JP3831451B2 - 光学式測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物の像から被測定物の寸法や形状を測定する光学式測定装置に関する。詳しくは、被測定物の像を観察光学系で観察しながら被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機や顕微鏡などの光学式測定装置に関する。
【0002】
【背景技術】
従来、画像測定機や顕微鏡などの光学式測定装置にあっては、倍率の異なる複数本の対物レンズを回転可能なターレットに取り付けたターレット式変倍機構やズームレンズを用いたズームレンズ式変倍機構を設け、これらの変倍機構により測定箇所を拡大観察できるようにしてある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の光学式測定装置において、測定箇所を変倍機構によって拡大倍率を変えながら観察する場合、次のような不具合があった。
まず、従来の光学式測定装置では、被測定物に照射する光の量が一定であるため、拡大倍率を変化させると、画面の明るさが変化し、操作者が見ずらい。とくに、変化量の大きい場合には画像が観察できない場合もあった。
【0004】
また、従来の光学式測定装置では、拡大倍率を変化させたとき、レンズが動くため(ターレット式の場合には対物レンズが回転、ズームレンズ式の場合にはズームレンズがスライドするため)、観察画面が動き見ずらい。たとえば、ターレット式の場合には、図11に示すように、ターレットの回転開始時(A)には画面が流れ、ターレットの回転時(B)には画面が消え、ターレットの回転終了時(C)には拡大画面が現れる。従って、画面が流れることにより操作者に対して不快感を与えるうえ、画面が消える時間があるため前の画面と今の画面とを比較するのが困難であるという問題があった。
【0005】
また、従来の光学式測定装置では、拡大倍率を変化させたとき、レンズが動くため、前の画面と今の画面とに画像のずれが生じやすい。たとえば、図12に示すように、変倍前の画面(A)に対して、変倍後の画面(B)の中心がXおよびY軸方向にずれ、かつ、Z軸方向(焦点方向)の位置がずれる場合がある。
【0006】
本発明の目的は、このように倍率を変化させたときの課題を解消できる光学式測定装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学式測定装置は、被測定物に光を照射する照明系と、変倍光学系と、この変倍光学系で変倍された被測定物の像を観察可能な観察光学系とを備えた光学式測定装置であって、前記変倍光学系による変倍作動前に前記観察光学系で観察されている被測定物の画像をホールドするホールド手段と、変倍作動終了後に前記ホールド状態を解除するホールド解除手段とを備えていることを特徴とする。
このような構成によれば、変倍光学系による変倍時には、変倍作動前の観察光学系で観察された被測定物の画像がホールドされているから、画面が流れることもなく、また、画面が消えるようなこともないから、操作者に対して不快感を与えることもないうえ、前の画面と今の画面とを比較しやすい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本実施形態にかかる画像測定機の正面図、図2は図1のII−II線断面図である。同画像測定機は、被測定物を載置しXおよびY軸方向(図1の左右方向および図2の上下方向)へ移動可能なテーブル20と、このテーブル20に対して図示省略のコラムを介してZ軸方向(図1の上下方向)へ昇降可能に設けられた光学系ユニット21とから構成されている。
【0011】
前記光学系ユニット21は、筺体22を有する。筺体22の下面側には対物レンズ23が、上面側にはCCDカメラ24および照明系としての照明装置25がそれぞれ取り付けられている。CCDカメラ24は、前記対物レンズ23の光軸L上に配置され、その対物レンズ23からの光から被測定物の像を観察可能な観察光学系を構成している。
【0012】
前記筺体22内には、前記照明装置25から出射された光を直角にかつ光軸Lに向かって反射させるミラー26と、光軸L上において前記ミラー26からの反射光を対物レンズ23に反射させるビームスプリッタ27と、倍率の異なる複数(たとえば、1X,2X,6X)のチューブレンズ28A,28B,28Cと、これら複数のチューブレンズ28A〜28Cのいずれか1つを前記光軸L上に選択的に切換可能な切換手段29とがそれぞれ設けられている。ここに、前記チューブレンズ28A〜28Cおよび切換手段29から、本実施形態の変倍光学系が構成されている。
【0013】
前記切換手段29は、前記光軸Lと異なる位置にその光軸Lと平行な軸31を中心として回転可能に設けられかつその軸31から前記光軸Lまでの距離を半径とする円周上に前記複数のチューブレンズ28A〜28Cを等間隔(120度間隔)で取り付けたターレット32と、前記各チューブレンズ28A〜28Cが前記光軸Lに一致したそれぞれの角度位置で前記ターレット32を位置決めする位置決め手段33と、前記ターレット32の軸31にクラッチ43を介して連結されたターレット駆動モータ44とを含んで構成されいる。なお、45はターレット32の回転角度を検出するターレットセンサである。
【0014】
前記位置決め手段33は、前記ターレット32の外周面の120度間隔位置に切欠形成された3つの凹部51A,51B,51Cと、前記ターレット32の外周面に常時接する方向へ付勢され前記凹部51A〜51Cに係合可能なベアリング52とを備えている。ベアリング52は、図3および図4に示すように、筺体22の上面に取り付けられたL字状ブラケット53に片持ち支持構造の板ばね54を介して支持されている。
【0015】
図5は本実施形態にかかる画像測定機の制御装置を示すブロック図である。同制御装置は、CPU71を備える。CPU71には、表示制御部72を介してCRT73が、照明制御部74を介して前記照明装置25が、フレームグラバ75およびゲイン制御部76を介して前記CCDカメラ24が、ターレット駆動制御部77を介して前記ターレット駆動モータ44およびターレットセンサ45が、それぞれ接続されている。また、テーブル20をX,Y軸方向へ移動させるX,Y軸駆動系78X,78Yおよびテーブル20のX,Y軸方向の位置を検出するX,Y軸エンコーダ79X,79Yと、光学系ユニット21をZ軸方向へ移動させるZ軸駆動系78Zおよび光学系ユニット21のZ軸方向の位置を検出するZ軸エンコーダ79Zと、指令入力部81と、メモリ82とがそれぞれ接続されている。
【0016】
前記メモリ82には、前記CCDカメラ24で撮影された画像情報を記憶する画像情報記憶エリア83、前記各チューブレンズ28A〜28C毎に予め求められたオフセット値XA,YA,ZA ,XB,YB,ZB ,XC,YC,ZC を記憶するオフセット値記憶エリア84、各軸エンコーダ79X〜79Zで検出された各軸方向の位置データX,Y,Zを記憶するカウンタ85などが設けられている。なお、オフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC をオフセット値記憶エリア84に記憶させるにあたっては、たとえば、図12に示すように、各チューブレンズ28A〜28Cを光軸L上に位置させ、このときの画像の各軸方向のずれを予め求め、これらをオフセット値記憶エリア84に記憶させる。
【0017】
以上の構成において、照明装置25から光を出射すると、その光は、ミラー26で反射されたのち、ビームスプリッタ27で反射されて対物レンズ23を通じてテーブル20上に載置された被測定物に照射される。対物レンズ23からの光は、ビームスプリッタ27を通ったのち、選択されたチューブレンズ28A〜28Cの倍率に拡大または縮小され、CCDカメラ24に結像される。CCDカメラ24の画像は縦、横に並んだ画素によって画像情報に変換される。各画素の画像情報は、メモリ82内の画像データ記憶エリア83にデジタル化された0〜255間の濃淡値として記憶される。
【0018】
さて、測定にあたっては、まず、所望の倍率に倍率設定したのち、測定を行う。
〔倍率設定操作〕
これには、図6に示す手順で処理を行う。まず、ステップ(以下、STと略す)1において、指令入力部81からターレット回転指令を入力する。すると、CPU71は、ST2において、CRT73に表示されている画像をホールドする。つまり、CCDカメラ24で撮影されている画像情報を画像データ記憶エリア83にストアし、その画像情報をCRT73に継続して表示させる。こののち、ST3でターレット駆動制御部77を介してターレット駆動モータ44を駆動させる。ここで、ターレットセンサ45からの信号に基づき、所望のチューブレンズ28A〜28Cが光軸L上に位置する角度だけ回転したとき、モータ44を停止させる。
【0019】
これにより、いずれかのチューブレンズ28A〜28Cが光軸Lの近傍に達するとともに、ベアリング52が対応する凹部51A〜51Cに嵌合し始める。ここで、クラッチ43を分離すると、モータ44がターレット32から切り離されるから、つまり、モータ44の回転抵抗がなくなるから、ターレット32は嵌合し始めた凹部51A〜51Cがベアリング52に完全に嵌まり込む角度位置まで自動的に回転されて位置決めされる。
【0020】
次に、ST4において光量自動調整を行ったのち、ST5においてターレット光軸オフセットの処理を行う。なお、これらの処理については、後述する。次に、ST6において画像のホールド状態を解除する。これにより、図7に示すように、CRT73には、ホールドされていた画像に代わって、選択されたチューブレンズ28A〜28Cの倍率の拡大画像が表示される。図7において、(A)はST2でホールドしたときの画面、(B)はST3〜ST5の処理中に表示されている画面、(C)はST6でホールド解除されたときの画面である。従って、変倍時にも画面が流れることがないため、操作者に対して不快感を与えることがなく、また、途中で画面が消えることがないため、前の画面と今の画面とを比較するのが容易にできる。ここに、CPU71は、ホールド手段およびホールド解除手段を構成している。
【0021】
(光量自動調整)
光量自動調整の処理は、図8に示す手順で行われる。まず、ST4−1において、CCDカメラ24の画像中の領域を指定したのち、ST4−2へ進みその領域中の画素値の最高値Nmax <254かを判断する。ここで、Nmax <254であれば、ST4−3へ進み照明装置25の光量が最大かを判断する。光量が最大でなければ、ST4−4へ進み光量を増加(一定量)させたのち、ST4−2へ戻る。一方、光量が最大であれば、ST4−5へ進みゲイン制御部76を通じてカメラゲインをアップ(一定量)させたのち、ST4−2へ戻る。従って、Nmax <254であれば、光量が最大でないことを条件として光量が一定量ずつ増加され、光量が最大の条件ではカメラゲインが一定量ずつアップされていく。
【0022】
また、ST4−2において、Nmax <254でなければ、ST4−6へ進みNmax >254かを判断する。ここで、Nmax >254であれば、ST4−7へ進みゲイン制御部76を通じてカメラゲインが最小かを判断する。カメラゲインが最小であれば、ST4−8へ進み光量を減少(一定量)させたのち、ST4−2へ戻る。一方、カメラゲインが最小でなければ、ST4−9へ進みカメラゲインをダウン(一定量)させたのち、ST4−2へ戻る。従って、Nmax >254であれば、カメラゲインが最小であることを条件として光量が一定量ずつ減少され、カメラゲインが最小でない条件ではカメラゲインが一定量ずつダウンされていく。従って、Nmax >254の条件では、カメラゲインができるだけ小さく設定されるため、電気的ノイズが減少し、周囲の外乱光に強く、被測定物のエッジのコントラストが大きくなる。
【0023】
また、ST4−6において、Nmax >254でなければ、つまり、Nmax =254になったとき、図6のフローへ戻る。このようにして、拡大倍率が変化するごとに、照明装置25の光量とCCDカメラ24のカメラゲインとが最適値に自動設定される。ここに、CPU71は、光量調整手段を構成している。
【0024】
(ターレット光軸オフセット)
ターレット光軸オフセットの処理は、図9に示す手順で行われる。まず、ST5−1において、オフセット値記憶エリア84の中から選択されたチューブレンズチューブレンズ28A,28B,28Cに対応するオフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC を読み出したのち、ST5−2において、そのオフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC で各軸のカウンタ85の値を補正する。たとえば、図10に示すように、変倍前の状態(A)のカウンタ値がX=0.000,Y=0.000,Z=0.000で、変倍後の状態(B)ではX=0.100,Y=0.050,Z=0.05だけずれが生じていた場合、これらの値X=0.100,Y=0.050,Z=0.05をカウンタ85にセットする。
次に、ST5−3において、そのオフセット値分テーブル20をX,Y軸方向へ、また、光学系ユニット21をZ軸方向へそれぞれ移動させる。これにより、画像のずれを補正することができる。ここに、CPU71は、補正手段を構成している。
【0025】
〔測定〕
測定にあたっては、CCDカメラ24で撮像された被測定物の画像がCRT73に表示されているから、その画面を見ながら被測定物の寸法や形状などを測定する。
【0026】
本実施形態によれば、ターレット32の回転により選択したチューブレンズ28A〜28Bを光軸Lに位置させて倍率設定を行うときに、その倍率変化に応じて照明装置25の光量を変化させるようにしたので、倍率が変化しても、常に一定の明るさで被測定物を観察することができる。
このとき、照明装置25の光量とCCDカメラ24のカメラゲインとが予め定めた範囲内で最適値になるように調整するようにしたので、光量をできるだけ高く維持しつつ、カメラゲインを小さくできる。従って、電気的ノイズが減少し、周囲の外乱光に強く、被測定物のエッジのコントラストを大きくできる。
【0027】
また、倍率設定作動前にCCDカメラ24で撮影された画像をストアしその画像をCRT73に表示させておき、倍率設定作動終了後にストア画像を解除してCCDカメラ24で撮影された画像をCRT73に表示させるようにしたので、画面が流れることもなく、また、画面が消えるようなこともないから、操作者に対して不快感を与えることもないうえ、前の画面と今の画面とを比較しやすい。
【0028】
また、オフセット値記憶エリア84に各チューブレンズ28A〜28C毎のオフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC を記憶しておき、いずれかのチューブレンズ28A〜28Cが選択されたとき、オフセット値記憶エリア84の中から選択されたチューブレンズ28A〜28Cに対応するオフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC を読み出し、そのオフセット値XA,YA,ZA 〜XC,YC,ZC を補正値としてカウンタ85の値を補正するようにしたので、変倍時の画像のずれに基づく誤差を補正できる。
【0029】
また、対物レンズ14とCCDカメラ24との間に、倍率の異なる3つのチューブレンズ28A〜28Cを円周状に配置したターレット32を回転自在に設け、このターレット32を含んでいずれか1つのチューブレンズ28A〜28Cを対物レンズ23の光軸L上に切り換える切換手段29を構成したので、たとえば、対物レンズターレット方式に比べて、複数本の対物レンズを必要としないから、安価にでき、かつ、リング照明などの外付け照明も利用できる。
【0030】
また、切換手段29を、対物レンズ23の光軸Lと異なる位置にその光軸Lと平行な軸31を中心として回転可能に設けられかつその中心から対物レンズ23の光軸Lまでの距離を半径とする円周上に複数のチューブレンズ28A〜28Cを取り付けたターレット32と、各チューブレンズ28A〜28Cが対物レンズ23の光軸Lに一致したそれぞれの角度位置でターレット32を位置決めする位置決め手段33とを含んで構成したので、ターレット32を回転させていくと、各チューブレンズ28A〜28Cが対物レンズ23の光軸Lに一致した角度位置でターレット32が位置決め手段33によって位置決めされるから、各チューブレンズ28A〜28Cを対物レンズ23の光軸Lに簡単に一致させることができる。
【0031】
また、ターレット32の軸31にクラッチ43を介してモータ44を連結したので、このモータ44によってターレット32を自動的に所定角度位置まで回転させることができる。ここで、ターレット32が所定角度位置に達したとき、クラッチ43の切り離しによってモータ44をターレット32から切り離すと、モータ44の回転抵抗がなくなるから、ターレット32を位置決め手段33によって所定角度位置に正確に位置決めすることができる。
【0032】
また、位置決め手段33を、ターレット32の外周面に切欠形成された凹部51A〜51Cと、ベアリング52と、このベアリング52をターレット32の外周面に接する方向へ付勢する板ばね54とを含んで構成したから、ターレット32が所定角度位置に達したとき、つまり、ベアリング52にいずれかの凹部51A〜51Cが嵌まり始めたとき、クラッチ43の切り離しによってモータ44がターレット32から切り離されると、ベアリング52に凹部51A〜51Cが入り込む方向にターレット32が自動的に回転されるため、簡単な構成によりターレット32を正確に位置決めすることができる。
【0033】
以上述べた実施形態では、光量自動調整において、照明装置25の光量とカメラゲインとを最適値になるように調整するようにしたが、カメラゲインに代えてフレームグラバ75のゲインを調整するようにしてもよい。
また、光量の調整についても、上記実施形態で述べた方法に限らず、現在の光量に対して、チューブレンズ28A〜28Bの倍率の変化から求めた係数を乗算して新たな光量(L2 )を決定するようにしてもよい。
たとえば、現在の光量をL1 、チューブレンズ28A〜28Bの倍率の変化が1Xから2Xに変化した場合、新たな光量L2 を、L2 =L1 ×(2X/1X)=L1 ×2から求めるようにしてもよい。
また、有効画像の面積比を考慮して、新たな光量L2 を、L2 =L1 ×(2X/1X)2 =L1 ×4から求めるようにしてもよい。
【0034】
また、変倍光学系の構成としては、上記実施形態で述べたチューブレンズターレット方式に限らず、倍率の異なる複数本の対物レンズをターレットに取り付けた変倍光学系、あるいは、ズームレンズを用いた変倍光学系などでもよい。
【0035】
【発明の効果】
本発明の光学式測定装置によれば、変倍光学系による変倍作動前に観察光学系で観察されている被測定物の画像をホールドするホールド手段と、変倍作動終了後に前記ホールド状態を解除するホールド解除手段とを備えているから、変倍光学系による変倍時には、変倍作動前の観察光学系で観察された被測定物の画像がホールドされているから、画面が流れることもなく、また、画面が消えるようにこともないから、操作者に対して不快感を与えることもないうえ、前の画面と今の画面とを比較しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる画像測定機の側面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】同上実施形態における位置決め手段を示す拡大図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】同上実施形態における制御装置を示すブロック図である。
【図6】同上実施形態における倍率設定操作の一連の手順を示すフローチャートである。
【図7】同上実施形態におけるホールド画面およびホールド解除画面を示す図である。
【図8】同上実施形態における光量自動調整の処理手順を示すフローチャートである。
【図9】同上実施形態におけるターレット光軸オフセットの処理手順を示すフローチャートである。
【図10】同上実施形態におけるターレット光軸オフセットの処理に伴う動作を示す図である。
【図11】従来の変倍時における画像の流れを示す図である。
【図12】従来の変倍時における画像の位置ずれを示す図である。
【符号の説明】
20 テーブル
24 CCDカメラ(観察光学系)
25 照明装置(照明系)
28A〜28C チューブレンズ(変倍光学系の構成要素)
29 切換手段(変倍光学系の構成要素)
71 CPU(光量調整手段、ホールド手段、ホールド解除手段、補正手段)
83 画像情報記憶エリア(画像情報記憶手段)
84 オフセット値記憶エリア(オフセット値記憶手段)
Claims (1)
- 被測定物に光を照射する照明系と、変倍光学系と、この変倍光学系で変倍された被測定物の像を観察可能な観察光学系とを備えた光学式測定装置であって、
前記変倍光学系による変倍作動前に前記観察光学系で観察されている被測定物の画像をホールドするホールド手段と、変倍作動終了後に前記ホールド状態を解除するホールド解除手段とを備えていることを特徴とする光学式測定装置。
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