JP4659338B2

JP4659338B2 - 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びにそれに使用する研磨パッド

Info

Publication number: JP4659338B2
Application number: JP2003034094A
Authority: JP
Inventors: 洋一田島; 環樹堀坂
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 2003-02-12
Filing date: 2003-02-12
Publication date: 2011-03-30
Anticipated expiration: 2023-02-12
Also published as: US7300335B2; US20040180611A1; JP2004243445A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばハードディスク等のような情報記録装置の磁気記録媒体である磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク等に使用される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びにそれに使用する研磨パッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、上記のような情報記録媒体用ガラス基板（以下、略して「ガラス基板」とも記載する）は、高密度の記録を可能とするため、その表面をできる限り平滑にする必要がある。このため、ガラス基板は、製造時において研磨パッドを使用し、その表面に研磨剤を供給しながら研磨パッドを摺接させることにより、同表面が平滑となるように研磨される。この研磨において、研磨パッドの表面粗さを選定することにより、表面の平滑性を表す値の１つである微小うねりの値を改善したガラス基板が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。すなわち、この提案は、ガラス基板の微小うねりの値が、研磨パッドの表面粗さの値に依存するという現象を利用するものである。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−９２８６７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の研磨パッドは、発泡体よりなるものが使用されることから、その表面にナップ孔と呼ばれる多数の穴を有しており、研磨パッドの表面粗さの値がガラス基板の微小うねりの値に依存するとは一概にいえないという問題があった。すなわち、触針計等を使用して研磨パッドの表面粗さを測定する際には、研磨パッドの表面に存在する穴に触針計の針等が入り込むことから、研磨パッドの表面全体で評価された表面粗さの値には個々の穴の深さまで反映されてしまう。この際、カットオフ値（λ）等を調整し、表面粗さの値に対しての穴の深さの影響を低減することも可能ではある。しかし、穴はそれぞれの深さが大きく異なるとともに、全ての穴の深さを測定することは実際には不可能であり、穴の深さの影響を完全に除外して、表面粗さを正確に測定することは極めて難しい。従って、測定された表面粗さが良好な値を示す研磨パッドであっても、実際にはその表面が荒れている可能性が高く、このような研磨パッドを使用して研磨されたガラス基板は、表面の微小うねりの値が所望値を満たさなくなる可能性があった。
【０００５】
この発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、研磨に使用する研磨パッドについて表面状態の良好なものを効果的に選定することができ、表面品質の向上を図ることができる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の開口径が１０〜６０μｍであるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ孔の深さが１μｍ以上で１００μｍ未満であり、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを要旨とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の開口径が１０〜６０μｍであるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを要旨とする。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ孔の深さが１μｍ以上で１００μｍ未満であり、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを要旨とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
情報記録媒体用ガラス基板（以下、略して「ガラス基板」とも記載する）は、シート状のガラス板から円盤状に切り出されたガラス素板の表面を、研磨装置を使用して研磨することにより、中心に円孔を有する円盤状に形成されている。当該ガラス素板は、フロート法、ダウンドロー法、リドロー法又はプレス法で製造されたソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガラス等の多成分系のガラス材料より形成されている。そして、該ガラス素板から得られたガラス基板の表面に、例えばコバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃｒ）、鉄（Ｆｅ）等の金属又は合金よりなる磁性膜、保護膜等を形成することにより、磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク等の情報記録媒体が構成される。
【００１２】
図２に示すように、前記研磨装置４１は、互いに平行となるように上下に配設された円盤状の上定盤４２ｂ及び下定盤４２ａと、上定盤４２ｂ及び下定盤４２ａを内側に囲い込むように配設された円環状のインターナルギヤ４３とを備えている。当該下定盤４２ａの中心には回転軸４４が突設されるとともに、同回転軸４４の下端外周面上には太陽ギヤ４５が配設されている。上定盤４２ｂの中心には挿通孔４６が透設されており、同挿通孔４６には回転軸４４が挿通されている。これら上定盤４２ｂ、下定盤４２ａ、インターナルギヤ４３及び太陽ギヤ４５は、モータ等によりそれぞれ独立して回転することができるように駆動されている。下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂの間にはこれらに挟み込まれるようにして複数のキャリア４７が配設されている。同キャリア４７には複数の円孔４８が透設され、各円孔４８内にはガラス素板３１が収容されている。また、各キャリア４７の外周縁部にはギア４９がそれぞれ突設されており、これらギア４９は前記インターナルギヤ４３及び太陽ギヤ４５にぞれぞれ噛合されている。
【００１３】
当該研磨装置４１において、下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂの表面には、合成樹脂製の発泡体よりなる研磨パッドが必要に応じて装着される。ガラス素板３１は、キャリア４７の円孔４８内に収容された状態で下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂの間、若しくは一対の研磨パッドの間に挟み込まれる。この状態で、ガラス素板３１の表面には、下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂと研磨パッドを介して図示しない供給部から研磨剤が供給される。つまり、下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂと研磨パッドには、それぞれの厚み方向に延びるように、図示しない複数の供給孔が透設されており、研磨剤を貯留するタンク等の供給部からこれら供給孔に研磨剤が供給される。そして、上定盤４２ｂ、下定盤４２ａ、インターナルギヤ４３及び太陽ギヤ４５をそれぞれ回転させることにより、ガラス素板３１を下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂ又は研磨パッドに接触させた状態で各キャリア４７がそれぞれ自転しながら回転軸４４を中心に公転し、ガラス素板３１の表面が研磨される。
【００１４】
ガラス基板は、表面の微小うねりの高さ（ＮＲａ）が０．１５ｎｍ以下である。また、その表面粗さ（Ｒａ）は、好ましくは０．４ｎｍ以下であり、表面のうねりの高さ（Ｗａ）は、好ましくは０．５ｎｍ以下である。なお、Ｒａとは、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で測定された値を示すものである。Ｗａとは、ＰｈａｓｅＭｅｔｒｉｘ社製の多機能ディスク干渉計（Ｏｐｔｉｆｌａｔ）を用い、測定波長（λ）を０．４〜５．０ｍｍとして表面の所定領域を白色光で走査して測定された値を示すものである。ＮＲａとは、Ｚｙｇｏ社製の三次元表面構造解析顕微鏡（ＮｅｗＶｉｅｗ２００）を用い、測定波長（λ）を０．２〜１．４ｍｍとして表面の所定領域を白色光で走査して測定された値を示すものである。
【００１５】
当該ガラス基板は、Ｒａ及びＷａがそれぞれ０．４ｎｍ、０．５ｎｍを超えると、その表面が荒れ、平滑性の低下した品質の低いものとなるおそれがある。これは、高記録密度化を図るために記録された情報を読み取るためのヘッドと情報記録媒体の表面との距離を短くしたとき、移動するヘッドが情報記録媒体の表面の凹凸を乗り越えたり、追従したりすることができず、凹凸に衝突したり、引っ掛かったり等の不具合が発生しやすくなるためである。特に、ＮＲａが０．１５ｎｍを超えると、この不具合が顕著に発生するため、ＮＲａを０．１５ｎｍ以下とする必要がある。
【００１６】
次に、前記ガラス基板の製造方法について説明する。
ガラス基板は、円盤加工工程、端面面取り工程、ラップ工程、研磨工程及び洗浄処理工程を経て製造される。
【００１７】
前記円盤加工工程においては、シート状のガラス板を超硬合金又はダイヤモンド製のカッターを用いて切断することにより、その中心に円孔を有する円盤状のガラス素板が形成される。前記端面面取り工程においては、ガラス素板の内外周端面が研削され、外径及び内径寸法が所定長さとされるとともに、内外周端面の角部が研磨されて面取り加工される。
【００１８】
前記ラップ工程においては、ガラス素板にラップ処理が施され、ガラス素板の全体的な反りが修正されることにより、ガラス素板が略平坦な板とされる。このラップ処理は、前記研磨装置４１を用い、ガラス素板３１の表面に研磨材を供給しつつ、下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂを摺接させて同表面を研削することにより行われる。また、ラップ処理の研磨剤には、アルミナ等の粒子を砥粒として、この砥粒を溶媒である水に分散させてスラリー状としたものが使用される。
【００１９】
前記研磨工程においては、前記研磨装置４１を用い、下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂに研磨パッドを装着した状態で、同研磨パッドをガラス素板３１の表面に摺接させることにより行われる。この研磨工程でガラス素板は、研磨パッドの摺接によってその表面が研磨され、平滑面とされる。前記洗浄処理工程においては、洗浄液を使用し、研磨後のガラス素板の表面に付着した研磨剤、研磨粉、塵埃等の付着物を除去することにより、その表面が平滑であり、清浄度を高められたガラス基板が製造される。
【００２０】
前記研磨工程は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われる。
【００２１】
前記１次研磨処理とは、ガラス素板を粗研磨して、その全体の厚みを所定値とし、表面に存在する小さな反り、うねり、欠け（チッピング）、ひび（クラック）等の欠陥を除去する処理をいう。つまり、これら欠陥はガラス素板の表面からほぼ一定の厚み範囲内に形成されるものであり、ガラス素板の全体の厚みを所定値とするためにその表面の一部分を研磨によって除去することで、これら欠陥も除去される。これら欠陥の中でも特に表面のうねりは、前述のフロート法等でガラス素板の材料であるガラス板を製造するとき、同ガラス板の表面にスジ状に形成されるものであり、ガラス素板が潜在的に有する欠陥である。そして、当該１次研磨処理では、この表面のうねりの改善を主目的として行われる。
【００２２】
当該１次研磨処理の粗研磨では、ガラス素板の表面から欠陥を含む一部分を除去するため、その取り代が重視される。また、研磨工程はガラス素板の表面を平滑とする目的で行われるものであり、１次研磨処理後にガラス素板の表面が処理前よりも荒れることは、研磨工程の目的に反する。このため、当該１次研磨処理では、処理前よりもガラス素板の表面を平滑にするため、ガラス素板の表面の粗研磨による傷つき防止も重視される。そして、当該１次研磨処理では、研磨パッドとして、ガラス素板の表面を大きく傷つけることなく削り取ることが可能な程度の硬さを有する硬質ポリッシャが使用される。
【００２３】
この硬質ポリッシャには、ポリウレタン、ポリエステル等の合成樹脂製の発泡体よりなり、その表面の穴を目視できる程度に目の粗いスポンジ状のものが使用される。硬質ポリッシャの硬度は、ＪＩＳＫ６３０１に規定されるＪＩＳＡの硬度で、好ましくは６５〜９５である。また、その圧縮弾性率は、好ましくは６０〜８０％である。そして、その圧縮率が１〜４％となるように下定盤４２ａ及び上定盤４２ｂに貼着して使用することが好ましい。
【００２４】
ＪＩＳＡの硬度が６５未満、圧縮弾性率が６０％未満又は圧縮率が４％より高い場合、硬質ポリッシャが所望の硬さを有さず、一定の取り代に達するまでに長時間を要してしまうおそれがある。加えて、研磨時に硬質ポリッシャが変形して特にその表面に凹凸、うねり等が形成されることにより、ガラス素板の表面にうねり等の欠陥が形成され、同表面を平滑にすることができなくなるおそれがある。ＪＩＳＡの硬度が９５より大きい、圧縮弾性率が８０％より高い又は圧縮率が１％未満の場合、硬質ポリッシャによりガラス素板の表面が傷つき、却って表面状態が荒れてしまうおそれがある。
【００２５】
当該１次研磨処理の粗研磨では研磨剤として、酸化セリウムの粒子を砥粒とし、この砥粒を溶媒としての水に分散させてスラリー状としたものを使用することが好ましい。酸化セリウムは、ガラス材料を物理的に削るのみならず、これを溶かすように化学的に作用することから、ガラス材料の研磨で取り代を重視したり、研磨時間の短縮化を図ったり等する場合に好適な砥粒である。砥粒の粒径は平均粒径で、好ましくは１．５μｍ以下であり、より好ましくは０．２〜１．５μｍである。粒径が過剰に大きい場合、研磨時に形成される研磨痕等によってガラス素板の表面が荒れてしまい、粒径が過剰に小さい場合、単位時間当たりの研磨量の低下に伴い、研磨時間の長時間化、生産量の低下等といった不具合を招くおそれがある。
【００２６】
前記２次研磨処理とは、ガラス素板を精密研磨して、その表面の極僅かな部分を削り取り、表面に存在する微小うねり、微小凹凸等の微小な欠陥を修正する処理をいう。これら微小な欠陥は、大半がラップ処理時、１次研磨処理時等の研磨痕、研磨時の応力による歪み等によって形成されたものであり、微小うねりならば丘の部分、微小凹凸ならば凸部分等のように、その上部のみを削り取ることで凹凸が均され、平滑状に修正される。つまり、当該２次研磨処理では、表面の微小うねり、表面粗さの改善を主目的として行われる。なお、うねり等の欠陥と同様に微小な欠陥を全体的に削り取ろうとする場合、微小な欠陥を削り取る際にガラス素板の表面に形成される研磨痕等が新たな欠陥となり、却って微小な欠陥を増加させるおそれがある。
【００２７】
当該２次研磨処理の精密研磨では、ガラス素板の表面を鏡面状の平滑面となるように磨いて均すため、その取り代は重視されず、ガラス素板の表面を傷つけることなく微小な欠陥の上部のみ削り取ることが重視される。このため、当該２次研磨処理では、研磨パッドとして、ガラス素板の表面を大きく削ることなく、磨くことが可能な程度の軟らかさを有する軟質ポリッシャが使用される。この軟質ポリッシャには、ポリウレタン、ポリエステル等の合成樹脂製の発泡体よりなり、その表面の穴を目視することが難しい程度に目の細かいスウェード状のものが使用される。
【００２８】
２次研磨処理の際、発泡体よりなる軟質ポリッシャによってガラス素板の表面が精密研磨される状況を詳細に検討すると、研磨剤の砥粒は、まず軟質ポリッシャの表面の穴内に入り込む。次いで、砥粒はこの穴へ出入りするとともに、穴から出たときには、この穴を形作る周壁とガラス素板の表面との間に入り込む。この周壁が砥粒を介してガラス素板の表面に接触されたとき、同表面がその凹凸を均されるように研磨される。従って、ガラス素板の表面へ接触する軟質ポリッシャのなかでも、研磨後の表面の品質に特に影響を与える部分は、表面の穴そのものではなく、ガラス素板の表面へ接触される部分であり、この穴を形作る周壁である。
【００２９】
例えば、該周壁が薄かったり、長かったり等して軟らかくなれば、ガラス素板の表面に対して周壁が当たり負けして変形しやすくなり、表面の微小うねり、表面粗さ等の欠陥を十分に修正することができなくなるおそれがある。これとは逆に、該周壁が厚かったり、短くなったり等して硬くなれば、ガラス素板の表面に対する周壁の当たりが強くなり、同表面を傷つける可能性がある。このため、軟質ポリッシャには、穴を形作る周壁を観点とする微視的に見た場合、微小うねり、表面粗さ等の欠陥を十分に修正することができる程度の硬さと、ガラス素板の表面を傷つけない程度の軟らかさという相反する性質を付与する必要がある。
【００３０】
そこで、当該２次研磨処理で用いる軟質ポリッシャは、図１に模式的に示すような構成とされている。すなわち、軟質ポリッシャは、不織布等からなる基材１１と、同基材１１の表面に積層されたナップ層１２とから形成されている。このナップ層１２は、複数の独立気泡１３が内在する内層１４と、ナップ層１２の表面で開口された複数のナップ孔１５を有する外層１６とを備えており、外観上で２層構造のような構成とされている。
【００３１】
前記独立気泡１３は、ナップ層１２の内側となる部分が大きく膨らみ、表面側に向かうに従って細く萎む水滴状をなし、ナップ層１２の厚み方向に延びるように形成されている。前記ナップ孔１５は、該独立気泡１３に比べて極微細なサイズであり、深さの浅い壺状をなし、独立気泡１３と連通することなく、独立して形成されている。そして、研磨時には、ナップ孔１５を形作る周壁１５ａが砥粒を介してガラス素板の表面に接触されることにより、同表面が研磨される。
【００３２】
上記のようなナップ層１２を備える軟質ポリッシャは、予めバフ研磨を施さない、所謂ノンバフパッドと称される研磨パッドから形成されるものである。このバフ研磨とは、砥石等を利用し、発泡体よりなる研磨パッドの表面を荒削りする研磨をいう。ノンバフパッドは製造直後の状態では表面にナップ孔を有しておらず、同ノンバフパッドにバフ研磨を施して表面部分を削り取ることにより、内在する独立気泡が開口されてナップ孔が形成される。
【００３３】
従来の研磨パッドは、バフ研磨によって図１中の破線よりも上部、つまりは外層１６の部分が削り取られてしまい、内層１４の独立気泡１３がナップ層１２の表面で開口されることにより、ナップ層１２の表面にナップ孔１５である穴が設けられる。この独立気泡１３は、大きさが不揃いであり、また水滴状をなすものである。このため、独立気泡１３より形成される穴は、深さが深く、開口径が大きなものとなり、開口される位置の違いによって開口径がばらつき、不均一となる。実際に、従来の研磨パッドの表面及び断面を電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察すると、図４（ａ），（ｂ）の写真で示すように、そのナップ層は、当該軟質ポリッシャと明らかに異なり、大きな独立気泡がナップ層の表面で開孔された略１層構造となっていた。また、表面の穴は、研磨パッドの表面全体に散逸的に散らばり、その開口径も揃っていない。具体的に、従来の研磨パッドの穴について、その開口径及び深さを測定したところ、開口径は２０〜１００μｍであり、深さは４００〜７００μｍであった。
【００３４】
これに対し、当該軟質ポリッシャは、従来の研磨パッドではバフ研磨では削り取らてしまう表面部分、つまり外層１６となる部分に内在する微小な気泡に着目し、この微小な気泡を開口させることによってナップ孔１５を形成することを特徴としている。そして、この微小な気泡より形成されたナップ孔１５は、深さが浅く、開口径が小さなものとなり、開口径も略均一となる。実際に、この軟質ポリッシャの表面及び断面を電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察すると、図３（ａ），（ｂ）の写真で示すように、そのナップ層は略２層構造となっている。ナップ孔は、当該軟質ポリッシャの表面全体に緻密かつ略均等に散らばり、その開口径は、ほぼ均一に揃っている。なお、ノンバフパッドの表面部分の気泡が独立気泡１３よりも微小となる理由は、ノンバフパッドの製造時において、この表面部分が型枠等に接触されていることから、同気泡が発泡時に膨らみにくくなるためと考えられる。
【００３５】
当該軟質ポリッシャは、外層１６を削り取ってしまうバフ研磨を行うことなくナップ孔１５を開口させるため、ノンバフパッドに対してパッドドレス処理を施し、同パッドドレス処理でノンバフパッドの表面から削り取る部分の厚みを調整し、ナップ孔１５を形成したものである。このパッドドレス処理とは、ノンバフパッドを前記研磨装置へ装着し、ドレッサーを使用して、ノンバフパッドの表面を磨くように研磨して、若干量のみ削り取る処理をいう。また、当該パッドドレス処理は、ノンバフパッドを研磨装置へ装着した状態で施される処理であることから、形成される軟質ポリッシャの表面は、研磨装置へ装着された状態で荒れのない平坦なものとなる。このドレッサーには、円板状をなす基材の表面にダイヤモンド製の砥粒を電着して得られるパッドドレッサー又は円板状をなす基材の表面にダイヤモンド製のペレットを埋め込んで得られるペレットドレッサーが使用される。これらのうち、当該パッドドレス処理にはパッドドレッサーを使用することが好ましい。これは、ペレットドレッサーに比べ、パッドドレッサーは砥粒が細かく、研磨パッドの表面の過剰な研磨を抑制することが可能であるためである。
【００３６】
パッドドレス処理によってノンバフパッドから形成された当該軟質ポリッシャにおいて、ナップ層１２は、独立気泡１３が内在する内層１４によってクッション機能を発揮する。このクッション機能により、軟質ポリッシャはその全体を観点とする巨視的に見た場合、ガラス素板の表面を大きく削ることなく、磨くことが可能な程度の軟らかさを有する。一方、当該ナップ層１２は、従来の研磨パッドに比べてナップ孔１５の深さが浅く、開口径の小さなものとなり、ナップ孔１５を形作る周壁１５ａは、従来のものに比べて厚さが厚く、長さの短いものとなる。これにより、軟質ポリッシャは、微視的に見た場合、微小うねり、表面粗さ等の欠陥を十分に修正することができる程度の表面の硬さを有する。特に、軟質ポリッシャの表面を微視的に見た場合に硬いものとすることで、研磨時に軟質ポリッシャの表面が荒れ、同表面の平坦度が低下することを抑制することが可能である。
【００３７】
具体的に、軟質ポリッシャは、ＳＲＩＳ−０１０１に規定されるアスカーＣの硬度が、好ましくは５８〜８５である。また、その圧縮弾性率は、好ましくは５８〜９０％である。そして、その圧縮率が１〜５％となるように下定盤４２ａと上定盤４２ｂに貼着して使用することが好ましい。
【００３８】
アスカーＣの硬度が５８未満、圧縮弾性率が５８％未満又は圧縮率が５％より高い場合、研磨時に軟質ポリッシャが変形して特にその表面に凹凸、うねり等が形成されることにより、製造されたガラス基板の表面に微小なうねりが形成されてしまうおそれがある。また、アスカーＣの硬度が８５より大きい、圧縮弾性率が９０％より高い又は圧縮率が１％未満の場合、軟質ポリッシャによりガラス素板の表面が傷つき、製造されたガラス基板が却って表面状態の荒れたものになるおそれがある。なお、このスウェード状の軟質ポリッシャは、スポンジ状の硬質ポリッシャとその硬さが本質的に大きく異なり、同じ基準で比較することは難しい。このことから、硬質ポリッシャをＪＩＳＡの硬度で表し、軟質ポリッシャをアスカーＣの硬度で表している。
【００３９】
軟質ポリッシャを巨視的に見た場合の硬さを示す圧縮変形量は、好ましくは４０〜６０μｍである。この圧縮変形量は、軟質ポリッシャをその厚み方向へ潰した場合、元の厚みから、軟質ポリッシャを限界まで潰した時の厚みを引くことによって算出される。圧縮変形量が４０μｍ未満の場合、軟質ポリッシャが過剰に硬いものとなり、研磨時にガラス素板の表面を傷つけてしまうおそれがある。圧縮変形量が６０μｍを超える場合、過剰に軟らかいものとなり、ガラス素板の表面の欠陥を十分に修正することができなくなるおそれがある。
【００４０】
当該軟質ポリッシャの表面において、ナップ孔１５の個数は、１ｍｍ²当たり好ましくは４００〜１００００個である。また、ナップ孔１５の開口径は、好ましくは１０〜６０μｍである。さらに、ナップ孔１５の深さは、好ましくは１μｍ以上で１００μｍ未満である。ナップ孔１５の個数が４００個未満、開口径が１０μｍ未満又は深さが１μｍ未満の場合、周壁１５ａが厚くなったり、長くなったり等して軟質ポリッシャを微視的に見た場合の硬さが過剰に高くなるため、研磨時にガラス素板の表面を傷つけてしまうおそれがある。個数が１００００個を超える、開口径が６０μｍを超える又は深さが１００μｍ以上の場合、周壁１５ａが薄くなったり、長くなったり等して軟質ポリッシャを微視的に見た場合の硬さが過剰に軟らかくなるため、ガラス素板の表面の欠陥を十分に修正することができなくなるおそれがある。
【００４１】
該軟質ポリッシャを使用することにより、当該２次研磨処理においては、これを前研磨と後研磨との２段階に分け、同一の研磨装置内において前研磨と後研磨とで異なる種類の研磨剤を使用してガラス素板の精密研磨を行うことが可能である。また、同一の研磨装置内において前研磨と後研磨とで異なる種類の研磨剤を使用する場合、前研磨と後研磨との間でガラス素板の表面を洗浄液で濯ぐためのリンス処理が施される。
【００４２】
前研磨では、酸化セリウムの粒子を砥粒とし、この砥粒を溶媒としての水に分散させてスラリー状としたものを研磨剤に使用することが好ましい。この前研磨で使用する砥粒として酸化セリウムを選択した理由は、微小な欠陥をまず大まかに修正することにより、２次研磨処理に係る研磨時間の短縮化を図るためである。また、砥粒には、平均粒径が１．５μｍ以下のものを使用することが好ましい。砥粒の平均粒径として、より好ましくは０．２〜１．５μｍである。砥粒の平均粒径が過剰に大きい場合、前研磨の際にガラス素板の表面に研磨痕等の傷が形成されてしまうおそれがある。使用する砥粒の平均粒径が過剰に小さい場合、単位時間当たりの研磨量が低下し、前研磨に係る研磨時間の長時間化を招くおそれがある。
【００４３】
リンス処理では、前研磨されたガラス素板の表面が洗浄液を用いて濯がれ、同表面に付着した研磨剤の砥粒、砥粒の破砕片やガラス粉等からなる研磨粉等の付着物が除去される。洗浄液としては、水、純水、イソプロピルアルコール等のアルコール、塩化ナトリウム等のアルカリ金属塩等といった無機塩の水溶液を電気分解することにより得られた電解水又はガスが溶解されたガス溶解水等の機能水等の中性水溶液が使用される。
【００４４】
このリンス処理を施さず、付着物が付着したまま後研磨をすれば、同付着物によってガラス素板の表面が傷つけられるおそれがある。特に、前研磨の研磨剤と後研磨の研磨剤が混じり合い、後研磨での研磨精度が低下してしまう。このため、リンス処理を設け、洗浄液でガラス素板の表面を濯ぎ、洗浄する必要が生じる。ここで、従来の研磨パッドであれば、リンス処理を施しても、前研磨の研磨剤と後研磨の研磨剤が高い確率で混じり合ってしまう。これは、従来の研磨パッドは、前研磨を行うときにその表面の穴の内奥まで研磨剤の砥粒が入り込み、この砥粒をリンス処理で穴内から洗い流すことが不可能であるからである。
【００４５】
これに対し、当該軟質ポリッシャは、従来のものに比べナップ孔１５の深さが浅く、開口径が小さいため、ナップ孔１５の内奥まで砥粒が入り込むことを抑制することが可能である。また、ナップ孔１５は独立気泡１３と連通しておらず、ナップ孔１５に入り込んだ砥粒は、このままナップ孔１５内に留まる。そして、ナップ孔１５内に留まった砥粒は、リンス処理を施すことによってナップ孔１５内から容易に洗い流され、外部へ排出される。
【００４６】
後研磨では、コロイダルシリカ等の酸化ケイ素の粒子を砥粒とし、この砥粒を溶媒としての水に分散させてスラリー状としたものを研磨剤に使用することが好ましい。研磨剤の砥粒として酸化ケイ素の粒子を選択した理由は、酸化ケイ素の粒子は酸化セリウムの粒子よりも粒径が小さく、ガラス素板の表面をより平滑に研磨することが可能であるためである。つまり、この後研磨は、前研磨で大まかに修正された微小な欠陥を、より微細かつ精密に修正し、ガラス素板の表面の平滑度を高めることを目的としている。砥粒の平均粒径（Ｄ₅₀）は、好ましくは０．２μｍ以下である。Ｄ₅₀が０．２μｍを超える場合、後研磨でガラス素板が傷つき、所望とする平滑性を得られなくなるおそれがある。
【００４７】
前研磨において、軟質ポリッシャとガラス素板との間に加わる加重は、好ましくは５０〜１２０ｇ／ｃｍ²である。加重が５０ｇ／ｃｍ²未満の場合、前研磨でガラス素板を十分に精密研磨することができない可能性がある。この場合、製造されたガラス基板のＲａ、ＮＲａの値が高くなってしまうか、あるいはガラス基板のＲａ、ＮＲａの値を満たすため後研磨に係る研磨時間を長くする必要がある。加重が１２０ｇ／ｃｍ²を超えると、軟質ポリッシャの表面が歪むことにより、ガラス素板の表面に微小うねり等の微小な欠陥が形成され、Ｒａ、ＮＲａの値が高くなったり、この加重によって前研磨の際にガラス素板が割れたり等の不具合を生じるおそれがある。
【００４８】
後研磨において、軟質ポリッシャとガラス素板との間に加わる加重は、好ましくは３０〜１００ｇ／ｃｍ²である。加重が３０ｇ／ｃｍ²未満の場合、後研磨でガラス素板を十分に研磨することができず、製造されたガラス基板のＲａ、ＮＲａが所望とする値を満たさなくなるおそれがある。加重が１００ｇ／ｃｍ²を超えると、軟質ポリッシャの表面が歪み、ガラス素板の表面に微小うねり等の微小な欠陥が形成され、Ｒａ、ＮＲａの値が高くなったり、この加重によって後研磨の際にガラス素板が割れたり等の不具合を生じるおそれがある。
【００４９】
リンス処理において、軟質ポリッシャとガラス素板との間に加わる加重は、前研磨の加重と比較した場合、低くすることが好ましい。また、後研磨の加重と比較した場合、同じか又は低くすることが好ましい。具体的には、加重が２５〜７０ｇ／ｃｍ²であることが好ましい。加重が２５ｇ／ｃｍ²未満の場合、ガラス素板の表面から付着物等を十分に擦り落とすことができなかったり、ナップ孔１５内に研磨剤の砥粒が残留したり等するおそれがある。加重が７０ｇ／ｃｍ²を超えると、この加重によってリンス処理の際にガラス素板が割れる等の不具合を生じるおそれがある。
【００５０】
前研磨、リンス処理及び後研磨のうち、後研磨に係る作業時間は、好ましくは１〜４０分である。後研磨に係る作業時間を１分未満とした場合、ガラス素板の表面が十分に研磨されていない可能性がある。作業時間を４０分より長くしても、これ以上はガラス素板の平滑性は向上せず、却って作業時間の長時間化による生産量の低下を招く。
【００５１】
さらに、リンス処理の作業時間は、好ましくは１〜２０分である。リンス処理の作業時間が１分未満の場合、１次研磨処理時に使用した研磨剤が十分に除去されず、２次研磨処理時にガラス素板の表面に研磨痕が形成されてしまうおそれがある。作業時間を２０分より長くしても、これ以上は付着物、残留する研磨剤等を除去することはできず、却って作業時間の長時間化による生産量の低下を招くこととなる。
【００５２】
そして、当該２次研磨処理に係る作業時間の合計は、好ましくは７〜４５分である。これは前研磨、リンス処理及び後研磨が、ガラス素板の入れ替え作業等を必要とせず、連続して行われることから、可能となる作業時間である。作業時間の合計を７分未満とするには、前研磨、リンス処理及び後研磨のうち、少なくとも１つの作業時間を短くするか、あるいは省略する必要がある。この場合、ガラス素板の表面が十分に研磨されない、ガラス素板の表面が傷つく等の弊害を招くおそれがある。作業時間の合計を４５分より長くすれば、前研磨、リンス処理及び後研磨のうち、少なくとも１つの作業時間が過剰なものとなる。前研磨、リンス処理及び後研磨のいずれの作業も、係る作業時間を過剰なものとして、表面の平滑性、清浄度等が向上するといった効果は期待できず、却って作業時間の長時間化による生産効率の低下を招くおそれがある。
【００５３】
また、複数台の研磨装置を使用し、各研磨装置間でガラス素板を入れ替えながら、各研磨装置で複数枚のガラス素板を一度に研磨するバッチ式の研磨装置においては、各ガラス素板間で研磨による取り代のばらつきが高い確率で発生する。取り代のばらつきが発生すると、一のガラス素板は必要十分な研磨により欠陥が修正されるにもかかわらず、他のガラス素板は十分に研磨されず欠陥が修正されなかったり、必要以上の研磨により却って欠陥が発生したり等して、各ガラス素板で研磨精度又は平滑性に差異を生じてしまう。この取り代のばらつきは、研磨されるガラス素板の厚みのばらつき、研磨パッドの表面状態の変化、研磨パッドに対するガラス素板の相対位置の変化等を理由に発生する。
【００５４】
当該２次研磨処理で使用する軟質ポリッシャは、その表面が微視的に見た場合に硬いものであることから、パッドドレス処理によって平坦とされた表面の状態を維持しており、当該２次研磨処理の各作業における同表面の荒れの発生を抑制されている。表面が平坦な軟質ポリッシャで研磨されたガラス素板は、１バッチ内の全てがほぼ均一な取り代で研磨されるため、厚みのばらつきの発生を抑制されており、特に当該２次研磨処理では、前研磨で複数のガラス素板がほぼ均一な厚みとされる。また、前研磨、リンス処理及び後研磨の各作業を通して、表面が平坦な状態を維持しており、２次研磨処理中における表面状態の変化が抑制される。さらに、前研磨、リンス処理及び後研磨の各作業は、ガラス素板を入れ替えることなく、全て１台の研磨装置内で行われており、軟質ポリッシャに対してガラス素板の相対位置が変化することはない。
【００５５】
従って、当該２次研磨処理では、前研磨及び後研磨で取り代のばらつきの発生が抑制されており、バッチ式の研磨装置でガラス素板の研磨精度及び平滑性をほぼ均一なものとすることが可能である。具体的に、バッチ式研磨で製造される複数のガラス素板は、それぞれの取り代の差が、好ましくは０．２μｍ以下である。この取り代の差が０．２μｍを超えると、１バッチ内で一部のガラス素板が集中的に研磨されたり、十分に研磨されないガラス素板が存在する等して研磨精度又は平滑性にばらつきを生じることとなる。
【００５６】
前記実施形態によって発揮される効果について、以下に記載する。
・実施形態のガラス基板は、ガラス素板を１次研磨処理で粗研磨した後、２次研磨処理で精密研磨することによって製造されている。この２次研磨処理では、研磨パッドとして、独立気泡１３が内在する内層１４と、複数のナップ孔１５を有する外層１６とからなる２層構造のナップ層１２を備える軟質ポリッシャが使用されている。このナップ層１２のナップ孔１５は、従来の研磨パッドの表面の穴と比べて深さが浅く、開口径が小さいものとなり、これを形作る周壁１５ａは、従来のものに比べて硬くなる。このため、当該軟質ポリッシャは、独立気泡１３が内在する内層１４を有することによって全体では軟らかく、ナップ孔１５を有する外層１６を有することによってガラス素板の表面に接触される表面は硬くなる。そして、表面が硬く、全体では軟らかい当該軟質ポリッシャは、パッドドレス処理で平坦とされた表面状態を維持しながら、ガラス素板の表面を平滑に研磨することができる。従って、研磨に使用する軟質ポリッシャについて、表面状態の良好なものを効果的に選定することができ、製造されるガラス基板の表面品質の向上を図ることができる。
【００５７】
・また、軟質ポリッシャの表面でナップ孔１５の個数は１ｍｍ²当たり４００〜１００００個とされ、ナップ孔１５の開口径は１０〜６０μｍとされている。軟質ポリッシャの圧縮変形量は、４０〜６０μｍとされている。このため、軟質ポリッシャを、研磨するガラス素板の表面を傷つけることなく修正することが可能である必要十分な硬さとすることができる。
【００５８】
【実施例】
以下、前記実施形態をさらに具体化した実施例について説明する。
（研磨パッドについての考察）
実施例１及び２と、比較例１及び２について、ガラス素板に対して、まず１次研磨処理を施した後、表１に示すような性状のポリウレタン製の軟質ポリッシャを研磨パッドとして使用し、２次研磨処理を施した。このとき、ガラス素板には、そのサイズが内径２０ｍｍ、外径６５ｍｍ、厚み０．６３５ｍｍのものを用いた。１次研磨処理は、ポリウレタン製の硬質ポリッシャを研磨パッドとして使用し、平均粒径が１．２μｍ前後の酸化セリウムよりなる砥粒を含む研磨剤を用いるとともに、研磨圧力を１００ｇ／ｃｍ²として施した。２次研磨処理は、前研磨で平均粒径が０．８μｍ前後の酸化セリウムよりなる砥粒を含む研磨剤を用い、後研磨でＤ₅₀が０．１５μｍ前後のコロイダルシリカよりなる砥粒を含む研磨剤を用いて施した。２次研磨処理の加工条件は、前研磨を加重８０ｇ／ｃｍ²で５分、リンス処理を加重６０ｇ／ｃｍ²で５分、後研磨を加重６０ｇ／ｃｍ²で５分であった。また、実施例１及び２の軟質ポリッシャには、ノンバフパッドにパッドドレス処理を施して形成されたものを使用し、比較例１及び２にはバフ研磨を施して形成されたものを使用した。そして、研磨後のガラス素板について、その表面のＮＲａを測定した。これらの結果を、表１に示す。
【００５９】
【表１】

表１の結果より、実施例１及び２の軟質ポリッシャを使用して得られたガラス素板のＮＲａは、０．１５ｎｍ以下となり、表面状態の良好なものとなった。これに対し、比較例１の軟質ポリッシャは、アスカーＣの硬度、圧縮率、圧縮弾性率、圧縮変形量から実施例１及び２のものに比べて軟らかいものであるにも係わらず、ＮＲａは、０．１８ｎｍであり、０．１５ｎｍ以下とはならなかった。そこで、比較例１の軟質ポリッシャについてそのナップ孔の開口径を見ると、開口径が４０〜８０μｍと、大きなナップ孔と小さなナップ孔とで開口径の差が４０μｍもあり、実施例１及び２のものに比べて開口径の差が明らかに大きかった。ナップ孔の個数を見ると、１ｍｍ²当たり２４０〜２８０個と、実施例１及び２のものに比べて明らかに少なかった。
【００６０】
また、比較例２の軟質ポリッシャは、実施例１及び２のものに比べて硬く、さらには表面粗さ（Ｒｍａｘ）が比較例１のものに比べて粗いものであるにも係わらず、ＮＲａは０．１５ｎｍ以下とはならなかったものの、比較例１のものよりも良好なものとなった。そこで開口径及び個数を見ると、開口径が３０〜８０μｍと開口径の差は大きいものであるが、個数は１ｍｍ²当たり２４０〜３９０個と、実施例１及び２のものに近い数値となった。
【００６１】
以上の結果より、まずナップ層が略２層構造をなす軟質ポリッシャを使用することにより、ＮＲａが向上することが示された。また、ＮＲａは軟質ポリッシャの表面粗さを低くすれば必ずしも低くなるものとは限らず、主にナップ孔の個数及び開口径を適度な値とすることで十分に修正可能であることが示された。そして、ナップ孔の個数は、好ましくは１ｍｍ²当たり４００〜１００００個であり、より好ましくは４００〜８００個であり、特に好ましくは６００〜８００個であることが示された。ナップ孔の開口径は、好ましくは１０〜６０μｍであり、より好ましくは１０〜４０μｍであることが示された。
【００６２】
（バッチ式の研磨装置による取り代の差についての考察）
次に、実施例１で使用した軟質ポリッシャ又は比較例２で使用した軟質ポリッシャを使用し、図２に示した研磨装置で複数のガラス素板を研磨した。このとき、一度の研磨で５つのキャリア４７を使用するとともに、各キャリア４７にはそれぞれガラス素板を５枚ずつ収容した。そして、各ガラス素板の取り代をそれぞれ測定した。この結果を、表２及び表３に示しす。なお、表２は、実施例１で使用した軟質ポリッシャによって研磨した結果を示し、表３は、比較例１で使用した軟質ポリッシャによって研磨した結果を示す。また、表中で第１〜第５キャリアとは、５つのキャリア４７をそれぞれ示し、第１〜第５ディスクとは、各キャリアにそれぞれ収容された５枚のガラス素板を示すものとする。
【００６３】
【表２】

【００６４】
【表３】

各キャリアについて、それぞれでガラス素板の取り代の差の最大値を算出した結果、表２に示したように、実施例１で使用した軟質ポリッシャを用いた場合には０．２μｍ以下となっており、各キャリアについて取り代のばらつきがほとんど発生していないことが示された。また、各キャリアで取り代の平均値を求め、第１キャリアを基準に、各キャリアとの平均値の差を算出したところ、０．１μｍ以下となっており、各キャリア間でも取り代のばらつきがほとんど発生していないことが示された。
【００６５】
これに対し、表３に示したように、比較例２で使用した軟質ポリッシャを用いた場合、各キャリアで取り代の差の最大値は０．３〜１．８μｍと隔たりがあり、各キャリアで取り代が大きくばらつくことが示された。また、平均値の差は０．２μｍ以下となり、各キャリア間でも取り代のばらつきが発生していることが示された。これらの結果より、ナップ層が略２層構造をなす軟質ポリッシャを使用することにより、取り代のばらつきの発生を抑制することが可能であることが示された。
【００６６】
なお、本実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・情報記録媒体として要求される耐衝撃性、耐振動性、耐熱性等を満たすため、研磨工程よりも前の工程、研磨工程よりも後の工程又は研磨の各工程の間でガラス素板に化学強化処理を施してもよい。この化学強化処理とは、ガラス基板の組成中に含まれるリチウムイオンやナトリウムイオン等の一価の金属イオンを、これと比較してそのイオン半径が大きなナトリウムイオンやカリウムイオン等の一価の金属イオンにイオン交換することをいう。そして、ガラス基板の表面に圧縮応力を作用させて化学強化する方法である。この化学強化処理は、化学強化塩を加熱溶融した化学強化処理液にガラス基板を所定時間浸漬することによって行われる。化学強化塩の具体例としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、硝酸銀等をそれぞれ単独、あるいは少なくとも２種を混合したものが挙げられる。化学強化処理液の温度は、ガラス基板に用いた材料の歪点よりも好ましくは５０〜１５０℃程度低い温度であり、より好ましくは化学強化処理液自身の温度が３００〜４５０℃程度である。ガラス基板の材料の歪点よりも１５０℃程度低い温度未満では、ガラス基板を十分に化学強化処理することができない。一方、ガラス基板の材料の歪点よりも５０℃程度低い温度を超えると、ガラス基板に化学強化処理を施すときに、ガラス基板に歪みが発生するおそれがある。
【００６７】
・実施形態では、研磨処理をバッチ式の研磨装置を使用して行ったが、これに限らず、ガラス素板を一枚ずつ研磨してガラス基板を製造する枚葉方式の研磨機を使用して行ってもよい。
【００６８】
・端面面取り工程の後でガラス素板の粗さ、反り、うねり等の表面状態が所望の値を満たすのであれば、ラップ工程を省略してもよい。このように構成した場合、作業時間の短縮化を図ることができる。
【００６９】
・実施形態の２次研磨処理は、精密研磨を前研磨と後研磨との２段階に分けて行ったが、これに限らず精密研磨を１段階で行ってもよい。このように精密研磨を１段階で行う場合、ガラス素板を高い精度で平滑に研磨する必要があることから、１段階で行う精密研磨の研磨剤には、実施形態の後研磨で挙げた研磨剤を使用することが好ましい。
【００７０】
・実施形態では２次研磨処理で使用する軟質ポリッシャにナップ層が略２層構造をなす研磨パッドを使用したが、これに限らず、１次研磨処理で使用する硬質ポリッシャにナップ層が略２層構造をなす研磨パッドを使用してもよい。そして、硬質ポリッシャをナップ層が略２層構造をなすものとした場合、粗研磨時の取り代のばらつきの発生を抑制し、粗研磨におけるガラス素板の研磨精度及び平滑性をほぼ均一なものとすることができる。
【００７１】
さらに、前記実施形態より把握できる技術的思想について以下に記載する。
・表面に穴を有さない発泡体よりなるノンバフパッドに対し、金属製の円板の表面にダイヤモンド製の砥粒を電着して形成したパッドドレッサーを用い、同パッドドレッサーの表面にノンバフパッドを摺接させて該ノンバフパッドの表面を磨くパッドドレス処理を施すことによって形成されたものであることを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の研磨パッド。
【００７２】
・前記ガラス素板は、複数枚を一度に研磨するバッチ式の研磨装置で研磨されるとともに、このバッチ式の研磨装置で研磨された複数のガラス素板のそれぞれの取り代の差が０．２μｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【００７３】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、次のような効果を奏する。
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の発明によれば、ガラス素板の表面を高い精度で平滑に研磨することができ、製造される情報記録媒体用ガラス基板の表面品質の向上を図ることができる。
【００７４】
請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の発明によれば、研磨に使用する研磨パッドについて表面状態の良好なものを効果的に選定することができる。加えて、研磨パッドの硬さを、研磨するガラス素板の表面を傷つけることなく修正することが可能である必要十分なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】軟質ポリッシャの断面を示す模式図。
【図２】バッチ式の研磨装置を示す一部を破断した斜視図。
【図３】（ａ）は軟質ポリッシャの平面を示すＳＥＭによる写真、（ｂ）は軟質ポリッシャの断面を示すＳＥＭによる写真。
【図４】（ａ）は従来の研磨パッドの平面を示すＳＥＭによる写真、（ｂ）は従来の研磨パッドの断面を示すＳＥＭによる写真。
【符号の説明】
１２…ナップ層、１３…独立気泡、１４…内層、１５…ナップ孔、１６…外層、３１…ガラス素板。

Claims

円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、
前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の開口径が１０〜６０μｍであるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、
前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
円盤状に形成されたガラス素板の表面を、研磨パッドを使用し研磨して情報記録媒体用ガラス基板を得る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨パッドは、不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ孔の深さが１μｍ以上で１００μｍ未満であり、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであり、
前記研磨は、ガラス素板の表面を平滑に粗研磨するための１次研磨処理を施す工程と、粗研磨されたガラス素板の表面をさらに平滑に精密研磨するための２次研磨処理を施す工程との２工程に分けて行われるとともに、前記ナップ層を備える研磨パッドを当該２次研磨処理で使用することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、
不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、
前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを特徴とする研磨パッド。
円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、
不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、
前記ナップ孔の開口径が１０〜６０μｍであるとともに、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを特徴とする研磨パッド。
円盤状に形成されたガラス素板の表面を研磨する研磨パッドであって、
不織布からなる基材の表面に積層された合成樹脂製の発泡体よりなり、複数の独立気泡が内在する内層と、該独立気泡に比べて極微細なサイズの複数のナップ孔が表面に設けられた外層とを有し、２層構造をなすナップ層を前記基材の表面に備え、
前記ナップ孔の個数が１ｍｍ^２当たり４００〜８００個であるとともに、前記ナップ孔の深さが１μｍ以上で１００μｍ未満であり、前記ナップ層の圧縮変形量が４０〜６０μｍであることを特徴とする研磨パッド。