JP4640971B2 - プラズマディスプレイの遮光性パターン形成用感光性樹脂組成物 - Google Patents
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で示される基であり、前記化学式(I)中のR1は、フェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、CN、NO2、炭素数1〜4のハロアルキル基から選ばれる一種であり、R2は、炭素数2〜12のアシル基、炭素数4〜6のアルケニル基から選ばれる一種である。)
感光性樹脂組成物にバインダー樹脂を含有することによって、耐現像性が向上し、現像残渣の発生を防止することができ、これにより、精度の高い黒色電極及びブラックストライプに代表される遮光性パターンを形成することができる。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、PDPにおける前面板のガラス基板上に黒色電極及びブラックストライプに代表される遮光性パターンを形成するのに用いられ、光重合開始剤、光重合性化合物、遮光性物質及びバインダー樹脂を含有する。なお、ブラックストライプを縦横に形成したブラックマトリックスに対しても本発明による感光性樹脂組成物を同様に適用でき、以下ではブラックストライプについて説明する。また、本発明の遮光性パターンとは(A)遮光性物質を含有し、遮光能を有するパターンであり、遮光能を有せば黒色に限らないが、ブラックストライプを包含する概念である。本発明の遮光性パターンは導電性を有していてもよく、導電性を有せば黒色に限らないが、その場合、黒色電極を包含する概念である。
まず、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤としては、式(I)で示される化合物の少なくとも一種を使用する。
で示される基であり、前記化学式(I)中のR1は、フェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、CN、NO2、炭素数1〜4のハロアルキル基から選ばれる一種であり、R2は、炭素数2〜12のアシル基、炭素数4〜6のアルケニル基から選ばれる一種である。)
こうして感光性樹脂組成物の感度や現像マージンをさらに高めることで、黒色電極及びブラックストライプに代表される遮光性パターンのパターンを直線性が高く、剥がれや残渣のない良好な形態で形成することがさらに容易となる。
次に、光重合性化合物について説明する。光重合性化合物は、紫外線等の光の照射を受けて重合し、硬化する物質である。光重合性化合物としては、エチレン性二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等のモノマー、オリゴマー類;多価アルコール類と1塩基酸又は多塩基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオール基と2個のイソシアネート基を持つ化合物を反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応して得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などが挙げられる。さらに前記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂も好適に使用できる。
次に、遮光性物質について説明する。遮光性物質としては、カーボンブラックやチタンブラックを好ましく使用できる。この他、Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si及びAl等の各種金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸鉛又は金属炭酸塩等の無機顔料も用いることができる。
次に、バインダー樹脂について説明する。本発明の感光性樹脂組成物を用いて黒色電極及びブラックストライプに代表される遮光性パターンを形成する際には、後述するように、基板上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して膜を形成する。バインダー樹脂は、相容性、被膜形成性、現像性、接着性等改善目的に応じて適宜選択することができる。
特にアクリレート誘導体や、メタクリレート誘導体などのアクリル系樹脂及びセルロース誘導体の少なくとも一種が好ましい。
さらに、本発明に係る感光性樹脂組成物は、上記に加え、必要に応じて、導電性物質、紫外線吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、分散剤、消泡剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤などの添加剤成分を加えることができる。
としては、無機成分との親和性と、有機成分の溶解性とが良好であり、樹脂組成物に適度な粘性を付与することができ、乾燥されることによって容易に蒸発除去できるものであればとくに限定されない。かかる溶剤の具体例としては、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;n-ペンタノール、4-メチル-2-ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類;酢酸-n-ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類;乳酸エチル、乳酸-n-ブチルなどの乳酸エステル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチル-3-エトキシプロピオネート、2-メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、4-メトキシブチルアセテート、2-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-エチル-3-メトキシブチルアセテート、2-エトキシブチルアセテート、4-エトキシブチルアセテート、4-プロポキシブチルアセテート、2-メトキシペンチルアセテートなどのエーテル系エステル類などを例示することができる。これらは、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
次に、本発明の感光性樹脂組成物を用いた、黒色電極及びブラックストライプに代表される遮光性パターンの形成方法について説明する。まず、基板上に塗布又は転写で形成した感光性樹脂組成物層に、紫外線、エキシマレーザー、X線、電子線などの活性光線を、マスクを介して照射することにより画像露光する。次いで、アルカリ溶液または水を用いて現像処理を施し、未照射部を溶解除去して基板上にパターンを形成し、焼成する。それを酸素存在下で焼成・黒色化することにより、黒色電極、ブラックストライプに代表される遮光性パターンを形成する。
(B)バインダー樹脂としてn−ラウリルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/メタクリル酸=20/60/20(質量%)共重合体(Mw=150,000)を100質量部と、(C)光重合開始剤として、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)(CGI242、チバスペシャリティーケミカルズ製)を10質量部と、(D)光重合性化合物としてペンタエリスリトールテトラアクリレートを20質量部とEO変性トリメチロールプロパントリアクリレート(東亜合成社製M−350)を20質量部と、導電性も有する(A)遮光性物質としてNi粉末(平均粒径0.02μm)を150質量部と、導電性物質としてAg粉末(平均粒径0.05μm)を50質量部とを、三本ロールで練ることにより、感光性樹脂組成物を調合した。上記感光性樹脂組成物を、PETフィルム(38μm厚)上に均一に塗布し、70℃の熱風対流乾燥機で約5分間乾燥した後、保護フィルム(離型性PETフィルム厚さ25μm)をラミネートし、感光性ドライフィルムを得た。なお、感光性樹脂組成物の巻膜厚は15μmであった。
(C)光重合開始剤として、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(o−ベンゾイルオキシム)(CGI124、チバスペシャリティーケミカルズ製)を10質量部を用いた以外は参考例1と同様にして感光性樹脂組成物を調合し、感光性ドライフィルムを得た。
(C)光重合開始剤として、参考例1の光重合開始剤に加えてイミダゾリル化合物である2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体(保土ヶ谷化学社製 B−CIM)5質量部を用いた以外は参考例1と同様にして感光性樹脂組成物を調合し、感光性ドライフィルムを得た。
(C)光重合開始剤として、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンの10質量部を使用した以外は参考例1と同様にして遮光性パターンを得られるか、確認した。露光量200mJ/cm2では、露光量が不十分で下までの露光できず、現像時に良好なパターンを得ることが出来なかった。その後、露光量を1000mJ/cm2まで上げたが、直線性が良く、剥がれや残渣のない良好な遮光性パターンを得ることは出来なかった。
Claims (2)
- 前記(B)バインダー樹脂として、アクリル系樹脂及びセルロース誘導体の少なくとも一種を含有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイの遮光性パターン形成用感光性樹脂組成物。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005261220A JP4640971B2 (ja) | 2005-09-08 | 2005-09-08 | プラズマディスプレイの遮光性パターン形成用感光性樹脂組成物 |
TW095129984A TW200710568A (en) | 2005-09-08 | 2006-08-15 | Photosensitive resin composition for forming light shielding pattern of plasma display |
CN2006101518102A CN1928718B (zh) | 2005-09-08 | 2006-09-05 | 用于形成等离子显示器的遮光性图案的感光性树脂组合物 |
KR1020060085555A KR100899410B1 (ko) | 2005-09-08 | 2006-09-06 | 플라즈마 디스플레이의 차광성 패턴 형성용 감광성수지조성물 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005261220A JP4640971B2 (ja) | 2005-09-08 | 2005-09-08 | プラズマディスプレイの遮光性パターン形成用感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007073434A JP2007073434A (ja) | 2007-03-22 |
JP4640971B2 true JP4640971B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=37858723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005261220A Expired - Fee Related JP4640971B2 (ja) | 2005-09-08 | 2005-09-08 | プラズマディスプレイの遮光性パターン形成用感光性樹脂組成物 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640971B2 (ja) |
KR (1) | KR100899410B1 (ja) |
CN (1) | CN1928718B (ja) |
TW (1) | TW200710568A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR101261619B1 (ko) * | 2010-03-16 | 2013-05-07 | 주식회사 엘지화학 | 컬러 필터 제조용 잉크 조성물 |
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-
2005
- 2005-09-08 JP JP2005261220A patent/JP4640971B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-15 TW TW095129984A patent/TW200710568A/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-09-05 CN CN2006101518102A patent/CN1928718B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-06 KR KR1020060085555A patent/KR100899410B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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CN1928718A (zh) | 2007-03-14 |
CN1928718B (zh) | 2010-05-26 |
KR20070029064A (ko) | 2007-03-13 |
JP2007073434A (ja) | 2007-03-22 |
KR100899410B1 (ko) | 2009-05-26 |
TWI319118B (ja) | 2010-01-01 |
TW200710568A (en) | 2007-03-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100708 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |