JP4665886B2 - 垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体用基板、および、それらの製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体用基板、および、それらの製造方法 Download PDFInfo
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 127
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 109
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 72
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 39
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 28
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 24
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 claims description 11
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 7
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 6
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 5
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 claims description 3
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 92
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 22
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 19
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 11
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 11
- 239000002585 base Substances 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 9
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 6
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
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- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
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Description
Ni−Pめっき工程S1では、非磁性基体2がアルミニウム合金基板の場合、まず、円盤状に加工された非磁性基体2の表面がアルカリ洗浄および酸エッチングにより清浄化される。次に、清浄化された非磁性基体2は、ジンケート液に浸漬される。これにより、所定の膜厚を有する所定の亜鉛膜が初期反応層4として形成される。非磁性基体2がガラス基板やシリコン基板の場合は、塩酸酸性塩化スズ溶液と塩酸酸性塩化パラジウム溶液に順次浸漬して表面にPd核を析出させる活性化処理層が初期反応層4として形成されたり、スパッタ法やイオンプレーティング法等の物理蒸着法を用いて、Ni、Ni−P、Cu、Cr、Fe、またはPdなどが初期反応層4として形成される。
続いて、アニール工程S2において、下地層6が形成された非磁性基体2(すなわち基板22)に対し所定の温度範囲で、所定期間だけ加熱処理が施される。
次に、下地層6の表面にポリッシング加工を施して表面を平滑に研磨する。
(テクスチャ加工工程S41)
続いて、テクスチャ加工工程S41において、基板22の下地層6の表面がテクスチャ加工される。テクスチャ加工は、図4乃至図6に示されるようなテクスチャ加工装置を使用して行なわれる。斯かるテクスチャ加工装置は、図示が省略される制御ユニットにより各動作が制御される。
図2において、続くテクスチャ研磨工程S42においては、テクスチャ加工工程S41のテクスチャ加工が完了した基板22の表面に対しテクスチャ研磨加工が約30秒間、施される。テクスチャ研磨加工は、研磨テープ34が後述する研磨テープ36に取り替えられた図4に示されるテクスチャ加工装置が使用されることにより、行なわれる。
続いて、洗浄、乾燥工程(不図示)を経た後、図2におけるスパッタ工程S5において、非磁性シード層8、垂直磁気記録層12、および、保護層14が、例えば、スパッタリング法等により、その研磨された下地層6上に順次、積層され形成される。
そして、液体潤滑剤塗布工程S6において、保護層14上に液体潤滑剤層が塗布形成される。これにより、垂直磁気記録媒体10が得られることとなる。
〔基板の作製〕
非磁性基体2として3.5 インチφディスク状のAl−5wt%Mg合金を用い、これをアルカリ洗浄及び酸エッチングによって表面を清浄化し、無電解Ni−P めっきの初期反応層としてジンケート(置換亜鉛めっき) を施した。その後、市販のハードディスク基板用無電解Ni−Pめっき液(上村工業社製ニムデンHDX)をNi濃度6.0±0.1g/L,pH4.5±0.1,液温92±1℃ に管理しためっき浴を用いて、膜厚を約13μmのNi−P合金からなる非磁性下地層を形成した。この非磁性Ni−Pめっき膜の平均P濃度は12wt%であった。その後、250℃にて30分間アニール処理を行い、ポリッシュにより、表面を平滑にした。
図7に、実験結果を示す。
上述のテクスチャ研磨工程S42まで行った各種ディスク基板22上に、垂直磁気記録層12等を形成して(基板以外は、特開2006−120231号の実施例1と同様のもの)、図3(A)に示すような垂直磁気記録媒体10を作製した。
図8は、本発明者らにより検証された垂直磁気記録媒体10の比較実験例の実験結果を示す。図8は、上述の各スラリー液が使用され研磨された同様な各基板22をそれぞれ用いた各垂直磁気記録媒体10のノイズ特性を示す。図8においては、縦軸にノイズ特性(dB)をとり、横軸に、基板22におけるテクスチャ研磨加工後の算術平均粗さRaをとり、各値をプロットしたグラフL1は、スラリー液がクエン酸(3%溶液)のみで研磨された比較例の基板22のものであり、グラフL2は、スラリー液がそのクエン酸液に多結晶ダイヤモンド(平均粒径0.05μm)を0.2wt%添加したもので研磨された実施例の基板22のものである。なお、ノイズ特性(dB)は、ノイズ測定器(Guzik社製RWA2002)を利用して測定された。
また、本発明者らにより、上述のクエン酸液に多結晶ダイヤモンド(平均粒径0.05μm)を0.2wt%添加したスラリー液に代えて、その多結晶ダイヤモンドの代わりに、コロイダルシリカを添加したスラリー液の効果について比較検証された。
図11(A)〜(C)、図12(A)〜(C)は、それぞれ、本発明者らにより、上述のテクスチャ研磨の加工時間の変化の基板22の表面粗さに与える影響を検証すべく行なわれた評価の結果である。
さらに、磁気記録媒体の記録密度および基板表面上の異常突起の有無の評価にあたって、タッチダウンハイトが用いられる場合がある。
6 Ni−P系合金からなる下地層
10 垂直磁気記録媒体
12 垂直磁気記録層
22 基板
34、36 研磨テープ
Claims (11)
- Ni−P系合金からなる下地層を有する基板の該下地層に、界面活性剤と第1の研磨材とを含む第1のスラリー液を供給しながら不織布製の第1の研磨テープで複数の溝を形成するテクスチャ加工工程と、
前記テクスチャ加工工程により加工された下地層の表面を、多孔質材料で作られる第2の研磨テープで、該第2の研磨テープの平均開口径よりも小なる粒径を有する第2の研磨材と、有機酸とを含む第2のスラリー液を供給しながら垂直方向の磁気配向が容易となるテクスチャ痕を残存させるような表面粗さに研磨するテクスチャ研磨工程と、を含み、
前記第2の研磨材が、コロイダルシリカ砥粒であることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 前記テクスチャ研磨工程において、前記下地層の表面における算術平均粗さRaが、0.05nm以上0.2nm以下となるまで研磨されることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記有機酸は、クエン酸、マレイン酸、リンゴ酸、コハク酸、および、ギ酸の群から選択されたいずれかの酸、又はこれらの混合酸であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記多孔質材料で作られる第2の研磨テープは、ウレタンパッドであることを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれかに記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1乃至4のうちのいずれかに記載の製造方法により製造された垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁気記録媒体におけるタッチダウンハイトが、8nm以下であることを特徴とする請求項5記載の垂直磁気記録媒体。
- Ni−P系合金からなる下地層を有する基板の該下地層に、界面活性剤と第1の研磨材
とを含む第1のスラリー液を供給しながら不織布製の第1の研磨テープで複数の溝を形成するテクスチャ加工工程と、
前記テクスチャ加工工程により加工された下地層の表面を、多孔質材料で作られる第2の研磨テープで、該第2の研磨テープの平均開口径よりも小なる粒径を有する第2の研磨材と、有機酸とを含む第2のスラリー液を供給しながら垂直方向の磁気配向が容易となるテクスチャ痕を残存させるような表面粗さに研磨するテクスチャ研磨工程と、を含み、
前記第2の研磨材が、コロイダルシリカ砥粒であることを特徴とする垂直磁気記録媒体用基板の製造方法。 - 前記テクスチャ研磨工程において、前記下地層の表面における算術平均粗さRaが、0.05nm以上0.2nm以下となるまで研磨されることを特徴とする請求項7に記載の垂直磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記有機酸は、クエン酸、マレイン酸、リンゴ酸、コハク酸、および、ギ酸の群から選択されたいずれかの酸、又はこれらの混合酸であることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の垂直磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記多孔質材料で作られる第2の研磨テープは、ウレタンパッドであることを特徴とする請求項7乃至9のうちのいずれかに記載の垂直磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 請求項7乃至10のうちのいずれかに記載の製造方法により製造された垂直磁気記録媒体用基板。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006292757A JP4665886B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体用基板、および、それらの製造方法 |
SG200706207-8A SG142215A1 (en) | 2006-10-27 | 2007-08-24 | Method of manufacturing a perpendicular magnetic recording medium, method of manufacturing a substrate for said recording medium, a medium and a substrate manufactured by the methods |
MYPI20071429A MY145789A (en) | 2006-10-27 | 2007-08-24 | Method of manufacturing a perpendicular magnetic recording medium, a method of manufacturing a substrate for a perpendicular magnetic recording medium, and a medium and a substrate manufactured by the methods |
US11/925,333 US8167685B2 (en) | 2006-10-27 | 2007-10-26 | Method of manufacturing a perpendicular magnetic recording medium, a method of manufacturing a substrate for a perpendicular magnetic recording medium, and a medium and a substrate manufactured by the methods |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006292757A JP4665886B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体用基板、および、それらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008108396A JP2008108396A (ja) | 2008-05-08 |
JP4665886B2 true JP4665886B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=39426741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006292757A Expired - Fee Related JP4665886B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 垂直磁気記録媒体、垂直磁気記録媒体用基板、および、それらの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8167685B2 (ja) |
JP (1) | JP4665886B2 (ja) |
MY (1) | MY145789A (ja) |
SG (1) | SG142215A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080022A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JP5326638B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2013-10-30 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、それが使用される磁気記録媒体用ガラス基板、および、垂直磁気記録媒体 |
US8808459B1 (en) * | 2010-09-01 | 2014-08-19 | WD Media, LLC | Method for cleaning post-sputter disks using tape and diamond slurry |
US8668953B1 (en) * | 2010-12-28 | 2014-03-11 | WD Media, LLC | Annealing process for electroless coated disks for high temperature applications |
JP2013030235A (ja) * | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Alphana Technology Co Ltd | 回転機器および回転機器を製造する方法 |
CN110326042B (zh) * | 2017-03-31 | 2020-09-11 | Hoya株式会社 | 磁盘用非磁性基板和磁盘 |
JP6467118B1 (ja) | 2017-06-30 | 2019-02-06 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク |
CN108970434A (zh) * | 2018-08-17 | 2018-12-11 | 成都天成鑫钻纳米科技股份有限公司 | 一种纳米金刚石团簇粉碎及分散方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003049159A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-21 | Fujimi Inc | テクスチャー加工用組成物及びそれを用いたメモリーハードディスクの製造方法 |
JP2003173517A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-20 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体、その製造方法および媒体基板 |
JP2005353177A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体用ディスク基板並びにその基板の製造方法及びその基板を用いた垂直磁気記録媒体 |
JP2006268984A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10334460A (ja) | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Hitachi Ltd | 記録媒体および記録装置 |
US6149696A (en) * | 1997-11-06 | 2000-11-21 | Komag, Inc. | Colloidal silica slurry for NiP plated disk polishing |
JP4536866B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2010-09-01 | キヤノン株式会社 | ナノ構造体及びその製造方法 |
US6248395B1 (en) * | 1999-05-24 | 2001-06-19 | Komag, Inc. | Mechanical texturing of glass and glass-ceramic substrates |
US6488729B1 (en) * | 1999-09-30 | 2002-12-03 | Showa Denko K.K. | Polishing composition and method |
US6866883B2 (en) * | 2000-07-25 | 2005-03-15 | Seagate Technology Llc | Mechanical texturing of sol-gel—coated substrates for magnetic recording media |
US6790763B2 (en) * | 2000-12-04 | 2004-09-14 | Ebara Corporation | Substrate processing method |
JP3995902B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2007-10-24 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板及びそれを用いた磁気情報記録媒体 |
MY133305A (en) * | 2001-08-21 | 2007-11-30 | Kao Corp | Polishing composition |
US20030110803A1 (en) * | 2001-09-04 | 2003-06-19 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method of manufacturing glass substrate for magnetic disks, and glass substrate for magnetic disks |
US20030077983A1 (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-24 | International Business Machines Corporation | Cleaning polish etch composition and process for a superfinished surface of a substrate |
US7314402B2 (en) * | 2001-11-15 | 2008-01-01 | Speedfam-Ipec Corporation | Method and apparatus for controlling slurry distribution |
US6808830B2 (en) * | 2001-12-28 | 2004-10-26 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium, production process and apparatus thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
US7025659B2 (en) * | 2002-01-14 | 2006-04-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Simultaneous planarization of pole piece and coil materials for write head applications |
JP4123806B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2008-07-23 | 高橋 研 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録装置 |
JP3577486B2 (ja) * | 2002-04-25 | 2004-10-13 | Hoya株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
MY138480A (en) * | 2002-05-09 | 2009-06-30 | Maxtor Corp | Method of simultaneous two-disk processing of single-sided magnetic recording disks |
US6811467B1 (en) * | 2002-09-09 | 2004-11-02 | Seagate Technology Llc | Methods and apparatus for polishing glass substrates |
JP4659338B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2011-03-30 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びにそれに使用する研磨パッド |
JP3940693B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2007-07-04 | 日本ミクロコーティング株式会社 | 磁気ハードディスク基板及びその製造方法 |
RU2356926C2 (ru) * | 2003-07-11 | 2009-05-27 | У.Р. Грэйс Энд Ко.-Конн. | Абразивные частицы для механической полировки |
JP4126657B2 (ja) | 2003-11-13 | 2008-07-30 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直記録用磁気ディスク基板の研磨方法 |
JP2005216465A (ja) | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 記録媒体用ディスク基板、その研磨方法、および、垂直磁気記録媒体の製造方法 |
US20060204792A1 (en) * | 2004-04-06 | 2006-09-14 | Hiroshi Osawa | Magnetic recording medium, production process therefor, and magnetic recording and reproducing apparatus |
JP2006092719A (ja) | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | 磁気ディスク用基板および磁気ディスクの製造方法 |
JP4380577B2 (ja) * | 2005-04-07 | 2009-12-09 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
TW200717635A (en) * | 2005-09-06 | 2007-05-01 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | Polishing method for semiconductor wafer |
-
2006
- 2006-10-27 JP JP2006292757A patent/JP4665886B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-24 MY MYPI20071429A patent/MY145789A/en unknown
- 2007-08-24 SG SG200706207-8A patent/SG142215A1/en unknown
- 2007-10-26 US US11/925,333 patent/US8167685B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003049159A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-21 | Fujimi Inc | テクスチャー加工用組成物及びそれを用いたメモリーハードディスクの製造方法 |
JP2003173517A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-20 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体、その製造方法および媒体基板 |
JP2005353177A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体用ディスク基板並びにその基板の製造方法及びその基板を用いた垂直磁気記録媒体 |
JP2006268984A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8167685B2 (en) | 2012-05-01 |
JP2008108396A (ja) | 2008-05-08 |
MY145789A (en) | 2012-04-30 |
US20080131737A1 (en) | 2008-06-05 |
SG142215A1 (en) | 2008-05-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4665886 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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