JP3363703B2 - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
- Publication number
- JP3363703B2 JP3363703B2 JP12147696A JP12147696A JP3363703B2 JP 3363703 B2 JP3363703 B2 JP 3363703B2 JP 12147696 A JP12147696 A JP 12147696A JP 12147696 A JP12147696 A JP 12147696A JP 3363703 B2 JP3363703 B2 JP 3363703B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- turret
- optical axis
- lens
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の像から
被測定物の寸法や形状を測定する光学式測定装置に関す
る。詳しくは、被測定物の像を観察光学系で観察しなが
ら被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機や顕微鏡
などの光学式測定装置に関する。
被測定物の寸法や形状を測定する光学式測定装置に関す
る。詳しくは、被測定物の像を観察光学系で観察しなが
ら被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機や顕微鏡
などの光学式測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】従来、画像測定機や顕微鏡などの光学式測
定装置に設けられる変倍機構としては、ターレットによ
る対物レンズ自体の交換による変倍機構、ズームレンズ
による変倍機構が一般的である。前者のターレットによ
る対物レンズ自体の交換による変倍機構は、図９に示す
ように、倍率の異なる複数本の対物レンズ１Ａ，１Ｂ，
１Ｃを回転可能なターレット２に取り付けた構造であ
る。なお、３は光源、４は光源３からの光を対物レンズ
１Ａ〜１Ｃへ反射しかつ対物レンズ１Ａ〜１Ｃからの光
を透過してＣＣＤカメラ５へ入射させるビームスプリッ
タである。後者のズームレンズによる変倍機構は、図１
０に示すように、対物レンズ１とＣＣＤカメラ５との間
の光軸Ｌ上にズームレンズ６を挿入した構造である。
定装置に設けられる変倍機構としては、ターレットによ
る対物レンズ自体の交換による変倍機構、ズームレンズ
による変倍機構が一般的である。前者のターレットによ
る対物レンズ自体の交換による変倍機構は、図９に示す
ように、倍率の異なる複数本の対物レンズ１Ａ，１Ｂ，
１Ｃを回転可能なターレット２に取り付けた構造であ
る。なお、３は光源、４は光源３からの光を対物レンズ
１Ａ〜１Ｃへ反射しかつ対物レンズ１Ａ〜１Ｃからの光
を透過してＣＣＤカメラ５へ入射させるビームスプリッ
タである。後者のズームレンズによる変倍機構は、図１
０に示すように、対物レンズ１とＣＣＤカメラ５との間
の光軸Ｌ上にズームレンズ６を挿入した構造である。
【０００３】また、図１１および図１２に示すように、
光路を２系統もち、それらを切り換えて使用する機構も
知られている。図１１に示す機構は、対物レンズ１とＣ
ＣＤカメラ５との間の光軸Ｌ上に２つのビームスプリッ
タ７，８を挿入するとともに、ビームスプリッタ７で分
離された一方の光（反射光）を光軸Ｌと平行な別の光路
Ｌ’を通して前記ビームスプリッタ８に入射させる２つ
のミラー９，１０を設け、前記２つのビームスプリッタ
７，８の間に低倍率チューブレンズ１１を、前記ビーム
スプリッタ７とミラー９との間に高倍率チューブレンズ
１２をそれぞれ挿入するとともに、各光路中にシャッタ
１３，１４をそれぞれ挿入した構造である。あるいは、
ビームスプリッタ７，８に代えて、ミラーを光軸Ｌ上に
出し入れ自在に設けた構造である。図１２に示す機構
は、ＣＣＤカメラ５とは別にもう１つのＣＣＤカメラ１
５を設け、このＣＣＤカメラ１５に光路Ｌ’からの光、
つまり、高倍率チューブレンズ１２を通りかつミラー９
で反射された光を入射させた構造である。
光路を２系統もち、それらを切り換えて使用する機構も
知られている。図１１に示す機構は、対物レンズ１とＣ
ＣＤカメラ５との間の光軸Ｌ上に２つのビームスプリッ
タ７，８を挿入するとともに、ビームスプリッタ７で分
離された一方の光（反射光）を光軸Ｌと平行な別の光路
Ｌ’を通して前記ビームスプリッタ８に入射させる２つ
のミラー９，１０を設け、前記２つのビームスプリッタ
７，８の間に低倍率チューブレンズ１１を、前記ビーム
スプリッタ７とミラー９との間に高倍率チューブレンズ
１２をそれぞれ挿入するとともに、各光路中にシャッタ
１３，１４をそれぞれ挿入した構造である。あるいは、
ビームスプリッタ７，８に代えて、ミラーを光軸Ｌ上に
出し入れ自在に設けた構造である。図１２に示す機構
は、ＣＣＤカメラ５とは別にもう１つのＣＣＤカメラ１
５を設け、このＣＣＤカメラ１５に光路Ｌ’からの光、
つまり、高倍率チューブレンズ１２を通りかつミラー９
で反射された光を入射させた構造である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の変倍機構では、次のような課題があった。 ターレットによる対物レンズ自体の交換による変倍機
構（図９） (a) 対物レンズ自体を交換するため、リング照明（図９
の二点鎖線参照）などの外部からの照明が困難である。 (b) 高価な対物レンズを何本も必要とする。 (c) 対物レンズの位置合わせ精度がそのまま繰り返し精
度となる。
の変倍機構では、次のような課題があった。 ターレットによる対物レンズ自体の交換による変倍機
構（図９） (a) 対物レンズ自体を交換するため、リング照明（図９
の二点鎖線参照）などの外部からの照明が困難である。 (b) 高価な対物レンズを何本も必要とする。 (c) 対物レンズの位置合わせ精度がそのまま繰り返し精
度となる。
【０００５】ズームレンズによる変倍機構（図１０）
(a) レンズ枚数が多く、組立調整が複雑である。
(b) ズーミング時の倍率の復帰精度を保証することが困
難である。
難である。
【０００６】光路切換による変倍機構（図１１および
図１２） (a) ＣＣＤカメラ１台の場合（図１１）は、ビームスプ
リッタ、ミラーが多数必要となるので、透過率が低下
し、さらに、調整が複雑となる。 (b) ＣＣＤカメラ２台の場合（図１２）は、コストアッ
プになる。 (c) ３系統以上の倍率を持とうとすると、大形になる。
また、ビームスプリッタの枚数が増えるため、さらに透
過率も落ちる。そのため、この方法で３系統以上の倍率
を持つことは現実的でない。
図１２） (a) ＣＣＤカメラ１台の場合（図１１）は、ビームスプ
リッタ、ミラーが多数必要となるので、透過率が低下
し、さらに、調整が複雑となる。 (b) ＣＣＤカメラ２台の場合（図１２）は、コストアッ
プになる。 (c) ３系統以上の倍率を持とうとすると、大形になる。
また、ビームスプリッタの枚数が増えるため、さらに透
過率も落ちる。そのため、この方法で３系統以上の倍率
を持つことは現実的でない。
【０００７】本発明の目的は、このような従来の課題を
解消し、安価かつ小型で、しかも、組立調整が容易なう
え、高精度化が可能な光学式測定装置を提供することに
ある。
解消し、安価かつ小型で、しかも、組立調整が容易なう
え、高精度化が可能な光学式測定装置を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式測定装置
は、被測定物の像から被測定物の寸法や形状を測定する
光学式測定装置であって、対物レンズと、この対物レン
ズより出射された光を結像させる倍率の異なる複数の光
学レンズと、この光学レンズによって結像された被測定
物の像を観察可能な観察光学系と、前記対物レンズと観
察光学系との間に設けられ前記複数の光学レンズのいず
れか１つを前記対物レンズの光軸上に選択的に切換可能
な切換手段とを備えたことを特徴とする。従って、この
ような構成であるから、対物レンズより出射した光は、
切換手段によって切換られたいずれかの光学レンズの倍
率に拡大または縮小され、観察光学系に結像される。こ
の構成では、対物レンズターレット方式に比べて、複数
本の対物レンズを必要としないから、安価にでき、か
つ、リング照明などの外付け照明も利用できる。また、
ズームレンズによる変倍機構に比べ、光学系の組立調整
も容易にできるとともに、高精度化も可能である。さら
に、光路切換による変倍機構に比べ、別に光路を設けな
くてもよいから、安価かつ小型化できる。
は、被測定物の像から被測定物の寸法や形状を測定する
光学式測定装置であって、対物レンズと、この対物レン
ズより出射された光を結像させる倍率の異なる複数の光
学レンズと、この光学レンズによって結像された被測定
物の像を観察可能な観察光学系と、前記対物レンズと観
察光学系との間に設けられ前記複数の光学レンズのいず
れか１つを前記対物レンズの光軸上に選択的に切換可能
な切換手段とを備えたことを特徴とする。従って、この
ような構成であるから、対物レンズより出射した光は、
切換手段によって切換られたいずれかの光学レンズの倍
率に拡大または縮小され、観察光学系に結像される。こ
の構成では、対物レンズターレット方式に比べて、複数
本の対物レンズを必要としないから、安価にでき、か
つ、リング照明などの外付け照明も利用できる。また、
ズームレンズによる変倍機構に比べ、光学系の組立調整
も容易にできるとともに、高精度化も可能である。さら
に、光路切換による変倍機構に比べ、別に光路を設けな
くてもよいから、安価かつ小型化できる。
【０００９】ここで、前記切換手段を、前記対物レンズ
の光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として
回転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの
光軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レ
ンズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前
記対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前
記ターレットを位置決めする位置決め手段とを含む構成
としてもよい。このような構成とすれば、ターレットを
回転させていくと、各光学レンズが対物レンズの光軸に
一致したそれぞれの角度位置でターレットが位置決め手
段によって位置決めされるから、各光学レンズを対物レ
ンズの光軸に簡単に一致させることができる。
の光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として
回転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの
光軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レ
ンズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前
記対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前
記ターレットを位置決めする位置決め手段とを含む構成
としてもよい。このような構成とすれば、ターレットを
回転させていくと、各光学レンズが対物レンズの光軸に
一致したそれぞれの角度位置でターレットが位置決め手
段によって位置決めされるから、各光学レンズを対物レ
ンズの光軸に簡単に一致させることができる。
【００１０】また、前記切換手段を、前記対物レンズの
光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回
転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光
軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レン
ズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前記
対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前記
ターレットを位置決めする位置決め手段と、前記各光学
レンズを前記ターレットに対して前記光軸方向およびそ
の光軸方向に対して直交する方向へ変位させる調整手段
とを含む構成としてもよい。このような構成とすれば、
調整手段によって各光学レンズをターレットに対して光
軸方向およびその光軸方向に対して直交する方向へ変位
させることができるから、ターレットを位置決め手段に
よって所定位置に位置決めした状態において、各光学レ
ンズと対物レンズの光軸との位置ずれや各光学レンズの
焦点位置ずれが生じても、これらの位置ずれを個々に調
整することができる。
光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回
転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光
軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レン
ズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前記
対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前記
ターレットを位置決めする位置決め手段と、前記各光学
レンズを前記ターレットに対して前記光軸方向およびそ
の光軸方向に対して直交する方向へ変位させる調整手段
とを含む構成としてもよい。このような構成とすれば、
調整手段によって各光学レンズをターレットに対して光
軸方向およびその光軸方向に対して直交する方向へ変位
させることができるから、ターレットを位置決め手段に
よって所定位置に位置決めした状態において、各光学レ
ンズと対物レンズの光軸との位置ずれや各光学レンズの
焦点位置ずれが生じても、これらの位置ずれを個々に調
整することができる。
【００１１】この場合、前記ターレットが、前記光軸方
向へ移動可能に設けられていることが望ましい。このよ
うにすれば、ターレットを光軸方向へ移動させれば、全
ての光学レンズの焦点位置ずれを一括して調整すること
ができるから、調整手段による各光学レンズ個々の焦点
位置ずれの調整と併用して、各光学レンズの焦点位置ず
れを能率的に調整することができる。
向へ移動可能に設けられていることが望ましい。このよ
うにすれば、ターレットを光軸方向へ移動させれば、全
ての光学レンズの焦点位置ずれを一括して調整すること
ができるから、調整手段による各光学レンズ個々の焦点
位置ずれの調整と併用して、各光学レンズの焦点位置ず
れを能率的に調整することができる。
【００１２】また、前記切換手段を、前記対物レンズの
光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回
転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光
軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レン
ズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前記
対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前記
ターレットを位置決めする位置決め手段と、前記各光学
レンズを前記ターレットに対して前記光軸方向およびそ
の光軸方向に対して直交する方向へ変位させる調整手段
と、前記ターレットの軸にクラッチを介して連結されタ
ーレットを回転させる駆動源とを含む構成としてもよ
い。このような構成とすれば、駆動源によってターレッ
トを自動的に所定角度位置まで回転させることができ
る。ここで、ターレットが所定角度位置に達したとき、
クラッチの切り離しによって駆動源がターレットから切
り離されると、駆動源の回転抵抗がなくなるから、ター
レットを位置決め手段によって所定角度位置に正確に位
置決めすることができる。
光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回
転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光
軸までの距離を半径とする円周上に前記複数の光学レン
ズを取り付けたターレットと、前記各光学レンズが前記
対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置で前記
ターレットを位置決めする位置決め手段と、前記各光学
レンズを前記ターレットに対して前記光軸方向およびそ
の光軸方向に対して直交する方向へ変位させる調整手段
と、前記ターレットの軸にクラッチを介して連結されタ
ーレットを回転させる駆動源とを含む構成としてもよ
い。このような構成とすれば、駆動源によってターレッ
トを自動的に所定角度位置まで回転させることができ
る。ここで、ターレットが所定角度位置に達したとき、
クラッチの切り離しによって駆動源がターレットから切
り離されると、駆動源の回転抵抗がなくなるから、ター
レットを位置決め手段によって所定角度位置に正確に位
置決めすることができる。
【００１３】この場合、前記位置決め手段は、前記ター
レットの外周面の所定角度位置に切欠形成された凹部
と、前記ターレットの外周面に接するともに前記凹部内
に係合可能な係合部材と、この係合部材を前記ターレッ
トの外周面に接する方向へ付勢する付勢手段とを備えて
いることが望ましい。このようにすれば、ターレットが
所定角度位置に達したとき、クラッチの切り離しによっ
て駆動源がターレットから切り離されると、付勢手段に
よってターレットの外周面に接している係合部材が自動
的に凹部内に入り込むため、簡単な構成によりターレッ
トを正確に位置決めすることができる。
レットの外周面の所定角度位置に切欠形成された凹部
と、前記ターレットの外周面に接するともに前記凹部内
に係合可能な係合部材と、この係合部材を前記ターレッ
トの外周面に接する方向へ付勢する付勢手段とを備えて
いることが望ましい。このようにすれば、ターレットが
所定角度位置に達したとき、クラッチの切り離しによっ
て駆動源がターレットから切り離されると、付勢手段に
よってターレットの外周面に接している係合部材が自動
的に凹部内に入り込むため、簡単な構成によりターレッ
トを正確に位置決めすることができる。
【００１４】以上において、前記調整手段は、前記各光
学レンズをその光軸方向へ変位可能に螺合したレンズホ
ルダと、この各レンズホルダを前記ターレットの前記円
周上で前記光軸方向に対して直交しかつ互いに直交する
方向へ変位可能かつ固定可能に支持する芯調整機構とを
含んで構成されていることが望ましい。このようにすれ
ば、各光学レンズをレンズホルダに対して螺合調整すれ
ば焦点位置ずれを調整することができ、また、芯調整機
構によって各レンズホルダを光軸方向に対して直交しか
つ互いに直交する方向へ変位させれば、各光学レンズと
光軸との中心位置ずれを調整することができるから、簡
単な構造で各光学レンズの中心位置ずれおよび焦点位置
ずれを補正することができる。
学レンズをその光軸方向へ変位可能に螺合したレンズホ
ルダと、この各レンズホルダを前記ターレットの前記円
周上で前記光軸方向に対して直交しかつ互いに直交する
方向へ変位可能かつ固定可能に支持する芯調整機構とを
含んで構成されていることが望ましい。このようにすれ
ば、各光学レンズをレンズホルダに対して螺合調整すれ
ば焦点位置ずれを調整することができ、また、芯調整機
構によって各レンズホルダを光軸方向に対して直交しか
つ互いに直交する方向へ変位させれば、各光学レンズと
光軸との中心位置ずれを調整することができるから、簡
単な構造で各光学レンズの中心位置ずれおよび焦点位置
ずれを補正することができる。
【００１５】前記芯調整機構は、前記レンズホルダのフ
ランジの１２０度間隔位置に形成された傾斜面と、この
各傾斜面に当接する傾斜面を有する調整駒と、この調整
駒を前記ターレットに固定する調整ねじとを含んで構成
されている。
ランジの１２０度間隔位置に形成された傾斜面と、この
各傾斜面に当接する傾斜面を有する調整駒と、この調整
駒を前記ターレットに固定する調整ねじとを含んで構成
されている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図１は本実施形態にかか
る画像測定機の正面図、図２は図１のII−II線断面図で
ある。同画像測定機は、被測定物を載置するテーブル２
０と、このテーブル２０に対して図示省略のコラムを介
して昇降自在に設けられた光学系ユニット２１とから構
成されている。前記光学系ユニット２１は、筺体２２を
有する。筺体２２には、その下面に対物レンズ２３が取
り付けられているとともに、上面にＣＣＤカメラ２４お
よび照明装置２５がそれぞれ取り付けられている。ＣＣ
Ｄカメラ２４は、前記対物レンズ２３の光軸Ｌ上に配置
され、被測定物の像を観察可能な観察光学系を構成して
いる。
参照しながら詳細に説明する。図１は本実施形態にかか
る画像測定機の正面図、図２は図１のII−II線断面図で
ある。同画像測定機は、被測定物を載置するテーブル２
０と、このテーブル２０に対して図示省略のコラムを介
して昇降自在に設けられた光学系ユニット２１とから構
成されている。前記光学系ユニット２１は、筺体２２を
有する。筺体２２には、その下面に対物レンズ２３が取
り付けられているとともに、上面にＣＣＤカメラ２４お
よび照明装置２５がそれぞれ取り付けられている。ＣＣ
Ｄカメラ２４は、前記対物レンズ２３の光軸Ｌ上に配置
され、被測定物の像を観察可能な観察光学系を構成して
いる。
【００１７】前記筺体２２内には、前記照明装置２５か
ら出射された光を直角にかつ光軸Ｌに向かって反射させ
るミラー２６と、光軸Ｌ上において前記ミラー２６から
の反射光を対物レンズ２３に反射させるビームスプリッ
タ２７と、倍率の異なる複数（たとえば、１Ｘ，２Ｘ，
６Ｘ）の光学レンズとしてのチューブレンズ２８Ａ，２
８Ｂ，２８Ｃと、これら複数のチューブレンズ２８Ａ〜
２８Ｃのいずれか１つを前記光軸Ｌ上に選択的に切換可
能な切換手段２９とがそれぞれ設けられている。
ら出射された光を直角にかつ光軸Ｌに向かって反射させ
るミラー２６と、光軸Ｌ上において前記ミラー２６から
の反射光を対物レンズ２３に反射させるビームスプリッ
タ２７と、倍率の異なる複数（たとえば、１Ｘ，２Ｘ，
６Ｘ）の光学レンズとしてのチューブレンズ２８Ａ，２
８Ｂ，２８Ｃと、これら複数のチューブレンズ２８Ａ〜
２８Ｃのいずれか１つを前記光軸Ｌ上に選択的に切換可
能な切換手段２９とがそれぞれ設けられている。
【００１８】前記切換手段２９は、前記光軸Ｌと異なる
位置にその光軸Ｌと平行な軸３１を中心として回転可能
に設けられかつその軸３１から前記光軸Ｌまでの距離を
半径とする円周上に前記複数のチューブレンズ２８Ａ〜
２８Ｃを等間隔（１２０度間隔）で取り付けたターレッ
ト３２と、前記各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが前記
光軸Ｌに一致したそれぞれの角度位置で前記ターレット
３２を位置決めする位置決め手段３３と、前記各チュー
ブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを前記ターレット３２に対して
前記光軸Ｌ方向（Ｚ方向）およびその光軸Ｌ方向に対し
て直交するＸ，Ｙ方向へ変位させる調整手段３４と、前
記ターレット３２の軸３１にクラッチ４３を介して連結
された駆動源としてのモータ４４とを含んで構成されい
る。
位置にその光軸Ｌと平行な軸３１を中心として回転可能
に設けられかつその軸３１から前記光軸Ｌまでの距離を
半径とする円周上に前記複数のチューブレンズ２８Ａ〜
２８Ｃを等間隔（１２０度間隔）で取り付けたターレッ
ト３２と、前記各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが前記
光軸Ｌに一致したそれぞれの角度位置で前記ターレット
３２を位置決めする位置決め手段３３と、前記各チュー
ブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを前記ターレット３２に対して
前記光軸Ｌ方向（Ｚ方向）およびその光軸Ｌ方向に対し
て直交するＸ，Ｙ方向へ変位させる調整手段３４と、前
記ターレット３２の軸３１にクラッチ４３を介して連結
された駆動源としてのモータ４４とを含んで構成されい
る。
【００１９】前記ターレット３２は、前記光軸Ｌ方向
（Ｚ方向）へのみ移動可能（軸３１に対しては回転不
能）に設けられている。軸３１には、前記ターレット３
２をその軸方向に移動させるナット４１が螺合されるお
ねじ４２が形成されているとともに、前記クラッチ４３
を介してモータ４４が連結されている。従って、モータ
４４が回転すると、クラッチ４３を介して軸３１が回転
するから、ターレット３２が回転される。このとき、タ
ーレット３２の回転角度は角度検出円盤４５によって検
出されるようになっている。
（Ｚ方向）へのみ移動可能（軸３１に対しては回転不
能）に設けられている。軸３１には、前記ターレット３
２をその軸方向に移動させるナット４１が螺合されるお
ねじ４２が形成されているとともに、前記クラッチ４３
を介してモータ４４が連結されている。従って、モータ
４４が回転すると、クラッチ４３を介して軸３１が回転
するから、ターレット３２が回転される。このとき、タ
ーレット３２の回転角度は角度検出円盤４５によって検
出されるようになっている。
【００２０】前記位置決め手段３３は、前記ターレット
３２の外周面の１２０度間隔位置に切欠形成された３つ
の凹部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃと、前記ターレット３２
の外周面に常時接する方向へ付勢され前記凹部５１Ａ〜
５１Ｃに係合可能に係合部材としてのベアリング５２と
を備えている。ベアリング５２は、図３および図４に示
すように、筺体２２の上面に取り付けられたＬ字状ブラ
ケット５３に片持ち支持構造の板ばね５４を介して支持
されている。
３２の外周面の１２０度間隔位置に切欠形成された３つ
の凹部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃと、前記ターレット３２
の外周面に常時接する方向へ付勢され前記凹部５１Ａ〜
５１Ｃに係合可能に係合部材としてのベアリング５２と
を備えている。ベアリング５２は、図３および図４に示
すように、筺体２２の上面に取り付けられたＬ字状ブラ
ケット５３に片持ち支持構造の板ばね５４を介して支持
されている。
【００２１】前記調整手段３４は、図５および図６に示
すように、前記各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃをその
光軸方向（Ｚ方向）へ変位可能に螺合しかつ外周にフラ
ンジ６１を有するたレンズホルダ６２と、この各レンズ
ホルダ６２を前記ターレット３２の前記円周上で前記光
軸Ｌ方向に対して直交しかつ互いに直交するＸ，Ｙ方向
へ変位可能かつ固定可能に支持する芯調整機構６３とを
含んで構成されている。芯調整機構６３は、前記レンズ
ホルダ６２のフランジ６１の１２０度間隔位置に形成さ
れた傾斜面６４と、この各傾斜面６４に当接する傾斜面
６５を有する調整駒６６と、この調整駒６６を前記ター
レット３２に固定する調整ねじ６７とを含んで構成され
ている。
すように、前記各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃをその
光軸方向（Ｚ方向）へ変位可能に螺合しかつ外周にフラ
ンジ６１を有するたレンズホルダ６２と、この各レンズ
ホルダ６２を前記ターレット３２の前記円周上で前記光
軸Ｌ方向に対して直交しかつ互いに直交するＸ，Ｙ方向
へ変位可能かつ固定可能に支持する芯調整機構６３とを
含んで構成されている。芯調整機構６３は、前記レンズ
ホルダ６２のフランジ６１の１２０度間隔位置に形成さ
れた傾斜面６４と、この各傾斜面６４に当接する傾斜面
６５を有する調整駒６６と、この調整駒６６を前記ター
レット３２に固定する調整ねじ６７とを含んで構成され
ている。
【００２２】以上の構成において、測定にあたっては、
いずれかのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを光軸Ｌ上に
位置させる。これには、クラッチ４３を接続した状態に
おいて、モータ４４を所定角度だけ回転させたのち、停
止させる。これにより、いずれかのチューブレンズ２８
Ａ〜２８Ｃが光軸Ｌの近傍に達するとともに、ベアリン
グ５２が対応する凹部５１Ａ〜５１Ｃに嵌合し始める。
ここで、クラッチ４３を分離すると、モータ４４がター
レット３２から切り離されるから、つまり、モータ４４
の回転抵抗がなくなるから、ターレット３２は嵌合し始
めた凹部５１Ａ〜５１Ｃがベアリング５２に完全に嵌ま
り込む角度位置まで自動的に回転されて位置決めされ
る。
いずれかのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを光軸Ｌ上に
位置させる。これには、クラッチ４３を接続した状態に
おいて、モータ４４を所定角度だけ回転させたのち、停
止させる。これにより、いずれかのチューブレンズ２８
Ａ〜２８Ｃが光軸Ｌの近傍に達するとともに、ベアリン
グ５２が対応する凹部５１Ａ〜５１Ｃに嵌合し始める。
ここで、クラッチ４３を分離すると、モータ４４がター
レット３２から切り離されるから、つまり、モータ４４
の回転抵抗がなくなるから、ターレット３２は嵌合し始
めた凹部５１Ａ〜５１Ｃがベアリング５２に完全に嵌ま
り込む角度位置まで自動的に回転されて位置決めされ
る。
【００２３】この状態において、照明装置２５から光を
出射すると、その光は、ミラー２６で反射されたのち、
ビームスプリッタ２７で反射されて対物レンズ２３を通
じてテーブル２０上に載置された被測定物に照射され
る。対物レンズ２３より出射した光は、ビームスプリッ
タ２７を通ったのち、選択されたチューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃの倍率に拡大または縮小され、ＣＣＤカメラ２
４に結像される。従って、ＣＣＤカメラ２４で撮像され
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
することができる。
出射すると、その光は、ミラー２６で反射されたのち、
ビームスプリッタ２７で反射されて対物レンズ２３を通
じてテーブル２０上に載置された被測定物に照射され
る。対物レンズ２３より出射した光は、ビームスプリッ
タ２７を通ったのち、選択されたチューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃの倍率に拡大または縮小され、ＣＣＤカメラ２
４に結像される。従って、ＣＣＤカメラ２４で撮像され
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
することができる。
【００２４】本実施形態によれば、対物レンズ２３とＣ
ＣＤカメラ２４との間に、倍率の異なる３つのチューブ
レンズ２８Ａ〜２８Ｃを円周状に配置したターレット３
２を回転自在に設け、このターレット３２を含んでいず
れか１つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを対物レンズ
２３の光軸Ｌ上に切換る切換手段２９を構成したので、
対物レンズターレット方式に比べて、複数本の対物レン
ズを必要としないから、安価にでき、かつ、リング照明
などの外付け照明も利用できる。また、ズームレンズに
よる変倍機構に比べ、光学系の組立調整も容易にできる
とともに、高精度化も可能である。。さらに、光路切換
による変倍機構に比べ、別に光路を設けなくてもよいか
ら、安価かつ小型化できる。
ＣＤカメラ２４との間に、倍率の異なる３つのチューブ
レンズ２８Ａ〜２８Ｃを円周状に配置したターレット３
２を回転自在に設け、このターレット３２を含んでいず
れか１つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを対物レンズ
２３の光軸Ｌ上に切換る切換手段２９を構成したので、
対物レンズターレット方式に比べて、複数本の対物レン
ズを必要としないから、安価にでき、かつ、リング照明
などの外付け照明も利用できる。また、ズームレンズに
よる変倍機構に比べ、光学系の組立調整も容易にできる
とともに、高精度化も可能である。。さらに、光路切換
による変倍機構に比べ、別に光路を設けなくてもよいか
ら、安価かつ小型化できる。
【００２５】また、切換手段２９を、対物レンズ２３の
光軸Ｌと異なる位置にその光軸Ｌと平行な軸３１を中心
として回転可能に設けられかつその中心から対物レンズ
２３の光軸Ｌまでの距離を半径とする円周上に複数のチ
ューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けたターレット３
２と、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが対物レンズ２
３の光軸Ｌに一致したそれぞれの角度位置でターレット
３２を位置決めする位置決め手段３３を含んで構成した
ので、ターレット３２を回転させていくと、各チューブ
レンズ２８Ａ〜２８Ｃが対物レンズ２３の光軸Ｌに一致
した角度位置でターレット３２が位置決め手段３３によ
って位置決めされるから、各チューブレンズ２８Ａ〜２
８Ｃを対物レンズ２３の光軸Ｌに簡単に一致させること
ができる。
光軸Ｌと異なる位置にその光軸Ｌと平行な軸３１を中心
として回転可能に設けられかつその中心から対物レンズ
２３の光軸Ｌまでの距離を半径とする円周上に複数のチ
ューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けたターレット３
２と、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが対物レンズ２
３の光軸Ｌに一致したそれぞれの角度位置でターレット
３２を位置決めする位置決め手段３３を含んで構成した
ので、ターレット３２を回転させていくと、各チューブ
レンズ２８Ａ〜２８Ｃが対物レンズ２３の光軸Ｌに一致
した角度位置でターレット３２が位置決め手段３３によ
って位置決めされるから、各チューブレンズ２８Ａ〜２
８Ｃを対物レンズ２３の光軸Ｌに簡単に一致させること
ができる。
【００２６】また、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを
ターレット３２に対してＸ，Ｙ，Ｚ方向へ変位させる調
整手段３４を設けたので、ターレット３２を位置決め手
段３３によって所定角度位置に位置決めした状態におい
て、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃと光軸Ｌとの中心
位置ずれや各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの焦点位置
ずれがあっても、これらの位置ずれを個々に補正するこ
とができる。しかも、焦点位置ずれの補正にあたって
は、ターレット３２をＺ方向へ移動させることができる
から、ターレット３２のＺ方向へ移動と各チューブレン
ズ２８Ａ〜２８ＣのＺ方向への変位とを併用しながら各
チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの焦点位置ずれを能率的
に補正することができる。
ターレット３２に対してＸ，Ｙ，Ｚ方向へ変位させる調
整手段３４を設けたので、ターレット３２を位置決め手
段３３によって所定角度位置に位置決めした状態におい
て、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃと光軸Ｌとの中心
位置ずれや各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの焦点位置
ずれがあっても、これらの位置ずれを個々に補正するこ
とができる。しかも、焦点位置ずれの補正にあたって
は、ターレット３２をＺ方向へ移動させることができる
から、ターレット３２のＺ方向へ移動と各チューブレン
ズ２８Ａ〜２８ＣのＺ方向への変位とを併用しながら各
チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの焦点位置ずれを能率的
に補正することができる。
【００２７】また、調整手段３４を、各チューブレンズ
２８Ａ〜２８ＣをＺ方向へ変位可能に螺合したレンズホ
ルダ６２と、この各レンズホルダ６２をターレット３２
の前記円周上でＸ，Ｙ方向へ変位可能かつ固定可能に支
持する芯調整機構６３とを含んで構成したので、各チュ
ーブレンズ２８Ａ〜２８Ｃをレンズホルダ６２に対して
螺合調整すれば焦点位置ずれを調整することができ、ま
た、芯調整機構６３によって各レンズホルダ６２をＸ，
Ｙ方向へ変位させれば、各チューブレンズ２８Ａ〜２８
Ｃと光軸Ｌとの中心位置ずれを調整することができるか
ら、簡単な構造で各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの中
心位置ずれおよび焦点位置ずれを補正することができ
る。
２８Ａ〜２８ＣをＺ方向へ変位可能に螺合したレンズホ
ルダ６２と、この各レンズホルダ６２をターレット３２
の前記円周上でＸ，Ｙ方向へ変位可能かつ固定可能に支
持する芯調整機構６３とを含んで構成したので、各チュ
ーブレンズ２８Ａ〜２８Ｃをレンズホルダ６２に対して
螺合調整すれば焦点位置ずれを調整することができ、ま
た、芯調整機構６３によって各レンズホルダ６２をＸ，
Ｙ方向へ変位させれば、各チューブレンズ２８Ａ〜２８
Ｃと光軸Ｌとの中心位置ずれを調整することができるか
ら、簡単な構造で各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの中
心位置ずれおよび焦点位置ずれを補正することができ
る。
【００２８】また、ターレット３２の軸３１にクラッチ
４３を介してモータ４４を連結したので、このモータ４
４によってターレット３２を自動的に所定角度位置まで
回転させることができる。ここで、ターレット３２が所
定角度位置に達したとき、クラッチ４３の切り離しによ
ってモータ４４をターレット３２から切り離すと、モー
タ４４の回転抵抗がなくなるから、ターレット３２を位
置決め手段３３によって所定角度位置に正確に位置決め
することができる。
４３を介してモータ４４を連結したので、このモータ４
４によってターレット３２を自動的に所定角度位置まで
回転させることができる。ここで、ターレット３２が所
定角度位置に達したとき、クラッチ４３の切り離しによ
ってモータ４４をターレット３２から切り離すと、モー
タ４４の回転抵抗がなくなるから、ターレット３２を位
置決め手段３３によって所定角度位置に正確に位置決め
することができる。
【００２９】また、位置決め手段３３を、ターレット３
２の外周面に切欠形成された凹部５１Ａ〜５１Ｃと、ベ
アリング５２と、このベアリング５２をターレット３２
の外周面に接する方向へ付勢する板ばね５４とを含んで
構成したから、ターレット３２が所定角度位置に達した
とき、つまり、ベアリング５２にいずれかの凹部５１Ａ
〜５１Ｃが嵌まり始めたとき、クラッチ４３の切り離し
によってモータ４４がターレット３２から切り離される
と、ベアリング５２に凹部５１Ａ〜５１Ｃが入り込む方
向にターレット３２が自動的に回転されるため、簡単な
構成によりターレット３２を正確に位置決めすることが
できる。
２の外周面に切欠形成された凹部５１Ａ〜５１Ｃと、ベ
アリング５２と、このベアリング５２をターレット３２
の外周面に接する方向へ付勢する板ばね５４とを含んで
構成したから、ターレット３２が所定角度位置に達した
とき、つまり、ベアリング５２にいずれかの凹部５１Ａ
〜５１Ｃが嵌まり始めたとき、クラッチ４３の切り離し
によってモータ４４がターレット３２から切り離される
と、ベアリング５２に凹部５１Ａ〜５１Ｃが入り込む方
向にターレット３２が自動的に回転されるため、簡単な
構成によりターレット３２を正確に位置決めすることが
できる。
【００３０】以上述べた実施形態では、切換手段２９
を、対物レンズ２３の光軸Ｌと異なる位置にその光軸と
平行な軸３１を中心として回転可能に設けられかつその
中心から対物レンズ２３の光軸までの距離を半径とする
円周上に前記複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取
り付けたターレット３２を含んで構成したが、たとえ
ば、図７に示す切換手段７１、あるいは、図８に示す切
換手段８１の構成でもよい。
を、対物レンズ２３の光軸Ｌと異なる位置にその光軸と
平行な軸３１を中心として回転可能に設けられかつその
中心から対物レンズ２３の光軸までの距離を半径とする
円周上に前記複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取
り付けたターレット３２を含んで構成したが、たとえ
ば、図７に示す切換手段７１、あるいは、図８に示す切
換手段８１の構成でもよい。
【００３１】図７に示す切換手段７１は、前記対物レン
ズ２３の光軸Ｌに対して直交する軸を中心として回転可
能に設けられ外周面に前記複数のチューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃを取り付けた円筒ターレット７２を含んで構成
してある。この場合には、チューブレンズ２８Ａ〜２８
Ｃを反転して使用できるから、レンズ設計によっては１
つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃで２種類の倍率を持
つことも可能である。また、これは上記実施形態に比
べ、スペース的にも有利である。
ズ２３の光軸Ｌに対して直交する軸を中心として回転可
能に設けられ外周面に前記複数のチューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃを取り付けた円筒ターレット７２を含んで構成
してある。この場合には、チューブレンズ２８Ａ〜２８
Ｃを反転して使用できるから、レンズ設計によっては１
つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃで２種類の倍率を持
つことも可能である。また、これは上記実施形態に比
べ、スペース的にも有利である。
【００３２】図８に示す切換手段８１は、前記対物レン
ズ２３の光軸Ｌに対して直交する方向へスライド可能に
設けられかつそのスライド方向に前記複数のチューブレ
ンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けたスライダ８２を含んで
構成してある。このようにすれば、奥行方向のスペース
を少なくできる利点がある。
ズ２３の光軸Ｌに対して直交する方向へスライド可能に
設けられかつそのスライド方向に前記複数のチューブレ
ンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けたスライダ８２を含んで
構成してある。このようにすれば、奥行方向のスペース
を少なくできる利点がある。
【００３３】また、上記実施形態では、３本のチューブ
レンズ２８Ａ〜２８Ｃをターレット３２，７２およびス
ライダ８２に取り付けたが、チューブレンズの本数につ
いては、２本または４本以上でもよい。また、上記実施
形態では、ターレット３２をモータ４４によって回転さ
せるようにしたが、手動で回転させるようにしてもよ
い。
レンズ２８Ａ〜２８Ｃをターレット３２，７２およびス
ライダ８２に取り付けたが、チューブレンズの本数につ
いては、２本または４本以上でもよい。また、上記実施
形態では、ターレット３２をモータ４４によって回転さ
せるようにしたが、手動で回転させるようにしてもよ
い。
【００３４】また、位置決め手段３３についても、上記
実施形態で述べた機械的構造に限らず、電気的に位置決
めする方法でもよい。たとえば、モータ４４の回転をエ
ンコーダで検出し、このエンコーダで検出された回転角
度と予め設定してある回転角度とを比較しながら、モー
タの駆動を制御するようにしてもよい。また、調整手段
３４についても、上記実施形態で述べた構成に限らず、
Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の調整ができるものであれば、他の構成
でもよい。
実施形態で述べた機械的構造に限らず、電気的に位置決
めする方法でもよい。たとえば、モータ４４の回転をエ
ンコーダで検出し、このエンコーダで検出された回転角
度と予め設定してある回転角度とを比較しながら、モー
タの駆動を制御するようにしてもよい。また、調整手段
３４についても、上記実施形態で述べた構成に限らず、
Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の調整ができるものであれば、他の構成
でもよい。
【００３５】また、上記実施形態では、チューブレンズ
２８Ａ〜２８Ｃで結像された被測定物の像をＣＣＤカメ
ラ２４で撮像するようにしたが、チューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃで結像された被測定物の像を観察光学系として
の接眼レンズで観察しなから測定するようにしてもよ
い。
２８Ａ〜２８Ｃで結像された被測定物の像をＣＣＤカメ
ラ２４で撮像するようにしたが、チューブレンズ２８Ａ
〜２８Ｃで結像された被測定物の像を観察光学系として
の接眼レンズで観察しなから測定するようにしてもよ
い。
【００３６】
【発明の効果】本発明の光学式測定装置によれば、安価
かつ小型で、しかも、組立調整が容易なうえ、高精度化
が達成することができる。
かつ小型で、しかも、組立調整が容易なうえ、高精度化
が達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる画像測定機の側面
図である。
図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】同上実施形態における位置決め手段を示す拡大
図である。
図である。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】同上実施形態における調整機構を示す拡大図で
ある。
ある。
【図６】図５のVI−VI線断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態にかかる画像測定機の正
面図および側面図である。
面図および側面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態にかかる画像測定
機の正面図および側面図である。
機の正面図および側面図である。
【図９】従来のターレット方式による変倍機構を示す図
である。
である。
【図１０】従来のズームレンズ方式による変倍機構を示
す図である。
す図である。
【図１１】従来の光路切換方式（ＣＣＤカメラ１台）に
よる変倍機構を示す図である。
よる変倍機構を示す図である。
【図１２】従来の光路切換方式（ＣＣＤカメラ２台）に
よる変倍機構を示す図である。
よる変倍機構を示す図である。
２３ 対物レンズ
２４ ＣＣＤカメラ（観察光学系）
２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ チューブレンズ（光学レン
ズ） ２９ 切換手段 ３１ 軸 ３２ ターレット ３３ 位置決め手段 ３４ 調整手段 ５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ 凹部 ５２ ベアリング（係合部材） ５４ 板ばね（付勢手段） ６２ レンズホルダ ６３ 芯調整機構 ７１ 切換手段 ７２ 円筒ターレット ８１ 切換手段 ８２ スライダ
ズ） ２９ 切換手段 ３１ 軸 ３２ ターレット ３３ 位置決め手段 ３４ 調整手段 ５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ 凹部 ５２ ベアリング（係合部材） ５４ 板ばね（付勢手段） ６２ レンズホルダ ６３ 芯調整機構 ７１ 切換手段 ７２ 円筒ターレット ８１ 切換手段 ８２ スライダ
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−154016（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−63411（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭50−52947（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭48−75652（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−78917（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭51−92137（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−54016（ＪＰ，Ｕ)
実開 平４−59815（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 7/02 - 7/16
G02B 21/00 - 21/36
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定物の像から被測定物の寸法や形状
を測定する光学式測定装置であって、 対物レンズと、この対物レンズより出射された光を結像
させる倍率の異なる複数の光学レンズと、この光学レン
ズによって結像された被測定物の像を観察可能な観察光
学系と、前記対物レンズと観察光学系との間に設けられ
前記複数の光学レンズのいずれか１つを前記対物レンズ
の光軸上に選択的に切換可能な切換手段とを備え、 前記切換手段は、前記対物レンズの光軸と異なる位置に
その光軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられか
つその中心から前記対物レンズの光軸までの距離を半径
とする円周上に前記複数の光学レンズを取り付けたター
レットと、前記各光学レンズが前記対物レンズの光軸に
一致したそれぞれの角度位置で前記ターレットを位置決
めする位置決め手段と、前記各光学レンズを前記ターレ
ットに対して前記光軸方向およびその光軸方向に対して
直交する方向へ変位させる調整手段とを含んで構成さ
れ、 前記調整手段は、前記各光学レンズをその光軸方向へ変
位可能に螺合したレンズホルダと、この各レンズホルダ
を前記ターレットの前記円周上で前記光軸方向に対して
直交しかつ互いに直交する方向へ変位可能かつ固定可能
に支持する芯調整機構とを含んで構成され、 前記芯調整機構は、前記レンズホルダのフランジの１２
０度間隔位置に形成された傾斜面と、この各傾斜面に当
接する傾斜面を有する調整駒と、この調整駒を前記ター
レットに固定する調整ねじとを含んで構成されている こ
とを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光学式測定装置におい
て、前記切換手段は、前記ターレットの軸にクラッチを
介して連結されターレットを回転させる駆動源とを含む
ことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の光学式測定装
置において、前記ターレットは、前記光軸方向へ移動可
能に設けられていることを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の光学式
測定装置において、前記位置決め手段は、前記ターレッ
トの外周面の所定角度位置に切欠形成された凹部と、前
記ターレットの外周面に接するとともに前記凹部内に係
合可能な係合部材と、この係合部材を前記ターレットの
外周面に接する方向へ付勢する付勢手段とを備えている
ことを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12147696A JP3363703B2 (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12147696A JP3363703B2 (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304682A JPH09304682A (ja) | 1997-11-28 |
| JP3363703B2 true JP3363703B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=14812104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12147696A Expired - Fee Related JP3363703B2 (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3363703B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2466293A1 (en) | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006189718A (ja) | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Laserfront Technologies Inc | 部材切替装置、レンズ切替装置、レーザリペア装置及びレーザ検査装置 |
| JP2009229547A (ja) | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Mitsutoyo Corp | 光学ユニットおよび測定装置 |
| JP5506282B2 (ja) * | 2009-08-17 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | レンズ装置 |
| KR101245530B1 (ko) * | 2011-05-26 | 2013-03-21 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 광학검사장치 및 이를 구비하는 어레이 테스트 장치 |
| CN105258686B (zh) * | 2015-10-22 | 2019-02-01 | 青岛镭创光电技术有限公司 | 激光投线仪 |
| US10701259B2 (en) | 2017-09-15 | 2020-06-30 | Quality Vision International Inc. | Video measuring system with dual-acting reticle projector for focusing and alignment |
| CN109060316A (zh) * | 2018-10-09 | 2018-12-21 | 上海乾曜光学科技有限公司 | 干涉仪离散变倍系统 |
-
1996
- 1996-05-16 JP JP12147696A patent/JP3363703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2466293A1 (en) | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
| US9006657B2 (en) | 2010-12-17 | 2015-04-14 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09304682A (ja) | 1997-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3462006B2 (ja) | オートフォーカス装置 | |
| US6072642A (en) | Focusing lens position detection apparatus and an auto-focus surveying apparatus | |
| EP2093597B1 (en) | Telecentric lens system and vision measuring instrument | |
| US5113261A (en) | Lens driving apparatus using cam plate | |
| JP3363703B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
| US4119983A (en) | Self-contained interchangeable lens camera | |
| JP2003098437A (ja) | 走査顕微鏡及び目標物を走査するための方法 | |
| JP4751156B2 (ja) | オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置 | |
| US6147814A (en) | Zoom lens barrel | |
| JP3523348B2 (ja) | 細隙灯顕微鏡 | |
| JP5909902B2 (ja) | オートフォーカス装置、顕微鏡装置 | |
| WO2008019295A2 (en) | Mechanism for a microscope objective changer and filter changer | |
| JP2010113081A (ja) | レンズ鏡筒、撮像装置、及び軸案内機構の製造方法 | |
| JP2891739B2 (ja) | 顕微鏡 | |
| JP5585199B2 (ja) | レンズ鏡筒及び撮像装置 | |
| JP4524793B2 (ja) | 共焦点光学系及び高さ測定装置 | |
| JP3148355B2 (ja) | 照明装置 | |
| JP3831451B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
| JP2003117702A (ja) | レンズ鏡筒加工装置 | |
| JP7479222B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
| JP2018142030A (ja) | レンズ鏡筒および撮像装置 | |
| WO2013162079A1 (ja) | 周面立体観察装置 | |
| JP2010250142A (ja) | 駆動・位置決め装置および画像測定装置 | |
| JP2571418Y2 (ja) | 望遠鏡 | |
| JPH09197251A (ja) | オートフォーカス装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021008 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111025 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111025 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141025 Year of fee payment: 12 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |