニットにおいて、前記切替手段は、前記複数のアフォーカル光学系を前記対物レンズの光軸に対して略直交する方向へ直線移動させるスライド機構、および、前記複数のアフォーカル光学系を円弧移動させるターレット機構のいずれかによって構成されていることが好ましい。
この構成によれば、スライド機構やターレット機構の機構精度や繰返精度を高精度に仕上げなくても、光軸のずれによる影響を低減できるため、これらスライド機構やターレット機構を簡易にかつ安価に製造できる。従って、光学ユニット全体としてもコスト低減が図れる。
この構成によれば、スライド機構やターレット機構の機構精度や繰返精度を高精度に仕上げなくても、光軸のずれによる影響を低減できるため、これらスライド機構やターレット機構を簡易にかつ安価に製造できる。従って、光学ユニット全体としてもコスト低減が図れる。
本発明の測定装置は、上述したいずれかの光学ユニットを備えることを特徴とする。
ここで、測定装置としては、画像測定機や光学測定顕微鏡などを含む意味である。
このような構成であれば、上述した効果が期待できる画像測定機や光学測定顕微鏡などを提供できる。
ここで、測定装置としては、画像測定機や光学測定顕微鏡などを含む意味である。
このような構成であれば、上述した効果が期待できる画像測定機や光学測定顕微鏡などを提供できる。
<全体構成の説明(図1および図2参照)>
図1は、本実施形態に係る光学ユニットを示す図、図2は、倍率切替後の状態を示す図である。
本実施形態に光学ユニットは、対物レンズ1と、この対物レンズ1の光軸上に配置され対物レンズ1から出射された光束を結像する結像レンズ2と、対物レンズ1と結像レンズ2との間に配置された複数のアフォーカル光学系11,12と、この複数のアフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21とを備えている。
図1は、本実施形態に係る光学ユニットを示す図、図2は、倍率切替後の状態を示す図である。
本実施形態に光学ユニットは、対物レンズ1と、この対物レンズ1の光軸上に配置され対物レンズ1から出射された光束を結像する結像レンズ2と、対物レンズ1と結像レンズ2との間に配置された複数のアフォーカル光学系11,12と、この複数のアフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21とを備えている。
対物レンズ1と結像レンズ2とは、光軸が互いに一致して、かつ、間隔を隔てて配置されている。つまり、対物レンズ1の光軸上に結像レンズ2の光軸が一致するように、対物レンズ1と結像レンズ2とが間隔を隔てて配置されている。
アフォーカル光学系11,12は、アフォーカル倍率が異なる第1アフォーカル光学系11と第2アフォーカル光学系12とを備える。
第1アフォーカル光学系11は、対物レンズ1側に配置され焦点距離がf3の凸レンズ11Aと、結像レンズ2側に配置され焦点距離がf4の凸レンズ11Bとによって構成されている。つまり、2つの凸レンズからなるケプラータイプのアフォーカル光学系によって構成されている。凸レンズ11Aの後側焦点位置に、凸レンズ11Bの前側焦点位置が一致するように、凸レンズ11Aおよび凸レンズ11Bが配置されている。従って、第1アフォーカル光学系11のアフォーカル倍率α1は、
α1=f3/f4
で表される。
第1アフォーカル光学系11は、対物レンズ1側に配置され焦点距離がf3の凸レンズ11Aと、結像レンズ2側に配置され焦点距離がf4の凸レンズ11Bとによって構成されている。つまり、2つの凸レンズからなるケプラータイプのアフォーカル光学系によって構成されている。凸レンズ11Aの後側焦点位置に、凸レンズ11Bの前側焦点位置が一致するように、凸レンズ11Aおよび凸レンズ11Bが配置されている。従って、第1アフォーカル光学系11のアフォーカル倍率α1は、
α1=f3/f4
で表される。
第2アフォーカル光学系12は、対物レンズ1側に配置され焦点距離がf5の凸レンズ12Aと、結像レンズ2側に配置され焦点距離がf6の凸レンズ12Bとによって構成されている。つまり、2つの凸レンズからなるケプラータイプのアフォーカル光学系によって構成されている。凸レンズ12Aの後側焦点位置に、凸レンズ12Bの前側焦点位置が一致するように、凸レンズ12Aおよび凸レンズ12Bが配置されている。従って、第2アフォーカル光学系12のアフォーカル倍率α2は、
α2=f5/f6
で表される。
α2=f5/f6
で表される。
切替手段21は、第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12を、対物レンズ1の光軸に対して略直交する方向へ直線的にスライドするスライド機構3によって構成されている。
スライド機構3は、公知の機構を利用することができる。例えば、対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドするスライダと、このスライダをガイドするガイド機構とを備え、スライダのスライド方向に間隔を隔てて第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12が配置された構成である。従って、スライダを対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドさせると、いずれかのアフォーカル光学系11,12が対物レンズ1の光軸上に切り替えられる。
スライド機構3は、公知の機構を利用することができる。例えば、対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドするスライダと、このスライダをガイドするガイド機構とを備え、スライダのスライド方向に間隔を隔てて第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12が配置された構成である。従って、スライダを対物レンズ1の光軸に対して直交する方向へスライドさせると、いずれかのアフォーカル光学系11,12が対物レンズ1の光軸上に切り替えられる。
なお、図1〜図2では表されていないが、照明光については、例えば、対物レンズ1とアフォーカル光学系11,12との間にハーフミラーを挿入し、このハーフミラーに対物レンズ1の光軸に対して直交する方向から照明光を入射するようにしてもよい。
また、結像レンズ2の結像位置にCCDカメラなどの撮像手段を配置すれば、画像測定機として構成することができる。
また、結像レンズ2の結像位置にCCDカメラなどの撮像手段を配置すれば、画像測定機として構成することができる。
<倍率切替動作>
図1の状態では、第1アフォーカル光学系11のアフォーカル倍率がα1であるから、光学ユニットの倍率β1は、
β1=(f2/f1)×α1
で表される。
この状態から、スライド機構3をスライドさせて、第2アフォーカル光学系12を対物レンズ1の光軸上に切り替える。
図1の状態では、第1アフォーカル光学系11のアフォーカル倍率がα1であるから、光学ユニットの倍率β1は、
β1=(f2/f1)×α1
で表される。
この状態から、スライド機構3をスライドさせて、第2アフォーカル光学系12を対物レンズ1の光軸上に切り替える。
すると、図2に示すように、第2アフォーカル光学系12の光軸が対物レンズ1の光軸に対してずれる場合が生じる。第2アフォーカル光学系12の光軸が対物レンズ1の光軸に対してずれても、第2アフォーカル光学系12からの平行光束は必ず結像レンズ2の光軸中心に結像するため、像側焦点の中心ずれを極力少なくできる。
図2の状態では、第2アフォーカル光学系12のアフォーカル倍率がα2であるから、光学ユニットの倍率β2は、
β2=(f2/f1)×α2
で表される。
図2の状態では、第2アフォーカル光学系12のアフォーカル倍率がα2であるから、光学ユニットの倍率β2は、
β2=(f2/f1)×α2
で表される。
<実施形態の効果>
本実施形態によれば、対物レンズ1と結像レンズ2との間に倍率の異なる第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12を配置し、これらの第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21を設けたので、切替手段21の切替動作によって、アフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替えれば、倍率を切り替えることができる。
この際、アフォーカル光学系11,12の光軸が対物レンズ1および結像レンズ2の光軸に対してずれたとしても、アフォーカル光学系11,12からの平行光束は必ず結像レンズ2の光軸中心に結像するため、像側焦点の中心ずれを極力少なくできる。従って、高精度な測定を実現できる。
本実施形態によれば、対物レンズ1と結像レンズ2との間に倍率の異なる第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12を配置し、これらの第1アフォーカル光学系11および第2アフォーカル光学系12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替える切替手段21を設けたので、切替手段21の切替動作によって、アフォーカル光学系11,12のいずれかを対物レンズ1の光軸上に切替えれば、倍率を切り替えることができる。
この際、アフォーカル光学系11,12の光軸が対物レンズ1および結像レンズ2の光軸に対してずれたとしても、アフォーカル光学系11,12からの平行光束は必ず結像レンズ2の光軸中心に結像するため、像側焦点の中心ずれを極力少なくできる。従って、高精度な測定を実現できる。
また、本実施形態の光学ユニットは、光路を分岐する方式ではないため、光量低下などの問題も生じることがなく、また、カメラなどの撮像手段の増設に伴う経済的負担も少ない。
また、上述した光学ユニットを備えた画像測定装置を構成すれば、高精度な測定装置を経済的に構成することができる。
また、上述した光学ユニットを備えた画像測定装置を構成すれば、高精度な測定装置を経済的に構成することができる。
<変形例>
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、アフォーカル光学系11,12を、2つの凸レンズ11A,11B、12A,12Bからなるケプラータイプによって構成したが、これに限られない。例えば、凹レンズと凸レンズからなるガリレオタイプのアフォーカル光学系であってもよい。
また、アフォーカル光学系11,12を2つのレンズによって構成するものに限らず、ズーム光学系で構成してもよく、あるいは、対物レンズ1や結像レンズ2内に作るようにしてもよい。
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、アフォーカル光学系11,12を、2つの凸レンズ11A,11B、12A,12Bからなるケプラータイプによって構成したが、これに限られない。例えば、凹レンズと凸レンズからなるガリレオタイプのアフォーカル光学系であってもよい。
また、アフォーカル光学系11,12を2つのレンズによって構成するものに限らず、ズーム光学系で構成してもよく、あるいは、対物レンズ1や結像レンズ2内に作るようにしてもよい。
前記実施形態では、2つのアフォーカル光学系11,12を備え、いずれか1つを対物レンズ1の光軸上に切り替えるように構成したが、アフォーカル光学系の個数については、3つ以上であってもよい。
前記実施形態では、切替手段21をスライド機構3によって構成したが、これに限られない。例えば、ターレット機構によって、アフォーカル光学系11,12を円弧移動させて切り替えるようにしてもよい。特に、アフォーカル光学系の数が多くなる程、ターレット機構によって切り替えるようにすれば、狭いスペースでもより多くのアフォーカル光学系を装備することができる。
本発明は、光学倍率を切替できる光学ユニットおよび測定装置に利用できる。
1…対物レンズ、
2…結像レンズ、
3…スライド機構、
11…アフォーカル光学系、
12…アフォーカル光学系、
21…切替手段。
2…結像レンズ、
3…スライド機構、
11…アフォーカル光学系、
12…アフォーカル光学系、
21…切替手段。
Claims (3)
- 対物レンズと、
この対物レンズの光軸上に配置され対物レンズから出射された光束を結像する結像レンズと、
前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置されアフォーカル倍率が異なる複数のアフォーカル光学系と、
この複数のアフォーカル光学系のいずれかを前記対物レンズの光軸上に切替える切替手段とを備えたことを特徴とする光学ユニット。 - 請求項1に記載の光学ユニットにおいて、
前記切替手段は、前記複数のアフォーカル光学系を前記対物レンズの光軸に対して略直交する方向へ直線移動させるスライド機構、および、前記複数のアフォーカル光学系を円弧移動させるターレット機構のいずれかによって構成されていることを特徴とする光学ユニット。 - 請求項1または請求項2に記載の光学ユニットを備えたことを特徴とする測定装置。
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JP2008071795A JP2009229547A (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 光学ユニットおよび測定装置 |
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EP09003272A EP2103981A1 (en) | 2008-03-19 | 2009-03-06 | Optical unit and measuring instrument with plural afocal optical systems for changing magnification |
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- 2008-03-19 JP JP2008071795A patent/JP2009229547A/ja active Pending
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- 2009-02-27 US US12/379,750 patent/US20090237650A1/en not_active Abandoned
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