JP4674397B2 - セラミック素体の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品に用いられる巻枠、芯材あるいは基材に利用されるセラミック素体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品は各種電子機器や通信機器などに多用されている。近年、電子部品の小型化あるいは低コスト化に伴い、電子部品の巻枠、芯材あるいは基材に利用されるセラミック素体も同様に小型化あるいは低コスト化がますます重要になってきている。
【０００３】
従来これらのセラミック素体は、セラミック原料にバインダーを添加し、造粒工程を経てセラミック造粒粉を形成した後、セラミック造粒粉を金型内に充填し、１軸加圧で金型成型して形成された成型体を焼成する粉体成型工法で製造されている。
【０００４】
粉体成型工法ではセラミック造粒粉の均一な金型充填性が求められ、充填が不均一になれば加圧不良、高さ不良、更にはピン折れ、金型破損といった問題が生じる。さらに、小型で複雑な形状になると造粒粉が金型内の隅々まで充填が困難になり、しかも成型圧を高めると金型破損などの問題を生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、粉体成型工法ではセラミック造粒粉の金型への均一充填が不可欠であり、そのためにはセラミック造粒粉の粉体流動性が重要となる。セラミック造粒粉は球形状で且つ、粒径が１００μｍ以上であれば粉体流動性が良く、更に均一充填のためには金型は造粒径の１０倍以上の大きさが必要である。
【０００６】
しかしながら、セラミック素体の小型化に伴い、金型サイズとセラミック造粒粉の粒径及び粉体流動性の確保についての必要条件を満たすことが難しくなり、さらには低コスト化のためには多数個取り金型の使用が必須となり、更に充填性が不均一となるため、小型で且つ低コストを実現するのは困難な状態である。
【０００７】
本発明は以上のような従来の問題を解決するため、セラミック原料にバインダーを添加して更にシート化して得られたセラミックシートを多ピン構造の面成型金型で打ち抜き成型し、切断分離することで小型のセラミック素体を低コストで生産できる製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のセラミック素体の製造方法は、セラミックシートおよびまたはセラミックシートからなる積層体に、素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成する工程と、切断して個々の素体を形成する工程とを有し、さらに必要に応じて素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み面を形成する工程を加えた方法で形成するものである。
【０００９】
この本発明によれば、小型でしかも複雑形状のセラミック素体を充填ムラや密度ムラの少ない優れたセラミック素体を安価に生産できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断して形成するセラミック素体の製造方法で、小型でしかも複雑形状のセラミック素体であっても充填ムラや密度ムラの少ない優れたセラミック素体を得ることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。この基準の面とは、例えばセラミック素体の基準形状を直方体形状とすると、直方体形状を形成する６つの面が基準の面となる。例えば、電子部品用のセラミック素体とする場合は、この６つの基準面の内のいずれかに凹み部を有するような形状が必要な場合は、基準面の１つを例えば成型加工によって形成することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面としたもので、密度ムラの少ない平坦性に優れたセラミック素体を得ることができる。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面と斜面からなるとしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、積層体およびまたはセラミックシートを加圧した状態で、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断して得るもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面としたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面と斜面からなるものとしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２０】
請求項１１に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを加圧した状態で、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔と凹み部とを形成した後、個々のセラミック素体に切断することで、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２１】
請求項１２に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２２】
請求項１３に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２３】
請求項１４に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面からなる、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２４】
請求項１５に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２５】
請求項１６に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２６】
請求項１７に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面としたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２７】
請求項１８に記載の発明は、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面としたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２８】
請求項１９に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートをセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断することによって、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００２９】
請求項２０に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型をした後、個々のセラミック素体に切断することで、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００３０】
請求項２１に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートをセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断する方法としたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００３１】
請求項２２に記載の発明は、セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、個々のセラミック素体に切断する方法としたもので、密度ムラの少ないセラミック素体を得ることができる。
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００３３】
まず、図１（ａ）（ｂ）（ｃ）および（ｄ）に、本発明のセラミック素体の製造方法の代表的な一連の模式的な斜視図を示す。図１（ａ）の１はセラミックシートを示す。図１（ｂ）の２はセラミックシートからなる積層体である。図１（ｃ）はセラミックシートからなる積層体２に十字状の貫通孔４を形成した後の状態を示す。図１（ｄ）は切断することによって得られた１つのセラミック素体３である。図１はセラミックシートからなる積層体２の例であるが、図１（ｂ）に示した積層体２がセラミックシート１でもよい。
【００３４】
図２から図７は、図１（ｃ）に示したセラミックシートからなる積層体２を真上から見た図である。さらに図２から図７の５は切断部を示し、切断する位置である。図５から図７に示した６は凹み部であり、凹み部６の様子は図８ないし図９に示すような一部が凹んだ部分をいう。
【００３５】
図２から図７に示した貫通孔４はセラミックシートからなる積層体２の厚み方向に貫通した孔のため、セラミックシートからなる積層体２が存在しない空洞である。図２から図７に示したセラミック素体３はセラミックシートからなる積層体２の中での位置を示したもので、貫通孔４および切断部５で切断することによって、図１（ｄ）に示したようなセラミック素体３を真上から見た図となる。図５から図７に示した凹み部６は、図８ないし図９に示したように、セラミックシートからなる積層体２の表面の一部に形成した凹みを示しており、最終的にはセラミック素体３の外形の一部にもなる部分である。なお、図２と図５の違いは凹み部６の有無だけであり、他の貫通孔４やセラミック素体３の真上から見た形状は同じである。さらに、図３と図６、図４と図７もそれぞれ対応する。
【００３６】
さらに、これらの図を用いて、請求項の順に従って本発明のセラミック素体３の製造方法について説明する。
【００３７】
請求項１は図２に示すように、セラミックシートからなる積層体２（あるいはセラミックシート１でもよい。以下同様なので図１に合わせて、セラミックシートからなる積層体２として表現する。）をセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成した後、切断部５で個々のセラミック素体３に切断して、セラミック素体３を製造する方法である。（ｃ）はセラミックシートからなる積層体２に十字状の貫通孔４を形成した後の状態を示す。図１（ｄ）は切断することによって得られた１つのセラミック素体３である。図１はセラミックシートからなる積層体２の例であるが、図１（ｂ）に示した積層体２がセラミックシート１でもよい。
【００３８】
請求項２に示したセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであるとは、一例としては、図２に示したセラミック素体３の製造方法をいう。つまり、セラミック素体３の貫通孔４と接している平面が、基準面に相当する。
【００３９】
請求項３のセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたものであるとは、図３に示したものが一例である。つまり、２つの貫通孔４の形成時にこの貫通孔と接している平面であり、かつ対向する２つの面が基準面に相当する。この図の例では、切断はセラミック素体３の並びの方向に２箇所で、多数個のセラミック素体３を同時に一括作製できる。
【００４０】
請求項４に示したセラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面であるとは、図２や図３に示した形状をいう。
【００４１】
請求項５のセラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面と斜面からなる例としては、図４に示したように、基準面が平坦面と斜面からなるものをいう。平坦面と斜面のような平面でなくてもよく、曲面でもよい。また、貫通孔４の形成方法によっては、角の丸みが不可欠な場合もあり、これらは臨機応変に適宜選択すればよい。セラミック素体３として必要な面形状を確保することが重要である。
【００４２】
請求項６から１０に示した方法は、セラミックシートからなる積層体２を加圧した状態で貫通孔４を形成する。つまり、加圧した状態で貫通孔４を形成する点が異なる。他の方法は図２から図４に一例を示した請求項１から５と同じである。加圧した状態で貫通孔４を形成するため、貫通孔４を形成するときに場合によっては、バリや他の面の平坦性の乱れをかなり低減することができる。
【００４３】
請求項１１に示した方法は、例えば図５に示したようにセラミックシートからなる積層体２を加圧した状態で、セラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４と、凹み部６とを形成した後、切断部５で切断して、個々のセラミック素体３を形成するものである。
【００４４】
請求項１２に示したセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであるというのは、図５から図７に示したような凹み部６が、例えばセラミックシートからなる積層体２の表面か裏面のどちらか一方に凹み部６を形成する方法であり、この凹み部が基準面となる。両面に凹み部６を形成する方法が、請求項１３である。
【００４５】
請求項１４に示した、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面からなるとは、図８や図９に示すように凹み部６は基準面であり、かつ平坦面あるいは斜面で構成されているものをいう。請求項１５と１６の貫通孔４がセラミック素体３の基準面の１つあるいは基準面の２つとは、前述した請求項２と３と同様である。さらに、請求項１７のセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔面がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面である、あるいは請求項１８のセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔面がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面であるについては、基準面の１つが貫通孔であり前述した請求項４あるいは５と同様である。
【００４６】
請求項１９に示した方法は、セラミックシートからなる積層体２をセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型をまず施した後、さらにセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成し、切断部５で切断することによって個々のセラミック素体３を形成するものである。つまり、これまで示した方法とセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型をまず施す点が異なる。請求項１１から１８に示した加圧成型した状態で、貫通孔４と凹み部６を形成する方法に比べて、例えばセラミックシートからなる積層体２の加圧成型時の均一性をあげることが容易になる。
【００４７】
請求項２０に示した方法は、セラミックシートからなる積層体２をセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成した後、さらにセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型をし、切断部５で切断して個々のセラミック素体３を形成するものである。貫通孔４を形成した後、加圧成型するため、加圧成型面の平坦性が優れたものが確保できる。
【００４８】
請求項２１に示した方法は、セラミックシートからなる積層体２をセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、さらにセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成し、切断部５で切断することによって、個々のセラミック素体３を得る方法である。つまり、これまでの方法と異なるポイントは、セラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、貫通孔４を形成するため、凹み部６の形成によるセラミックシートからなる積層体２の密度ムラを回避できるため、複雑な形状のものでも均一密度の優れたセラミック素体３を得ることが可能である。さらに、例えば加圧成型による凹み部６の形成よりは、より基準の面よりは深く形成が容易であるなどの特徴がある。セラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去とは、前述した凹み部６を形成する方法が、セラミックシートからなる積層体２の一部を研磨、レーザー加工あるいはサンドブラストなど種々の手段で部分除去して形成するものである。
【００４９】
請求項２２に示した方法は、セラミックシートからなる積層体２をセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成した後、さらにセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去を行い、切断部５で切断することによって、個々のセラミック素体３を得る方法である。これまでの方法と異なるのは貫通孔４を形成した後、部分除去を行い凹み部６を形成するため、非常に密度ムラの少ない優れたセラミック素体３を得ることができる。
【００５０】
さらに代表的な本発明の製造方法について説明する。
【００５１】
図１０（ａ）（ｂ）に本発明の代表的な工程を経た途中のワーク形状を示す。図１０（ａ）は、セラミックシートからなる積層体２およびまたはセラミックシート１を、セラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型ないしは部分除去と、さらにセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔４を形成した後のセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２を示す。同様に、図１０（ｂ）は図１（ａ）のセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２を、カッタ７を用いて個々のセラミック素体３に切断する状態を示した図である。
【００５２】
このように、本発明はセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２を一括加工して、最終のセラミック素体３の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型や部分除去を必要に応じて行い、貫通孔４の形成とさらに切断によってセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２から、複数個のセラミック素体３を分離形成する方法である。そのため、従来の粉体成型法などでは充填不足から起こる形状不良や複雑な形状で小型化を追求した場合に起こる平坦性などの問題もなく、高品質のセラミック素体を多量に一括で製造することが可能になる。
【００５３】
前述した加圧成型の方法としては、例えば一例として図１１に示すような凸部を有するプレート８を用いてセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２を加圧成型することによって製造可能である。また、部分除去の方法で同様に図１１に示したセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２と同様の形状を得るには研磨する方法やサンドブラスト、レーザーなど様々な方法で所定の部分を除去すればよい。図１１に示したような凹み形状を作製した後のセラミックシート１およびまたはセラミックシートからなる積層体２の密度はほぼ均一なものが得られる。一方、加圧成型法では一般には密度ムラが発生するが、加圧成型を静水圧的な状態で十分軟化流動させてやることによって、密度の均一化やより優れた平坦性の確保などが可能になる。貫通孔４の形成は金型などを用いた打ち抜き成型、高圧流体やレーザー光を用いた切断、ドリル刃などを用いた機械加工的な穴あけなど多用な方法で行うことが可能である。
【００５４】
本発明の製造方法で得られるセラミック素体３の形状の一例としては、図１２（ａ）に示すような形状がある。これは図１２（ｂ）に示した基本的な直方体形状のセラミック素体３に対して、４つの面に凹み部６を形成して、図１２（ａ）に示すような形状にしたものである。よって、本発明は図１２（ｂ）に示した形状を基準形状にして、４つの側面、つまり４つの基準面に凹み部６を形成して、図１２（ａ）に示す形状を得た。例えば、セラミック素体３の基準１面にということは、図１２（ｂ）において１つの側面にという意味になる。
【００５５】
本発明のさらに詳細な内容を図を用いて順に説明する。まず、図１３に工程の流れを示した。セラミック粉体、バインダー、溶剤および可塑剤を混合・分散してスラリーを形成する。シート成型機を用いて、ロール状のグリーンシートを形成する。グリーンシートを裁断して、所定の大きさのセラミックシートを形成する。必要に応じて、裁断したセラミックシートを積層してセラミックシートからなる積層体を形成する。積層体を打ち抜きおよび成型して、打ち抜き成型シートを形成する（打ち抜き成型）。以上の工程を経て、図１（ｃ）に示したような外観の打ち抜き成型シートを得ることができる。さらに、図１０（ｂ）に示したように、この打ち抜き成型シートを切断して生のセラミック素体３を形成する。切断して得られた個片を脱脂および焼成してセラミック素体３を形成する。以上の方法で図１２（ａ）に示した形状のセラミック素体３を得ることができる。
【００５６】
セラミック素体３としては、ガラス、ガラスセラミックス、ＣｕＺｎ系フェライト、フォルステライトあるいはアルミナに代表されるような非磁性のセラミックスや酸化物磁性体である各種フェライト材料でもよい。
【００５７】
例えば、コイル形成基材に用いる場合は、アルミナやフェライトなどが一般的である。抵抗やコンデンサ形成用基材としてもアルミナなどが優れている。
【００５８】
前記のセラミックシートを形成するためのスラリーは、各種のセラミック粉末と酢酸ブチル、メチルエチルケトン、トルエン、アルコール、ブチルカルビトール、テルピネオールなどの溶剤、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド、エチレン−酢酸ビニルなどの結合剤、さらに、各種の酸化物あるいはガラス類などの焼結助剤を添加し、ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレート、グリセリンなどの可塑剤あるいはさらに分散剤等を添加してもよい。これらを混合したスラリーを用いてセラミックシートを形成する。
【００５９】
セラミック素体３の焼成温度範囲としては、用いたセラミック組成で異なり、一般的には約８００℃から１６００℃の範囲である。
【００６０】
［実施例］
次に本発明の更に具体的な実施例について説明する。
【００６１】
（実施例１）
酸化アルミナ粉末９６ｇ、酸化銅粉末２ｇ、酸化チタン粉末２ｇに対して、ブチラール樹脂が８ｇ、ブチルベンジルフタレートが４ｇ、メチルエチルケトンが２４ｇおよび酢酸ブチルを２４ｇ配合したものを混合し、ポットミルを用いて混合分散してアルミナスラリーを作製した。
【００６２】
このスラリーを使い、コータを用いて乾燥後厚み０．２ｍｍのアルミナグリーンシート（セラミックグリーンシート）を作製した。なお、アルミナグリーンシートはＰＥＴフィルム上に形成した。
【００６３】
このアルミナグリーンシートを縦１１ｃｍ、横４．５ｃｍに裁断したアルミナグリーンシートを３枚用いて、金型を使って打ち抜きと同時に成型し、図１０（ａ）に示すような打ち抜き成型シートを形成した。ピンの断面形状は十字状である。用いた金型のピン数は６４８本であり、８１本のピンが８列配置した構成となっている。
【００６４】
また、金型の上下面は凸状の突起部が８列形成されているため図１０（ａ）に示したような凹み部６が積層体２には形成される。プレス成型は室温で行い、成型圧力は１０００ｋｇｆ／ｃｍ²で行った。打ち抜き成型したグリーンシートを切断機を使用して、図１０（ｂ）に示した位置で切断した。切断数は各列２ショットで合計１６ショットである。よって、１つの積層体２から６４０ヶのセラミック素体３を作ることができた。
【００６５】
次に、このセラミック素体３を脱脂および焼成して、図１２（ａ）に示した形状のアルミナ素体３を作製した。なお、焼成温度は１３００℃で２時間保持する条件で行った。
【００６６】
本発明の方法で製造したセラミック素体３（アルミナ素体）には欠け、割れ、反りあるいは充填不足などの欠陥は認められなかった。また、表面の平滑性も優れたものであった。
【００６７】
（実施例２）
実施例１で使用した金型の上下面を平面にしたもので、実施例１と同様にセラミック素体３を形成した。
【００６８】
本発明の方法で製造したセラミック素体３（アルミナ素体）には欠け、割れ、反りあるいは充填不足などの欠陥は認められなかった。
【００６９】
（実施例３）
ＮｉＺｎＣｕ系フィライト粉末１００ｇに対してブチラール樹脂が８ｇ、ブチルベンジルフタレートが４ｇ、メチルエチルケトンが２４ｇおよび酢酸ブチルを２４ｇ混合し、ポットミルを用いて混練してフェライトスラリーを作製した。
【００７０】
このスラリーを使い、コータを用いて乾燥後厚み０．２ｍｍのフェライトグリーンシートを作製した。なおフェライトグリーンシートはＰＥＴフィルム上に形成した。
【００７１】
このフェライトグリーンシートを用いて実施例１と同様の方法でフェライトで構成したセラミック素体を形成した。なお、焼成は９００℃の温度で２時間保持する条件で行った。
【００７２】
本発明の方法で製造したセラミック素体３（フェライト素体）には欠け、割れ、反りあるいは充填不足などの欠陥は認められなかった。
【００７３】
（実施例４）
実施例１で作製したアルミナグリーンシートを５枚積層した。積層圧力は５００ｋｇｆ／ｃｍ²である。
【００７４】
この積層体２を図１１に示したような形状に研磨した。次に、研磨して凹み部６を形成した積層体２を金型を用いて図１０（ａ）に示すような貫通孔４を形成した。
【００７５】
この貫通孔４を形成した積層体２を実施例１と同様に切断して、セラミック素体３を作製した。
【００７６】
このような方法で製造したセラミック素体３（アルミナ素体）には欠け、割れ、反りあるいは充填不足などの欠陥は認められなかった。
【００７７】
（実施例５）
実施例３で作製したフェライトグリーンシートを５枚積層した。積層圧力は５００ｋｇｆ／ｃｍ²である。
【００７８】
この積層体２を金型を用いて貫通孔４を形成し、図１４に示したような形状の積層体２を作製した。次に、これまでの実施例と同様に切断し、さらに９００℃で２時間保持する条件で焼成してセラミック素体３（フェライト素体）を作製した。
【００７９】
このような方法で製造したセラミック素体３（フェライト素体）には欠け、割れ、反りあるいは充填不足などの欠陥は認められなかった。
【００８０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明のセラミック素体の製造方法は、セラミックシートおよびまたはセラミックシートからなる積層体に、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成する工程と、切断して個々のセラミック素体を形成する工程とを有し、さらに必要に応じてセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部を形成する工程を加えた工程を経ることによって得られるセラミック素体の製造方法であり、この方法によって、小型で複雑形状のセラミック素体を欠け、割れ、充填不良などがなく、さらに平坦性に優れたものを多量に一括で生産できる産業的価値の大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （ａ）〜（ｄ）本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な斜視図
【図２】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図３】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図４】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図５】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図６】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図７】 本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な正面図
【図８】 本発明のセラミック素体の外観を示す模式的な斜視図
【図９】 本発明のセラミック素体の外観を示す模式的な斜視図
【図１０】 （ａ）（ｂ）本発明のセラミック素体の形成の一実施の形態を示す模式的な斜視図
【図１１】 本発明のセラミック素体の形成の他の実施の形態を示す模式的な斜視図
【図１２】 （ａ）（ｂ）本発明の製造方法で作製した一例のセラミック素体の外観図
【図１３】 本発明のセラミック素体の製造方法の一例を示す工程図
【図１４】 本発明のセラミック素体の形成の他の実施の形態を示す模式的な斜視図
【符号の説明】
１ セラミックシート
２ セラミックシートからなる積層体
３ セラミック素体
４ 貫通孔
５ 切断部
６ 凹み部
７ カッタ
８ プレート

Claims (22)

1. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断して形成するセラミック素体の製造方法。
2. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものである請求項１に記載のセラミック素体の製造方法。
3. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたものである請求項１に記載のセラミック素体の製造方法。
4. セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面である請求項１に記載のセラミック素体の製造方法。
5. セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面と斜面からなる請求項１に記載のセラミック素体の製造方法。
6. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを加圧した状態で、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。
7. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものである請求項６に記載のセラミック素体の製造方法。
8. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたものである請求項６に記載のセラミック素体の製造方法。
9. セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面である請求項６に記載のセラミック素体の製造方法。
10. セラミック素体を形成する基準面の少なくとも一つが平坦面と斜面からなる請求項６に記載のセラミック素体の製造方法。
11. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを加圧した状態で、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔と凹み部とを形成した後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。
12. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものである請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
13. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたものである請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
14. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような凹み部がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面からなる請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
15. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものである請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
16. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の２つを構成するようにしたものである請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
17. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面である請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
18. セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成する貫通孔がセラミック素体を形成する基準面の１つを構成するようにしたものであり、かつ前記基準面が平坦面と斜面である請求項１１に記載のセラミック素体の製造方法。
19. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートをセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。
20. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような加圧成型をした後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。
21. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートをセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。
22. セラミックシートからなる積層体およびまたはセラミックシートを、セラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような貫通孔を形成した後、さらにセラミック素体の外形の少なくとも一部を形成するような部分除去をした後、個々のセラミック素体に切断するセラミック素体の製造方法。

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